JP4389801B2 - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4389801B2 JP4389801B2 JP2005031445A JP2005031445A JP4389801B2 JP 4389801 B2 JP4389801 B2 JP 4389801B2 JP 2005031445 A JP2005031445 A JP 2005031445A JP 2005031445 A JP2005031445 A JP 2005031445A JP 4389801 B2 JP4389801 B2 JP 4389801B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- height
- unit
- substrate
- illumination unit
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
上記の高さ決定手段は、処理対象の部品に対し、前記照明部をあらかじめ定められた標準の高さに配置して撮像および当該撮像により生成された画像の表示を開始し、照明部の高さの変更を指定する操作を受け付けたときは前記調整手段の動作を制御して照明部の高さを指定された位置に変更し、前記照明部の高さを確定する操作を受け付けたとき、その時点の照明部の高さを決定する。
さらに登録手段には、照明部の高さに関する情報のみならず、検査に必要な各種検査データ(検査領域の設定条件、検査に使用するプログラム、判定のための基準値など)を登録することもできる。
なお、この登録手段の構成や登録対象の情報は、以下の第3および第4の基板検査装置にも適用することができる。
上記の部品に被覆されない部分の大きさは、フィレットの底面にほぼ匹敵すると考えることができる。したがって高さ決定手段は、算出した面積が小さいほど、フィレットが急峻になるとみなして、照明部の高さを低く設定することができる。
この基板検査装置は、リフロー炉ではんだ付けされた後の部品実装基板1を検査対象として、この基板1上のフィレットの適否を自動判別する機能を具備するもので、撮像部3,照明部4,制御処理部5,X軸テーブル部6,Y軸テーブル部7などにより構成される。
CRT表示部22(以下、単に「表示部22」という。)は、制御部11から画像データ、検査結果などの供給を受けて、これらを表示画面上に表示する。またプリンタ23は、制御部11から検査結果などの供給を受け、これを予め定められた形式でプリントアウトする。
このティーチング処理は、教示対象の基板名の入力や教示開始操作に応じてスタートする。最初のST1(STは「ステップ」の略である。以下も同じ。)では、外部メモリ装置25などから教示対象の基板の設計データ(CADデータなど)を読み出し、これをメモリ13に保存する。このティーチング処理では、この設計データ中の部品の位置情報に基づき、撮像位置を調整する。また、後記するST7で同一バリエーションの部品を抽出する際には、設計データ中の部品種情報を利用する。
一方、係員が修正の必要がないと判断して確定操作を行った場合には、ST10が「NO」となってST8に進み、その他の検査データの設定処理が行われる。
モデルの基板1Sは、良好な状態のフィレット2Sが形成されていることがわかっているから、暗領域が出現したり、一部の色領域が出現しない状態になった場合には、その不具合は照明部4の高さが適切でないことに起因すると考えることができる。
一方、暗領域が赤色領域を挟んで緑色領域に対向している場合には、暗領域はフィレットの下端側にあるものと判断する。この場合には、ST104が「NO」となってST106に進み、照明部4を所定量だけ上昇させる。
まず、ST21で検査対象の基板名などが入力されると、つぎのST22では、ティーチングテーブル20から該当する基板1の検査データを読み出してメモリ13にセットする。
なお、不良判定を行った場合には、ST31では、具体的な不良部位に関する情報も含めた情報を出力する。
2 フィレット
3 撮像部
4 照明部
5 制御処理部
9 ボールねじ機構
11 制御部
17 高さ制御部
20 ティーチングテーブル
Claims (5)
- 複数の部品がはんだ付けされた基板を支持するテーブル部の上方に、異なる仰角の方向からそれぞれ異なる色彩光が照射されるようにした構成の照明部と、各色彩光による照明状態下で前記基板を撮像する撮像部とが配備され、前記照明部からの光が基板上のはんだフィレットで反射して前記撮像部に入射することにより画像中に生じた色領域の分布に基づいて前記基板上のはんだフィレットの状態を検査する基板検査装置において、
前記照明部の高さを調整するための調整手段と、検査対象の基板の撮像時に、前記調整手段の動作を制御して前記照明部の高さを部品毎に調整する高さ制御手段とを具備し、
前記高さ制御手段は、
前記照明部をあらかじめ定められた標準の高さに配置して撮像を行った場合に各色彩光に対応する色領域の分布により検出することができる傾斜角度の範囲よりも急峻な傾斜面を含むフィレットに対しては、画像中の当該フィレットにおける各色領域の分布範囲がフィレットの上方側にシフトするように前記照明部を前記標準の高さより低い位置に配置し、前記照明部を前記標準の高さに配置して撮像を行った場合に各色彩光に対応する色領域の分布により検出することができる傾斜角度の範囲よりも緩やかな傾斜面を含むフィレットに対しては、画像中の当該フィレットにおける各色領域の分布範囲がフィレットの下方側にシフトするように前記照明部を前記標準の高さより高い位置に配置する、
ことを特徴とする基板検査装置。 - 複数の部品がはんだ付けされた基板を支持するテーブル部の上方に、異なる仰角の方向からそれぞれ異なる色彩光が照射されるようにした構成の照明部と、各色彩光による照明状態下で前記基板を撮像する撮像部とが配備され、前記照明部からの光が基板上のはんだフィレットで反射して前記撮像部に入射することにより画像中に生じた色領域の分布に基づいて前記基板上のはんだフィレットの状態を検査する基板検査装置において、
前記照明部の高さを調整するための調整手段と、
はんだフィレットの状態が良好なモデルの基板が前記テーブル部に配備されたとき、この基板上の複数の部品を順に処理対象として、ユーザーの指定操作に応じて処理対象の部品に適した照明部の高さを決定する高さ決定手段と、
各部品に対して前記高さ決定手段が決定した高さに関する情報を記憶保持する登録手段と、
検査対象の基板の撮像時において、前記登録手段に記憶された情報に基づき前記調整手段の動作を制御して、照明部の高さを部品毎に調整する高さ制御手段とを具備し、
前記高さ決定手段は、前記処理対象の部品に対し、前記照明部をあらかじめ定められた標準の高さに配置して撮像および当該撮像により生成された画像の表示を開始し、照明部の高さの変更を指定する操作を受け付けたときは前記調整手段の動作を制御して前記照明部の高さを指定された位置に変更し、前記照明部の高さを確定する操作を受け付けたとき、その時点の照明部の高さを決定する、
ことを特徴とする基板検査装置。 - 複数の部品がはんだ付けされた基板を支持するテーブル部の上方に、異なる仰角の方向からそれぞれ異なる色彩光が照射されるようにした構成の照明部と、各色彩光による照明状態下で前記基板を撮像する撮像部とが配備され、前記照明部からの光が基板上のはんだフィレットで反射して前記撮像部に入射することにより画像中に生じた色領域の分布に基づいて前記基板上のはんだフィレットの状態を検査する基板検査装置において、
前記照明部の高さを調整するための調整手段と、
検査対象の基板について各ランドの形成情報および各部品の実装情報を含む基板の設計情報を用いて、ランド毎にそれぞれ部品により被覆されない部分の面積を求める面積算出手段と、
前記面積算出手段により算出された面積に基づき前記照明部の高さを部品毎に決定する高さ決定手段と、
前記高さ決定手段が決定した高さに関する情報を記憶保持する登録手段と、
前記検査対象の基板の撮像時において、前記登録手段に記憶された情報に基づき前記調整手段の動作を制御して、照明部の高さを部品毎に調整する高さ制御手段とを、具備することを特徴とする基板検査装置。 - 複数の部品がはんだ付けされた基板を支持するテーブル部の上方に、異なる仰角の方向からそれぞれ異なる色彩光が照射されるようにした構成の照明部と、各色彩光による照明状態下で前記基板を撮像する撮像部とが配備され、前記照明部からの光が基板上のはんだフィレットで反射して前記撮像部に入射することにより画像中に生じた色領域の分布に基づいて前記基板上のはんだフィレットの状態を検査する基板検査装置において、
前記照明部の高さを調整するための調整手段と、
はんだフィレットの状態が良好なモデルの基板が前記テーブル部に配備されて前記照明部による照明下で撮像されたとき、生成された画像上のはんだフィレットに暗領域が生じているか否かを部品毎に判別する判別手段と、
前記判別手段により暗領域が生じていると判別された部品に対し、前記調整手段の動作を制御して照明部の高さを調整し、暗領域が消失したときの前記照明部の高さをその部品に適した高さとして決定する高さ決定手段と、
前記高さ決定手段が決定した高さに関する情報を記憶保持する登録手段と、
前記検査対象の基板の撮像時において、前記登録手段に記憶された情報に基づき前記調整手段の動作を制御して、照明部の高さを部品毎に調整する高さ制御手段とを、具備することを特徴とする基板検査装置。 - 前記高さ決定手段は、1枚の基板上に同一種類の部品が複数搭載されているとき、これらの部品のうちの1つにつき決定した高さを同一種類の他の部品にも反映させる請求項2〜4に記載された基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005031445A JP4389801B2 (ja) | 2005-02-08 | 2005-02-08 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005031445A JP4389801B2 (ja) | 2005-02-08 | 2005-02-08 | 基板検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006220427A JP2006220427A (ja) | 2006-08-24 |
JP4389801B2 true JP4389801B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=36982862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005031445A Expired - Fee Related JP4389801B2 (ja) | 2005-02-08 | 2005-02-08 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4389801B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2618135A1 (en) | 2012-01-17 | 2013-07-24 | Omron Corporation | Method for registering inspection standard for soldering inspection and board inspection apparatus thereby |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4858227B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2012-01-18 | オムロン株式会社 | 検査パラメータ設定支援装置、その制御プログラムおよび制御方法 |
KR101241175B1 (ko) * | 2010-02-01 | 2013-03-13 | 주식회사 고영테크놀러지 | 실장기판 검사장치 및 검사방법 |
US9091725B2 (en) | 2009-07-03 | 2015-07-28 | Koh Young Technology Inc. | Board inspection apparatus and method |
KR101337881B1 (ko) * | 2012-03-28 | 2013-12-06 | 주식회사 고영테크놀러지 | Pcb 검사장치의 작업 데이터 생성 및 검사방법 |
KR101442666B1 (ko) * | 2013-02-01 | 2014-09-22 | 주식회사 미르기술 | 복수 행의 조명부재를 포함하는 비전검사장치 |
JP7056131B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2022-04-19 | オムロン株式会社 | 画像処理システム、画像処理プログラム、および画像処理方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2922214B2 (ja) * | 1989-03-29 | 1999-07-19 | 株式会社日立製作所 | 外観検査方法 |
JP3200953B2 (ja) * | 1992-04-30 | 2001-08-20 | 松下電器産業株式会社 | 角形チップの半田付状態の検査方法 |
JP3489908B2 (ja) * | 1995-05-02 | 2004-01-26 | 松下電器産業株式会社 | 画像撮像装置 |
JPH10332331A (ja) * | 1997-05-27 | 1998-12-18 | Sony Corp | 部品認識装置 |
JP2000292124A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-10-20 | Sokkia Co Ltd | 照明装置 |
JP3622749B2 (ja) * | 2001-11-26 | 2005-02-23 | オムロン株式会社 | 曲面性状検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 |
-
2005
- 2005-02-08 JP JP2005031445A patent/JP4389801B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2618135A1 (en) | 2012-01-17 | 2013-07-24 | Omron Corporation | Method for registering inspection standard for soldering inspection and board inspection apparatus thereby |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006220427A (ja) | 2006-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3551188B2 (ja) | 表面状態検査方法および基板検査装置 | |
JP4389801B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JPH0572961B2 (ja) | ||
US7355692B2 (en) | System and method for inspecting electrical circuits utilizing reflective and fluorescent imagery | |
JP2014526706A (ja) | 非接触式部品検査装置及び部品検査方法 | |
US7664311B2 (en) | Component mounting board inspecting apparatus | |
JP2001266127A (ja) | プリント配線板の検査装置 | |
JP2011158363A (ja) | Pga実装基板の半田付け検査装置 | |
JP3594026B2 (ja) | 曲面体の表面状態検査方法および基板検査装置 | |
JP2007071661A (ja) | 外観検査装置 | |
JPH0797022B2 (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、および形状測定装置の校正方法 | |
JP2002107126A (ja) | 基板検査装置及び方法 | |
JP3622749B2 (ja) | 曲面性状検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 | |
JP3599023B2 (ja) | はんだ検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 | |
JP2000131037A (ja) | 物体形状検査装置 | |
JP5622338B2 (ja) | 半導体デバイス製造過程における異物とキズ痕との判別検査方法 | |
JP2007333661A (ja) | 電子部品の外観検査方法および外観検査装置 | |
JP4030570B2 (ja) | 画像処理用光照射装置及び画像処理用光照射方法 | |
JP4090557B2 (ja) | 電子部品の認識方法及び装置 | |
JP4389761B2 (ja) | はんだ検査方法およびその方法を用いた基板検査装置 | |
JP2658405B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3038107B2 (ja) | はんだ付け検査方法 | |
JP3755370B2 (ja) | 半田フィレット検査方法 | |
JP5100371B2 (ja) | ウェハ周縁端の異物検査方法、及び異物検査装置 | |
JPH10160426A (ja) | 被検査物体の検査装置及び被検査物体の検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090915 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090928 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131016 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |