JP2000292124A - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
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- JP2000292124A JP2000292124A JP2000026374A JP2000026374A JP2000292124A JP 2000292124 A JP2000292124 A JP 2000292124A JP 2000026374 A JP2000026374 A JP 2000026374A JP 2000026374 A JP2000026374 A JP 2000026374A JP 2000292124 A JP2000292124 A JP 2000292124A
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Abstract
る際、照射角度が連続して変化できないと被測定物W上
に陰ができ撮像カメラ11で撮像できない箇所が生じ、
測定できない場合があった。 【解決手段】投光窓31から光を射出する投光部3を上
下動自在に設け、投光窓31の前方に、射出された光の
進路を曲げて被測定物Wに照射させるシリンドリカルレ
ンズ21を配設した。
Description
ル上に載置された被測定物を上方から撮像して測定する
光学式測定装置に用いられ、被測定物に光ファイバから
の光を複数の照射角度で照射させる照明装置に関する。
物を四方から覆う固定式の支持部材を設け、例えば30
°、45°、60°の照射角度で光が射出されるように
光ファイバを該支持部材に3段に取り付けたものが知ら
れている。
は被測定物に対する照射光の照射角度が予め定められて
おり、その定められた照射角度でしか被測定物に光を照
射できない。そのため、例えば被測定物が複雑な形状を
している場合などは、予め設定された照射角度のうちの
いずれの照射角度で光を被測定物に照射しても被測定物
に光が照射されない部分が生じるおそれがある。このよ
うに光が照射されない部分が生じると測定不能となり、
あるいは暗くなるので視認しづらくなりその結果位置誤
差を生じる。
測定物に対する光の照射角度を連続して変更し、照射で
きない部分が生じない照明装置を提供することを課題と
する。
に本発明は、光ファイバから射出される光を水平テーブ
ル上に載置された被測定物に対して複数の照射角度で照
射する照明装置において、水平テーブルに対して昇降自
在に設けた支持部材に光ファイバを支持させると共に、
該光ファイバから射出される光の進路を支持部材の昇降
に伴って連続して変更し、光ファイバから射出された光
を被測定物に常に照射させる光路変更手段を設けたこと
を特徴とする。
と光ファイバとの成す角度は連続して変化する。但し、
光ファイバを昇降させただけでは照射位置も連続して変
化するので光路変更手段により光を被測定物に常に照射
させるようにすれば被測定物に対する照射角度は光ファ
イバの昇降に伴って連続して変化することになる。
からの射出方向を常に被測定物に向くように回動させれ
ばよいが、昇降する支持部材に更に光ファイバを回動さ
せる回動機構を搭載させなければならず、機構が複雑に
なる。そこで、上記変更手段を、上記光ファイバと被測
定物との間に配置されたレンズと、支持部材の昇降に連
動して該レンズを支持部材に対して相対的に上下方向に
変位させる変位機構とから成るようにすれば、支持部材
とは別個に、支持部材を昇降させる機構と同様の機構を
用いてレンズを昇降させるだけで光を常に被測定物に照
射させることができる。
ドBに対して上方に所定間隔を存したまま紙面に対し直
角方向に移動自在なテーブルであり、該テーブル1に撮
像カメラ11と、パルスモータ23と、エンコーダ33
と、タイミングベルト4と、ボールねじ22、32とが
取り付けられている。撮像カメラ11は、パルスモータ
23及びエンコーダ33及びタイミングベルト4及びボ
ールねじ22、32と一体となって、テーブル1に対し
て図において左右方向に移動自在になっている。ベッド
B上には被測定物Wが載置されており、テーブル1の位
置及びテーブル1に対する撮像カメラ11の位置を制御
して撮像カメラ11を被測定物Wの上方に位置させ、被
測定物Wの測定を行う。該テーブル1には撮像カメラ1
1の視野を遮らないように中央部分が開放された環状の
リング板2が設けられている。該リング板2の下面には
等間隔を存して4個のシリンドリカルレンズ21が取り
付けられている。各シリンドリカルレンズ21の光軸は
ベッドBに対して約40度の角度で交わるように傾いて
保持されている。尚、該角度は約40度に限定されるも
のではなく、必要に応じてシリンドリカルレンズ21の
傾きを変更して任意の角度に設定し直してもよい。該リ
ング板2はボールねじ22を介してテーブル1に連結さ
れており、セルフロック機構を備えたパルスモータ23
が作動するとボールねじ22が回転してリング板2は上
下動し、任意の高さで停止させることができるように構
成されている。一方、同じく撮像カメラ11の視野を遮
らないように中央部分が開放され該開口部分の周囲に等
間隔を存して下方に延びる4本の脚状部を備えた投光部
3が設けられている。各脚状部の下端には投光窓31が
設けられており、各投光窓31は上記シリンドリカルレ
ンズ21に対峙する位相になるようにリング板2と投光
部3との位相決めがされている。該投光部3はボールね
じ32を介してテーブル1に連結されており、該ボール
ねじ32にはエンコーダ33が取り付けられている。該
ボールねじ32は上記ボールねじ22に対してタイミン
グベルト4により連結されており、ボールねじ22とボ
ールねじ32とは1つのパルスモータ23により所定の
回転数比で連動して回動する。従って、投光部3の移動
量とリング板2の移動量とは相違する。
ファイバユニット5と反射鏡51とが内蔵されている。
1つの光ファイバユニット5は複数本の光ファイバ52
を束ねたものであり、各光ファイバ52は図外の光源に
連結され、該光源からの光を光ファイバユニット5の下
端まで導く。該光ユニット5は例えば直径50μ程度の
約4000本の光ファイバを1mm×8mmの長方形の
枠内に束ねたものである。図2に示す状態では光ユニッ
ト5は長手方向が紙面直角方向に一致するように配置さ
れている。光ファイバユニット5の下端から射出された
光は反射鏡51で反射され、シリンドリカルレンズ21
の光軸に平行な40度の角度で投光窓31から投光さ
れ、シリンドリカルレンズ21に照射される。投光部3
とリング板2との上下方向の位置関係が、投光窓31が
シリンドリカルレンズ21の光軸上に位置するような関
係である場合には、反射鏡51で反射された光はシリン
ドリカルレンズ21の光軸に沿って進み、シリンドリカ
ルレンズ21で屈折されることなく40度の角度で被測
定物Wに照射される。パルスモータ23を作動させると
リング板2及び投光部3は共に上下動するが、投光部3
の上下動距離の方がリング板2の上下動距離より大きく
なるように設定されている。
させて投光部3を下降させて反射鏡が51Lに示す位置
まで下がるとシリンドリカルレンズ21の中心はCLに
示す位置まで下降している。すると反射鏡で反射された
光はシリンドリカルレンズ21に対して光軸より下側の
位置に照射されるので焦点Fを通るように屈折され被測
定物Wに対して15°の角度で照射される。一方、反射
鏡を51Uに示す位置まで上昇させるとシリンドリカル
レンズ21の中心はCUに示す位置まで上昇している。
すると反射鏡で反射された光は同じくシリンドリカルレ
ンズ21で屈折され焦点Fを通って被測定物Wに対し6
0°の角度で照射される。このように、反射鏡51を5
1Lに示す位置と51Uに示す位置との間で上下動させ
ることによりシリンドリカルレンズ21は中心がCLに
示す位置からCUに示す位置まで上下動し、反射鏡51
で反射された光は15°から60°の角度の間で連続し
て変化して被測定物Wに照射される。
22とボールねじ32との回転数比を一定にした。その
ため、図4にも示したが反射鏡51で反射された光は被
測定物Wに対して厳密に1点に照射されない。但し、反
射された光はある程度の広がりを有しており、厳密に1
点に照射させる必要は必ずしもなく、実用上問題はな
い。尚、厳密に1点に光を照射したい場合には、シリン
ドリカルレンズ21を単焦点レンズではなく多焦点の非
球面レンズにすればよく、あるいは、ボールねじ22と
ボールねじ32とを別個のパルスモータで制御するか、
または、両ボールねじを適宜のカムや楕円ギヤ等の公知
の連動手段によりで連結させればよい。
照射される光の角度をシリンドリカルレンズ21の光軸
に平行な40度にするため、光ファイバユニット5の下
端からの光を反射鏡51で反射させている。そのため、
光が反射鏡51で反射される際の反射損によって被測定
物Wに照射される光量が小さくなってしまう。そこで、
図5に示すように、光ファイバ52の下端からの光がシ
リンドリカルレンズ21の光軸と平行になるように光フ
ァイバユニット5を設置してもよい。この場合、光ファ
イバユニット5の下端からの光は反射鏡51を介さずに
直接シリンドリカルレンズ21に照射されるので、被測
定物Wに照射される光量が小さくなることはない。
状部と4つのシリンドリカルレンズ21とにより被測定
物Wに対して4方向から光を照射するようにしたが、脚
状部の数及びシリンドリカルレンズ21の数を増減する
ことにより照射方向を適宜増減してもよい。例えば投光
部3の脚状部の数を8本にするとともにシリンドリカル
レンズ21の数を8個にし、被測定物Wに対して8方向
から光を照射してもよい。また、各照射方向からの照度
は全て同じに設定してもよいが、被測定物Wの形状等に
応じて個別に調整することができるようにしてもよい。
の数を増やした投光部3を用いるかわりに、図6及び図
7に示すように、撮像カメラ11の視野を遮らないよう
に中央部分が開放された環状のリング板34と、下端に
投光窓31を有する円筒状の筒状部35とを備えた投光
部3´を用いてもよい。リング板34は上下に貫通する
孔を有し、その孔に複数本の光ファイバ52を束ねた状
態で挿通し、該光ファイバ52を筒状部35に導いてい
る。リング板34はボールねじ32を介してテーブル1
に連結されている。各光ファイバ52は図外の光源に連
結され、該光源からの光を光ファイバ52の下端まで導
く。各光ファイバ52の下端は、図8に示すように、上
記投光窓31のほぼ中央に、複数列で環状に配置されて
おり、該光ファイバ52から射出された光が被測定物W
に対して40度の角度で照射されるように固定されてい
る。この場合、図9に示すように、両端が所定の角度で
切断加工された複数のシリンドリカルレンズ21を、互
いに接するようにして略環状に配置することにより、光
ファイバ52の光をシリンドリカルレンズ21に漏れな
く照射できるようにした。また、シリンドリカルレンズ
21を略環状に配置する代わりに、図10に示すよう
に、上記シリンドリカルレンズ21の断面と同じ形状の
断面を有するリング状のレンズ24を用いてもよい。
は、被測定物に照射する光の照射角度を所定角度範囲で
連続して変更し得るので被測定物を上方から撮像して測
定する際に全く光が当たらず測定不能になる箇所や、暗
くなるため位置誤差が発生する箇所が生じない。また、
投光部及びレンズを被測定物に対して全方向に渡って設
けることで、さらに明るく、均一な照明を得ることがで
きる。
示す図
を示す底面図
Claims (2)
- 【請求項1】 光ファイバから射出される光を水平テ
ーブル上に載置された被測定物に対して複数の照射角度
で照射する照明装置において、水平テーブルに対して昇
降自在に設けた支持部材に光ファイバを支持させると共
に、該光ファイバから射出される光の進路を支持部材の
昇降に伴って連続して変更し、光ファイバから射出され
た光を被測定物に常に照射させる光路変更手段を設けた
ことを特徴とする照明装置。 - 【請求項2】 上記変更手段は、上記光ファイバと被
測定物との間に配置されたレンズと、支持部材の昇降に
連動して該レンズを支持部材に対して相対的に上下方向
に変位させる変位機構とから成ることを特徴とする請求
項1記載の照明装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000026374A JP2000292124A (ja) | 1999-02-03 | 2000-02-03 | 照明装置 |
CN 00125999 CN1203363C (zh) | 2000-02-03 | 2000-10-12 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11-26329 | 1999-02-03 | ||
JP2632999 | 1999-02-03 | ||
JP2000026374A JP2000292124A (ja) | 1999-02-03 | 2000-02-03 | 照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000292124A true JP2000292124A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=26364093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000026374A Pending JP2000292124A (ja) | 1999-02-03 | 2000-02-03 | 照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000292124A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006220427A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Omron Corp | 基板検査装置 |
CN1327288C (zh) * | 2001-07-25 | 2007-07-18 | 株式会社三丰 | 在成像系统视区内增强照明强度用的系统和方法 |
JP2008286716A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shimatec:Kk | Led照明装置 |
JP2018048969A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社 日立産業制御ソリューションズ | 撮像装置および照明装置 |
-
2000
- 2000-02-03 JP JP2000026374A patent/JP2000292124A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1327288C (zh) * | 2001-07-25 | 2007-07-18 | 株式会社三丰 | 在成像系统视区内增强照明强度用的系统和方法 |
JP2006220427A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Omron Corp | 基板検査装置 |
JP2008286716A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shimatec:Kk | Led照明装置 |
JP2018048969A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社 日立産業制御ソリューションズ | 撮像装置および照明装置 |
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Legal Events
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081111 |