KR100360450B1 - 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치 - Google Patents

수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크와 기판을 수직으로 위치시킨 상태에서 자외선 평행광을 조사시켜 패턴 형상 작업이 이루어지는 수직형 노광 장치에 관한 것으로서, 기판에 패턴을 형성할 수 있도록 패턴이 형성된 마스크를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더와; 챔버 내에 고정되어 상기 마스크 홀더의 변위를 조절하는 복수 개의 X축 및 Y축 정렬수단과; 상기 챔버 내에 고정되어 상기 마스크 홀더를 탄성력 있게 지지하는 복수 개의 탄성 지지수단으로 구성되고; 상기 X축 및 Y축 정렬수단은 상기 챔버내에 설치되어 상기 마스크 홀더에 X축, Y축 θz 방향으로의 이동력을 제공하는 직선운동 제공수단과; 상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 직선운동 제공수단의 이동력을 전달받는 종동수단과; 상기 직선운동 제공수단에 설치되어 상기 종동수단에 이동력을 전달하고, 상기 종동수단과의 접촉면이 수평 또는 수직 방향으로 직선을 이루도록 형성된 직선형 지지수단을 포함한 것을 특징으로 함으로써, 마스크의 정렬 작업이 신속하고 정확하게 이루어질 수 있도록 한 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치에 관한 것이다.

Description

수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치{Vertical facing type exposure apparatus}
본 발명은 자외선을 이용하여 기판 위에 패턴을 형성하는 노광 장치에 관한 것으로서, 특히 마스크의 정렬 작업이 신속하고 정확하게 이루어질 수 있도록 구성된 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치에 관한 것이다.
일반적으로 노광 장치는 PDP, S/M(Shadow Mask), PCB, C/F(Color Filter), LCD, 반도체 등을 제조하는 공정에서 사용되는 것으로서, 마스크와 조명계, 조정용 스테이지 및 자외선을 이용하여 기판에 패턴을 형성하는 장치이다.
도 1은 종래 기술의 노광장치가 도시된 구성도이다.
종래 기술의 노광 장치는 원하는 패턴이 형성되어 있는 마스크(1)를 고정하는 마스크 홀더(2)와, 상기 마스크 홀더(2)의 하부측에 위치되어 상부측에 기판(3)을 고정하는 기판 홀더(4)와, 상기 기판 홀더(4)의 하부에 연결되어 마스크(1)와 기판(3)의 틀어짐을 조정하는 조정 스테이지(5)와, 상기 마스크(1)의 상부에 자외선 평행광을 투사하는 광학계(6)와, 상기한 구성 요소들이 내장되어 외부와 차단되도록 하는 챔버(7)로 구성된다.
상기 광학계(6)는 자외선을 방출하는 수은 램프(6a) 및 집광 미러(6b)와, 상기 집광 미러(6b)에서 반사된 광의 진행방향을 변환시키는 콜드 미러(6c)와, 상기 콜드 미러(6c)에서 출사된 광의 조도분포를 균일하게 하는 플라이아이 렌즈(6d)와, 상기 플라이아이 렌즈(6d)로부터 입사된 광을 평행광으로 변환시켜 마스크(1)와 기판(3) 방향으로 출사시키는 콜리메이트 미러(6e)로 구성된다.
그리고 상기 플라이아이 렌즈(6d)의 앞쪽에는 자외선 팽행광을 조사하거나 차단할 수 있도록 셔터(6f)가 설치된다.
상기와 같이 구성된 종래 기술의 노광 장치는 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 세팅 한 다음, 기판(3)을 기판 홀더(4)에 반입하여 장착한다. 이후 조정 스테이지(5)를 상승시키면서 마스크(1)와 기판(3)의 평행도와 간격을 조정한다.
그리고, 조명계(6)의 셔터(6f)를 개방하여 자외선 팽행광을 조사하고, 원하는 양만큼 조사하면서 노광에 의한 패턴 형성 작업을 실시하고, 셔터(6f)를 닫는다. 이후, 상기 조정 스테이지(5)를 하강시킨 다음, 기판 홀더(4)로부터 패턴이 형성된 기판(3)을 분리하여 반출한다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술의 노광 장치는 마스크(1)와 기판(3)을 수평으로 위치시킨 상태에서 노광을 실시하도록 구성되어 있기 때문에 마스크(1)와 기판의 안정성에 있어서는 유리하나 도 2에 도시된 바와 같이 마스크(1)가 자중에 의해 중앙부가 상대적으로 처지는 현상이 발생되어 보다 고정도의 패턴 형성 공정을 실행하기 어려운 문제점이 발생되었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크와 기판 홀더가 수직으로 세워진 상태에서 노광에 의한 패턴 형성 작업을 실시할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크가 자중에 의한 처짐 현상을 방지하여 패턴 형성 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치를 제공하는 데 있다.
특히 본 발명은 기판에 대하여 마스크의 위치를 조정할 때 원하지 않게 X축 또는 Y축 방향으로 움직이는 것을 방지할 수 있도록 구성하여 마스크의 정렬 작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치를 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명은 챔버 내에 수직 방향으로 위치된 기판에 패턴을 형성할 수 있도록 패턴이 형성된 마스크를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더와; 상기 챔버내에 설치되어 상기 마스크 홀더에 X축, Y축 θz 방향으로의 이동력을 제공하는 직선운동 제공수단과, 상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 직선운동 제공수단의 이동력을 전달받는 종동수단과, 상기 직선운동 제공수단에 설치되어 상기 종동수단에 이동력을 전달하고 상기 종동수단과의 접촉면이 수평 또는 수직 방향으로 직선을 이루도록 형성된 직선형 지지수단을 포함하여 구성되고 상기 마스크 홀더를 지지하면서 X축(좌우), Y축(상하), θz(회전) 방향으로의 변위를 조절하는 복수개의 X축 및 Y축 정렬수단과; 상기 챔버 내에 고정되어 상기 X축 및 Y축 정렬수단에 대응하여 상기 마스크 홀더를 탄성력 있게 지지하는 복수개의 탄성 지지수단을 포함하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치에 있어서, 상기 직선운동 제공수단은 상기 챔버에 설치된 모터와; 상기 모터의 작동에 따라 직선 이동력을 제공하는 볼 스크류와; 상기 볼 스크류의 끝단부에 설치되어 직선 이동되고, 상기 직선형 지지수단이 고정되어 있는 이동체와; 상기 이동체와 챔버 사이에 설치되어 이동체의 직선 이동을 안내하는 직선운동 가이드로 구성된 것을 특징으로 한다.
도 1은 종래 기술의 노광 장치가 도시된 측면 구성도,
도 2는 종래 기술에서 마스크의 처짐 현상이 도시된 상태도,
도 3은 본 발명에 따른 마스크 정렬 장치가 구비된 수직형 노광장치의 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 노광 공간부가 도시된 단면 구성도,
도 5는 본 발명에 따른 마스크 정렬 장치가 도시된 정면도 및 측면도,
도 6은 도 5의 A-A, A'-A'선 방향의 단면도,
도 7은 본 발명에서 마스크 정렬 장치가 도시된 정면도,
도 8은 본 발명에서 마스크 정렬 장치가 도시된 정면도,
도 9는 본 발명의 마스크 정렬 장치와 비교하기 위한 참고도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
46 : 셔터 50 : 챔버
51 : 개방부 55 : 도어 기구
56 : 이송 안내기 60 : 마스크위치 정렬기구
61 : 마스크 홀더 70 : 기판위치 조정기구
71 : 기판 홀더 72 ; 기판 스테이지 프레임
73 : 중간 플레이트 74 : 기판 플레이트
75 : 전후 구동기구 76 : 변위 작동기구
80, 80' : X축, Y축 정렬기구 81, 81' : 모터
82, 82' : 볼 스크류 83, 83' : 직선운동 가이드
84, 84' : 직선형 네일 85, 85' : 종동 롤러
86, 86' : 이동체 90 : 탄성 지지기구
91 : 탄성 부재 93, 93' : 직선운동 가이드
94, 94' : 직선형 네일 95, 95' : 종동 롤러
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 마스크 정렬 장치가 구비된 수직 노광장치의 평면 구성도이다.
본 발명에 따른 노광 장치는 내부를 밀폐할 수 있도록 이루어진 챔버(50) 내에 구성되고, 상기 챔버(50) 내에는 노광을 실시할 기판(P)을 공급하거나 노광된 기판(P)을 배출하는 로딩 공간부(A)와, 상기 로딩 공간부(A)의 측면에 위치되어 기판(P)에 노광에 의한 패턴 형성 공정이 실시되는 노광 공간부(B)와, 상기 노광 공간부(B)의 전면에 위치되어 자외선 평행광이 조사되는 조사 공간부(C)와, 상기 조사 공간부(C)내에 광을 제공하는 광학 제공부(D)가 위치된다.
여기서 상기 광학 제공부(D) 및 조사 공간부(C)내에는 수은 램프(41) 및 집광 미러(42)와, 상기 집광 미러(42)에서 반사된 광의 진행방향을 변환시키는 콜드 미러(43)와, 상기 콜드 미러(43)에서 출사된 광의 조도분포를 균일하게 하는 플라이아이 렌즈(44)와, 상기 플라이아이 렌즈(44)로부터 입사된 광을 평행광으로 변환시켜 출사시키는 콜리메이트 미러(45)가 설치된다.
그리고 상기 챔버(50)는 노광 공간부(B)의 측면에 개방부(51)가 형성됨과 아울러 개방부(51)를 열고 닫을 수 있도록 도어 기구(55)가 구비되며, 상기 챔버(50)에는 상기 개방부(51)를 통해 기판위치 조정기구(70)가 노광 공간부(B)의 내외 방향으로 이동하면서 기판(P)을 교체하거나 패턴 형성 공정을 실시할 수 있도록 이송 안내기구(56)가 설치된다.
도 4는 본 발명에서 상기 노광 공간부(B) 내의 구성이 도시된 측면도이다.
상기 노광 공간부(B) 내에는 도 4에 도시된 바와 같이 원하는 패턴이 형성된 마스크(M)를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더(61)와, 상기 마스크 홀더(61)를 노광 공간부(B)내에 지지하는 동시에 마스크 홀더(61)의 위치를 조정하는 마스크위치 정렬기구(60)와, 상기 마스크 홀더(61)와 대향되게 수직 방향으로 위치되어 패턴 형성 작업이 이루어지도록 기판(P)을 고정하는 기판 홀더(71)와, 상기 기판 홀더(71)를 노광 공간부(B)내에 지지하는 동시에 기판 홀더(71)의 위치를 조정하는 기판위치 조정기구(70)로 구성된다.
상기 챔버(50)에는 상기 노광 공간부(B) 앞쪽에 자외선 평행광이 입사되도록 개구부(53)가 형성된 마스크 프레임(52)이 설치되어 도 3에서와 같이 조사공간부(C)와 노광 공간부(B)를 구획한다.
상기 기판위치 조정기구(70)는 상기 챔버(50) 내에서 직선 이동 가능하도록 설치되는 기판 스테이지 프레임(72)과, 상기 기판 스테이지 프레임(72)의 앞쪽에 전후 구동기구(75)를 통해 연결되어 전후 방향(Z축)으로의 이동이 가능하도록 설치된 중간 플레이트(73)와, 상기 중간 플레이트(73)의 앞쪽에 변위 작동기구(76)를 통해 연결되는 동시에 앞쪽에 상기 기판 홀더(71)가 설치되어 상기 기판 홀더(71)가 전후 방향(Z축) 및 회전 방향(θX,θY)으로 움직일 수 있도록 하는 기판 플레이트(74)로 구성된다.
도 5는 상기한 본 발명의 마스크위치 정렬기구가 도시된 정면도 및 측면도이고, 도 6은 도 5의 A-A, A'-A'선 단면도이다.
본 발명의 마스크위치 정렬기구(60)는 상기 마스크 프레임(52)에 고정되어 상기 마스크 홀더(61)의 하단부를 지지하면서 Y축 방향 및 θz 회전 방향으로의 변위를 조절할 수 있도록 두 개로 이루어진 Y축 정렬기구(80)와, 상기 마스크 프레임(52)에 고정되어 상기 마스크 홀더(61)의 좌측면에 접촉되면서 X축 방향으로의 변위를 조절할 수 있도록 된 X축 정렬기구(80')와, 상기 마스크 프레임(52)에 고정되어 상기 Y축 정렬기구(80)와 X축 정렬기구(80')에 대응하여 상기 마스크 홀더(61)의 상측면과 타측면을 탄성력 있게 지지하는 3개의 탄성 지지기구(90)로 구성된다.
즉, 상기 마스크위치 정렬기구(60)는 하나의 X축 정렬기구(80')와 두 개의 Y축 정렬기구(80)를 통해 마스크 홀더(61)에 고정되어 있는 마스크(M)를 X축, Y축, θz 로 3축 변위를 조정하면서 상기 기판(P)과의 위치를 정렬할 수 있도록 구성된다.
따라서 상기한 마스크(M)가 장착된 마스크 홀더(61)는 두 개의 Y축 정렬기구(80)에 의해 상하 방향(Y축)으로 이동이 가능해지고, 하나의 X축 정렬기구(80')에 의해 측방향(X축) 이동이 가능해진다. 그리고 두 개의 Y축 정렬기구(80)의 직선 이동을 다르게 할 경우 X-Y 평면상에서 Z축을 중심으로 회전(θz)하게 된다.
상기 Y축 정렬기구(80)와 X축 정렬기구(80')는 동일하게 구성되어 있는 바, 도 6을 참고하면, 마스크 프레임(52)의 고정부(52b)에 설치된 모터(81)(81')와, 상기 모터(81)(81')의 작동에 따라 직선 이동력을 제공하는 볼 스크류(82)(82')와, 상기 볼 스크류(82)(82')의 끝단부에 설치되어 직선 이동되는 이동체(86)(86')와, 상기 이동체(86)(86')와 마스크 프레임(52)에 설치되어 이동체(86)(86')의 직선 이동을 안내하는 직선운동 가이드(83)(83')와, 상기 이동체(86)(86')에서 마스크 홀더(61)측으로 돌출되어 마스크 홀더(61)의 위치를 조정할 수 있도록 설치된 직선형 네일(nail)(84)(84')과, 상기 마스크 홀더(61)측에 설치되어 상기 직선형 네일(84)(84')에 밀착되어 작동력을 전달받는 종동 롤러(85)(85')로 구성된다.
상기 직선형 네일(84)(84')은 상기 종동 롤러(85)(85')와 접촉하는 끝단부가 수직 또는 수평 방향으로 일정 길이만큼 직선형으로 형성됨과 아울러 날카로운 'V'자형 구조로 형성된다.
여기서 상기 Y축 정렬기구(80)에 구비되는 직선형 네일(84)은 그 끝단부가 수평 방향으로 형성되고, 상기 X축 정렬기구(80')에 구비되는 직선형 네일(84')은 수직 방향으로 형성된다.
이와 같이 직선형 네일(84)(84')의 끝단부가 수평 방향 또는 수직 방향으로 형성되는 이유는 도 7에서와 같이 마스크(M)가 장착된 마스크 홀더(61)가 θz 방향으로 움직일 때 원하지 않는 변화량이 발생되지 않도록 지지하기 위한 것이다.
즉, 도 9에서와 같이 상기한 종동 롤러(85)(85')과 같은 원형 지지기구(C)가 마스크 홀더(H)를 지지하게 된다면, 마스크 홀더(H)가 θz 방향으로 움직일 때 마스크 홀더(H)가 자중에 의해 기울어진 방향으로 움직일 수 있는 단점이 발생되는 것이다.
따라서, 상기 Y축 정렬기구(80)와 X축 정렬기구(80')에 구비되는 수평 직선형 네일(84)과 수직 직선형 네일(84')이 도 7과 도 8에서와 같이 수평 또는 수직 방향으로 형성되므로 도 9에서와 같이 원형상의 지지기구를 따라 원하지 않게 움직이는 현상을 방지할 수 있게 된다.
그리고, 상기 종동 롤러(85')는 원형 구조로 이루어지는 동시에 상기 직선형 네일의 끝단부가 삽입되어 접촉되도록 원주 방향으로 'V'형 홈이 형성된다.
이와 같은 상기 Y축 정렬기구(80)와 X축 정렬기구(80')는 상기 마스크 프레임(52)과 마스크 홀더(61) 사이에 위치되어 모터(81')의 작동에 따라 직선형 네일(84')이 직선 이동되면서 상기 종동 롤러(85')을 통해 마스크 홀더(61)의 위치를 조정하도록 구성되는 것이다.
상기 탄성 지지기구(90)는 하나의 X축 정렬기구(80')와 두 개의 Y축 정렬기구(80)에 대응할 수 있도록 하나의 X축탄성 지지기구(90')와 두 개의 Y축탄성 지지기구(90)로 이루어진다.
이와 같은 탄성 지지기구(90)(90')는 동일한 구성으로 이루어지는 바, 도 5를 참고하면, 상기 마스크 프레임(52)에 고정된 탄성 부재(91)(91')와, 상기 탄성 부재(91)(91')의 끝단부에 설치되는 직선형 네일(94)(94')과, 상기 마스크 프레임(52)과 직선형 네일(94)(94') 사이에 설치되어 직선형 네일(94)(94')의 직선 이동을 안내하는 직선운동 가이드(93)(93')와, 상기 마스크 홀더(61)측에 설치되어 상기 직선형 네일(84')에 밀착되어 탄성력을 전달받는 종동 롤러(95)(95')로 구성된다.
상기 직선형 네일(94)과 상기 종동 롤러(95)는 상기한 Y축 정렬기구(80)와 X축 정렬기구(80')의 직선형 네일(84) 및 종동 롤러(85)와 동일하게 형성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
노광 공간부(B) 내에 패턴을 형성할 기판(P)이 투입되면 마스크(M)와 기판(P)의 간격 및 위치를 상호 정렬해야 되는 바, 마스크의 위치 정렬을 위해 Y축 정렬기구(80) 및 X축 정렬기구(80')의 모터(81)(81')를 작동하여 마스크 홀더(61)를 X축, Y축, θz 방향으로 조정하고, 기판(P)의 위치를 정렬하기 위해 전후 구동기구(75)와 변위 작동기구(76)의 모터를 작동하여 기판 홀더(71)를 Z축, θX,θY방향으로 조정한다.
여기서, 상기 마스크(M)를 Y축 방향 정렬을 위해서는 두 개의 Y축 정렬기구(80)를 동시에 같은 변위로 구동하여 마스크 홀더(61)를 Y축 방향으로 이동시킨다.
그리고 상기 마스크(M)를 X축 방향 정렬을 위해서는 도 7에 도시된 바와 같이 X축 정렬기구(80')를 구동하여 마스크 홀더(61)를 X축 방향으로 이동시킨다.
또한, 상기 마스크(M)를 θz 방향으로 움직일 때는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 두 개의 Y축 정렬기구(80) 중 어느 하나만 구동하거나 서로 다른 작동 변위로 구동하여 마스크 홀더(61)를 θz 방향으로 이동시킨다.
여기서 상기 Y축 정렬기구(80)와 X축 정렬기구(80')에 수평 직선형 네일(84)과 수직 직선형 네일(84')이 각각 구비되어 있으므로 전술한 바와 같이 마스크 홀더(61)가 θz 방향으로 움직여서 경사지게 위치되어 있다 하더라도 원하지 않게 움직이는 현상을 방지할 수 있게 된다.
상기와 같이 하여 마스크(M)와 기판(P)의 위치 조정이 끝나면 도 3에서와 같이 광학 제공부(D)와 투사 공간부(C) 사이의 셔터(46)를 개방하여 자외선 평행광을 마스크(M)를 통해 기판(P)에 조사하면서 패턴 형성작업을 실시하고, 기판(P)의 패턴이 완성되면 셔터(46)를 닫아 자외선 평행광을 차단한 다음, 패턴이 형성된 기판을 노광 공간부(B)에서 빼낸다.
상기한 바와 같은 본 발명의 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치는 마스크와 기판 홀더가 수직으로 세워진 상태에서 노광에 의한 패턴 형성 작업을 실시할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있는 이점을 제공하게 된다.
특히 본 발명은 상기 X축 및 Y축 정렬기구를 통해 마스크의 위치를 보다 정확히 조정할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 정렬 작업이 용이해지고, 패턴 형성 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점을 제공하게 된다.

Claims (5)

  1. 챔버 내에 수직 방향으로 위치된 기판에 패턴을 형성할 수 있도록 패턴이 형성된 마스크를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더와; 상기 챔버내에 설치되어 상기 마스크 홀더에 X축, Y축 θz 방향으로의 이동력을 제공하는 직선운동 제공수단과, 상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 직선운동 제공수단의 이동력을 전달받는 종동수단과, 상기 직선운동 제공수단에 설치되어 상기 종동수단에 이동력을 전달하고 상기 종동수단과의 접촉면이 수평 또는 수직 방향으로 직선을 이루도록 형성된 직선형 지지수단을 포함하여 구성되고 상기 마스크 홀더를 지지하면서 X축(좌우), Y축(상하), θz(회전) 방향으로의 변위를 조절하는 복수개의 X축 및 Y축 정렬수단과; 상기 챔버 내에 고정되어 상기 X축 및 Y축 정렬수단에 대응하여 상기 마스크 홀더를 탄성력 있게 지지하는 복수개의 탄성 지지수단을 포함하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치에 있어서,
    상기 직선운동 제공수단은 상기 챔버에 설치된 모터와; 상기 모터의 작동에 따라 직선 이동력을 제공하는 볼 스크류와; 상기 볼 스크류의 끝단부에 설치되어 직선 이동되고, 상기 직선형 지지수단이 고정되어 있는 이동체와; 상기 이동체와 챔버 사이에 설치되어 이동체의 직선 이동을 안내하는 직선운동 가이드로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 직선형 지지수단은 그 끝단부의 형상이 상기 Y축 정렬수단에는 수평 방향으로 형성되고, 상기 X축 정렬수단에는 수직 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 지지수단은 상기 챔버 측에 고정된 탄성 부재와, 상기 마스크 홀더에 설치되고, 원형상으로 이루어진 종동수단과; 상기 탄성 부재에 설치되어 상기 종동수단에 탄성력을 제공하고, 상기 종동수단과의 접촉면이 수평 또는 수직 방향으로 직선을 이루도록 형성된 직선형 지지수단을 포함한 것을 특징으로 하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직선형 지지수단은 상기 종동수단과 접촉하는 끝단부가 'V'자 형상으로 형성되고, 상기 종동수단은 원형상으로 이루어지는 동시에 상기 직선형 지지수단의 끝단부가 삽입되어 접촉되도록 원주 방향으로 'V'형 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치.
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