KR100400461B1 - 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치 - Google Patents

수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치에 관한 것으로서, 특히 피작업물을 이송시키는 운반수단 및 수직 노광을 이루기 위해 피작업물을 수직으로 세우는 반전수단이 자동으로 구동됨으로써, 수작업으로 작업을 이루기 어려운 대형 패널 모양의 부재를 손쉽게 수직으로 반전시켜 노광 챔버에 공급할 수 있도록 한 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치는 수직 노광 공정을 행하는 노광 챔버에 피작업물을 수직한 방향으로 세워서 공급할 수 있도록 하는 로딩/언로딩 장치에 있어서, 상기 로딩/언로딩 장치는 베이스와, 상기 베이스 내측에 설치되어 피작업물을 이동시키는 이송장치와, 상기 이송장치에 의해 이동된 피작업물이 수직한 방향으로 세워질 수 있는 정확한 위치에 안착되도록 하는 X축 정렬장치 및 Y축 정렬장치와, 상기 정렬장치에 의해 안착된 피작업물을 수직 방향으로 세우는 반전장치가 포함되어 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치 {A loading/unloading apparatus for the vertical facing type exposure}
본 발명은 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치에 관한 것으로서, 특히 피작업물을 이송시키는 운반수단 및 수직 노광을 이루기 위해 피작업물을 수직으로 세우는 반전수단이 자동으로 구동됨으로써, 수작업으로 작업을 이루기 어려운 대형 패널 모양의 부재를 손쉽게 수직으로 반전시켜 노광 챔버에 공급할 수 있도록 한 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
일반적으로 노광공정은 PDP, S/M(Shadow Mask), PCB, C/F(Color Filter), LCD, 반도체 등을 제조하는 공정 중에 하나로서, 마스크와 조명계, 조정용 스테이지 및 자외선을 이용하여 기판에 패턴을 형성하도록 하는 공정이다.
이러한 노광 작업 중에 노광 공정을 이루는 피작업물이 수직 방향으로 유입되도록 하는 방법을 수직 노광 작업이라 하며, 수직 노광 작업을 이루기 위해서는 공급되는 판재의 피작업물을 수직으로 세우는 반전 작업이 필요하다.
종래 기술에 의한 수직 노광 장치는 피작업물을 받아 빛을 분사하는 노광 챔버와, 평행광을 형성하도록 하는 미러 챔버와, 빛을 생성하는 광원이 포함되어 구성되고, 상기 노광 챔버에 피작업물이 수직으로 세워져 이동되도록 하는 반전 작업은 작업자가 수동으로 피작업물을 홀더에 진공 흡착시키고, 피작업물이 고정된 스테이지를 노광 위치에 수동으로 이동시켜 작업을 행하였다.
이러한 공정에 의해 노광된 피작업물은 이후, 에칭공정이나 현상공정 등을 이루어 PDP, 섀도우 마스크 등의 디스플레이 제품으로 제조된다.
그러나, 종래의 수직 노광을 위한 로딩/언로딩 작업 방법은 작업자의 수작업으로 피작업물이 세워져 노광 챔버로 이동되기 때문에 피작업물이 대형화되면 수동으로 다루어지기 어려우며, 이에 따른 피작업물의 손실이 우려되며, 피작업물을 세우거나 눕히는 반전 작업에서 그 작업 효율이 저하되어 작업 시간 및 비용이 과다하게 소비되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 수직 노광 작업을 이루기 위해 노광 챔버로 이동되는 피작업물을 수직하게 세우는 반전수단이 설치됨으로써, 대형의 피작업물 까지도 손쉽게 반전 작업을 이룰 수 있어 반전 작업에 소요되는 시간 및 비용을 절감할 수 있도록 하는 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치의 평면도,
도 2는 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 X축 정렬 장치가 도시된 구성도,
도 3은 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 Y축 정렬 장치가 도시된 구성도,
도 4는 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 반전 장치가 도시된 구성도,
도 5는 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 작동도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
10 : 베이스 12 : 이동판
14 : 제 1 실린더 20 : 이송장치
22 : 이송롤러 30 : X축 정렬장치
32 : 센서 34 : 스크루
36 : 지지대 38 : X축 핑거
40 : Y축 정렬장치 41 : 구동모터
42 : 풀리 43 : 벨트
44 : 제 1 지지대 45 : 제 2 지지대
46 : Y축 핑거 50 : 반전장치
52 : 캐리어 54 : 진공장치
54a : 진공홀 54b : 진공 이젝터
54c : 진공밸브 56 : 추락 방지용 핑거
58 : 제 2 실린더
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 수직 노광 공정을 이루기 위한 로딩/언로딩 장치는 수직 노광 공정을 행하는 노광 챔버에 피작업물을 수직한 방향으로 세워서 공급할 수 있도록 하는 로딩/언로딩 장치에 있어서, 상기 로딩/언로딩 장치는 베이스와, 상기 베이스 내측에 설치되어 피작업물을 이동시키는 이송장치와, 상기 이송장치에 의해 이동된 피작업물이 수직한 방향으로 세워질 수 있는 정확한 위치에 안착되도록 하는 X축 정렬장치 및 Y축 정렬장치와, 상기 정렬장치에 의해 안착된 피작업물을 수직 방향으로 세우는 반전장치가 포함되어 이루어짐을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 일 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.]
도 1은 본 발명에 의한 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치가 도시된 평면도이다.
본 발명에 따른 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치는 피작업물의 이송이 이루어지는 베이스(10)와, 상기 베이스(10) 내부에 설치되어 피작업물을 수직 방향으로 세우기 위한 위치로 이동시키는 이송장치(20)와, 상기 이송장치(20)에 의해 공급된 피작업물을 이송 방향과 같은 방향(이하, X축 방향)으로 좌우 이동시키면서 반전 작업에 적당한 위치에 피작업물이 놓여지도록 하는 X축 정렬장치(30)와, 상기 이송장치(20)에 의해 공급된 피작업물을 이송 방향과 수직한 방향(이하, Y축 방향)으로 전후 이동시키면서 반전 작업이 적당한 위치에 피작업물이 놓여지도록하는 Y축 정렬장치(40)와, 상기 정렬장치(30,40)에 의해 적당한 위치에 놓인 피작업물을 수직 방향으로 세우는 반전장치(50)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스(10)의 내부에는 베이스(10) 내측에서 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동판(12)이 설치되고, 상기 이동판(12)에 이송장치(20)가 설치되며, 상기 이동판(12)의 하측에 설치되어 이동판(12)을 상하 방향으로 직선 운동시킴으로써, 이송장치(20)가 상기 반전장치(50)의 상측 방향의 내외측으로 이동되도록 하는 제 1 실린더(14)가 설치된다.
상기 이송장치(20)는 이동판(12)의 내벽에 설치되는 다수의 회전축에 고정되는 이송롤러(22)와, 상기 이송롤러(22)에 구동력을 제공하는 모터, 피작물의 이송 위치를 감지하여 상기 모터의 구동여부를 결정하는 센싱부를 포함하여 구성된다.
도 2는 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 X축 정렬 장치가 도시된 구성도이다.
상기 X축 정렬장치(30)는 상기 베이스(10) 내측에 설치되어 피작업물이 적당한 위치에 도달되었는지를 감지하는 센서(32)와, 상기 센서(32)에 의해 피작업물이 도달된 것이 감지되면 구동이 이루어지는 모터와, 상기 모터의 구동축에 연결되어 회전되는 스크루(34)와, 상기 스크루(34)에 연결되어 스크루(34)의 구동에 의해 전후 방향으로 이동되는 지지대(36)와, 상기 지지대(36)의 상측에 설치되어 피작동물을 파손되지 않게 완충하면서 X축 방향의 정렬을 이루는 X축 핑거(38)로 구성된다.
여기서, 상기 X축 핑거(38)는 피작동물이 맞닿아질 때 충격이 흡수되도록 롤러로 이루어진다.
도 3은 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 Y축 정렬 장치가 도시된 구성도이다.
상기 Y축 정렬장치(40)는 상기 X축 정렬장치(30)에서 기술된 센서(32)에서 피작업물이 감지되면 구동이 개시되는 모터와, 상기 모터의 구동에 의해 회전운동될 수 있도록 상기 이동판(12) 내측에 설치되는 한 쌍의 풀리(42)와, 상기 풀리(42)의 둘레면을 따라 유동되도록 설치되는 벨트(43)와, 타원을 그리며 유동되는 상기 벨트(43)의 상측에 설치되어 좌우 방향으로 이동되는 제 1 지지판(44)과, 상기 벨트(43)의 하측에 설치되어 상기 제 1 지지판(44)과 반대 방향으로 이동되는 제 2 지지판(45)과, 상기 제 1, 2 지지판(44,45)의 상면에 서로 대향되도록 다수개가 설치되어 피작업물의 좌우 방향의 위치를 결정하는 Y축 핑거(46)로 구성된다.
도 4는 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 반전 장치가 도시된 구성도이다.
상기 반전장치(50)는 상기 이송장치(20)의 상면에 위치되도록 상기 베이스(10)의 일 측면에 힌지 가능하게 설치되는 패널 모양의 캐리어(52)와, 상기 캐리어(52)를 구동시키는 모터와, 상기 캐리어(52)가 세워지면 피자업물이 노광 챔버 내로 이동되기 위한 작업대에 밀착될 수 있도록 상기 캐리어(52)를 일 방향으로 이동시키는 실린더(54)와, 상기 캐리어(52)에서 피작업물이 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 상기 캐리어(52)에 설치되는 진공장치(54) 및 추락 방지용 핑거(56)를 포함하여 이루어진다.
상기 캐리어(52)는 상기 이송장치(20)의 이송롤러(22)가 캐리어(52)의 상측으로 돌출되어 피작업물이 캐리어(52)의 상면과 일정 간격을 유지하면서 이송되도록 하기 위해 전면에 다수의 절개부위가 형성된다.
아울러, 상기 캐리어(52)는 반전 작업을 이룰 때 피작업물이 캐리어(52)에서 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 진공장치(54)가 설치되는 다수개의 진공홀(54a)이 형성됨으로써, 피작업물이 상기 캐리어(52)의 상면에 밀착되어지도록 한다.
상기 진공장치(54)는 벤츄리 작용에 의해 진공을 형성하는 진공 이젝터(54b)와, 상기 캐리어(52)의 진공홀(54a)과 진공 이젝터(54b)를 연결하여 진공을 전달하는 진공튜브(54c)를 포함하여 구성된다.
상기 추락 방지용 핑거(56)는 상기 캐리어(52)의 양측면에 서로 대향되도록 설치되고, 피작업물의 크기에 따라 대향되는 추락 방지용 핑거(56)의 거리가 조절될 수 있도록 이송벨트, 구동수단 등이 포함되어 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 의한 로딩/언로딩 장치의 작동도이다.
먼저, 전원이 인가되어 구동모터의 운전이 개시되면 피작업물이 상기 이송롤러(22)에 의해 로딩/언로딩 장치의 내부로 이송되고, 파작업물이 상기 센서(32)에 의해 감지되면 상기 X축 정렬장치(30)의 모터가 구동되면서 스크루(34)가 구동되어 지지대(36)가 전후 방향으로 이동되면서 피작업물의 X축 방향의 위치를 결정한다.
그리고, 상기 Y축 정렬장치(40)의 모터가 구동되어 상기 풀리(42)가 구동되므로 풀리(42)의 둘레면에 설치된 벨트(43)가 구동되면서 제 1, 2 지지대(44,45)가 서로 대향되는 거리가 짧아지도록 내측 방향으로 이동되면서 피작업물의 좌우 방향의 위치가 결정된다.
이후, 피작업물의 위치가 결정되면 상기 제 1 실린더(14)가 구동되어 이동판(12)을 하측으로 이동시킴으로써, 상기 이송롤러(22)가 캐리어(52)의 하측으로 이동되어 피작업물이 캐리어(52)의 상면에 밀착되어진다.
상기 캐리어(52)에 피작업물이 밀착되어진 것이 감지되면 상기 진공 이젝터(54b)가 구동되어 진공홀(54a)에 진공이 형성되면서 피작업물은 캐리어(52)에 압착되어지고, 추락 방지용 핑거(56)가 피작업물의 양측면에서 내측으로 이동되면서 피작업물을 구속한다.
이로써, 반전 작업에 필요한 준비 과정이 이루어지고, 반전장치(50)의 모터가 구동되면서 캐리어(52)가 힌지축을 중심으로 회전되면서 측 방향으로 세워진다.
그리고, 상기 제 2 실린더(58)가 구동되면서 상기 캐리어(52)는 노광 챔버로 피작업물을 공급하는 이송수단에 밀착되도록 이동되어진다.
이후, 상기된 작동이 역순으로 구동되면서 캐리어(52)에서 피작동물이 이탈되어지고, 이탈된 피작업물은 노광 챔버로 이동되어 노광공정을 이룬다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치는 피작업물을 자동으로 공급하는 이송장치 및 반전장치가 설치됨으로써, 다양한 크기의 피작업물을 수직 방향으로 세워 노광 챔버에 손쉽게 공급할 수 있어 수직 노광 작업을 이루기 위해 피작업물을 반전시키는 작업에 소요되는 시간 및 비용이 절감되며, 대형의 피작업물 또한 용이하게 반전작업을 이룰 수 있는 이점이 있다.

Claims (6)

  1. 베이스와; 상기 베이스 내측에 설치되어 피작업물을 이동시키는 이송장치와; 상기 이송장치에 의해 이동된 피작업물이 수직한 방향으로 세워질 수 있는 정확한 위치에 안착되도록 하는 X축 정렬장치 및 Y축 정렬장치와; 상기 정렬장치에 의해 안착된 피작업물을 수직 방향으로 세우는 반전장치가 포함되고;
    상기 X축 정렬장치는 상기 베이스 내측에 설치되어 피작업물이 상기 반전장치 내부에 위치되었는지 감지하는 센서와; 상기 센서에 의해 피작업물이 도달된 것이 감지되면 구동이 이루어지는 모터와; 상기 모터의 구동축에 연결되어 회전되는 스크루와; 상기 스크루에 연결되어 스크루의 구동에 의해 전후 방향으로 이동되는 지지대와; 상기 지지대의 상측에 설치되어 피작동물을 파손되지 않게 완충하면서 X축 방향의 정렬을 이루는 X축 핑거로 구성되고;
    상기 Y축 정렬장치는 상기 센서에서 피작업물이 감지되면 구동이 개시되는 모터와; 상기 모터의 구동에 의해 회전운동될 수 있도록 상기 베이스 내측에 설치되는 한 쌍의 풀리와; 상기 풀리의 둘레면을 따라 유동되도록 설치되는 벨트와; 상기 벨트의 상측에 설치되어 좌우 방향으로 이동되는 제 1 지지판과; 상기 벨트의 하측에 설치되어 상기 제 1 지지판과 반대 방향으로 이동되는 제 2 지지판과; 상기 제 1, 2 지지판의 상면에 서로 대향되도록 다수개가 설치되어 피작업물의 좌우 방향의 위치를 결정하는 Y축 핑거로 구성된 것을 특징으로 하는 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스의 상면에는 내부에 상기 이송장치가 설치되어 상기 베이스의 상면에서 상하 방향으로 유동 가능하게 설치되는 이동판과; 상기 이동판과 베이스 사이에 설치되어 제어신호에 따라 상기 이동판을 상승 및 하강시키는 제 1 실린더가 설치된 것을 특징으로 하는 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 반전장치는 상기 이송장치의 상면에 위치되도록 상기 베이스의 일 측면에 힌지 연결되는 패널 모양의 캐리어와; 상기 캐리어를 구동시키는 모터와; 상기 캐리어가 세워지면 피자업물이 노광 챔버 내로 이동되기 위한 작업대에 밀착될 수 있도록 상기 캐리어를 일 방향으로 이동시키는 제 2 실린더와; 상기 캐리어에서 피작업물이 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 상기 캐리어에 설치되는 진공장치 및 추락 방지용 핑거를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 이송장치가 상측으로 돌출될 수 있도록 하는 다수의 절개부위가 형성되고, 상기 진공장치가 연결되어 피작업물을 캐리어의 상면에 압착시킬 수 있도록 하는 다수개의 진공홀이 형성된 것을 특징으로 하는 수직 노광 작업을 위한 로딩/언로딩 장치.
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