KR20010046478A - 수직형 대면적 노광장치 - Google Patents

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KR20010046478A
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구자홍
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Abstract

본 발명은 자외선을 이용하여 기판 위에 패턴을 형성하는 노광 장치에 관한 것으로서, 특히 자외선 평행광이 입사되도록 전면이 개방되어 있는 노광 공간부가 형성된 챔버와; 상기 노광 공간부 내에 위치되어 패턴이 형성된 마스크를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더와; 상기 챔버의 노광 공간부 내에 설치되어 상기 마스크 홀더를 지지하는 동시에 마스크 홀더의 위치를 조정하는 마스크위치 조정수단과; 상기 노광 공간부 내에서 상기 마스크 홀더와 대향되게 수직 방향으로 위치되어 패턴이 형성되도록 기판을 고정하는 기판 홀더와; 상기 챔버의 노광 공간부 내에 설치되어 상기 기판 홀더를 지지하는 동시에 기판 홀더의 위치를 조정하는 기판위치 조정수단을 포함한 것을 특징으로 함으로써;
본 발명은 마스크와 기판을 수직으로 위치시킨 상태에서 패턴 형상 작업이 이루어지게 되므로 마스크의 처짐을 방지하여 보다 고정도의 패턴 형성 작업을 실시할 수 있게 되는 수직형 대면적 노광장치에 관한 것이다.

Description

수직형 대면적 노광장치{Vertical facing type exposure apparatus}
본 발명은 자외선을 이용하여 기판 위에 패턴을 형성하는 노광 장치에 관한 것으로서, 특히 원하는 패턴이 형성된 마스크와 패턴을 형성할 기판을 수직으로 위치시킨 상태에서 자외선 평행광에 의해 패턴 형상 작업이 이루어지도록 한 수직형 대면적 노광장치에 관한 것이다.
일반적으로 노광 장치는 PDP, S/M(Shadow Mask), PCB, C/F(Color Filter), LCD, 반도체 등을 제조하는 공정에서 사용되는 것으로서, 마스크와 조명계, 조정용 스테이지 및 자외선을 이용하여 기판에 패턴을 형성하는 장치이다.
도 1은 종래 기술의 수직형 대면적 노광장치가 도시된 구성도이다.
종래 기술의 노광 장치는 원하는 패턴이 형성되어 있는 마스크(1)를 고정하는 마스크 홀더(2)와, 상기 마스크 홀더(2)의 하부측에 위치되어 상부측에 기판(3)을 고정하는 기판 홀더(4)와, 상기 기판 홀더(4)의 하부에 연결되어 마스크(1)와 기판(3)의 틀어짐을 조정하는 조정 스테이지(5)와, 상기 마스크(1)의 상부에 자외선 평행광을 투사하는 광학계(6)와, 상기한 구성 요소들이 내장되어 외부와 차단되도록 하는 챔버(7)로 구성된다.
상기 광학계(6)는 자외선을 방출하는 수은 램프(6a) 및 집광 미러(6b)와, 상기 집광 미러(6b)에서 반사된 광의 진행방향을 변환시키는 콜드 미러(6c)와, 상기 콜드 미러(6c)에서 출사된 광의 조도분포를 균일하게 하는 플라이아이 렌즈(6d)와, 상기 플라이아이 렌즈(6d)로부터 입사된 광을 평행광으로 변환시켜 마스크(1)와 기판(3) 방향으로 출사시키는 콜리메이트 미러(6e)로 구성된다.
그리고 상기 플라이아이 렌즈(6d)의 앞쪽에는 자외선 팽행광을 조사하거나 차단할 수 있도록 셔터(6f)가 설치된다.
상기와 같이 구성된 종래 기술의 노광 장치는 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 세팅 한 다음, 기판(3)을 기판 홀더(4)에 반입하여 장착한다. 이후 조정 스테이지(5)를 상승시키면서 마스크(1)와 기판(3)의 평행도와 간격을 조정한다.
그리고, 조명계(6)의 셔터(6f)를 개방하여 자외선 팽행광을 조사하고, 원하는 양만큼 조사하면서 노광에 의한 패턴 형성 작업을 실시하고, 셔터(6f)를 닫는다. 이후, 상기 조정 스테이지(5)를 하강시킨 다음, 기판 홀더(4)로부터 패턴이 형성된 기판(3)을 분리하여 반출한다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술의 노광 장치는 마스크(1)와 기판(3)을 수평으로 위치시킨 상태에서 노광을 실시하도록 구성되어 있기 때문에 마스크(1)와 기판의 안정성에 있어서는 유리하나 도 2에 도시된 바와 같이 마스크(1)가 자중에 의해 중앙부가 상대적으로 처지는 현상이 발생되어 보다 고정도의 패턴 형성 공정을 실행하기 어려운 문제점이 발생되었다.
물론, 종래 기술과 같은 노광 장치는 제작하고자 하는 디스플레이 장치가 작아서 마스크(1)의 크기가 작거나 패턴의 형상이 고정도를 요구하지 않을 때는 크게 문제되지 않으나, 현재의 추세와 같이 대면적화되면서도 패턴의 정도가 고정도화될 때는 수평 방식의 노광 장치로는 보다 고정도화된 제품을 생산하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 노광에 의한 패턴 형성 작업시에는 마스크와 기판 홀더를 수직으로 세워서 진행하고, 착탈 및 반송 작업시에는 일정 각도 경사지게 위치시켜 진행할 수 있도록 구성함으로써 마스크가 자중에 의한 처짐 현상을 방지하여 패턴 형성 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 수직형 대면적 노광장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 종래 기술의 노광 장치가 도시된 측면 구성도,
도 2는 종래 기술에서 마스크의 처짐 현상이 도시된 상태도,
도 3은 본 발명에 따른 노광 장치가 도시된 평면 구성도,
도 4는 본 발명에서 노광 공간부 내의 구성이 도시된 측면도,
도 5는 본 발명에서 마스크위치 조정기구가 도시된 정면도 및 측면도,
도 6은 본 발명에서 마스크위치 조정기구의 작동 상태가 배면도,
도 7은 본 발명에서 기판위치 조정기구가 도시된 정면도,
도 8은 본 발명에서 기판위치 조정기구가 도시된 측면도,
도 9는 본 발명에서 기판 위치조정기구의 초기 작동 상태도,
도 10은 본 발명에서 기판위치 조정기구의 수직 작동 상태도,
도 11은 본 발명에서 기판위치 조정기구의 간격 조정 상태도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
A : 로딩 공간부 B : 노광 공간부
C : 투사 공간부 D : 광학 제공부
M : 마스크 P : 기판
46 : 셔터 50 : 챔버
51 : 개방부 55 : 도어 기구
56 : 이송 안내기구 57, 58 : 가이드 기구
59 : 주행 구동기구 60 : 마스크위치 조정기구
61 : 마스크 홀더 62 : 하부가변 지지기구
63 : 측면가변 지지기구 64, 65 : 탄성지지기구
70 ; 기판위치 조정기구 71 : 기판 홀더
72 ; 기판 스테이지 프레임 73 : 중간 플레이트
74 : 기판 플레이트 75 : 전후 구동기구
76 : 변위 작동기구 77 : 경사 실린더
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 수직형 대면적 노광장치는, 자외선 평행광이 입사되도록 전면이 개방되어 있는 노광 공간부가 형성된 챔버와; 상기 노광 공간부 내에 위치되어 패턴이 형성된 마스크를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더와; 상기 챔버의 노광 공간부 내에 설치되어 상기 마스크 홀더를 지지하는 동시에 마스크 홀더의 위치를 조정하는 마스크위치 조정수단과; 상기 노광 공간부 내에서 상기 마스크 홀더와 대향되게 수직 방향으로 위치되어 노광이 이루어지도록 기판을 고정하는 기판 홀더와; 상기 챔버의 노광 공간부 내에 설치되어 상기 기판 홀더를 지지하는 동시에 기판 홀더의 위치를 조정하는 기판위치 조정수단을 포함하고,
상기 기판 홀더는 그 상단부가 상기 기판위치 조정수단에 힌지로 연결되어 기판위치 조정수단측에 설치된 경사 실린더에 의해 경사지게 위치될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하여 가능하게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 수직형 대면적 노광장치가 도시된 평면 구성도이다.
본 발명의 노광 장치는 내부를 밀폐할 수 있도록 이루어진 챔버(50) 내에 구성되고, 상기 챔버(50) 내에는 노광을 실시할 기판(P)을 공급하거나 노광된 기판(P)을 배출하는 로딩 공간부(A)와, 상기 로딩 공간부(A)의 측면에 위치되어 기판(P)에 노광에 의한 패턴 형성 공정이 실시되는 노광 공간부(B)와, 상기 노광 공간부(B)의 전면에 위치되어 자외선 평행광이 조사되는 조사 공간부(C)와, 상기 조사 공간부(C)내에 광을 제공하는 광학 제공부(D)가 위치된다.
여기서 상기 광학 제공부(D) 및 조사 공간부(C)내에는 수은 램프(41) 및 집광 미러(42)와, 상기 집광 미러(42)에서 반사된 광의 진행방향을 변환시키는 콜드 미러(43)와, 상기 콜드 미러(43)에서 출사된 광의 조도분포를 균일하게 하는 플라이아이 렌즈(44)와, 상기 플라이아이 렌즈(44)로부터 입사된 광을 평행광으로 변환시켜 출사시키는 콜리메이트 미러(45)가 설치된다.
그리고 상기 챔버(50)는 노광 공간부의 측면에 개방부(51)가 형성됨과 아울러 개방부(51)를 열고 닫을 수 있도록 도어 기구(55)가 구비되며, 상기 챔버(50)에는 상기 개방부(51)를 통해 기판위치 조정기구(70)가 노광 공간부(B)의 내외 방향으로 이동하면서 기판(P)을 교체하거나 패턴 형성 공정을 실시할 수 있도록 이송 안내기구(56)가 설치된다.
도 4는 본 발명의 주요부인 상기 노광 공간부(B) 내의 구성이 도시된 측면도이다.
상기 노광 공간부(B) 내에는 도 4에 도시된 바와 같이 원하는 패턴이 형성된 마스크(M)를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더(61)와, 상기 마스크 홀더(61)를 노광 공간부(B)내에 지지하는 동시에 마스크 홀더(61)의 위치를 조정하는 마스크위치 조정기구(60)와, 상기 마스크 홀더(61)와 대향되게 수직 방향으로 위치되어 패턴 형성 작업이 이루어지도록 기판(P)을 고정하는 기판 홀더(71)와, 상기 기판 홀더(71)를 노광 공간부(B)내에 지지하는 동시에 기판 홀더(71)의 위치를 조정하는 기판위치 조정기구(70)로 구성된다.
상기 챔버(50)에는 상기 노광 공간부(B) 앞쪽에 자외선 평행광이 입사되도록 개구부(53)가 형성된 마스크 프레임(52)이 설치되어 도 3에서와 같이 조사 공간부(C)와 노광 공간부(B)를 구획한다.
도 5와 도 6은 상기 마스크위치 조정기구가 도시된 정면도, 측면도, 정면 작동 상태도이다.
상기한 마스크위치 조정기구(60)는 상기 마스크 프레임(52)에 고정되어 상기 마스크 홀더(61)의 하단부를 지지하면서 Y축 방향 및 θz 회전 방향으로의 변위를 조절할 수 있도록 두 개로 이루어진 하부가변 지지기구(62)와, 상기 마스크 프레임(52)에 고정되어 상기 마스크 홀더(61)의 좌측면에 접촉되면서 X축 방향으로의 변위를 조절할 수 있도록 된 측면가변 지지기구(63)와, 상기 마스크 프레임(52)에 고정되어 상기 하부가변 지지기구(62)와 측면가변 지지기구(63)에 대응하여 상기 마스크 홀더(61)의 상부와 타측면을 탄성력 있게 지지하는 복수 개의 탄성 지지기구(64)(65)로 구성된다.
즉, 상기 마스크위치 조정기구(60)는 마스크 홀더(61)에 고정되어 있는 마스크(M)를 X축, Y축, θz 로 3축 변위를 조정하면서 상기 기판(P)과의 위치를 정렬할 수 있도록 구성된다.
상기 하부가변 지지기구(62)와 측면가변 지지기구(63)는 상기 마스크 프레임(52)에 고정된 하부 모터(62a) 및 측면 모터(63a)와, 상기 모터(62a)(63a)에 볼 스크류 방식으로 연결되어 직선 이동되면서 마스크 홀더(61)의 하부와 측면을 지지하는 롤러(62b)(62b)로 구성된다.
상기 탄성 지지기구(64)(65)는 상기 상부탄성 지지기구(64)와 측면탄성 지지기구(65)로 나누어지는 바, 상부탄성 지지기구(64)는 상기 마스크 프레임(52)에 고정된 탄성 부재(64a)와, 상기 탄성 부재(64a)의 끝단부에 설치되어 상기 마스크 홀더에 밀착되는 롤러(64b)로 구성되고, 상기 측면탄성 지지기구(65)는 탄성 부재(65a)와, 접촉 부재(65b)로 이루어진다.
여기서 상기한 롤러(62b)(63b)(64b)들은 그 둘레면이 상기 마스크 홀더(61)의 외곽면을 안정되게 지지할 수 있도록 'V'형 캠 모양으로 형성된다.
따라서, 상기한 마스크가 장착된 마스크 홀더는 도 6에 도시된 바와 같이 두 개의 하부 모터에 의해 상하 방향(Y축)으로 이동이 가능해지고, 측면 모터에 의해 측방향(X축) 이동이 가능해진다. 그리고 하부 모터의 직선 이동을 다르게 할 경우 X-Y 평면상에서 Z축을 중심으로 회전(θz)하게 된다.
한편, 상기 하부가변 지지기구(62)와 측면가변 지지기구(63)가 본 실시 예에서는 모터 및 볼 스크류를 이용한 구성으로 되어 있으나 실시 조건에 따라 유압 또는 공압 실린더나 솔레노이드형 직선이동기구 등을 채용하여도 실시 가능하다.
도 7과 도 8은 상기 기판위치 조정기구(70)가 도시된 정면도 및 측면도이고, 도 9, 도 10, 도 11은 상기 기판위치 조정기구(70)의 작동 상태가 도시된 도면들이다.
상기한 기판위치 조정기구(70)는 상기 챔버(50) 내에서 직선 이동 가능하도록 설치되는 기판 스테이지 프레임(72)과, 상기 기판 스테이지 프레임(72)의 앞쪽에 전후 구동기구(75)를 통해 연결되어 전후 방향(Z축)으로의 이동이 가능하도록 설치된 중간 플레이트(73)와, 상기 중간 플레이트(73)의 앞쪽에 변위 작동기구(76)를 통해 연결되는 동시에 앞쪽에 상기 기판 홀더(71)가 설치되어 상기 기판 홀더(71)가 전후 방향(Z축) 및 회전 방향(θX,θY)으로 움직일 수 있도록 하는 기판 플레이트(74)로 구성된다.
즉, 상기 기판위치 조정기구(70)는 패턴을 형성할 기판(P)을 로딩 공간부와 노광 공간부로 이동시킬 수 있도록 됨과 동시에 기판이 고정된 기판 홀더를 Z축, θX,θY로 3방 변위를 조정하면서 상기 마스크(M)와의 간격 및 위치를 정렬할 수 있도록 구성된다.
특히 상기 기판 홀더(71)는 그 상단부가 기판위치 조정기구(70)의 기판 플레이트(74)에 힌지(71a)로 연결되어 도 9에서와 같이 기판(P)을 기판 홀더(71)에 장착하거나 탈거할 때 경사 실린더(77)에 의해 80°~ 85°정도 경사지게 위치될 수 있도록 구성되고, 상기 경사 실린더(77)는 상기 기판 홀더(71)와 볼 조인트(77a)로 연결된다.
상기 전후 구동기구(75)는 상기 기판 스테이지 프레임(72)에 고정되어 직선 이동력을 제공하는 제1 모터(75a)와, 상기 중간 플레이트(73)의 뒷면에 결합되어 상기 제1 모터(75a)에 볼 스크류 방식으로 연결되는 볼 조인트(75b)로 구성된다.
상기 변위 작동기구(76)는 상기 중간 플레이트(73)에 설치된 제2 모터(76a)와, 상기 기판 플레이트(74)의 뒷면에 결합되어 상기 제2 모터(76a)에 볼 스크류 방식으로 연결되는 볼 조인트(75b)로 구성된다.
여기서, 상기 변위 작동기구(76)는 도 7에서와 같이 상기 기판 플레이트(74)의 상부 좌우측과 하부 좌우측에 4개가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 전후 구동기구(75)와 변위 작동기구(76)도 본 실시 예에서는 모터에 의해 볼 스크류가 작동되도록 구성되어 있으나 실시 조건에 따라 실린더 및 솔레노이드 작동기구를 사용하여도 무방할 것이다.
한편, 상기 챔버(50) 내에는 상기한 바와 같은 기판위치 조정기구(70)를 직선 이동시키기 위해 이송 안내 기구(56)가 설치되는 바, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 상기 이송 안내기구(56)는 상기 챔버(50)의 천장면과 바닥면에 설치되어 상기 기판 스테이지 프레임(72)의 직선 이동을 안내하는 가이드 기구(57,58)와, 상기 챔버(50)내에 설치되어 상기 기판 스테이지 프레임(72)을 직선 이동시키는 주행 구동기구(59)로 구성된다.
여기서 상기 주행 구동기구(59)는 주행 모터와, 이 주행 모터의 풀리와 로딩 공간부의 풀리에 연결되어 회전되는 타이밍 벨트(미도시 됨)와, 이 타이밍 벨트에 치합되어 기판 스테이지 프레임을 이동토록 하는 프레임 기어(미도시 됨)로 구성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 수직형 대면적 노광장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
패턴을 형성하고자 하는 기판(P)을 기판 홀더(71)에 로딩하기 위해서 기판위치 조정기구(70)를 로딩 공간부(A)에 위치시킨다. 이때, 전후 구동기구(75)와 변위 작동기구(76)의 모터에 의해 중간 플레이트(73)와 기판 플레이트(74)는 모두 후진한 상태로 있게 되고, 경사 실린더(77)의 작동에 의해 기판 홀더(71)가 도 9에 도시된 바와 같이 약 80°~ 85°로 경사지게 위치된다.
여기서, 상기 기판 홀더(71)를 경사지게 위치시키는 이유는 기판(P)을 기판홀더(71)에 장착하거나 탈거할 때 수직 위치로는 불안정하기 때문에 경사지게 위치시켜 기판(P)을 보다 안전하게 이송하고, 탈장착하기 위한 것이다.
상기와 같이 기판 홀더(71)가 경사지게 위치된 상태에서 기판(P)을 기판 홀더(71)에 올려놓으면 기판(P)이 진공 흡착력에 의해 기판 홀더(71)에 밀착된 상태로 고정되고, 이렇게 기판이 고정되면 경사 실린더(77)가 작동하여 도 10과 같이 기판 홀더(71)를 수직으로 세운다.
이후 도 3의 주행 구동기구(59)가 작동되면 기판 스테이지 프레임(72)이 가이드 기구(57)(58)를 따라 노광 공간부(B) 내로 진입하게 된다.
상기와 같이 하여 노광 공간부(B) 내에 패턴을 형성할 기판(P)이 투입되면 마스크(M)와 기판(P)의 간격 및 위치를 조정해야 되는 바, 도 11에서와 같이 하부가변 지지기구(62) 및 측면가변 지지기구(63)의 모터를 작동하여 마스크 홀더(61)를 X축, Y축, θz 방향으로 조정하고, 전후 구동기구(75)와 변위 작동기구(76)의 모터를 작동하여 기판 홀더(71)를 Z축, θX,θY방향으로 조정하면서 마스크(M)와 기판(P) 사이의 간격과 평행 정렬 위치를 조정한다.
마스크(M)와 기판(P)의 위치 조정이 끝나면 도 3에서와 같이 광학 제공부(D)와 투사 공간부(C) 사이의 셔터(46)를 개방하여 자외선 평행광을 마스크(M)를 통해 기판(P)에 조사하면서 패턴 형성작업을 실시하고, 기판(P)의 패턴이 완성되면 셔터(46)를 닫아 자외선 평행광을 차단한다.
이후 전후 구동기구(75)와 변위 작동기구(76)의 모터를 작동시켜 중간 플레이트(73)와 기판 플레이트(74)를 후진시킨 다음, 가이드 기구(57,58)를 따라 노광 공간부(B)에서 로딩 공간부(A)로 이동시킨 후, 기판 홀더(71)를 경사지게 위치시키고, 패턴이 형성된 기판(P)을 기판 홀더(71)로부터 분리한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 수직형 대면적 노광장치는 마스크와 기판을 수직으로 세운 상태에서 간격 및 위치를 조정하면서 기판위에 패턴을 형성할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 처짐 현상이 방지되어 고정도의 패턴 형성 작업을 실시할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 기판 장착시와 탈거시에 기판 홀더를 일정 각도 경사지게 위치시킬 수 있도록 구성되어 있기 때문에 기판 탈장착에도 안전성을 유지할 수 있는 이점도 있다.

Claims (12)

  1. 자외선 평행광이 입사되도록 전면이 개방되어 있는 노광 공간부가 형성된 챔버와; 상기 노광 공간부 내에 위치되어 패턴이 형성된 마스크를 수직 방향으로 고정하는 마스크 홀더와; 상기 챔버의 노광 공간부 내에 설치되어 상기 마스크 홀더를 지지하는 동시에 마스크 홀더의 위치를 조정하는 마스크위치 조정수단과; 상기 노광 공간부 내에서 상기 마스크 홀더와 대향되게 수직 방향으로 위치되어 패턴이 형성되도록 기판을 고정하는 기판 홀더와; 상기 챔버의 노광 공간부 내에 설치되어 상기 기판 홀더를 지지하는 동시에 기판 홀더의 위치를 조정하는 기판위치 조정수단을 포함한 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버에는 상기 노광 공간부 앞쪽에 자외선 평행광이 입사되도록 개구부가 형성된 마스크 프레임이 설치되고;
    상기 마스크위치 조정수단은 상기 마스크 프레임에 고정되어 상기 마스크 홀더의 하단부를 지지하면서 상하(Y축) 및 회전(θz) 방향으로의 변위를 조절할 수 있도록 복수 개로 이루어진 하부가변 지지수단과, 상기 마스크 프레임에 고정되어 상기 마스크 홀더의 일측면에 접촉되면서 좌우 방향(X축)으로의 변위를 조절할 수 있도록 된 측면가변 지지수단과, 상기 마스크 프레임에 고정되어 상기 하부가변 지지수단과 측면가변 지지수단에 대응하여 상기 마스크 홀더의 상부와 타측면을 탄성력 있게 지지하는 복수 개의 탄성 지지수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 하부가변 지지수단과 측면가변 지지수단은 상기 마스크 프레임에 고정된 모터와, 상기 모터에 볼 스크류 방식으로 연결되어 직선 이동되면서 마스크 홀더의 하부와 측면을 지지하는 롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 탄성 지지수단은 상기 마스크 프레임에 고정된 탄성 부재와, 상기 탄성 부재의 끝단부에 설치되어 상기 마스크 홀더에 밀착되는 롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 롤러는 그 둘레면이 상기 마스크 홀더의 외곽면을 안정되게 지지할 수 있도록 'V'형 캠 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판위치 조정수단은 상기 챔버 내에서 직선 이동 가능하도록 설치되는 기판 스테이지 프레임과; 상기 기판 스테이지 프레임의 앞쪽에 전후 구동수단을 통해 연결되어 전후 방향(Z축)으로의 이동이 가능하도록 설치된 중간 플레이트와; 상기 중간 플레이트의 앞쪽에 변위 작동수단을 통해 연결되는 동시에 앞쪽에 상기 기판 홀더가 설치되어 상기 기판 홀더가 전후 방향(Z축) 및 회전 방향(θX,θY)으로 움직일 수 있도록 하는 기판 플레이트로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 전후 구동수단은 상기 기판 스테이지 프레임에 고정된 제1 모터와, 상기 중간 플레이트의 뒷면에 결합되어 상기 제1 모터에 볼 스크류 방식으로 연결되는 볼 조인트로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 변위 작동수단은 상기 중간 플레이트에 고정된 제2 모터와, 상기 기판 플레이트의 뒷면에 결합되어 상기 제2 모터에 볼 스크류 방식으로 연결되는 볼 조인트로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  9. 제 6 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 변위 작동수단은 상기 기판 플레이트의 상부 좌우측과 하부 좌우측에 4개가 설치된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  10. 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 기판 홀더는 그 상단부가 상기 기판위치 조정수단에 힌지로 연결되어 기판위치 조정수단측에 설치된 경사 실린더에 의해 경사지게 위치될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  11. 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 챔버는 그 측면에 개방부가 형성됨과 아울러 개방부를 열고 닫을 수 있도록 도어 수단이 구비되며,
    상기 챔버에는 상기 개방부를 통해 상기 기판위치 조정수단이 노광 공간부의 내외 방향으로 이동하면서 기판을 교체하거나 기판에 패턴을 형성할 수 있도록 이송 안내수단이 설치된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 이송 안내수단은 상기 챔버의 천장면과 바닥면에 설치되어 상기 기판 스테이지 프레임의 직선 이동을 안내하는 가이드 수단과, 상기 챔버 내에 설치되어 상기 기판 스테이지 프레임을 직선 이동시키는 주행 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 대면적 노광장치.
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