KR20210148755A

KR20210148755A - Uv led를 이용한 중대형 노광기

Info

Publication number: KR20210148755A
Application number: KR1020200066065A
Authority: KR
Inventors: 김종은
Original assignee: 삼일테크(주)
Priority date: 2020-06-01
Filing date: 2020-06-01
Publication date: 2021-12-08
Also published as: KR102424899B1

Abstract

본 발명은 일측 노광부와 타측 교체부를 형성하는 프레임부, 양측 수평프레임의 길이방향으로 구비되되 서로 다른 높이로 배열된 제1 레일부와 제2 레일부와 제3 레일부를 구비한 본체; 상기 제1 레일부에 설치되어 상기 노광부를 왕복 이동하고, 방열판에 구비되는 다수개의 UV LED 소자와, 각 소자를 개별적으로 덮는 렌즈와, 각 렌즈가 수용되며 소정 깊이로 관통하여 형성된 가이드홀을 구비한 광 가이드를 포함한 광원부를 구비한 노광유닛; 및 상기 제2 레일부와 제3 레일부에 각각 설치되어 상기 교체부와 노광부 사이를 왕복 이동하며, 기판 안착부를 구비한 한 쌍의 트레이;를 포함하여, 일정 영역 전체에 균질의 빛이 조사되게 하는 평행광 형성해 노광 품질을 높이면서, 필요에 따라 빛의 밝기를 자유롭게 조절 가능하며, 2개의 트레이를 이용한 연속 작업을 통해 기판 교체에 따른 작업 로스를 줄여 생산성을 높일 수 있는 UV LED를 이용한 중대형 노광기에 관한 것이다.

Description

UV LED를 이용한 중대형 노광기 {Lithography apparatus}

본 발명은 일측 노광부와 타측 교체부를 형성하는 프레임부, 양측 수평프레임의 길이방향으로 구비되되 서로 다른 높이로 배열된 제1 레일부와 제2 레일부와 제3 레일부를 구비한 본체; 상기 제1 레일부에 설치되어 상기 노광부를 왕복 이동하고, 방열판에 구비되는 다수개의 UV LED 소자와, 각 소자를 개별적으로 덮는 렌즈와, 각 렌즈가 수용되며 소정 깊이로 관통하여 형성된 가이드홀을 구비한 광 가이드를 포함한 광원부를 구비한 노광유닛; 및 상기 제2 레일부와 제3 레일부에 각각 설치되어 상기 교체부와 노광부 사이를 왕복 이동하며, 기판 안착부를 구비한 한 쌍의 트레이;를 포함하여, 일정 영역 전체에 균질의 빛이 조사되게 하는 평행광을 형성해 노광 품질을 높이면서, 필요에 따라 빛의 밝기를 자유롭게 조절 가능하며, 2개의 트레이를 이용한 연속 작업을 통해 기판 교체에 따른 작업 로스를 줄여 생산성을 높일 수 있는 UV LED를 이용한 중대형 노광기에 관한 것이다.

일반적으로 노광기는 빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅 또는 도포된 시료 위에 원하는 패턴이 형성된 마스크를 올려놓고 자외선을 비추어 감광막에 원하는 패턴을 전사시키는 장치로 현대에는 반도체 등의 회로기판(PCB)이 필요한 제조 라인에 카메라와 같이 포토마스크에 빛을 비추어 기판에 패턴 회로를 인쇄하는 장비로 사용되고 있다.

등록특허 제10-1869318호에 개시된 종래의 노광기는 개폐 가능한 상, 하판 사이에 마스크와 기판이 안착된 캐리지가 가이드레일을 따라 왕복 이동하게 구비되며, 본체 내부에 자외선램프가 구비되어 있다.

상기 등록특허와 같은 종래의 노광기는 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 일반적인 형광등 타입의 자외선램프를 사용하기 때문에 일정 영역 전체에 빛을 균일하게 조사하기 어렵고, 따라서 램프와 캐리지 사이의 거리(각도)에 따라 빛의 강도 등이 달라져, 사이즈가 큰 중대형의 기판을 노광할 때 기판 전체의 노광 품질을 균일하게 확보할 수 없고,

두 번째, 형광등 타입의 자외선램프를 사용하기 때문에, 밝기 조절이 불가능하고,

세 번째, 하나의 캐리지가 왕복 이송되어, 노광 및 기판의 교체 작업이 반복됨에 따라, 기판 교체 작업 시간만큼 작업 로스가 발생하여, 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,

균질의 빛을 일정 영역에 조사하여 평행광을 형성하게 하면서, 필요에 따라 빛의 밝기 조절이 가능하도록, UV LED 소자를 이용한 광원부를 채택하고,

기판 교체에 따른 작업 로스를 줄여 생산성을 향상시킬 수 있도록, 2개의 트레이로 노광 및 교체 작업이 연속적으로 반복할 수 있고,

서로 다른 높이의 트레이에 대하여 광원부의 높이를 일정하게 조정하는 것은 물론, 일정 높이에서도 광도값을 다양하게 조절할 수 있고,

기판을 안전하게 정위치로 진공 흡착하면서, 기판에 대한 양면 노광 작업이 가능하도록, 각 트레이에 실린더로 자동 개폐되는 도어가 설치되면서, 트레이와 도어 모두에 투광창이 구비되며, 상, 하부에 2개의 광원부가 설치되어 있는 UV LED를 이용한 중대형 노광기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기는,

일측 노광부와 타측 교체부를 형성하는 프레임부, 양측 수평프레임의 길이방향으로 구비되되 서로 다른 높이로 배열된 제1 레일부와 제2 레일부와 제3 레일부를 구비한 본체;

상기 제1 레일부에 설치되어 상기 노광부를 왕복 이동하고, 방열판에 구비되는 다수개의 UV LED 소자와, 각 소자를 개별적으로 덮는 렌즈와, 각 렌즈가 수용되며 소정 깊이로 관통하여 형성된 가이드홀을 구비한 광 가이드를 포함한 광원부를 구비한 노광유닛; 및

상기 제2 레일부와 제3 레일부에 각각 설치되어 상기 교체부와 노광부 사이를 왕복 이동하며, 기판 안착부를 구비한 한 쌍의 트레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기는,

상기 노광유닛은 상기 광원부의 높이를 조정하는 높이 조정수단을 포함하여, 상기 노광부로 이동한 각 트레이의 높이에 맞춰 광원부의 높이를 일정하게 조정할 수 있는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기에서,

상기 트레이는 상기 기판 안착부의 상면 개구부를 개폐하며 투광창이 구비된 도어를 포함하되,

상기 도어는 상기 트레이의 일단부에 힌지 결합되어 여닫이 방식으로 개폐되며,

도어 개폐수단은 양측단이 상기 트레이와 도어에 각각 힌지 결합되어 상기 트레이에 대하여 상하로 회동 가능한 승강바, 피스톤의 일측단이 상기 승강바에 힌지 결합되고 바디의 타측단이 상기 트레이에 힌지 결합되어 상하 회동 가능한 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.

아울러 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기에서,

상기 트레이는 바닥면에 투광창이 구비되고,

상기 노광유닛은 상기 노광부의 상, 하로 구비된 한 쌍의 광원부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기는,

개별 렌즈 및 광가이드를 도입해, 다수개의 UV LED 소자에서 발산되는 UV LED를 개별 제어하여 균일하게 확산 및 가이드시켜 평행광을 형성함으로써, 노광 영역 전체에 균질의 빛을 조사하여 사이즈가 큰 중대형 기판의 노광 시 기판 전체의 노광 품질을 균일하게 할 수 있으며, 필요에 따라 빛의 밝기를 자유롭게 조절할 수 있고,

2개의 트레이를 도입해, 한 개의 트레이를 노광 작업할 때 다른 트레이는 기판의 교체 작업이 가능하여, 기판 교체에 따른 작업 로스를 줄여서 생산성을 높일 수 있고,

상, 하층의 각 트레이 높이에 맞춰 광원부의 높이가 자동으로 조정되어, 각 트레이에 대한 노광 품질을 균일하게 할 수 있고,

자동 개폐되는 도어를 통해 기판의 교체 작업이 편리하면서, 트레이 내부를 진공 흡착 상태로 만들어 기판이 정위치에서 틀어지는 것을 방지할 수 있으며,

노광부의 상, 하부에 각각의 광원부가 구비됨에 따라 필요 시 기판의 양면에 대한 동시 노광이 가능해지는 효과가 있다.

도 1a, 도 1b는 본 발명에 따른 노광기의 사시도.
도 2a, 도 2b는 본 발명에 따른 노광기의 단면도.
도 3a 내지 도 3i는 본 발명에 따른 노광기의 작동을 단계적으로 도시한 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 도어 잠금수단을 설명하기 위한 단면도.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

각 도면에서 동일한 참조부호, 특히 십의 자리 및 일의 자리 수, 또는 십의 자리, 일의 자리 및 알파벳이 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 기능을 갖는 부재를 나타내고, 특별한 언급이 없을 경우 도면의 각 참조부호가 지칭하는 부재는 이러한 기준에 준하는 부재로 파악하면 된다.

또 각 도면에서 구성요소들은 이해의 편의 등을 고려하여 크기나 두께를 과장되게 크거나(또는 두껍게) 작게(또는 얇게) 표현하거나, 단순화하여 표현하고 있으나 이에 의하여 본 발명의 보호범위가 제한적으로 해석되어서는 안 된다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.

본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기를 설명함에 있어 편의를 위하여 엄밀하지 않은 대략의 방향 기준을 도 1a를 참고하여 특정하면, 중력이 작용하는 방향을 하측으로 하여 보이는 방향 그대로 상하좌우를 정하고, 다른 도면과 관련된 발명의 상세한 설명 및 청구범위에서도 다른 특별한 언급이 없는 한 이 기준에 따라 방향을 특정하여 기술한다.

이하에서는 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

본 발명에 따른 UV LED를 이용한 중대형 노광기는 도 1a 내지 도 3i에 도시된 바와 같이 크게, 노광유닛(20)과 트레이(30A)(30B)들이 설치되는 본체(10), 노광 작업을 실시하는 노광유닛(20), 기판의 이송을 담당하는 트레이(30A)(30B)를 포함한다.

상기 본체(10)는 일측 노광부(11A)와 타측 교체부(11B)를 형성하는 양측 프레임부(11), 양측 수평프레임의 길이방향으로 구비되되 서로 다른 높이로 배열된 제1 레일부(12)와 제2 레일부(13)와 제3 레일부(14)를 포함한다.

참고로 상기 노광부(11A)와 교체부(11B)는 노광 작업 유무에 따른 편의적 구분으로 실제 기계 구조상으로 서로 분리되어 있는 것이 아니다.

상기 제1 내지 제3 레일부(12)(13)(14)는 본체(10)의 좌우 양측 프레임부(11) 내측에 구비되는데,

구체적으로 상기 제1 레일부(12)는 최상층, 최하층 높이로써, 좌우 양측 수평프레임 각각의 내측면에 노광부(11A) 영역 내의 길이를 갖게 구비되고,

상기 제2 레일부(13)는 중간 상층 높이로써, 베이스의 상판 상면에 노광부(11A)와 교체부(11B) 전체 영역 내의 길이를 갖게 구비되고,

상기 제3 레일부(14)는 중간 하층 높이로써, 베이스의 바닥판 상면에 노광부(11A)와 교체부(11B) 전체 영역 내의 길이를 갖게 구비되어,

각 제1 레일부(12)에 노광유닛(20)의 상, 하부 이동 수직프레임(24)이 슬라이딩 결합되고, 상기 제2, 제3 레일부(13)(14)는 각 트레이(30A)(30B)가 슬라이딩 결합된다.

결과적으로 1개의 노광유닛(20)(2개의 광원부(23A)(23B))과 2개의 트레이(30A)(30B)가, 총 4개 층의 장입 구조로 이동 중 서로 간섭이 발생하지 않는다.

한편 상기 본체(10)의 일측 프레임부(11)에는 모터를 통해 양방향으로 회전하는 이송벨트(15)가 노광부(11A)와 교체부(11B) 사이의 길이를 갖게 설치되어, 상층의 제1 트레이(30A)가 이송벨트(15)의 상측부 연결되고, 하층의 제2 트레이(30B)가 이송벨트(15)의 하측부에 연결되어, 이송벨트(15)의 회전 방향에 따라 2개의 트레이(30A)(30B)가 동시에 전후진 작동한다.

또한 양측 프레임부(11)의 상부 수평프레임 상면과 하부 수평프레임 하면에는 모터의 회전력을 직선운동으로 전환시키는 볼 스크류(16)가 설치되어, 노광유닛(20)의 상, 하부 이동 수직프레임(24)이 상, 하부 볼 스크류(16)에 각각 연결되어 노광유닛(20)이 전후진한다.

다음으로 본 발명의 핵심 중 하나로써, 상기 노광유닛(20)은 상기 제1 레일부(12)에 설치되어 상기 노광부(11A)를 왕복 이동하고, 방열판(21)에 구비되는 다수개의 UV LED 소자(미도시)와, 각 소자를 개별적으로 덮는 렌즈(미도시)와, 각 렌즈가 수용되며 소정 깊이로 관통하여 형성된 가이드홀(22a)을 구비한 광 가이드(22)를 포함한 광원부(23A)(23B)를 구비한다.

상기 방열판(21)은 일면에 다수개의 UV LED 소자가 장착되며, 소자별로 반구형 렌즈가 1:1 대응하게 덮어서 결합된다.

그리고 상기 광 가이드(22)는 상기 방열판(21)의 길이에 대응하는 바(bar) 타입의 부재로써 각 렌즈가 끼워질 수 있도록 다수개의 가이드홀(22a)이 상, 하면을 관통하여 형성되어 있다.

따라서 UV LED 소자에서 발산되는 빛은 상기 렌즈를 통해 확산되는데, 이때 확산된 빛이 가이드홀(22a) 내부를 지나면서 렌즈를 통해 평행광으로 바뀌어 가이드홀(22a) 외부로 조사되어, 가이드홀(22a) 주변의 빛이 모두 균일해지고, 결과적으로 가이드홀(22a)들이 형성된 광 가이드(22) 외측의 일정 영역은 균질의 빛이 조사되는 평행광을 형성함으로써, 기판 전체의 노광 품질을 균일하게 유질할 수 있다.

뿐만 아니라 본 발명은 종래의 형광등형 자외선램프가 아닌 UV LED 소자를 채택하고, UV LED 소자의 광도를 개별제어 할 수 있는 컨트롤부를 구비해, 필요에 따라 빛의 밝기를 다르게 조정할 수 있음은 물론, 빛의 반복(또는 패턴형) 점멸, 점멸 중 발광 시간 조정, 램프별 점등 유무, 램프별 색상, 램프별 밝기 등, UV LED 소자별로 개별 제어가 가능해진다.

특히 본 발명의 노광유닛(20)은 상기 노광부(11A)의 상, 하로 구비된 한 쌍의 광원부(23A)(23B)를 포함하여, 기판의 양면에 대한 노광 작업을 동시에 실시할 수 있다.

나아가 상기 노광유닛(20)은 상기 광원부(23A)(23B)의 높이를 조정하는 높이 조정수단을 포함하여, 상기 노광부(11A)로 이동한 각 트레이(30A)(30B)의 높이에 맞춰 광원부(23A)(23B)의 높이를 일정하게 조정할 수 있다.

즉, 상층의 제1 트레이(30A)가 노광부(11A)로 이동했을 때와, 하층의 제2 트레이(30B)가 노광부(11A)로 이동했을 때의 각 기판 높이가 다르므로, 광원부(23A)(23B)의 높이 조절을 통해, 트레이(30A)(30B)에 상관없이 빛의 조사 높이가 모두 동일하게 하여 노광 품질을 균일하게 맞출 수 있다.

광원부(23A)(23B)의 높이 조절수단으로써, 양측 각 이동 수직프레임(24)에 수직 레일 및 볼 스크류가 내부 장착되어 있다.

다음으로 상기 트레이(30A)(30B)는 노광 전 기판의 로딩, 노광 후 기판의 언로딩 및 기판을 노광부(11A) 위치로 이송시키는 것으로,

본 발명의 또 다른 핵심 중 하나로써, 상기 제2 레일부(13)와 제3 레일부(14)에 각각 설치되어 상기 교체부(11B)와 노광부(11A) 사이를 왕복 이동하며, 기판 안착부를 구비한 한 쌍의 트레이(30A)(30B)로 구성된다.

상층의 제1 트레이(30A)와 하층의 제2 트레이(30B)는 모두 동일한 사양으로,

먼저 앞서 설명한 바와 같이, 상층의 제1 트레이(30A)는 이송벨트(15)의 상측부 일측단에 연결되어 있고, 하층의 제2 트레이(30B)는 이송벨트(15)의 하측부 타측단에 연결되어 있어, 이송벨트(15)가 양방향 회전함에 따라, 제1 트레이(30A)가 일방향으로 전진할 때 제2 트레이(30B)가 타방향으로 후진하여, 트레이(30A)(30B)별 전후진이 동시에 이루어진다.

그리고 각 트레이(30A)(30B)는 바닥면에 빛의 투사가 가능한 투광창을 구비해, 하부의 제2 광원부(23B)를 통한 기판의 하면 노광을 가능하게 한다.

또한 상기 트레이(30A)(30B)는 상기 기판 안착부의 상면 개구부를 개폐하며 투광창이 구비된 도어(31)를 포함하되,

상기 도어(31)는 상기 트레이(30A)(30B)의 일단부에 힌지 결합되어 여닫이 방식으로 개폐되며,

도어 개폐수단은 양측단이 상기 트레이(30A)(30B)와 도어(31)에 각각 힌지 결합되어 상기 트레이(30A)(30B)에 대하여 상하로 회동 가능한 승강바(32), 피스톤(33a)의 일측단이 상기 승강바(32)에 힌지 결합되고 바디의 타측단이 상기 트레이(30A)(30B)에 힌지 결합되어 상하 회동 가능한 실린더(33)를 포함한다.

상기 승강바(32) 및 실린더(33)는 트레이(30A)(30B)의 양 측부에 각각 구비된다.

그리고 상기 실린더(33)의 피스톤(33a)이 바디 내부로 인입되면 상기 승강바(32)가 하향 회동하면서 도어(31)가 트레이(30A)(30B)에 닫혀지면서 내부를 밀폐하고,

상기 실린더(33)의 피스톤(33a)이 바디 외부로 인출되면 상기 승강바(32)가 상향 회동하면서 도어(31)가 트레이(30A)(30B)에서 개방된다.

아울러 상기 트레이(30A)(30B)는 기판을 고정시키는 진공 흡착수단(미도시)을 더 포함한다.

상기 진공 흡착수단은 트레이(30A)(30B)의 내측에 안착부를 형성하는 지지바를 따라 구비된 흡착공들과, 상기 흡착공들에 마이너스 압력을 걸어줄 수 있는 컴프레서로 구성되어, 기판을 안착시킨 후 도어(31)가 밀폐되면 진공 흡착수단이 작동해 기판을 진공 흡착하여 이동 중 기판이 움직이지 않고 고정되고, 노광 작업이 완료된 후 도어(31)가 개방되기 전 흡착공들의 진공을 풀어서 도어 개방 후 작업자가 작업 완료된 기판을 배출할 수 있게 한다.

이러한 구성의 본 발명은 앞서 설명한 바와 같이 UV LED를 이용하여 종래의 노광기에 비해 기판 전체의 노광 품질을 향상시킬 수 있으며, 특히 사이즈가 큰 중대형의 기판이라도 기판 전체 면적에 대한 노광품질을 균일하게 할 수 있다.

또한 도 3a 내지 도 3i에 도시된 바와 같이, 하나의 트레이(30A)(30B)에 대한 노광 작업 중, 교체부(11B)로 이송된 다른 트레이(30A)(30B)에 기판의 교체작업을 실시할 수 있어, 기판의 이송 및 교체 등에 따른 작업 로스를 줄일 수 있으며, 뿐만 아니라 기판의 양면에 대한 동시 노광 작업이 가능해져 종래에 비해 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.

한편 본 발명의 트레이(30A)(30B)는 상기 실린더(33)의 작동으로 도어(31)가 자동 개폐되는데, 이때 트레이(30A)(30B)와 도어(31) 사이에 별도의 잠금수단이 구비되어 도어(31)의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.

이에 본 발명은 도어(31)의 잠금 및 개방이 편리한 집게형 고정유닛(H)을 도입하였다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 집게형 고정유닛(H)은 트레이(30A)(30B)의 외측면에 결합된 안착블록(H1)과, 상기 도어(31)에서 상기 안착블록(H1)과 대응하는 위치에 구비되며 상기 안착블록(H1) 내에 인입되는 인입블록(H2) 및 상기 안착블록(H1) 내에 구비되어 상기 인입블록(H2)의 일부를 고정하여 상기 인입블록(H2)이 이탈되지 않게 하는 탄성집게부재(H3)를 포함한다.

상기 안착블록(H1)은 박스 형상으로, 내측에 삽입홈부(H11)가 형성되고, 상기 삽입홈부(H11)의 상면측이 개구되어, 상기 인입블록(H2)이 상기 안착블록(H1)의 상부에서 삽입홈부(H11)로 끼움결합 될 수 있다.

상기 인입블록(H2)은 상기 삽입홈부(H11)를 통하여 내삽될 수 있는 블록 형상으로, 양측에 측홈부(H21)가 형성되어 탄성집게발(H31)이 변위 될 수 있는 공간을 확보하고 있다.

그리고 상기 인입블록(H2)은 상측 제1 몸체(H22) 및 하측 제2 몸체(H23)로 구성되며, 이들을 상호 전후방향으로 연결하는 기둥부(H25)가 형성되어 있어, 상기 기둥부(H25) 양측에 측홈부(H21)가 형성된 구조이다.

아울러 상기 기둥부(H25)에는 상기 측홈부(H21) 방향으로 돌출된 걸림몸체(H27)가 더 구비되며, 상기 걸림몸체(H27)의 단부에는 상기 걸림몸체(H27)보다 더 크게 직경이 형성되는 걸림플랜지(H28)가 구비되어, 상기 걸림몸체(H27)의 테두리에 걸림홈부(H29)를 형성할 수 있도록 구성된다.

여기서 상기 걸림몸체(H27) 및 상기 걸림플랜지(H28)는 원통형 또는 정육면체 형상으로 이루어져 후술하는 탄성집게부재(H3)가 상기 걸림몸체(H27)의 둘레방향으로 고정될 수 있도록 이루어진다.

다시 상기 안착블록(H1)의 삽입홈부(H11) 양측에는 서로 대칭 형상으로 구비되는 탄성집게부재(H3)가 더 구비되게 된다.

상기 한 쌍의 탄성집게부재(H3)는 서로 동일한 형상으로 이루어지는 것으로,

탄성력을 갖는 판형의 탄성집게발(H31)이 서로 교차되어 '+' 형상을 이루며, 교차점(H32)에 푸쉬바(H35)가 결합된다.

우선, 상기 탄성집게발(H31)은 탄성력에 의해 곡선형을 유지할 수 있는 재질로, 평상시에는 볼록부(H33)가 상기 안착블록(H1)의 중앙부를 향하도록 이루어진다.

보다 정확하게는 상기 볼록부(H33)가 상기 인입블록(H2)이 통과하는 경로를 침범할 수 있도록 이루어지며, 상기 볼록부(H33)가 양측으로 벌어지면 상기 탄성집게발(H31)이 평탄해지는 형상으로 변형되다가 사점을 지나면 반대방향으로 휘어지는 특성을 갖는다.

아울러, 상기 탄성집게발(H31)의 단부에는 절곡 형성된 걸림턱돌기(H311)가 더 구비되어 있으며, 상기 안착블록(H1)의 양측에는 푸쉬바(H35)가 인출될 수 있는 인출홈(H13)이 형성되어 있다.

따라서 도어(31)가 개방된 상태에서, 상기 안착블록(H1)의 양측에 구비되는 탄성집게부재(H3)는 볼록부(H33)가 안쪽을 향하도록 휘어진 상태로 유지되며, 이때 상기 탄성집게부재(H3)의 휘어지는 정도를 제한하기 위하여 상기 안착블록(H1)의 내측에는 상기 탄성집게부재(H3)를 지지하는 스토퍼(H15)가 더 구비되어 있다.

아울러 상기 푸쉬바(H35)의 단부에는 푸쉬손잡이(H36)가 상기 안착블록(H1) 외측으로 노출되도록 더 구비되어 있으며, 이는 상기 탄성집게부재(H3)가 상기 안착블록(H1)으로부터 분리되는 것을 방지하는 역할도 한다.

그리고 상기 도어(31)가 실린더(33)에 의해 닫히면서, 상기 인입블록(H2)이 상기 삽입홈부(H11)로 삽입되면, 상기 하측 제2 몸체(H23)가 선진입하여 상기 탄성집게부재(H3)의 볼록부(H33)를 양측방향으로 밀며, 상기 볼록부(H33)가 밀어지면 상기 푸쉬바(H35)가 안착블록(H1) 외측으로 더 돌출되게 되면서, 상기 탄성집게부재(H3)가 사점을 통과하여 반대방향으로 휘어지는 탄성력을 갖게 된다.

이 경우 상기 탄성집게부재(H3)가 사점을 보다 손쉽게 통과하기 위하여, 돌출된 푸쉬손잡이(H36)가 바깥쪽으로 더 당겨지게 할 수 있다.

그리고 사점을 통과한 탄성집게부재(H3)는 반대방향으로 휘어지며, 상기 인입블록(H2)에 구비되는 걸림몸체(H27)의 걸림플랜지(H28)를 감싸게 되어, 상기 걸림홈부(H29)에 상기 걸림턱돌기(H311)가 안착되면서 고정된다.

즉, 상기 탄성집게부재(H3)가 상기 걸림몸체(H27)의 전방향에서 고정함에 따라 상기 인입블록(H2)의 이탈을 방지하여 상기 도어(31)가 트레이(30A)(30B)에 잠긴다.

반대로 상기 도어(31)가 개방될 때에는, 우선 상기 탄성집게부재(H3)를 벌리기 위하여 상기 실린더(33)와 연동하는 개방부재가 상기 푸쉬손잡이(H36)를 눌러 탄성집게부재(H3)가 사점을 통과하여 반대방향으로 휘어지고, 실린더(33)에 의해 도어(31)가 열릴 때 상기 안착블록(H1)이 빠지면서 도어(31)가 개방되며, 인입블록(H2)이 빠지면 상기 탄성집게부재(H3)의 탄성력에 의해 본래의 형상으로 원위치 되어 추후 인입블록(H2)을 다시 결합할 수 있는 상태가 된다.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 UV LED를 이용한 중대형 노광기를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능하고, 이러한 수정, 변경 및 치환은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 본체 11A : 노광부
11B : 교체부 11 : 프레임부
12 ~ 14 : 레일부 15 : 이송벨트
16 : 볼 스크류
20 : 노광유닛 21 : 방열판
22 : 광 가이드 23A, 23B : 노광부
24 : 이동 수직프레임 30A, 30B : 트레이
31 : 도어 32 : 승강바
33 : 실린더

Claims

일측 노광부와 타측 교체부를 형성하는 프레임부, 양측 수평프레임의 길이방향으로 구비되되 서로 다른 높이로 배열된 제1 레일부와 제2 레일부와 제3 레일부를 구비한 본체;
상기 제1 레일부에 설치되어 상기 노광부를 왕복 이동하고, 방열판에 구비되는 다수개의 UV LED 소자, 각 소자를 개별적으로 덮는 렌즈와, 각 렌즈가 수용되며 소정 깊이로 관통하여 형성된 가이드홀을 구비한 광 가이드를 포함한 광원부를 구비한 노광유닛; 및
상기 제2 레일부와 제3 레일부에 각각 설치되어 상기 교체부와 노광부 사이를 왕복 이동하며, 기판 안착부를 구비한 한 쌍의 트레이;를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV LED를 이용한 중대형 노광기.
제 1 항에 있어서,
상기 노광유닛은 상기 광원부의 높이를 조정하는 높이 조정수단을 포함하여, 상기 노광부로 이동한 각 트레이의 높이에 맞춰 광원부의 높이를 일정하게 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 UV LED를 이용한 중대형 노광기.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 트레이는 상기 기판 안착부의 상면 개구부를 개폐하며 투광창이 구비된 도어를 포함하되,
상기 도어는 상기 트레이의 일단부에 힌지 결합되어 여닫이 방식으로 개폐되며,
도어 개폐수단은 양측단이 상기 트레이와 도어에 각각 힌지 결합되어 상기 트레이에 대하여 상하로 회동 가능한 승강바, 피스톤의 일측단이 상기 승강바에 힌지 결합되고 바디의 타측단이 상기 트레이에 힌지 결합되어 상하 회동 가능한 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV LED를 이용한 중대형 노광기.
제 3 항에 있어서,
상기 트레이는 바닥면에 투광창이 구비되고,
상기 노광유닛은 상기 노광부의 상, 하로 구비된 한 쌍의 광원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV LED를 이용한 중대형 노광기.