KR101510156B1 - 리드프레임 제조용 노광장치 - Google Patents

리드프레임 제조용 노광장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유리재질로 구성된 제1 및 제2 마스크(21,22)의 처짐에 따른 오차가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 새로운 구조의 리드프레임 제조용 노광장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)가 상하방향으로 연장되도록 구비되며, 상기 동판(1)은 중간부가 상기 본체(10)에 구비된 가이드로울러(41,42,43,44)의 둘레면을 경유하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하도록 배치된다.
따라서, 유리패널로 구성된 제1 및 제2 마스크(21,22)가 자중에 의해 하측으로 처져서, 상기 조명수단(30)을 이용하여 빛을 조사하여 동판(1)의 양측면에 코팅된 감광필름을 감광시킬 때 오차가 발생되고, 이에 따라 최종적으로 생산되는 리드프레임에 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

Description

리드프레임 제조용 노광장치{light exposure apparatus for manufacturing lead frame}
본 발명은 유리재질로 구성된 제1 및 제2 마스크의 처짐에 따른 오차가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 새로운 구조의 리드프레임 제조용 노광장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 패키지의 제작에 사용되는 리드프레임은, 리드프레임의 재료가 되는 동판의 양면에 감광필름을 부착 또는 코팅하는 코팅단계와, 노광장치를 이용하여 상기 감광필름에 일정한 패턴을 감광시키는 감광단계와, 양면이 감광된 동판을 애칭하는 애칭단계 등을 거쳐 제작된다.
도 1은 이와 같이 양면에 감광필름이 코팅된 동판의 양면을 감광시키는 노광장치의 일반적인 예를 도시한 것으로, 양면에 감광필름이 코팅된 동판(1)의 경로의 중간부에 배치되는 본체(10)와, 상기 본체(10)에 상기 동판(1)의 양면에 근접되도록 구비되는 제1 및 제2 마스크(21,22)와, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 통해 상기 동판(1)의 양면에 빛을 조사하여 상기 동판(1)에 코팅된 감광필름이 감광되도록 하는 조명수단(30)으로 구성된다.
이때, 상기 동판(1)은 길이가 긴 스트립형태로 구성되며, 상기 본체(10)의 전후방에는 양면에 감광필름이 코팅된 동판(1)이 권취된 언와인더(2)와, 상기 언와인더(2)에서 풀려 나온 동판(1)을 권취하는 리와인더(3)가 구비되어, 상기 언와인더(2)에서 풀려 나온 동판(1)이 수평방향으로 연장되어 상기 본체(10)를 통과한 후 상기 리와인더(3)에 권취되도록 구성된다.
상기 제1 및 제2 마스크(21,22)는 강도가 높은 유리패널에 상기 리드프레임에 대응되는 패턴이 형성된 것으로, 둘레면에 결합된 도시 안된 지지프레임에 의해 수평방향으로 연장된 상태로 상기 동판(1)의 상하면에 근접되도록 상기 본체(10)에 고정된다.
상기 조명수단(30)은 빛을 조사하는 램프유닛(31)과, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 상하측에 위치되도록 구비되어 상기 램프유닛(31)에서 조사된 빛을 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 향해 반사하는 반사판(32)으로 구성된다.
이때, 상기 반사판(32)은 반사면이 오목하게 구성되어, 상기 램프유닛(31)에서 조사된 확산광이 상기 반사판(32)의 반사면에 반사되면서 평행광으로 변환되어 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 통해 상기 동판(1)에 조사되도록 한다.
따라서, 상기 조명수단(30)을 이용하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)로 빛을 조사하면, 상기 동판(1)의 양측면에 코팅된 감광필름이 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)에 형성된 패턴대로 감광되며, 후공정인 애칭과정에서 감광필름이 감광되지 않은 부분의 동판(1)이 제거됨으로써, 정확한 형태의 리드프레임을 제작할 수 있다.
이러한 리드프레임 제조방법 및 이를 위한 노광장치의 구조는 등록특허 10-0329397호를 비롯한 다수의 선행문건에 자세히 나타나 있음으로, 더 이상 자세한 설명은 생략한다.
한편, 이러한 노광장치는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)가 둘레면에 결합된 지지프레임에 의해 상기 동판(1)의 상하면에 수평방향으로 연장되도록 구비됨으로, 제1 및 제2 마스크(21,22) 자체의 무게에 의해 제1 및 제2 마스크(21,22)의 중앙부가 하측으로 처지게 된다.
그런데, 이와 같이 제1 및 제2 마스크(21,22)의 중간부가 하측으로 처지게 되면, 제1 및 제2 마스크(21,22)에 형성된 패턴이 변형됨으로, 상기 조명수단(30)을 이용하여 빛을 조사하여 동판(1)의 양측면에 코팅된 감광필름을 감광시킬 때 오차가 발생되고, 이에 따라 최종적으로 생산되는 리드프레임에 불량이 발생되는 문제점이 있었다.
따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 방법이 필요하게 되었다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유리재질로 구성된 제1 및 제2 마스크의 처짐에 따른 오차가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 새로운 구조의 리드프레임 제조용 노광장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 양면에 감광필름이 코팅된 동판(1)의 이송경로의 중간부에 구비된 본체(10)와, 상기 본체(10)에 상기 동판(1)의 양면에 근접되도록 구비되는 제1 및 제2 마스크(21,22)와, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 통해 상기 동판(1)의 양면에 빛을 조사하여 상기 동판(1)에 코팅된 감광필름이 감광되도록 하는 조명수단(30)을 포함하는 리드프레임 제조용 노광장치에 있어서, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)는 상하방향으로 연장되도록 구비되며, 상기 동판(1)은 중간부가 상기 본체(10)에 구비된 가이드로울러(41,42,43,44)의 둘레면을 경유하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하도록 배치된 것을 특징으로 하는 리드프레임 제조용 노광장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 본체(10)에 구비되며 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 지지하는 마스크지지유닛(50)을 더 포함하며, 상기 마스크지지유닛(50)은 상기 본체(10)에 구비되며 상기 제1 마스크(21)가 고정되는 지지프레임(51)과, 상기 지지프레임(51)에 구비되며 상기 제2 마스크(22)에 연결되어 상기 제2 마스크(22)와 제1 마스크(21)의 간격을 조절하는 간격조절수단(52)과, 상하방향으로 연장된 동판(1)의 전방 또는 후방에 위치되며 액츄에이터(53a)에 의해 전후진되어 상기 동판(1)의 중간부와 제1 마스크(21)의 간격을 조절하는 간격조절로울러(53)를 포함하는 것은 특징으로 하는 리드프레임 제조용 노광장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 본체(10)에 구비되어 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이의 공간부를 통과한 동판(1)을 당겨 후방으로 이송하는 이송유닛(60)을 더 포함하며, 상기 이송유닛(60)은 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 동판(1)의 경로상에 상기 동판(1)의 연장방향과 평행하게 배치된 가이드레일(61)과, 상기 가이드레일(61)에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 동판(1)에 선택적으로 결합되는 홀더(62)와, 상기 홀더(62)에 연결되어 상기 홀더(62)가 가이드레일(61)을 따라 전후진되도록 하는 전후진구동수단(63)을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드프레임 제조용 노광장치가 제공된다.
본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)가 상하방향으로 연장되도록 구비되며, 상기 동판(1)은 중간부가 상기 본체(10)에 구비된 가이드로울러(41,42,43,44)의 둘레면을 경유하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하도록 배치된다.
따라서, 유리패널로 구성된 제1 및 제2 마스크(21,22)가 자중에 의해 하측으로 처져서, 상기 조명수단(30)을 이용하여 빛을 조사하여 동판(1)의 양측면에 코팅된 감광필름을 감광시킬 때 오차가 발생되고, 이에 따라 최종적으로 생산되는 리드프레임에 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 리드프레임 제조용 노광장치를 도시한 참고도,
도 2는 본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치를 도시한 측면구성도,
도 3은 본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치를 도시한 평면구성도,
도 4는 본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치의 요부를 도시한 측면구성도,
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치의 마스크지지유닛을 도시한 측면구성도,
도 7은 본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치의 작용을 설명하기 위한 참고도이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 7은 본 발명에 따른 리드프레임 제조용 노광장치를 도시한 것으로, 양면에 감광필름이 코팅된 동판(1)의 중간부에 구비된 본체(10)와, 상기 본체(10)에 상기 동판(1)의 중간부 양면에 근접되도록 구비되는 제1 및 제2 마스크(21,22)와, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 통해 상기 동판(1)의 양면에 빛을 조사하여 상기 동판(1)에 코팅된 감광필름이 감광되도록 하는 조명수단(30)이 구비된 것은 종래와 동일하다.
이때, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 본체(10)의 전후방에는 양면에 감광필름이 코팅된 동판(1)이 권취된 언와인더(2)와, 상기 언와인더(2)에서 풀려 나온 동판(1)을 권취하는 리와인더(3)가 구비되어, 상기 언와인더(2)에서 풀려 나온 동판(1)이 상기 본체(10)를 통과한 후 상기 리와인더(3)에 권취되도록 구성된다.
그리고, 본 발명에 따르면, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)는 상하방향으로 연장되도록 구비되며, 상기 동판(1)은 중간부가 상기 본체(10)에 구비된 가이드로울러(41,42,43,44)의 둘레면을 경유하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하도록 배치된다.
이를 자세히 설명하면, 상기 가이드로울러(41,42,43,44)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 본체(10)의 전방 상측에 구비된 제1 가이드로울러(41)와, 상기 제1 가이드로울러(41)의 후방에 위치된 제2 가이드로울러(42)와, 상기 제2 가이드로울러(42)의 하측에 위치된 제3 가이드로울러(43)와, 상기 제3 가이드로울러(43)의 후방에 위치된 제4 가이드로울러(44)로 구성되어, 상기 언와인더(2)에서 풀려 나온 동판(1)이 상기 제1 가이드로울러(41)를 통해 상기 제2 가이드로울러(42)로 연장되어, 상기 제2 가이드로올러(42)의 둘레면을 따라 하측으로 연장되고, 하측으로 연장된 동판(1)의 하단부는 상기 제3 가이드로울러(43)의 둘레면을 따라 후방으로 연장된 후 상기 제3 가이드로울러(43)의 둘레면을 따라 상기 리와인더(3)로 공급된다.
이에 따라, 상기 제2 가이드로울러(42)와 상기 제3 가이드로울러(43)의 사이를 통과하는 동판(1)의 중간부에, 수직으로 연장된 상기 수직부(1a)가 형성된다.
그리고, 상기 본체(10)에는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 지지하는 마스크지지유닛(50)과, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이를 통과한 동판(1)을 당겨 후방으로 이송하는 이송유닛(60)이 구비된다.
상기 마스크지지유닛(50)은 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 본체(10)에 구비되며 상기 제1 마스크(21)가 고정되는 지지프레임(51)과, 상기 지지프레임(51)에 구비되며 상기 제2 마스크(22)에 연결되어 상기 제2 마스크(22)와 제1 마스크(21)의 간격을 조절하는 간격조절수단(52)과, 상하방향으로 연장된 동판(1)의 전방 또는 후방에 위치되며 액츄에이터(53a)에 의해 전후진되어 상기 동판(1)의 중간부와 제1 마스크(21)의 간격을 조절하는 간격조절로울러(53)로 구성된다.
상기 지지프레임(51)은 상기 동판(1)의 수직부(1a)의 둘레부를 감싸도록 배치된다.
상기 제1 마스크(21)는 상기 동판(1)의 수직부(1a)와 평행을 이루도록 수직으로 배치되어, 상기 동판(1)의 수직부(1a) 전방에 근접되도록 상기 지지프레임(51)에 고정된다.
상기 간격조절수단(52)은 상기 제2 마스크(22)의 후방에 결합되어 상기 제2 마스크(22)를 지지하는 지지패널(52a)과, 상기 지지프레임(51)에 전후방향으로 연장되도록 구비된 가이드레일(52b)과, 상기 가이드레일(52b)에 전후진가능하게 결합되어 상기 지지패널(52a)의 둘레부에 결합된 슬라이드블록(52c)과, 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 가이드레일(52b)에 회전가능하게 결합되며 중간부가 상기 슬라이드블록(52c)에 나사결합된 리드스크류(52d)와, 상기 리드스크류(52d)에 연결된 구동모터(52e)로 구성된다.
이때, 상기 제2 마스크(22)는 상기 동판(1)의 수직부(1a)와 평행을 이루도록 수직으로 배치되며, 상기 동판(1)의 수직부(1a) 후방에 위치되도록 상기 지지패널(52a)에 고정된다.
그리고, 상기 지지패널(52a)은 중앙부에 관통공이 형성된 사각 테두리형태로 구성되어, 상기 조명수단(30)에 의해 조사된 빛이 상기 지지패널(52a)을 통과하여 상기 제2 마스크(22)에 조사될 수 있도록 구성된다.
따라서, 상기 구동모터(52e)를 정역회전시키면, 상기 지지패널(52a)과 제2 마스크(22)가 전후진되어 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 마스크(21,22)의 간격이 좁아지거나, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 마스크(21,22)의 간격이 넓어진다.
상기 간격조절로울러(53)는 상기 제1 마스크(21)의 상하측에 위치되도록 배치되며 상기 액츄에이터(53a)에 의해 전후진되어, 상기 동판(1)의 수직부(1a) 중간부를 후방으로 밀어 상기 제1 마스크(21)로부터 이격되도록 한다.
이때, 상기 액츄에이터(53a)는 상기 지지프레임(51)에 고정되고 피스톤로드가 후방으로 연장되어 상기 간격조절로울러(53)에 연결되는 에어실린더를 이용한다.
상기 이송유닛(60)은 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 동판(1)의 경로상에 상기 동판(1)의 연장방향과 평행하게 배치된 가이드레일(61)과, 상기 가이드레일(61)에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 동판(1)에 선택적으로 결합되는 홀더(62)와, 상기 홀더(62)에 연결되어 상기 홀더(62)가 가이드레일(61)을 따라 전후진되도록 하는 전후진구동수단(63)으로 구성된다.
상기 가이드레일(61)은 본체(10)의 하측에 상기 제3 및 제4 가이드로울러(43,44)의 사이에 위치되도록 구비된다.
상기 홀더(62)는 상기 제3 가이드로울러(43)의 둘레면을 거쳐 상기 제4 가이드로울러(44)쪽으로 연장된 동판(1)의 중간부 상하면을 선택적으로 가압하여 고정할 수 있도록 구성된다.
상기 전후진구동수단(63)은 전후방향으로 연장되도록 상기 가이드레일(61)에 회전가능하게 결합된 리드스크류(63a)와, 상기 리드스크류(63a)에 연결된 구동모터(63b)로 구성된다.
따라서, 상기 홀더(62)를 이용하여 상기 동판(1)의 상하면을 가압고정한 상태에서 상기 구동모터(63b)를 정회전시키면, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 리드스크류(63a)에 의해 홀더(62)가 전진되면서 상기 동판(1)을 당기게 되고, 상기 홀더(62)의 고정을 해제한 상태에서 상기 구동모터(63b)를 역회전시키면 상기 홀더(62)가 원래위치로 후퇴되며, 이러한 과정을 반복하여, 상기 동판(1)이 반복하여 일정 간격씩 전방으로 당겨지도록 할 수 있다.
이때, 상기 언와인더(2)는 상기 홀더(62)에 의해 동판(1)이 당겨지는 것만큼 동판(1)을 풀어내고, 상기 리와인더(3)는 동판(1)이 당겨지는 것만큼 동판(1)이 당겨지도록 하여, 상기 동판(1)이 적절한 텐션을 유지하도록 한다.
그리고, 상기 조명수단(30)의 램프유닛(31)은 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 측방향에 구비되고, 상기 조명수단(30)의 반사판(32)은 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 전후방에 구비되어, 상기 램프유닛(31)에서 조사된 빛이 상기 반사판(32)에 반사되어 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 통해 상기 동판(1)의 전후면에 조사되도록 구성된다.
이러한 노광장치를 이용하여 동판(1)의 양면에 패턴을 감광하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)가 상호 근접된 상태에서, 상기 조명수단(30)을 이용하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)에 강한 빛을 조사하면, 빛은 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하여 상기 동판(1)의 수직부(1a) 전후면에 조사되어, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)에 형성된 패턴대로 동판(1)의 전후면이 감광된다.
그리고, 동판(1)의 전후면에 정해진 시간동안 빛이 조사되면 상기 조명수단(30)은 오프되며, 조명수단(30)이 오프되면, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 마스크지지유닛(50)의 간격조절수단(52)에 의해 상기 지지패널(52a)과 제2 마스크(22)가 후방으로 후퇴되어 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 간격이 넓어지도록 한다.
그리고, 상기 제2 마스크(22)가 완전히 후퇴되면, 상기 액츄에이터(53a)에 의해 상기 간격조절로울러(53)가 후방으로 밀려나가게 되며, 이에 따라, 상기 동판(1)의 수직부(1a)가 후방으로 밀려나가서 동판(1)의 수직부(1a)와 제1 마스크(21)의 간격이 넓어지게 된다.
그리고, 이와 같이 동판(1)의 수직부(1a)와 제1 마스크(21)의 간격이 넓어지게 되면, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 이송유닛(60)이 동판(1)을 잡아당겨, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이에서 감광된 동판(1)의 중간부가 상기 리와인더(3)쪽으로 이동하고, 상기 언와인더(2)에서 풀려 나와 양측면이 감광되지 않은 새로운 동판(1)의 중간부가 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이로 공급되도록 한다.
그리고, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이로 새로운 동판(1)의 중간부가 공급되면, 상기 간격조절로울러(53)가 전방으로 후퇴되어 상기 동판(1)의 수직부(1a)가 제1 마스크(21)에 근접되도록 하고, 상기 간격조절수단(52)에 의해 상기 제2 마스크(22)가 동판(1)쪽으로 전진되어, 제2 마스크(22)가 동판(1)의 후측면에 근접되도록 한다.
그리고, 상기 조명수단(30)을 온시켜 동판(1)의 전후면을 감광시키고, 전술한 과정을 반복함으로서, 상기 동판(1)의 양면을 일정한 패턴으로 감광시킬 수 있다.
이와 같이 구성된 리드프레임 제조용 노광장치는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)가 상하방향으로 연장되도록 구비되며, 상기 동판(1)은 중간부가 상기 본체(10)에 구비된 가이드로울러(41,42,43,44)의 둘레면을 경유하여 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하도록 배치된다.
따라서, 유리패널로 구성된 제1 및 제2 마스크(21,22)가 자중에 의해 하측으로 처져서, 상기 조명수단(30)을 이용하여 빛을 조사하여 동판(1)의 양측면에 코팅된 감광필름을 감광시킬 때 오차가 발생되고, 이에 따라 최종적으로 생산되는 리드프레임에 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 본체(10)에는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 지지하는 마스크지지유닛(50)이 구비되며, 상기 마스크지지유닛(50)은 상기 본체(10)에 구비되며 상기 제1 마스크(21)가 고정되는 지지프레임(51)과, 상기 지지프레임(51)에 구비되며 상기 제2 마스크(22)에 연결되어 상기 제2 마스크(22)와 동판(1)의 간격을 조절하는 간격조절수단(52)과, 상하방향으로 연장된 동판(1)의 전방 또는 후방에 위치되며 액츄에이터에 의해 전후진되어 상기 동판(1)의 중간부와 제1 마스크(21)의 간격을 조절하는 간격조절로울러(53)로 구성된다.
따라서, 상기 조명수단(30)을 이용하여 동판(1)의 전후면을 감광한 후 상기 동판(1)을 이동시켜 감광이 되지 않은 새로운 동판(1)을 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이로 공급할 때, 상기 제1 마스크(21)와 동판(1) 및 제2 마스크(22)를 이격시킴으로써, 동판(1)이 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)와 간섭되어 손상되거나 긁히게 되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 상기 본체(10)에는 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이를 통과한 동판(1)을 당겨 후방으로 이송하는 이송유닛(60)이 구비되며, 상기 이송유닛(60)은 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 동판(1)의 경로상에 상기 동판(1)의 연장방향과 평행하게 배치된 가이드레일(61)과, 상기 가이드레일(61)에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 동판(1)에 선택적으로 결합되는 홀더(62)와, 상기 홀더(62)에 연결되어 상기 홀더(62)가 가이드레일(61)을 따라 전후진되도록 하는 전후진구동수단(63)으로 구성된다.
따라서, 상기 전후진구동수단(63)을 이용하여 홀더(62)를 전후진시킴으로써, 상기 동판(1)을 정확한 스트로크만큼 이동시킬 수 있는 장점이 있다.
특히, 이와 같이 구성된 리드프레임 제조용 노광장치는 제1 및 제2 마스크(21,22)를 지지하는 마스크지지유닛(50)이 수직으로 장착됨으로, 수평방향으로 장착된 종래의 타입에 비해 무게중심이 하부로 편중되어 장치의 얼라인 후 기구적으로 안정되는 장점이 있다.
그리고, 마스크가 수평으로 배치된 종래의 노광장치는 상부의 제1 및 제2 마스크(21,22)를 부착고정하는 것이 어렵고 작업도중에 진공력 저하로 인한 자연진공파괴 및 마스크의 파손이 발생될 가능성이 있으나, 본 발명에 따른 노광장치는 제1 및 제2 마스크(21,22)가 수직으로 장착됨으로, 제1 및 제2 마스크(21,22)의 부착이 용이할 뿐 아니라, 제1 및 제2 마스크(21,22)의 자중에 의한 진공도 저하를 해소할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)가 수평방향으로 배치될 경우, 상기 마스크지지유닛(50)에도 자중에 의한 휨이 발생되며, 그에 따른 제1 및 제2 마스크(21,22)의 변형이 발생될 수 있으나, 본 발명에 따른 노광장치는 이러한 문제점을 해결할 수 있는 장점이 있다.
10. 본체 21. 제1 마스크
22. 제2 마스크 30. 조명수단
41,42,43,44. 가이드로울러 50. 마스크지지유닛
60. 이송유닛

Claims (3)

  1. 양면에 감광필름이 코팅된 동판(1)의 이송경로의 중간부에 구비된 본체(10);
    상기 본체(10)의 내부에 설치되되, 상기 동판(1)의 수직부(1a)와 평행을 이루도록 상하방향으로 연장되어 상기 동판(1)의 수직부(1a)의 전방에 수직으로 배치된 제1 마스크(21);
    상기 제1 마스크(21)와 대향하도록 상기 본체(10)의 내부에 설치되되, 상하방향으로 연장되어 상기 동판(1)의 수직부(1a)의 후방에 수직으로 배치된 제2 마스크(22);
    상기 본체(10)에 구비되고, 상기 동판(1)의 중간부가 상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과하도록 배치하는 제1 내지 제4 가이드로울러(41,42,43,44);
    상기 동판(1)의 수직부(1a)의 둘레부를 감싸도록 배치되고 상기 제1 마스크(21)가 고정되는 지지프레임(51)과, 상기 지지프레임(51)에 구비되고 상기 제2 마스크(22)에 연결되어 상기 제2 마스크(22)와 상기 제1 마스크(21) 간의 간격을 조절하는 간격조절수단(52)과, 상하방향으로 연장된 상기 동판(1)의 전방 또는 후방에 위치되고 액츄에이터(53a)에 의해 전후진되어 상기 동판(1)의 중간부와 상기 제1 마스크(21) 간의 간격을 조절하는 간격조절로울러(53)를 포함하는 마스크지지유닛(50);
    상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 측방향에 구비되는 램프유닛(31)과, 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 전후방에 각각 구비된 반사판(32)을 포함하고, 상기 램프유닛(31)을 통해 조사된 빛이 상기 반사판(32)을 통해 반사되어 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)를 통해 상기 동판(1)의 전후면에 조사되도록 하는 조명수단(30); 및
    상기 제1 및 제2 마스크(21,22)의 사이를 통과한 상기 동판(1)을 당겨 후방으로 이송하는 이송유닛(60);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드프레임 제조용 노광장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송유닛(60)은,
    상기 제1 및 제2 마스크(21,22) 사이의 공간부를 통과한 상기 동판(1)의 경로상에 상기 동판(1)의 연장방향과 평행하게 배치된 가이드레일(61);
    상기 가이드레일(61)에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 상기 제1 및 제2 마스크(21,22)사이의 공간부를 통과한 상기 동판(1)에 선택적으로 결합되는 홀더(62); 및
    상기 홀더(62)에 연결되어 상기 홀더(62)가 상기 가이드레일(61)을 따라 전후진되도록 하는 전후진구동수단(63);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드프레임 제조용 노광장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7323267B2 (ja) * 2017-11-30 2023-08-08 株式会社アドテックエンジニアリング 両面露光装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0878182A (ja) * 1994-09-02 1996-03-22 Toppan Printing Co Ltd パターン露光方法
JPH10339954A (ja) * 1997-06-09 1998-12-22 Sumitomo Metal Mining Co Ltd リードフレーム露光装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970016822A (ko) * 1995-09-21 1997-04-28 조희재 포토에칭용 노광장치
KR20020061389A (ko) * 2001-01-16 2002-07-24 성우전자 주식회사 리드프레임 제조방법
KR20050048401A (ko) * 2003-11-19 2005-05-24 엘지전자 주식회사 리드 프레임 제작방법
JP2005326550A (ja) * 2004-05-13 2005-11-24 Sanee Giken Kk 露光装置
JP4224479B2 (ja) * 2005-09-07 2009-02-12 富士フイルム株式会社 パターン露光方法及び装置
JP5451175B2 (ja) * 2009-05-15 2014-03-26 サンエー技研株式会社 露光装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0878182A (ja) * 1994-09-02 1996-03-22 Toppan Printing Co Ltd パターン露光方法
JPH10339954A (ja) * 1997-06-09 1998-12-22 Sumitomo Metal Mining Co Ltd リードフレーム露光装置

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