KR101792051B1 - 대면적 자외선 엘이디 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
대면적 자외선 엘이디 노광 장치가 개시된다.
개시되는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치는 마스크와 함께 노광 대상체가 거치되는 노광 대상체 거치 부재; 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체를 함께 눌러주는 상측 롤러 부재; 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재를 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 눌려지고 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재를 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 따라 이동시킬 수 있는 상측 이동 부재;를 포함한다.
개시되는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치에 의하면, 대면적 자외선 엘이디 노광 장치가 노광 대상체 거치 부재; 상측 롤러 부재; 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및 상측 이동 부재;를 포함함에 따라, 대면적의 노광 대상체에 대해서도 선형의 자외선 엘이디 램프만으로 순차적으로 노광시킬 수 있게 되고, 그에 따라 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 유지 보수가 용이하고 그 설치 비용이 저감될 수 있는 장점이 있다.
개시되는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치는 마스크와 함께 노광 대상체가 거치되는 노광 대상체 거치 부재; 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체를 함께 눌러주는 상측 롤러 부재; 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재를 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 눌려지고 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재를 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 따라 이동시킬 수 있는 상측 이동 부재;를 포함한다.
개시되는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치에 의하면, 대면적 자외선 엘이디 노광 장치가 노광 대상체 거치 부재; 상측 롤러 부재; 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및 상측 이동 부재;를 포함함에 따라, 대면적의 노광 대상체에 대해서도 선형의 자외선 엘이디 램프만으로 순차적으로 노광시킬 수 있게 되고, 그에 따라 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 유지 보수가 용이하고 그 설치 비용이 저감될 수 있는 장점이 있다.
Description
본 발명은 대면적 자외선 엘이디 노광 장치에 관한 것이다.
자외선 엘이디 노광 장치는 자외선을 발산하는 엘이디 램프가 설치되어, 그 자외선으로 노광 대상물을 노광시켜, 노광 대상물에 마스크의 모양을 형성해주는 것이다.
이러한 자외선 엘이디 노광 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
그러나, 종래의 자외선 엘이디 노광 장치에 의하면, 대면적 노광을 위해서는 해당 면적 모두에 해당되는 엘이디 램프를 설치하여야 해서, 그 유지 보수가 곤란함은 물론 설치 비용이 과다하게 소요되는 문제가 있었다.
본 발명은 유지 보수가 용이하고 설치 비용이 저감될 수 있는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치는 마스크와 함께 노광 대상체가 거치되는 노광 대상체 거치 부재; 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체를 함께 눌러주는 상측 롤러 부재; 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재를 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 눌려지고 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재를 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 따라 이동시킬 수 있는 상측 이동 부재;를 포함하고,
상기 상측 이동 부재는 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 가로지르는 형태로 배치되는 상측 이동 프레임과, 상기 노광 대상체 거치 부재의 각 측면을 따라 일정 길이로 길게 배치되어 상기 상측 이동 프레임의 양 말단부가 각각 이동될 수 있는 한 쌍의 상측 이동 레일과, 상기 각 상측 이동 레일을 따라 상기 상측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 이동될 수 있도록 하는 한 쌍의 상측 이동 수단을 포함하고,
상기 상측 이동 프레임에는 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재가 연결되고,
상기 각 상측 이동 수단이 구동되면, 상기 상측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 상기 각 상측 이동 레일을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 상측 이동 프레임이 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 이동될 수 있게 됨으로써, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재가 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 순차적으로 이동될 수 있게 되는 것을 특징으로 한다.
상기 상측 이동 부재는 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 가로지르는 형태로 배치되는 상측 이동 프레임과, 상기 노광 대상체 거치 부재의 각 측면을 따라 일정 길이로 길게 배치되어 상기 상측 이동 프레임의 양 말단부가 각각 이동될 수 있는 한 쌍의 상측 이동 레일과, 상기 각 상측 이동 레일을 따라 상기 상측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 이동될 수 있도록 하는 한 쌍의 상측 이동 수단을 포함하고,
상기 상측 이동 프레임에는 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재가 연결되고,
상기 각 상측 이동 수단이 구동되면, 상기 상측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 상기 각 상측 이동 레일을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 상측 이동 프레임이 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 이동될 수 있게 됨으로써, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재가 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 순차적으로 이동될 수 있게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치에 의하면, 대면적 자외선 엘이디 노광 장치가 노광 대상체 거치 부재; 상측 롤러 부재; 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및 상측 이동 부재;를 포함함에 따라, 대면적의 노광 대상체에 대해서도 선형의 자외선 엘이디 램프만으로 순차적으로 노광시킬 수 있게 되고, 그에 따라 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 유지 보수가 용이하고 그 설치 비용이 저감될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치를 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상측 롤러 부재가 설치된 부분을 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상측 롤러 부재가 설치된 부분을 보이는 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 일부분을 확대한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상측 롤러 부재가 설치된 부분을 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상측 롤러 부재가 설치된 부분을 보이는 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 일부분을 확대한 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치를 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상측 롤러 부재가 설치된 부분을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상측 롤러 부재가 설치된 부분을 보이는 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치의 일부분을 확대한 도면이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치(100)는 노광 대상체 거치 부재(110)와, 상측 롤러 부재(150)와, 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)와, 상측 이동 부재(130)를 포함한다.
또한, 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치(100)는 하측 롤러 부재(155)와, 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)와, 하측 이동 부재(120)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치(100)는 상측 롤러 승강 부재(151)와, 하측 롤러 승강 부재(156)를 더 포함할 수 있다.
상기 노광 대상체 거치 부재(110)는 강화 유리 등 투명한 재질로 이루어지되, 대면적의 마스크와 함께 대면적의 노광 대상체가 거치될 수 있도록 대면적으로 이루어진다.
도면 번호 101은 상기 노광 대상체 거치 부재(110)로 상기 노광 대상체를 이동시켜 주는 노광 대상체 인입 롤러이고, 도면 번호 102는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)를 경유한 상기 노광 대상체를 외부로 인출시켜 주는 노광 대상체 인출 롤러이다.
상기 상측 롤러 부재(150)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체를 함께 눌러주는 것이다.
상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 상공을 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 것이다.
상기 상측 이동 부재(130)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 눌려지고 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)를 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 따라 이동시킬 수 있는 것이다.
상세히, 상기 상측 이동 부재(130)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 상공을 가로지르는 형태로 배치되는 상측 이동 프레임(131)과, 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 각 측면을 따라 일정 길이로 길게 배치되어 상기 상측 이동 프레임(131)의 양 말단부가 각각 이동될 수 있는 한 쌍의 상측 이동 레일(132)과, 상기 각 상측 이동 레일(132)을 따라 상기 상측 이동 프레임(131)의 각 측면 말단부가 이동될 수 있도록 하는 전기 모터 등의 한 쌍의 상측 이동 수단(133)을 포함한다.
상기 상측 이동 프레임(131)에는 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)가 연결된다.
상기 각 상측 이동 수단(133)이 구동되면, 상기 상측 이동 프레임(131)의 각 측면 말단부가 상기 각 상측 이동 레일(132)을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 상측 이동 프레임(131)이 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 상공을 따라 이동될 수 있게 된다. 그러면, 상기 상측 이동 프레임(131)의 이동에 따라, 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)가 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 상공을 따라 순차적으로 이동될 수 있게 되고, 그에 따라 선형으로 형성된 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)가 대면적인 상기 노광 대상체 거치 부재(110)를 모두 커버할 수 있게 된다.
상기 상측 롤러 승강 부재(151)는 상기 상측 이동 부재(130)에서 상기 상측 롤러 부재(150)를 승강시킬 수 있는 것으로, 상기 상측 이동 프레임(131)에 결합되고, 공압 실린더 등이 그 예로 제시될 수 있고, 그 피스톤(152) 말단에 상기 상측 롤러 부재(150)가 회전 가능하게 연결된다. 그러면, 상기 상측 이동 프레임(131)이 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 상공을 따라 이동되는 과정 중에, 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체에 대한 가압이 필요한 경우에는, 상기 상측 롤러 승강 부재(151)에 의해 상기 상측 롤러 부재(150)가 하강되어 상기 노광 대상체를 가압해줄 수 있고, 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체에 대한 가압이 필요하지 아니한 경우에는, 상기 상측 롤러 승강 부재(151)에 의해 상기 상측 롤러 부재(150)가 상승되어 상기 노광 대상체와 접하지 않게 된다.
상기 하측 롤러 부재(155)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 저면에서 상기 노광 대상체 거치 부재(110)를 지지해주는 것이다.
상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체의 저면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 하측 공간을 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 것이다.
상기 하측 이동 부재(120)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 저면이 순차적으로 지지되고 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 하측 롤러 부재(155)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)를 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 노광 대상체의 저면을 따라 이동시킬 수 있는 것이다.
상세히, 상기 하측 이동 부재(120)는 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 하측 공간을 가로지르는 형태로 배치되는 하측 이동 프레임(121)과, 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 각 측면을 따라 일정 길이로 길게 배치되어 상기 하측 이동 프레임(121)의 양 말단부가 각각 이동될 수 있는 한 쌍의 하측 이동 레일(122)과, 상기 각 하측 이동 레일(122)을 따라 상기 하측 이동 프레임(121)의 각 측면 말단부가 이동될 수 있도록 하는 전기 모터 등의 한 쌍의 하측 이동 수단(123)을 포함한다.
상기 하측 이동 프레임(121)에는 상기 하측 롤러 부재(155)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 연결된다.
상기 각 하측 이동 수단(123)이 구동되면, 상기 하측 이동 프레임(121)의 각 측면 말단부가 상기 각 하측 이동 레일(122)을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 하측 이동 프레임(121)이 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 하측 공간을 따라 이동될 수 있게 된다. 그러면, 상기 하측 이동 프레임(121)의 이동에 따라, 상기 하측 롤러 부재(155)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 하측 공간을 따라 순차적으로 이동될 수 있게 되고, 그에 따라 선형으로 형성된 상기 하측 롤러 부재(155)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 대면적인 상기 노광 대상체 거치 부재(110)를 모두 커버할 수 있게 된다.
상기 하측 롤러 승강 부재(156)는 상기 하측 이동 부재(120)에서 상기 하측 롤러 부재(155)를 승강시킬 수 있는 것으로, 상기 하측 이동 프레임(121)에 결합되고, 공압 실린더 등이 그 예로 제시될 수 있고, 그 피스톤 말단에 상기 하측 롤러 부재(155)가 회전 가능하게 연결된다. 그러면, 상기 하측 이동 프레임(121)이 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 하측 공간을 따라 이동되는 과정 중에, 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 대한 지지가 필요한 경우에는, 상기 하측 롤러 승강 부재(156)에 의해 상기 하측 롤러 부재(155)가 상승되어 상기 노광 대상체 거치 부재(110)를 지지해줄 수 있고, 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 대한 지지가 필요하지 아니한 경우에는, 상기 하측 롤러 승강 부재(156)에 의해 상기 하측 롤러 부재(155)가 하강되어 상기 노광 대상체 거치 부재(110)와 접하지 않게 된다.
본 실시예에서는, 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 하측 롤러 부재(155)가 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)의 1차 이동에 의해 각각 이동되면서 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체가 눌려진 다음, 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)의 2차 이동에 의해 각각 이동되면서 상기 노광 대상체를 노광시킬 수 있다.
즉, 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 하측 롤러 부재(155)가 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)의 1차 이동에 의해 각각 이동되면서 상기 노광 대상체 거치 부재(110)에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체가 눌려진 다음, 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)의 역 이동에 의해 원위치되고, 그러한 상태에서 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)의 2차 이동에 의해 각각 이동되면서 상기 노광 대상체를 노광시킬 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 노광 대상체 거치 부재(110) 상에 상기 마스크와 상기 노광 대상체가 거치된다.
이러한 상태에서, 상기 상측 롤러 승강 부재(151)와 상기 하측 롤러 승강 부재(156)가 작동되어, 상기 상측 롤러 부재(150) 및 상기 하측 롤러 부재(155)가 각각 상기 노광 대상체 및 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 저면에 닿도록 하강 및 상승되고, 이러한 상태에서 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)가 작동되어 1차 이동됨으로써, 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 하측 롤러 부재(155)가 각각 상기 노광 대상체 및 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 저면을 가압하면서 상기 노광 대상체 거치 부재(110)를 따라 순차적으로 이동된다.
이러한 1차 이동 완료 후에, 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)가 역작동되어, 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)가 역 이동되고, 그에 따라 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 하측 롤러 부재(155)가 원위치된다.
이러한 상태에서, 상기 상측 롤러 승강 부재(151)와 상기 하측 롤러 승강 부재(156)가 역작동되어, 상기 상측 롤러 부재(150)와 상기 하측 롤러 부재(155)가 각각 상기 노광 대상체 및 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 저면에서 이격되도록 상승 및 하강된다.
그런 다음, 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 각각 작동되는 상태에서, 상기 상측 이동 부재(130)와 상기 하측 이동 부재(120)가 2차 이동되고, 그에 따라 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140)와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재(145)가 상기 노광 대상체 거치 부재(110)의 상공 및 하측 공간을 따라 각각 이동되면서 상기 노광 대상체를 노광시킬 수 있다.
상기와 같이, 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치(100)가 노광 대상체 거치 부재(110); 상측 롤러 부재(150); 상측 자외선 엘이디 램프 부재(140); 및 상측 이동 부재(130);를 포함함에 따라, 대면적의 노광 대상체에 대해서도 선형의 자외선 엘이디 램프만으로 순차적으로 노광시킬 수 있게 되고, 그에 따라 상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치(100)의 유지 보수가 용이하고 그 설치 비용이 저감될 수 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대면적 자외선 엘이디 노광 장치에 의하면, 유지 보수가 용이하고 설치 비용이 저감될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 대면적 자외선 엘이디 노광 장치
110 : 노광 대상체 거치 부재
120 : 하측 이동 부재
130 : 상측 이동 부재
140 : 상측 자외선 엘이디 램프 부재
145 : 하측 자외선 엘이디 램프 부재
150 : 상측 롤러 부재
151 : 상측 롤러 승강 부재
155 : 하측 롤러 부재
156 : 하측 롤러 승강 부재
110 : 노광 대상체 거치 부재
120 : 하측 이동 부재
130 : 상측 이동 부재
140 : 상측 자외선 엘이디 램프 부재
145 : 하측 자외선 엘이디 램프 부재
150 : 상측 롤러 부재
151 : 상측 롤러 승강 부재
155 : 하측 롤러 부재
156 : 하측 롤러 승강 부재
Claims (4)
- 마스크와 함께 노광 대상체가 거치되는 노광 대상체 거치 부재;
상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체를 함께 눌러주는 상측 롤러 부재;
상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재를 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 상측 자외선 엘이디 램프 부재; 및
상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 눌려지고 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재를 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 상면을 따라 이동시킬 수 있는 상측 이동 부재;를 포함하고,
상기 상측 이동 부재는
상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 가로지르는 형태로 배치되는 상측 이동 프레임과,
상기 노광 대상체 거치 부재의 각 측면을 따라 일정 길이로 길게 배치되어 상기 상측 이동 프레임의 양 말단부가 각각 이동될 수 있는 한 쌍의 상측 이동 레일과,
상기 각 상측 이동 레일을 따라 상기 상측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 이동될 수 있도록 하는 한 쌍의 상측 이동 수단을 포함하고,
상기 상측 이동 프레임에는 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재가 연결되고,
상기 각 상측 이동 수단이 구동되면, 상기 상측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 상기 각 상측 이동 레일을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 상측 이동 프레임이 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 이동될 수 있게 됨으로써, 상기 상측 롤러 부재와 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재가 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 순차적으로 이동될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치는
상기 노광 대상체 거치 부재의 저면에서 상기 노광 대상체 거치 부재를 지지해주는 하측 롤러 부재;
상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 저면을 순차적으로 노광시킬 수 있도록 상기 노광 대상체 거치 부재를 가로지르는 형태의 선형(line type)으로 자외선 엘이디 램프가 배열된 하측 자외선 엘이디 램프 부재; 및
상기 노광 대상체 거치 부재가 순차적으로 지지되고 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체가 순차적으로 노광될 수 있도록, 상기 하측 롤러 부재와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재를 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체의 저면을 따라 이동시킬 수 있는 하측 이동 부재;를 포함하고,
상기 하측 이동 부재는
상기 노광 대상체 거치 부재의 하측 공간을 가로지르는 형태로 배치되는 하측 이동 프레임과,
상기 노광 대상체 거치 부재의 각 측면을 따라 일정 길이로 길게 배치되어 상기 하측 이동 프레임의 양 말단부가 각각 이동될 수 있는 한 쌍의 하측 이동 레일과,
상기 각 하측 이동 레일을 따라 상기 하측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 이동될 수 있도록 하는 한 쌍의 하측 이동 수단을 포함하고,
상기 하측 이동 프레임에는 상기 하측 롤러 부재와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재가 연결되고,
상기 각 하측 이동 수단이 구동되면, 상기 하측 이동 프레임의 각 측면 말단부가 상기 각 하측 이동 레일을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 하측 이동 프레임이 상기 노광 대상체 거치 부재의 하측 공간을 따라 이동될 수 있게 됨으로써, 상기 하측 롤러 부재와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재가 상기 노광 대상체 거치 부재의 하측 공간을 따라 순차적으로 이동될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 상측 롤러 부재와 상기 하측 롤러 부재가 상기 상측 이동 부재와 상기 하측 이동 부재의 1차 이동에 의해 각각 이동되면서 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 마스크와 상기 노광 대상체가 눌려진 다음, 상기 상측 이동 부재와 상기 하측 이동 부재의 역 이동에 의해 원위치되고, 그러한 상태에서 상기 상측 자외선 엘이디 램프 부재와 상기 하측 자외선 엘이디 램프 부재가 상기 상측 이동 부재와 상기 하측 이동 부재의 2차 이동에 의해 각각 이동되면서 상기 노광 대상체를 노광시키는 것을 특징으로 하는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 대면적 자외선 엘이디 노광 장치는
상기 상측 이동 부재에서 상기 상측 롤러 부재를 승강시킬 수 있는 상측 롤러 승강 부재; 및
상기 하측 이동 부재에서 상기 하측 롤러 부재를 승강시킬 수 있는 하측 롤러 승강 부재;를 포함하고,
상기 상측 이동 프레임이 상기 노광 대상체 거치 부재의 상공을 따라 이동되는 과정 중에, 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체에 대한 가압이 필요한 경우에는, 상기 상측 롤러 승강 부재에 의해 상기 상측 롤러 부재가 하강되어 상기 노광 대상체를 가압해줄 수 있고, 상기 노광 대상체 거치 부재에 거치된 상기 노광 대상체에 대한 가압이 필요하지 아니한 경우에는, 상기 상측 롤러 승강 부재에 의해 상기 상측 롤러 부재가 상승되어 상기 노광 대상체와 접하지 않게 되고,
상기 하측 이동 프레임이 상기 노광 대상체 거치 부재의 하측 공간을 따라 이동되는 과정 중에, 상기 노광 대상체 거치 부재에 대한 지지가 필요한 경우에는, 상기 하측 롤러 승강 부재에 의해 상기 하측 롤러 부재가 상승되어 상기 노광 대상체 거치 부재를 지지해줄 수 있고, 상기 노광 대상체 거치 부재에 대한 지지가 필요하지 아니한 경우에는, 상기 하측 롤러 승강 부재에 의해 상기 하측 롤러 부재가 하강되어 상기 노광 대상체 거치 부재와 접하지 않게 되는 것을 특징으로 하는 대면적 자외선 엘이디 노광 장치.
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| KR1020160069436A KR101792051B1 (ko) | 2016-06-03 | 2016-06-03 | 대면적 자외선 엘이디 노광 장치 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| KR102314093B1 (ko) | 2021-06-07 | 2021-10-18 | 주식회사 세미다린 | 대면적 노광 장치 |
| KR20210148755A (ko) * | 2020-06-01 | 2021-12-08 | 삼일테크(주) | Uv led를 이용한 중대형 노광기 |
Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP2010173156A (ja) | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Nippon Shokubai Co Ltd | 硬化樹脂フィルムの製造方法 |
| WO2015080538A2 (ko) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 성낙훈 | 선광원 발생장치와 이를 구비한 노광기 |
-
2016
- 2016-06-03 KR KR1020160069436A patent/KR101792051B1/ko active IP Right Grant
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