KR100907779B1 - 기판 이동 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기판(9)을 이동하는 기판 이동 장치로서,기판(9)을 유지하는 스테이지(3)와,상기 스테이지(3)에 평행한 소정의 이동 방향으로 상기 스테이지(3)를 직선적으로 이동하는 스테이지 이동 기구(25; 23)와,상기 스테이지(3)에 부착되고, 상기 이동 방향에 수직인 반사면을 갖는 플레인 미러(51)와,상기 스테이지(3) 밖으로부터 상기 플레인 미러(51)를 향하여 레이저광을 출사하고, 상기 레이저광의 반사광을 수광하여 상기 스테이지(3)의 상기 이동 방향에서의 이동 위치를 취득하는 간섭식 레이저 측장기(52, 551, 552)와,상기 스테이지(3)에 수직인 제1 회전축(221)을 중심으로 하여 상기 스테이지(3)를 회전하는 스테이지 회전 기구(22)와,상기 기판(9)을 촬상하는 촬상부(61)와,상기 촬상부(61)로부터의 출력에 의거하여 상기 스테이지 이동 기구(25; 23) 및 상기 스테이지 회전 기구(22)를 제어함으로써, 상기 기판(9)의 이동 위치 및 회전 위치를 조정하는 기판 위치 조정부(71)와,상기 제1 회전축(221)에 평행한 제2 회전축(571)을 중심으로 하여 상기 플레인 미러(51)를 상기 스테이지(3)에 대하여 회전하는 미러 회전 기구(57)와,상기 기판(9)의 위치 조정이 행해질 때의 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전 각도에 의거하여 상기 미러 회전 기구(57)를 제어함으로써, 상기 스테이지(3)의 회전 방향과는 반대 방향으로 상기 플레인 미러(51)를 회전하고, 상기 레이저 측장기(52, 551, 552)에서의 상기 반사광의 수광을 유지하는 미러 각도 조정부(72)를 구비하는, 기판 이동 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 레이저 측장기(52, 551, 552)로부터의 레이저광이 조사되는 상기 플레인 미러(51) 상의 위치로부터 상기 스테이지(3)에 평행한 방향으로 떨어진 상기 플레인 미러(51) 상의 위치를 향하여 상기 스테이지(3) 밖으로부터 레이저광을 출사하고 상기 레이저광의 반사광을 수광하는 간섭식의 또 하나의 레이저 측장기(52, 561, 562)와,상기 레이저 측장기(52, 551, 552) 및 상기 또 하나의 레이저 측장기(52, 561, 562)로부터의 출력에 의거하여 상기 이동 방향으로의 이동 도중의 상기 스테이지(3)의 요잉 각도를 구하는 요잉 각도 취득부(73)와,상기 요잉 각도에 의거하여 상기 스테이지 회전 기구(22)를 제어함으로써, 상기 이동 방향으로의 이동 도중의 상기 스테이지(3)의 요잉을 보정하는 요잉 보정부(74)를 더 구비하는, 기판 이동 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 미러 각도 조정부(72)에 의한 상기 플레인 미러(51)의 회전이 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전에 동기하여 행해지는, 기판 이동 장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 미러 각도 조정부(72)에 의한 상기 플레인 미러(51)의 회전 각도가 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전 각도와 동일한, 기판 이동 장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 스테이지(3)에 평행이고, 또한 상기 이동 방향에 수직인 방향으로 상기 스테이지(3)를 직선적으로 이동하는 또 하나의 스테이지 이동 기구(23; 25)를 더 구비하는, 기판 이동 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 미러 각도 조정부(72)에 의한 상기 플레인 미러(51)의 회전이 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전에 동기하여 행해지는, 기판 이동 장치.
- 청구항 6에 있어서,상기 미러 각도 조정부(72)에 의한 상기 플레인 미러(51)의 회전 각도가 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전 각도와 동일한, 기판 이동 장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 스테이지(3)에 평행이고 또한 상기 이동 방향에 수직인 방향으로 상기 스테이지(3)를 직선적으로 이동하는 또 하나의 스테이지 이동 기구(23; 25)를 더 구비하는, 기판 이동 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 미러 각도 조정부(72)에 의한 상기 플레인 미러(51)의 회전 각도가 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전 각도와 동일한, 기판 이동 장치.
- 청구항 9에 있어서,상기 스테이지(3)에 평행이고 또한 상기 이동 방향에 수직인 방향으로 상기 스테이지(3)를 직선적으로 이동하는 또 하나의 스테이지 이동 기구(23; 25)를 더 구비하는, 기판 이동 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 스테이지(3)에 평행이고 또한 상기 이동 방향에 수직인 방향으로 상기 스테이지(3)를 직선적으로 이동하는 또 하나의 스테이지 이동 기구(23; 25)를 더 구비하는, 기판 이동 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,상기 촬상부(61)보다 분해능이 높은 또 하나의 촬상부(62)를 더 구비하고,상기 기판 위치 조정부(71)가 상기 또 하나의 촬상부(62)로부터의 출력에 의거하여 상기 회전 기구(22)를 제어함으로써 상기 기판(9)을 이동 개시 시의 회전 위치에 위치시키는, 기판 이동 장치.
- 기판(9)을 이동하는 기판 이동 장치로서,기판(9)을 유지하는 스테이지(3)와,상기 스테이지(3)에 평행한 소정의 이동 방향으로 상기 스테이지(3)를 직선적으로 이동하는 스테이지 이동 기구(25; 23)와,상기 스테이지(3)에 수직인 제1 회전축(221)을 중심으로 하여 상기 스테이지(3)를 회전하는 스테이지 회전 기구(22)와,상기 스테이지(3)에 부착되고, 상기 이동 방향에 수직인 반사면을 갖는 플레인 미러(51)와,상기 플레인 미러(51) 상에 있어서 상기 스테이지(3)에 평행한 방향으로 나열한 2개의 위치를 향하여 상기 스테이지(3) 밖으로부터 레이저광을 출사하고, 상기 레이저광의 반사광을 수광하는 간섭식의 한 쌍의 레이저 측장기(52, 551, 552; 52, 561, 562)와,상기 한 쌍의 레이저 측장기(52, 551, 552; 52, 561, 562)로부터의 출력에 의거하여 상기 이동 방향으로의 이동 도중의 상기 스테이지(3)의 요잉 각도를 구하는 요잉 각도 취득부(73)와,상기 요잉 각도에 의거하여 상기 스테이지 회전 기구(22)를 제어함으로써, 상기 이동 방향으로의 이동 도중의 상기 스테이지(3)의 요잉을 보정하는 요잉 보정부(74)와,상기 기판(9)을 촬상하는 촬상부(61)와.상기 촬상부(61)로부터의 출력에 의거하여 상기 스테이지 이동 기구(25; 23) 및 상기 스테이지 회전 기구(22)를 제어함으로써, 상기 기판(9)의 이동 위치 및 회전 위치를 조정하는 기판 위치 조정부(71)와,상기 제1 회전축(221)에 평행한 제2 회전축(571)을 중심으로 하여 상기 플레인 미러(51)를 상기 스테이지(3)에 대하여 회전하는 미러 회전 기구(57)와,상기 기판(9)의 위치 조정이 행해질 때의 상기 기판 위치 조정부(71)에 의한 상기 스테이지(3)의 회전 각도에 의거하여 상기 미러 회전 기구(57)를 제어함으로써, 상기 스테이지(3)의 회전 방향과는 반대 방향으로 상기 플레인 미러(51)를 회전하고, 상기 한 쌍의 레이저 측장기(52, 551, 552; 52, 561, 562)에서의 상기 반사광의 수광을 유지하는 미러 각도 조정부(72)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이동 장치.
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