JP4381358B2 - 磁気検出素子 - Google Patents
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Description
前記フリー磁性層は、組成式がCo2xMnxαy(αは、Ge、Ga、In、Si、Pb、Zn、Sn、Alから選択される1種または2種以上の元素βと、Sbを含み、濃度x、yは、いずれも原子%であり、3x+y=100原子%の関係を満たし、濃度yは、24原子%以上28原子%以下の範囲内である)で表される金属化合物からなるCoMnα合金層と、CoMnβ合金層(βは、Ge、Ga、In、Si、Pb、Zn、Sn、Alから選択される1種または2種以上の元素)との積層構造で形成されることを特徴とするものである。
前記下地層1は、Ta,Hf,Nb,Zr,Ti,Mo,Wのうち1種または2種以上の元素などの非磁性材料で形成される。前記シード層2は、NiFeCrまたはCrによって形成される。前記シード層2をNiFeCrによって形成すると、前記シード層2は、面心立方(fcc)構造を有し、膜面と平行な方向に{111}面として表される等価な結晶面が優先配向しているものになる。また、前記シード層2をCrによって形成すると、前記シード層2は、体心立方(bcc)構造を有し、膜面と平行な方向に{110}面として表される等価な結晶面が優先配向しているものになる。
また、フリー磁性層6の材質及び構造については後述する。
前記下部シールド層20及び上部シールド層30は、NiFe合金等で形成される。
図1に示すスピンバルブ型薄膜素子では、前記フリー磁性層6が、3層構造で形成され、前記下側非磁性材料層5及び上側非磁性材料層7との界面には、組成式がCo2xMnxαy(αは、Ge、Ga、In、Si、Pb、Zn、Sn、Alから選択される1種または2種以上の元素βと、Sbを含み、濃度x、yは、いずれも原子%であり、3x+y=100原子%)で表される金属化合物からなるCoMnα合金層6a,6cが形成されている。
基本膜構成は、下地層1;Ta(30)/シード層2;NiFeCr(50)/下側反強磁性層3;IrMn(70)/下側固定磁性層4[第1磁性層4a;Fe30at%Co70at%(30)/非磁性中間層4b;Ru(9.1)/第2磁性層4c]/下側非磁性材料層5;Cu(50)/フリー磁性層6/上側非磁性材料層7;Cu(50)/上側固定磁性層8[第2磁性層8c/非磁性中間層8b;Ru(9.1)/第1磁性層8a;Fe40at%Co60at%(30)]/上側反強磁性層9;IrMn(70)/保護層10;Ta(200)であった。なお括弧内の数値は膜厚を示し単位はÅである。
Co2xMnx(Ge0.75Sb0.25)y(80)とした。このとき、3x+yが100原子%となるように各元素の濃度を調整した。
Co2xMnxGey(80)とした。このとき、3x+yが100原子%となるように各元素の濃度を調整した。
図3に示すように、濃度yが大きくなっていくと、CoMnGeSb試料及びCoMnGe試料ともにΔRAが大きくなることがわかった。また、CoMnGe試料の場合、濃度yが25原子%付近で、すなわちCo2Mn1Ge1としたときに、前記ΔRAが最大になるが、CoMnGeSb試料の場合、濃度yが約26原子%のときに、ΔRAが最大になることがわかった。また、CoMnGeSb試料の場合、濃度yを28原子%程度にまで多くしても、ΔRAはほぼ一定の高い値を維持できることがわかった。
基本膜構成は、下地層1;Ta(30)/シード層2;NiFeCr(50)/下側反強磁性層3;IrMn(70)/下側固定磁性層4[第1磁性層4a;Fe30at%Co70at%(30)/非磁性中間層4b;Ru(9.1)/第2磁性層4c]/下側非磁性材料層5;Cu(50)/フリー磁性層6/上側非磁性材料層7;Cu(50)/上側固定磁性層8[第2磁性層8c/非磁性中間層8b;Ru(9.1)/第1磁性層8a;Fe40at%Co60at%(30)]/上側反強磁性層9;IrMn(70)/保護層10;Ta(200)であった。なお括弧内の数値は膜厚を示し単位はÅである。
Co2Mn1(Ge1―zSbz)1(80)とした。
2 シード層
3、9 反強磁性層
4、8 固定磁性層
5、7 非磁性材料層
6 フリー磁性層
6a、6b CoMnα合金層
6c CoMnβ合金層
10 保護層
20 下部シールド層
27、29 絶縁層
28 ハードバイアス層
30 上部シールド層
Claims (5)
- 磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成され、外部磁界により磁化方向が変動するフリー磁性層と、を有し、
前記フリー磁性層は、組成式がCo2xMnxαy(αは、Ge、Ga、In、Si、Pb、Zn、Sn、Alから選択される1種または2種以上の元素βと、Sbを含み、濃度x、yは、いずれも原子%であり、3x+y=100原子%の関係を満たし、濃度yは、24原子%以上28原子%以下の範囲内である)で表される金属化合物からなるCoMnα合金層と、CoMnβ合金層(βは、Ge、Ga、In、Si、Pb、Zn、Sn、Alから選択される1種または2種以上の元素)との積層構造で形成されることを特徴とする磁気検出素子。 - αは、β1-zSbz(zは原子比率)で示され、zは、0.1〜0.9の範囲内である請求項1記載の磁気検出素子。
- zは、0.25〜0.75の範囲内である請求項2記載の磁気検出素子。
- 前記CoMnα合金層は、少なくとも前記非磁性材料層に接して形成される請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層は、前記CoMnα合金層を有して構成される請求項1ないし4のいずれか1項に記載の磁気検出素子。
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