JP4381274B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
体素子が封入された半導体装置およびその製造方法に関する。
は、一般に、筐体内の中空部分に受光センサーが封入された構造をしている。
マイクロレンズ114とを備えた受光センサーとしての半導体チップ101がダイボンド
材117を介して搭載され、中空容器115の上部にガラスリッド112が接着剤119
を介して貼り付けられることにより、当該中空に受光センサーが封入されている構造や、
図12で示すような、基板120上に半導体チップ101がダイボンド材117を介して
搭載され、当該半導体チップ101が、ガラスリッド112とレンズ123を装着した釣
鐘状のホルダー122の中空に封入されてなる構造があげられる。
侵入することを完全に防止するのは容易でなく、中空容器内に籠もる湿気によって、半導
体チップが劣化したり、ガラスリッドが結露して受光が妨害され、装置が誤作動したりす
る等の問題がある。また、製造時における水分の浸入を防げたとしても、接着剤等の封止
部材を介して水分が透過することを完全には防止できないため、装置を長期的に使用した
場合には、微量な水分侵入の積算によって、中空容器内に湿気が籠もることになる。
ド109とパッケージ外部まで延出させた電極リード116とをワイヤー118で接続す
るスペースを中空容器内に設けておく必要があり、このために半導体装置を十分に小型化
することができないという問題がある。
内部に貫通電極を設けることにより、湿気に起因するトラブルを防止するとともに素子出
力を装置外部に取り出すためのスペースを削減する技術がある(例えば、特許文献1参照
。)。
の、中空の埋め込みに用いた透明な接着剤が光散乱を引き起こすため、受光センサーの集
光性が低下する。よって、装置の受光性能を十分に向上することができないという問題が
ある。
ップ・スケール・パッケージおよびその製造方法を提供することを目的とする。
基板の一方主面の素子領域に設けられた半導体素子と、前記一方主面に設けられ、前記素
子領域を取り囲む封止部材と、前記素子領域との間に中空が形成されるようにして、前記
封止部材を介して前記半導体基板に貼り合わされた光透過性部材とを備えた半導体装置で
あって、前記光透過性部材に、当該光透過性部材の主面を貫通する貫通孔が設けられ、前
記貫通孔の内側開口が、前記中空に開口していることを特徴とする。
外気とつながっているため、当該中空の通気性が良く、その内部に湿気が籠もりにくい。
よって、中空内部に湿気が籠もることに起因する、半導体素子の劣化や、中空の内面の結
露による装置の誤作動が防止される。
れた従来型の半導体装置と異なり、基板上にのみ中空を設けるため、装置が顕著に小型化
する。
記素子領域を取り囲む封止部材と半導体素子との間に、その上方が中空である周縁領域が
存在し、前記周縁領域に面して、前記光透過性部材の貫通孔の内側開口が開口され、かつ
、前記貫通孔の経路が、前記素子領域の上方にかからないように延伸している構成とする
ことができる。
らないということは、受光センサーへ入射する光の経路が貫通孔により妨げられないこと
を意味する。よって、上記構成であると、受光センサーへの入射光が貫通孔によって散乱
等させられることがないので、受光半導体装置の検出精度が高まる。
の経路が周縁領域の垂直方向に延びたものや、周縁領域の直上から外側に遠ざかる方向に
延びたものなどが挙げられる。
その内側開口が前記周縁領域に面して開口した貫通孔のみである構成とすることができる
。
のない位置に配されているため、受光センサーへの入射光が貫通孔によって妨害ないし散
乱させられることを確実に防止できるので、受光半導体装置の検出精度が一層高まる。
主面に設けられた外部出力端子と、前記半導体基板の主面を貫通し、前記半導体素子と前
記外部出力端子とを導通させる貫通電極とを有する構成とすることができる。
め、素子の出力を装置外部に取り出すためのスペースを別に設ける必要がない。よって、
半導体装置をウエハレベルのチップ・スケール・パッケージにまで小型化することができ
る。
のみである構成とすることができる。
材の破損が生じにくい。さらに、1つの半導体装置の長期使用性が高まる。また、貫通孔
の配置パターンを目印にして半導体装置の前後左右方向を簡単に知ることができるため、
装置裏面を確認しなくても、当該装置裏面に設けられた外部出力端子の設計配置パターン
を認識することができるというメリットがある。これにより、電子機器への装置実装時の
確認作業が不要となり、装置実装にかかる作業効率が向上する。
以上であり、前記2以上の貫通孔のサイズが互いに異なる構成とすることができる。
や装置の誤作動を一層防止することができる。また、サイズの異なる貫通孔の配置パター
ンを目印にして半導体装置の前後左右方向を簡単に認識することができるため、装置裏面
を確認しなくても、当該装置裏面に設けられた外部出力端子の設計配置パターンを把握で
きる。これにより、電子機器への装置実装時の確認作業が不要となり、装置実装にかかる
作業効率が向上する。なお、貫通孔の孔数を増やすほど中空の通気性を高くすることがで
きるが、その孔数は、光透過性部材の機械的強度を損なわない程度に留めておくことが好
ましい。
記光透過性部材がガラスであり、当該ガラスの表面に赤外線カットフィルターがコーティ
ングされている構成とすることができる。
。
半導体素子を形成する半導体素子形成工程と、前記素子領域を取り囲むようにして、前記
一方主面に封止部材を形成する封止部材形成工程と、その主面を貫通する貫通孔が設けら
れた光透過性部材と、前記半導体ウエハとを、前記素子領域との間に中空が形成されるよ
うに、かつ前記貫通孔の内側開口が前記中空に開口するようにして、前記封止部材を介し
て貼り合せる貼り合せ工程と、前記貼り合せ工程後に、前記封止部材を加熱硬化させる加
熱硬化工程とを備えることを特徴とする。
過性部材とを貼り合せる接着剤を熱硬化させる際に、中空内部の空気が熱膨張し、接着剤
のパターン形状が変形して半導体装置の設計精度が低下することがある。
開口が前記中空に開口されるため、加熱硬化工程の際に熱膨張する空気を中空内部から外
部へと逃すことができるので、封止部材のパターン形状の変形を抑制することができる。
導体ウエハを放熱させる放熱工程をさらに備える構成とすることができる。
放熱序冷に伴って中空内部が負圧になり、外部から水分を引き込む。この結果、中空内部
に湿気が籠もり、半導体チップが劣化したり、中空の内面が結露して装置が誤作動したり
する。これに対し、本発明にかかる上記構成の半導体装置の製造方法であると、貫通孔に
よって中空が外部と通気されているため、放熱工程において中空が負圧となるのを防止す
ることができる。
であり、前記封止部材形成工程は、前記素子領域と、前記素子領域の周縁の一方主面であ
って前記半導体素子が設けられていない周縁領域とを取り囲むようにして封止部材を形成
する工程であり、前記光透過性部材の貫通孔は、前記光透過性部材と前記半導体ウエハと
を貼り合せた場合に、前記光透過性部材の貫通孔の内側開口が前記周縁領域に面して開口
し、かつ前記貫通孔の経路が前記素子領域の上方にかからないように、前記光透過性部材
に設けられている構成とすることができる。
孔が配されるため、受光センサーへの入射光が貫通孔によって妨害ないし散乱させられる
ことがない、検出精度の高い受光半導体装置が提供される。
であり、前記封止部材形成工程は、前記素子領域と、前記素子領域の周縁の一方主面であ
って前記半導体素子が設けられていない周縁領域とを取り囲むようにして封止部材を形成
する工程であり、前記光透過性部材の貫通孔は、前記光透過性部材と前記半導体ウエハと
を貼り合せた場合に、前記光透過性部材の貫通孔の内側開口が前記周縁領域のみに面して
開口し、かつ前記貫通孔の経路が前記素子領域の上方にかからないように、前記光透過性
部材に設けられている構成とすることができる。
とのない位置に配されるため、受光センサーへの入射光が貫通孔によって散乱させられる
ことを確実に防止した、検出精度の一層高い受光半導体装置が提供される。
性部材の貫通孔の内側開口と反対側の外側開口を塞ぐようにして、前記光透過性部材に接
して表面保護層を形成する工程と、前記表面保護層が設けられた光透過性部材を支持し、
前記半導体ウエハの一方主面と反対側の他方主面を研削して、前記半導体ウエハを半導体
基板に加工する工程と、前記研削されてなる半導体基板面に、前記半導体素子と導通する
外部出力端子を形成する工程と、前記表面保護層を除去して前記光透過性部材の一方主面
を露出させた後、前記貫通孔の外側開口を塞ぐようにして、当該露出させた光透過性部材
の一方主面に接してダイシング用シートを貼り付ける、または、前記表面保護層を除去せ
ずに、当該表面保護層に接してダイシング用シートを貼り付ける、ダイシング用シート貼
り付け工程と前記ダイシング用シート貼り付け工程の後、前記半導体基板、前記封止部材
および前記光透過性部材をダイシングする工程とを備える構成とすることができる。
行うため、各部材の削屑や、研削やダイシングの際に供給する水分が、当該貫通孔から中
空内部へ浸入することがない。よって、削屑や水分に起因した半導体チップの損傷や、中
空内面での結露の発生が確実に防止される。
けられた貫通孔により外気とつながっているため、当該中空の通気性が良く、その内部に
湿気が籠もらない。よって、当該湿気に起因する、半導体チップの劣化や装置の誤作動を
防止できる。さらに、基板を中空容器に収納してなる従来型の半導体装置と異なり、基板
上にのみ中空を設けることにより、装置が顕著に小型化する。
する。
本実施の形態1にかかる半導体装置20は、図1の正面図で示すように、外形が方形板
状である主面サイズ5.0X4.2mm、厚さ0.5mmの光透過性部材2と、光透過性
部材2と外形が同じで、厚さ0.1mmである半導体基板1とを備えている。また、この
半導体基板1の一方主面の素子領域22には、撮像素子5とマイクロレンズ部6とからな
る領域サイズ3.5X3.3mmの半導体素子21が設けられている。そして、この素子
領域22には、後述する封止部材4を介することにより、光透過性部材2が接触しておら
ず、当該素子領域22の上や、素子領域の外側の周縁であって半導体素子21が設けられ
ていない一方主面部分である周縁領域23の上に、中空7(サイズ:4.0X3.8mm
、高さ:0.05mm)が形成されている。
に設けられている。そして、図1のA−B線断面の端面図である図2で示すように、この
貫通孔3の内側開口が周縁領域23の上に開口しており、中空部分7が外気とつながって
いる。また、この貫通孔3は周縁部分の垂直方向に延伸している。なお、後述する半導体
装置の受光精度を高める目的から、貫通孔3の孔径を周縁領域23の幅よりも小さくなる
ように設計しておくことが好ましい。他方、貫通孔3の横断面形状としては、図1で示す
ような円形状に特に限定されるものではなく、中空7を外気に通気させることができる限
り、どのような形状であってもよい。
られている。さらに、半導体基板1には、その内部に貫通電極8が、その一方主面と反対
側の他方主面に裏面配線9が設けられており、この貫通電極8を介して半導体素子21と
裏面配線9とが導通されている。また、裏面配線9には外部出力端子としての半田ボール
11が接続されており、この半田ボール11の接続箇所以外の裏面配線部分や半導体基板
の他方主面部分は、裏面保護膜10によって覆われている。
の表面は表面保護膜14で覆われており、半導体基板1の他方主面部分は裏面絶縁膜15
で覆われている。また、貫通電極8と半導体基板1との間には、貫通孔絶縁膜12が設け
られている。なお、半田ボール11と半導体素子21とを導通させる必要から、貫通電極
8と裏面配線9との接触部分には裏面絶縁膜15が配されておらず、半導体基板1の一方
主面に設けられた、半導体素子21と導通する電極パッド13と貫通電極8との接触部分
にも、表面保護膜14が配されていない。
が外気とつながっているため、中空7の通気性が良く、中空内部に湿気が籠もりにくい。
よって、中空に湿気が籠もることに起因した、半導体素子21の劣化や、中空内面の結露
による装置の誤作動を防止することができる。
体装置と異なり、半導体素子21が設けられた半導体基板1上に中空7が設けられている
ため、パッケージサイズが小型化する。また、貫通電極8を介して半導体素子21と半田
ボール11とが導通されているため、素子の出力を装置外部に取り出すためのスペースを
別に設ける必要がなく、装置をウエハレベルのチップ・スケール・パッケージにまで、十
分に小型化することができる。
域23の垂直方向に延伸しているため、受光センサーへ入射する光の経路上を妨げること
のない位置に貫通孔3が配されることになり、外部から光透過性部材2を透過して半導体
素子21へと入射する光が、貫通孔3によって散乱されることがない。よって、半導体装
置の受光精度が高い。
ィングされたものとすれば、赤外線を除去した入射光を受光センサーで検出させることも
できる。
ジを、以下のようにして作製した。
らなる受光センサー(CCD素子)としての半導体素子21、この半導体素子21と導通
する電極パッド13を含む周辺回路(図示せず)を形成し、マイクロレンズ部16と、電
極パッド13の一部と、ウエハ16の一方主面とをSiO2やSi3N4からなる表面保
護膜14で覆った。
ド13上を窓開けした。次に、レジスト窓開け部分のエッチングをドライエッチングにて
行い、窓開け部分のパッド部、該パッド部下の絶縁膜、及びウエハ16のSiを除去して
穴部を形成した。その後、レジストを除去した。
膜させ、貫通孔絶縁膜12を形成した。その後、穴部内壁及び底部を含むウエハ16の一
方主面上に、Ti及びCuを用いたスパッタ法により、めっき用シード層とバリアメタル
層とを兼ねた金属層を形成した。
形成位置、すなわち埋め込み電極17を形成すべき位置を窓開けしてレジスト窓部を形成
した。
せて、埋め込み電極17を形成した。最後に、レジスト及び不用な金属層を除去して、図
4で示すようなウエハ16を用意した。
、エポキシ樹脂を主成分とするペースト状の樹脂を印刷によって転写することにより、半
導体素子21が設けられた一方主面部分である素子領域22に加えて、素子領域22の周
縁であって半導体素子21が設けられていない一方主面部分である周縁領域23を取り囲
むようにして、ウエハ16の上に封止部材4を形成した。
封止部材4を介してウエハ16の上に載置した後、加熱により封止部材4の樹脂成分を本
硬化させた。なお、この光透過性部材2は、主面サイズがウエハ16のそれと等しいもの
を用いた。また、図6で示すように、光透過性部材2の貫通孔3は、光透過性部材2と半
導体ウエハ16とを貼り合せた場合に、光透過性部材2の貫通孔3の内側開口が周縁領域
23のみに面して開口し、かつ貫通孔3の経路が、素子領域22の上方にかからないよう
に延伸するように設けられている。また、この光透過性部材2と半導体ウエハ16とを貼
り合せることで、素子領域22と光透過性部材2との間に中空7を形成した。
離が可能な材料からなる表面保護層18を光透過性部材2の上に配した後、公知の裏面研
磨法を用い、埋め込み電極17の先端が露出するまでウエハ16の上記一方主面と反対側
の他方主面、すなわち裏面を研削して、図7で示すように、ウエハ16を半導体基板1に
、埋め込み電極17を貫通電極8に加工した。なお、表面保護層18は、シート状の保護
膜を貼り付けてもよいし、液状の樹脂を塗布することで配してもよい。また、裏面研磨し
た研磨面を、化学機械的研磨法(CMP法:Chemical Mechanical
Polishing Methods)、または、ドライエッチングまたはウエットエッ
チング等のエッチング法を用いて鏡面加工(清浄化)してもよい。
貫通電極8に導通する裏面配線9と、裏面保護膜10とを形成した。
成分とする感光性の有機膜材料を塗布し、露光、現像によって電極間の接触に必要となる
部分を窓開けした後、熱処理により硬化させて形成してもよいし、SiO2やSi3N4
等からなる無機膜を設けた後、フォトレジストマスクを用いたエッチングにより窓開けし
て形成してもよい。
および銅(Cu)層をスパッタ法で設けた後に、フォトレジストマスクを用いたエッチン
グにより銅メッキ用の窓開けを行い、当該窓明けした部分に電界メッキ法にて銅配線をメ
ッキ成長させることにより形成してもよいし、銅(Cu)、ニッケル銅(CuNi)、チ
タン(Ti)等からなる金属層をスパッタ法で設けた後、フォトレジストマスクを用いた
エッチングにより形成してもよい。
ように、当該窓開け部分にスズ(Sn)と銀(Ag)と銅(Cu)とからなる半田ボール
11を熱処理して装着した。なお、フラックスは半田ボール11の装着後に洗浄除去した
。
に代えてダイシング用シート19を光透過性部材2に貼り付けた後、ダイシング装置を用
いて、図10で示すように、個々の半導体装置20を切り分けた。なお、ダイシングに際
しては、表面保護層18を除去せずに、その上にダイシング用シート19を貼り付けた状
態で基板を支持してもよい。また、表面保護層18は薬剤等を用いて除去することもでき
るが、貫通孔3から中空7への水分浸入を確実に防止するため、上記紫外光による除去方
法を用いることが好ましい。
光透過性部材2とウエハ16とを、貫通孔3の内側開口が中空7に開口するようにして、
封止部材4を介して貼り合せることにより、封止部材4の加熱硬化時に熱膨張する空気を
中空7の内部から外へと排気することができる。これにより、加熱硬化時における封止部
材4のパターン形状の変形を顕著に防止でき、半導体装置の設計精度が高まる。
が負圧になり、外部から水分を引き込んで中空内部に湿気を籠もらせる結果、半導体チッ
プが劣化したり、中空の内面が結露して装置が誤作動したりすることがあるが、本実施の
形態1にかかる半導体装置の製造方法では、上記貫通孔3を介して中空7が外気とつなが
っているため、封止部材4を放熱させる過程で中空が負圧化して外部から水分を引き込む
ようなことがない。
削屑や、裏面研磨やダイシングの際に供給される水分が、当該貫通孔3から中空7へ浸入
することがない。これにより、削屑や水分に起因した半導体チップの損傷や、装置の誤作
動を引き起こす中空内面の結露の発生を確実に防止することができる。
孔3を設けてもよいが、本実施の形態1のように光透過性部材2に設けることが好ましい
。この理由としては、封止部材の熱硬化や放熱の際に中空が外気に通気されていることが
重要なため、熱硬化以前の封止部材に貫通孔を設けておく必要があるが、この場合には、
熱硬化に伴って貫通孔が溶着閉塞してしまうことがあり、十分な通気状態が得られにくい
ことがあげられる。また、ダイシング工程において、接着剤が塗布されていない部分を介
して、中空部分に水やSi屑が浸入する不具合が生じる。
状態が得られるようにすることはできるが、装置の部品数や作業工程数が増加するため好
ましくない。
体素子の劣化や、中空内面の結露による装置の誤作動が防止される。さらに、ウエハレベ
ルのチップ・スケール・パッケージにまで十分に小型化することができる。また、半導体
素子へと入射する光が貫通孔によって散乱等させられることがない。よって、半導体装置
の受光精度が高い。
止される。また、裏面研磨やダイシングに伴う、削屑や水分に起因した半導体チップの損
傷や、装置の誤作動を引き起こす中空内面の結露の発生が確実に防止される。
本実施の形態2は、例えば図13で示すように、光透過性部材2に設けられた貫通孔3
が1のみであること以外は、上記実施の形態1と同様の半導体装置であり、貫通孔を有し
つつも光透過性部材の機械的強度がさらに高く、破損しにくくなるため、実施の形態1と
同様の作用効果に加えて、半導体装置の長期信頼性の向上効果が得られるものである。
認識することができるため、装置裏面を確認しなくても、当該装置裏面に設けられた半田
ボール11の設計配置パターンを把握することができる。これにより、電子機器への装置
実装時の確認作業が不要となるため、実装にかかる作業効率が高まる。
本実施の形態3は、例えば図14で示すように、光透過性部材2に設けられた2の貫通
孔3のサイズが互いに異なること以外は、上記実施の形態1と同様の半導体装置であり、
サイズの異なる貫通孔3の配置パターンを目印にして半導体装置20の前後左右方向を簡
単に知ることができるため、実施の形態1と同様の作用効果に加えて、装置裏面を確認し
なくても、当該装置裏面に設けられた半田ボール11の設計配置パターンを認識できると
いう効果が得られるものである。
るように設定しておくことが好ましい。また、その形状については、特に限定するもので
はない。
本実施の形態4は、例えば図15で示すように、光透過性部材2に設けられた貫通孔3
が4つであること以外は、上記実施の形態1と同様の半導体装置であり、中空の通気性が
さらに良くなるため、実施の形態1と同様の作用効果に加えて、湿気に起因した、半導体
チップの劣化や装置の誤作動を一層防止することができるものである。
、孔数が多くなりすぎると光透過性部材が破損しやすくなるため、十分な機械的強度を損
なわない程度の孔数としておくことが好ましい。
(1)上記実施の形態1〜4では、貫通孔3の経路が、周縁領域23の垂直方向に延伸
している構造を示したが、半導体装置の受光精度を高める目的からは、半導体素子21へ
と入射する光の経路上を妨げることのない位置に設けられていることが重要であるため、
例えば図16および図17で示すように、貫通孔3の経路が、内側開口を基点として、素
子領域22から遠ざかる方向に延伸した構造としてもよい。
させることができる限り、このような中抜き構造に限るものではなく、例えば当該部分に
空気透過率の高い材料を用いるなど、貫通孔内部の通気性が光透過性部材のそれよりも高
くなるように調整された構造であってもよい。
近接している構造を示したが、素子領域の外側の周縁であって半導体素子21が設けられ
ていない一方主面部分である周縁領域23に面して貫通孔の内側開口が開口され、かつ貫
通孔の経路が素子領域の上方にかからないように延伸する限り、このような構造に限るも
のではなく、例えば図18で示すように、複数の素子領域22を島状に点在させた場合に
は、光透過性部材の中央に貫通孔を設け、隣り合う素子領域間の周縁領域に面して貫通孔
の内側開口を開口させた構造としてもよい。
周縁領域23のみに面して開口している場合を示したが、この内側開口が素子領域22に
面して中空に開口している貫通孔をさらに含むような装置構造を除外するものではない。
ただし、貫通孔による入射光の散乱等を確実に防止するためには、上記実施の形態1〜4
で示すように、全ての貫通孔の内側開口が周縁領域23に面して開口している構造とする
ことが好ましい。
り封止部材4を形成したが、エポキシ、ポリイミド及びアクリル等からなる感光性の樹脂
の塗布後に露光、現像して形成してもよい。また、中空7に対応した部分が打ち抜かれた
エポキシやポリイミド等からなるシート状の接着性樹脂を貼り付けて形成してもよい。
内包されているため、半導体素子の劣化や装置の誤作動を防止することにも利用できるの
で、その産業上の利用可能性は大きい。
2 光透過性部材
3 貫通孔
4 封止部材
5 撮像素子
6 マイクロレンズ部
7 中空
8 貫通電極
9 裏面配線
10 裏面保護膜
11 半田ボール
12 貫通孔絶縁膜
13 電極パッド
14 表面保護膜
15 裏面絶縁膜
16 ウエハ
17 埋め込み電極
18 表面保護層
19 ダイシング用シート
20 半導体装置
21 半導体素子
22 素子領域
23 周縁領域
Claims (14)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の一方主面の素子領域に設けられた半導体素子と、
前記一方主面に設けられ、前記素子領域を取り囲む封止部材と、
前記素子領域との間に中空が形成されるようにして、前記封止部材を介して前記半導体
基板に貼り合わされた光透過性部材と
を備えた半導体装置であって、
前記光透過性部材に、当該光透過性部材の主面を貫通する貫通孔が設けられ、
前記貫通孔の内側開口が、前記中空に開口している
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子が受光センサーであり、
前記素子領域を取り囲む封止部材と半導体素子との間に、その上方が中空である周縁領
域が存在し、
前記周縁領域に面して、前記光透過性部材の貫通孔の内側開口が開口され、
かつ、前記貫通孔の経路が、前記素子領域の上方にかからないように延伸している
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記貫通孔の経路が、前記周縁領域の垂直方向に延伸している
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記貫通孔の経路が、前記周縁領域の直上から外側に遠ざかる方向に延伸している
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記光透過性部材に設けられた貫通孔は、内側開口が前記周縁領域に面して開口した貫
通孔のみからなる
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記半導体基板の一方主面と反対側の他方主面に設けられた外部出力端子と、
前記半導体基板の主面を貫通し、前記半導体素子と前記外部出力端子とを導通させる貫
通電極と
をさらに有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記光透過性部材に設けられた貫通孔が1のみである
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記光透過性部材に設けられた貫通孔が2以上であり、前記2以上の貫通孔のサイズが
互いに異なる
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記半導体素子が受光センサーであり、
前記光透過性部材がガラスであり、当該ガラスの表面に赤外線カットフィルターがコー
ティングされている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 半導体ウエハの一方主面の素子領域に半導体素子を形成する半導体素子形成工程と、
前記素子領域を取り囲むようにして、前記一方主面に封止部材を形成する封止部材形成
工程と、
その主面を貫通する貫通孔が設けられた光透過性部材と、前記半導体ウエハとを、前記
素子領域との間に中空が形成されるように、かつ前記貫通孔の内側開口が前記中空に開口
するようにして、前記封止部材を介して貼り合せる貼り合せ工程と、
前記貼り合せ工程後に、前記封止部材を加熱硬化させる加熱硬化工程と
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記加熱硬化工程後に、前記半導体ウエハを放熱させる放熱工程をさらに備える
ことを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子が受光センサーであり、
前記封止部材形成工程は、前記素子領域と、前記素子領域の周縁の一方主面であって前
記半導体素子が設けられていない周縁領域とを取り囲むようにして封止部材を形成する工
程であり、
前記光透過性部材の貫通孔は、前記光透過性部材と前記半導体ウエハとを貼り合せた場
合に、前記光透過性部材の貫通孔の内側開口が前記周縁領域に面して開口し、かつ前記貫
通孔の経路が、前記素子領域の上方にかからないように、前記光透過性部材に設けられて
いる
ことを特徴とする請求項10または11記載の半導体装置の製造方法。 - 前記光透過性部材の貫通孔の内側開口が、前記光透過性部材と前記半導体ウエハとを貼
り合せた場合に、前記周縁領域のみに面して開口するようにして、前記光透過性部材に設
けられている
ことを特徴とする請求項10乃至12記載の半導体装置の製造方法。 - 前記放熱工程後に、前記光透過性部材の貫通孔の内側開口と反対側の外側開口を塞ぐよ
うにして、前記光透過性部材に接して表面保護層を形成する工程と、
前記表面保護層が設けられた光透過性部材を支持し、前記半導体ウエハの一方主面と反
対側の他方主面を研削して、前記半導体ウエハを半導体基板に加工する工程と、
前記研削されてなる半導体基板面に、前記半導体素子と導通する外部出力端子を形成す
る工程と、
前記表面保護層を除去して前記光透過性部材の一方主面を露出させた後、前記貫通孔の
外側開口を塞ぐようにして、当該露出させた光透過性部材の一方主面に接してダイシング
用シートを貼り付ける、または、前記表面保護層を除去せずに、当該表面保護層に接して
ダイシング用シートを貼り付ける、ダイシング用シート貼り付け工程と
前記ダイシング用シート貼り付け工程の後、前記半導体基板、前記封止部材および前記
光透過性部材をダイシングする工程と
をさらに備えることを特徴とする請求項12または13記載の半導体装置の製造方法。
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