JP4371029B2 - 半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(数式1)
θ=sin−1(n11/n12)
また、本発明は、素子表面における発光光の反射を良好に抑制することができる半導体発光素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
光取り出し面を有する一面に複数の突起部及び窪み部が形成された半導体層と、
前記窪み部に形成された光透過性を有する誘電膜と、
前記半導体層の一面上に形成された光透過性を有する導体膜と、
を備え、
前記導体膜と前記半導体層とが電気的に接続されており、
前記導体膜の屈折率n1と、前記誘電体膜の屈折率n2と、前記半導体層の屈折率n3とは、
n1≦n2<n3
の関係を満たし、
前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の幅Xとは、
X≧(λ/2)
の関係を満たし、
前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の高さYとは、
Y≧(λ/2)
の関係を満たす、ことを特徴とする。
前記導体膜と前記突起部とが前記導電性膜を介して電気的に接続されていることが好ましい。
(Y/3)≦X≦3Y
の関係を満たすことが好ましい。
半導体層の光取り出し面を有する一面に複数の突起部及び窪み部を形成し、前記窪み部に光透過性を有する誘電膜を形成し、前記半導体層の一面上に光透過性を有する導体膜を形成する工程を備え、
前記工程では、前記導体膜と前記半導体層とが前記突起部を介して電気的に接続するように、前記導体膜、前記誘電体膜、及び、前記半導体層を形成する、ことを特徴とする。
n1≦n2<n3
の関係を満たす材料を用いて、前記導体膜、前記誘電体膜、及び、前記半導体層を形成することが好ましい。
(Y/3)≦X≦3Y
の関係を満たすように、前記突起部を形成することが好ましい。
X≧(λ/2)
の関係を満たし、
前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の高さYとが、
Y≧(λ/2)
の関係を満たすように、前記突起部を形成することが好ましい。
(数式2)
(Y/3)≦X≦3Y
(数式3)
(Y/2)≦X≦2Y
(数式4)
X≧(λ/2)
(数式5)
Y≧(λ/2)
(数式6)
n4<n1≦n2<n3
(数式7)
θ1=sin−1(n3/n1)
(数式8)
θ2=sin−1(n3/n2)
(数式9)
θ3=sin−1(n2/n1)
(数式10)
θ4=sin−1(n1/n4)
10 半導体基体
11 N型基板
12 N型補助層
13 活性層
14 P型補助層
15 ウインドウ層
16 突起部
17 窪み部
21 コンタクト電極
22 透明誘電体膜
23 透明導体膜
24 アノード電極
25 保護層
26 カソード電極
Claims (11)
- 光取り出し面を有する一面に複数の突起部及び窪み部が形成された半導体層と、
前記窪み部に形成された光透過性を有する誘電膜と、
前記半導体層の一面上に形成された光透過性を有する導体膜と、
を備え、
前記導体膜と前記半導体層とが電気的に接続されており、
前記導体膜の屈折率n1と、前記誘電体膜の屈折率n2と、前記半導体層の屈折率n3とは、
n1≦n2<n3
の関係を満たし、
前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の幅Xとは、
X≧(λ/2)
の関係を満たし、
前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の高さYとは、
Y≧(λ/2)
の関係を満たす、ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記導体膜と前記半導体層とが前記突起部を介して電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体層は、前記導体膜から前記半導体層に流れる電流が前記一面の全面に流れるように、前記突起部及び窪み部が形成されている、ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記突起部上に形成された光透過性を有する導電性膜をさらに備え、
前記導体膜と前記突起部とが前記導電性膜を介して電気的に接続されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記突起部の幅Xと、前記突起部の高さYとは、
(Y/3)≦X≦3Y
の関係を満たす、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 半導体層の光取り出し面を有する一面に複数の突起部及び窪み部を形成し、前記窪み部に光透過性を有する誘電膜を形成し、前記半導体層の一面上に光透過性を有する導体膜を形成する工程を備え、
前記工程では、前記導体膜と前記半導体層とが前記突起部を介して電気的に接続するように、前記導体膜、前記誘電体膜、及び、前記半導体層を形成する、ことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記導体膜から前記半導体層に流れる電流が前記一面の全面に流れるように、前記突起部及び窪み部を形成する、ことを特徴とする請求項6に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記突起部上に光透過性を有する導電性膜を形成する工程をさらに備え、該工程では、前記導体膜と前記突起部とが前記導電性膜を介して電気的に接続するように、前記導電性膜を形成する、ことを特徴とする請求項6または7に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記導体膜の屈折率n1と、前記誘電体膜の屈折率n2と、前記半導体層の屈折率n3とが、
n1≦n2<n3
の関係を満たす材料を用いて、前記導体膜、前記誘電体膜、及び、前記半導体層を形成する、ことを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記突起部の幅Xと、前記突起部の高さYとが
(Y/3)≦X≦3Y
の関係を満たすように、前記突起部を形成する、ことを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の幅Xとが、
X≧(λ/2)
の関係を満たし、
前記半導体層内で発光した光の波長λと、前記突起部の高さYとが、
Y≧(λ/2)
の関係を満たすように、前記突起部を形成する、ことを特徴とする請求項6乃至10のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。
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