JP4345278B2 - パターニング方法、膜形成方法、パターニング装置、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置の製造方法、及び電子装置の製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイ、表示光源などとして用いられる電気光学装置の製造方法に適用可能なパターニング方法と膜形成方法、パターニング装置、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置とその製造方法、電子装置とその製造方法、及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶ディスプレイに替わる自発光型ディスプレイとして、発光層に有機物を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の開発が加速している。このような有機エレクトロルミネッセンス素子の製造において、発光層形成材料などの機能性材料を所望のパターンに形成するパターニング方法は、特に重要な技術のうちの一つであるとされている。
有機エレクトロルミネッセンス素子における有機物からなる発光層の形成プロセスとしては、低分子材料を蒸着法で成膜する方法（例えば、非特許文献１参照）と、高分子材料を塗布する方法（例えば、非特許文献２参照）とが主に知られている。
【０００３】
カラー化の手段としては、低分子系材料を用いる場合、所定パターンのマスク越しに異なる発光色の発光材料を所望の画素対応部分に蒸着し形成するマスク蒸着法が行われている。一方、高分子系材料を用いる場合には、微細かつ容易にパターニングができることから、インクジェット法を用いたカラー化が注目されており、このようなインクジェット法による有機エレクトロルミネッセンス素子の作製について開示されたものが従来より知られている（例えば、特許文献１〜特許文献４参照）。
また、有機エレクトロルミネッセンス素子では、発光効率、耐久性を向上させるために、正孔注入層または正孔輸送層を陽極と発光層との間に形成することが提示されている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−２３５３７８号公報
【特許文献２】
特開平１０−１２３７７号公報
【特許文献３】
特開平１１−４０３５８号公報
【特許文献４】
特開平１１−５４２７０号公報
【非特許文献１】
Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５１（１２）、
２１ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ １９８７、ｐ．９１３
【非特許文献２】
Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．７１（１）、
７ Ｊｕｌｙ １９９７、ｐ．３４
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような有機エレクトロルミネッセンス素子などの製造においては、各種構成要素に対する材料の多様化などにより、特に材料の選択自由度を高くした新たなパターニング方法の提供が望まれている。
そこで、本発明は、材料の選択自由度を高くした新たなパターニング方法を提供するとともに、膜形成方法、前記パターニング方法を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とカラーフィルタの製造方法、さらには電気光学装置とその製造方法、及び電子機器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るパターニング方法は、第１の基体の最上層に形成された受容層上に材料を含む材料層を配置した状態で、前記材料層に対する光線の照射を行うことにより前記材料を前記受容層内に移行させる工程を含み、前記工程において、前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する現象の生起確率が前記光線のパルス強度の１乗より大きくなるように行われることを特徴とする。
上記のパターニング方法において、前記材料は前記光線に対して線形吸収を有していないようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記パターニング方法により所望パターンの材料部が形成されるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記光線は、前記第１の基体側から前記第１の基体を透過させて前記材料層に照射されるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記材料層が第２の基体上に配置されてなるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記材料層が、予め前記第２の基体上にパターニングされて形成されていてもよい。
上記のパターニング方法において、前記工程における前記光線の照射は、光照射用マスクを通して行われるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記光線はレーザー光線であってもよい。
上記のパターニング方法において、前記光線がパルス光線であってもよい。
上記のパターニング方法において、前記材料層に対する前記光線の照射により前記材料の非線形光学現象が誘起されるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記工程において、前記光線の照射は走査しながら行われるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記工程において、前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する現象の生起確率が、前記光線が通過する際の前記材料層以外の部分における生起確率より高くするように行われるようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記材料層に対する前記光線の照射により、前記材料の多光子吸収が生起するようにしてもよい。
上記のパターニング方法において、前記材料層が電極材料であってもよい。
上記のパターニング方法において、前記材料層が、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つの形成材料であってもよい。
本発明に係る膜形成方法は、第１の基体の最上層に形成された受容層上に材料を含む材料層を配置した状態で、前記材料層に対する光線の照射を行うことにより前記材料を前記受容層内に移行させる工程を含み、前記光線の照射は、前記光線を走査しながら行われ、前記工程において、前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する現象の生起確率が前記光線のパルス強度の１乗より大きくなるように行われることを特徴とする。
本発明に係るパターニング装置は、材料層に光線を照射して前記材料層の材料を基体の最上層に形成された受容層内に移行させるパターニング装置であって、前記光線を照射する光照射機構と、前記基体を保持する保持機構と、を含み、前記光照射機構による前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する現象の生起確率が前記光線のパルス強度の１乗より大きくなるように行われることを特徴とする。
上記のパターニング装置において、前記保持機構に保持された前記基体を水平方向及び垂直方向に移動させる移動機構とを含んでいてもよい。
上記のパターニング装置において、前記光照射機構は、光線照射位置を走査するための走査部を備えていてもよい。
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、上記のパターニング方法を用いて電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つを形成することを特徴とする。
本発明に係るカラーフィルタの製造方法は、前記材料層をカラーフィルタ材料によって形成し、上記のパターニング方法、あるいは上記のパターニング装置を用いてカラーフィルタをパターニングすることを特徴とする。
本発明に係る電気光学装置の製造方法は、上記のパターニング方法、上記のカラーフィルタの製造方法、あるいは上記のパターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングすることを特徴とする。
本発明に係る他の電気光学装置の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層の形成材料のうちのホスト材料を予め第１の基体上に所望するパターンに形成しておき、その後、前記発光層の形成材料のうちのゲスト材料を上記のパターニング方法、あるいは上記のパターニング装置を用いて前記ホスト材料からなるパターン中に移行させ、前記ホスト材料中にゲスト材料を有した発光層を形成することを特徴とする。
本発明に係る電子装置の製造方法は、上記のパターニング方法、あるいは上記のパターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングすることを特徴とする。
前記目的を達成するため本発明のパターニング方法は、第１の基体の上方に材料層を配置し、該材料層に光線を照射することにより、該材料層の材料を第１の基体上に移行させて所望パターンの材料部を形成することを特徴としている。
【０００７】
このパターニング方法によれば、高いエネルギーで光線が照射されると、照射された物質の一部が分子状に飛散する原理により、光線が照射された材料層の材料が、第１の基体上に移行する。したがって、光線の照射を所望パターンに対応して行えば、第１の基体上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することが可能になる。また、材料層の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができる。
【０００８】
また、前記パターニング方法においては、光線を、前記第１の基体側から該第１の基体を透過させて材料層に照射するのが好ましい。
このようにすれば、例えば光線の照射面となる材料層の表面側に第１の基体が位置していることにより、材料層を飛散した材料が該第１の基体側に移行しやすくなり、したがって第１の基体上に材料部を良好にパターニングすることができる。
【０００９】
また、前記パターニング方法においては、前記材料層が第２の基体上に配置されてなるのが好ましい。
このようにすれば、材料層を備えた第２の基体を単に第１の基体上に重ねるだけで、光線照射によるパターニング処理を行うことができ、処理の簡略化を図ることができる。
【００１０】
また、前記パターニング方法においては、前記材料層が、予め第２の基体上にパターニングされて形成されてなり、この第２の基体上に形成されたパターンに対応して第１の基体上に所望パターンの材料部を形成するのが好ましい。
このようにすれば、例えば異なる材料を材料層として第２の基体上に形成しておくことにより、一つの工程で複数の材料をパターニングすることができ、パターニング工程の効率化を図ることができる。
【００１１】
また、前記パターニング方法においては、予め所望するパターンに対応させて形成した光照射用マスクを用い、光線の照射を該光照射用マスクを通して行うことにより、材料層の材料を第１の基体上に移行させて所望パターンの材料部を形成するのが好ましい。
このようにすれば、例えば一つの材料についてパターニングを行った後、マスクを移動させることによって別の材料をパターングしたり、また、材料に応じて複数のマスクを用意しておき、これらマスクを使い分けて複数の材料をパターニングすることにより、パターニング工程の効率化を図ることができる。
【００１２】
また、前記パターニング方法においては、前記光線がレーザー光線であるのが好ましく、その場合に、レーザー光線はパルス光線であるのが好ましい。
このようにすれば、例えば安定した高いエネルギーの光線を照射できることにより、良好なパターニングを行うことができる。また、レーザー光線は直進性（コヒーレンシー）に優れているので、正確なパターンを形成することができる。なお、ここでレーザー光線はレーザー発振により生ずる光のみを指すのではなく、高調波発生や波長変換の結果生ずる光も含んでいる。
また、レーザー光線がパルス光線である場合に、パルス幅が短くなれば線形吸収がなくとも非線形光学効果により物質に光を吸収させることができるようになる。したがって、基体にパルス光線を透過させて材料層に照射すると、基体に線形吸収が存在しても、レンズ等で光線の焦点距離を適宜設定すれば前記材料層にほぼ選択的に光を吸収させることができるようになる。
【００１３】
また、前記パターニング方法においては、前記光線の前記材料層に対する照射により前記材料層の前記材料の非線形光学現象を誘起し、前記材料を前記第１の基体上に移行させるようにするのが好ましい。
このように非線形光学効果を利用すれば、非線形光学効果により誘起される現象（非線形光学現象）の生起確率がパルス強度（単位面積当たりのワット数）の１乗より大きくなるので、材料層におけるパルス強度をパルス光線が通過する材料層以外の層より十分大きくすることにより、材料層における現象の生起確率をパルス光線が通過する材料層以外の部分における生起確率に比べて十分大きくすることができる。さらに高次の非線形光学効果を利用すれば、所望の位置での現象の生起確率を所望の位置以外での生起確率に比べてより顕著に高めることが可能となる。
【００１４】
また、前記パターニング方法においては、前記材料層が電極材料であるのが好ましい場合がある。
このようにすれば、例えば有機エレクトロルミネッセンス素子の画素電極（陽極）をＩＴＯで作製する場合に、従来のごとくこれを強酸によるエッチングによってパターニングすると、素子上の他の金属配線に腐食等の悪影響を及ぼすものの、本方法によれば、強酸を用いることなくパターニングできることにより、前記の不都合を回避することができる。
【００１５】
また、前記パターニング方法においては、前記材料層が、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つの形成材料であるのが好ましい。
このようにすれば、電子輸送層、正孔輸送層あるいは発光層を容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することが可能になる。
【００１６】
また、前記パターニング方法においては、前記第１の基体の最上層に受容層を形成し、前記受容層上に光学材料を含む光学材料層を配置し、前記光学材料層に光線を照射することにより前記光学材料を前記受容層内に移行させるようにするのが好ましい。
このようにすれば、光学材料については特に限定されることなくこれを受容層内に移行させることが可能となり、したがって光学材料の選択自由度を高くすることができる。
【００１７】
本発明の膜形成方法は、第１の基体の上方に材料膜を配置し、該材料膜に部分的に光線を照射し、該材料膜の前記光線が照射された部分の材料を第１の基体上に移行させることを特徴としている。
この膜形成方法によれば、第１の基体上に材料を容易に移行させることが可能になる。また、材料膜の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができる。
【００１８】
本発明の別の膜形成方法は、第１の基体の上方に所定のパターンが形成された材料膜を配置し、前記材料膜に光線を照射することにより、前記材料膜の材料を前記第１の基体上に移行させることを特徴としている。
この膜形成方法によれば、第１の基体上に材料膜の材料を、該材料膜の所定のパターンに対応させた状態に移行させることが可能になる。また、材料膜の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができる。
【００１９】
本発明のパターニング装置は、材料層に光線を照射して該材料層の材料を基体上に移行させ、所望パターンの材料部を形成するパターニング装置であって、前記光線を照射する光照射機構と、前記基体を保持する保持機構と、を備えたことを特徴としている。
【００２０】
このパターニング装置によれば、高いエネルギーで光線が照射されると、照射された物質の一部が分子状に飛散する原理により、光照射機構によって材料層に光線を照射することで、材料層の材料を保持機構に保持された基体上に移行させることができる。したがって、光線の照射を所望パターンに対応して行えば、基体上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することが可能になる。また、材料層の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができる。
【００２１】
また、前記のパターニング装置においては、前記光照射機構に、光線照射位置を走査するための走査部が備えられているのが好ましい。
このようにすれば、基体が保持手段に固定されていても、光線照射位置を走査することにより、基体上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することが可能になる。
【００２２】
また、前記のパターニング装置においては、前記光照射機構から照射された光線を、基体に対して選択的に照射させるための光照射用マスクが備えられているのが好ましい。
このようにすれば、基体が保持手段に固定されていても、光照射用マスクを用いることにより、前記光照射機構から照射する光線を基体に対して選択的に照射することでができ、これにより基体上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することが可能になる。
【００２３】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、前記パターニング方法を用いて電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つを形成することを特徴としている。
この製造方法によれば、電子輸送層、正孔輸送層あるいは発光層を容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる有機エレクトロルミネッセンス素子の品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【００２４】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、材料層をカラーフィルタ材料によって形成し、前記パターニング方法あるいは前記パターニング装置を用いてカラーフィルタをパターニングすることを特徴としている。
この製造方法によれば、カラーフィルタを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られるカラーフィルタの品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【００２５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、前記のパターニング方法、カラーフィルタの製造方法、あるいは前記パターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングすることを特徴としている。
この製造方法によれば、所望パターンの材料部、あるいはカラーフィルタを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化を図ることができる。
【００２６】
また、本発明の別の電気光学装置の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層の形成材料のうちのホスト材料を予め第１の基体上に所望するパターンに形成しておき、その後、前記発光層の形成材料のうちのゲスト材料を前記のパターニング方法あるいは前記パターニング装置を用いて前記ホスト材料からなるパターン中に移行させ、該ホスト材料中にゲスト材料を有した発光層を形成することを特徴としている。
この製造方法によれば、例えば赤、青、緑に対応するゲスト材料を、それぞれ予め形成したホスト材料からなるパターンの所望の位置に分けて移行させることにより、所望パターンでかつ所望色を呈する発光層を容易にかつ正確に形成することができる。
【００２７】
本発明の電気光学装置は、前記の電気光学装置の製造方法によって得られてなることを特徴としている。
この電気光学装置によれば、得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化が図られたものとなり、あるいは、所望パターンでかつ所望色を呈する発光層が容易にかつ正確に形成されたものとなる。
【００２８】
本発明の電子装置の製造方法は、前記パターニング方法、あるいは前記パターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングすることを特徴としている。
この電子装置の製造方法によれば、構成要素を容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる電子装置の品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【００２９】
本発明の電子装置は、前記パターニング方法、あるいは前記パターニング装置によって構成要素の少なくとも一部がパターニングされたことを特徴としている。
この電子装置によれば、構成要素が容易にかつ正確に形成されたものとなり、しかもその形成材料が高い自由度で選択されて形成されたものとなることから、品質向上やコストの低減化が図られたものとなる。
【００３０】
本発明の電子機器は、前記の電気光学装置を表示手段として備えてなることを特徴としている。
この電子機器にあっても、特にその表示手段について、前述したように得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化が図られたものとなり、あるいは、所望パターンでかつ所望色の発光層が容易にかつ正確に形成されたものとなる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明のパターニング装置について説明する。図１は本発明のパターニング装置の一例を示す図であり、図１中符号５０はパターニング装置である。このパターニング装置５０は、材料層５１に光線を照射してこの材料層５１の材料を基体５２上に移行させ、基体５２上に所望パターンの材料部を形成するためのもので、前記光線を照射する光照射機構５３と、前記基体５２を保持する保持機構５４とを備えて構成されたものである。
【００３２】
前記材料層５１は、例えば図１に示したように第２の基体５５の表面に成膜され、あるいは機械的に保持されることにより、第２の基体５５の表面に設けられるもので、第２の基体５５が適宜な治具（図示せず）などによってチャンバー５６内に配置固定されることにより、材料層５１自体もチャンバー５６内に配置固定されたものなる。チャンバー５６には真空ポンプ等の減圧手段（図示せず）に接続されており、これによってチャンバー内を所望する減圧雰囲気（高真空雰囲気を含む）に調整できるようになっている。また、チャンバー５６、および第２の基体５５にはそれぞれヒーター（図示せず）が設けられており、チャンバー５６内、および第２の基体５５表面の材料層５１を所望する温度に加熱できるようになっている。
【００３３】
前記材料層５１を形成する材料としては、特に限定されることなく、目的とする形成要素に応じて任意のものが使用可能であり、例えば金属単体としては、鉄、銅、ニッケル、金、銀、マンガン、コバルトなどが使用可能である。また、合金としては、ニッケル鉄、鉄マンガン、コバルト鉄、イリジウムマンガンなどが使用可能である。誘電体としては、Ｋ_２ ＳｉＯ_３ 、Ｌｉ_２ ＳｉＯ_３ 、ＣａＳｉＯ_３ 、ＺｒＳｉＯ_４ 、Ｎａ_２ ＳｉＯ_３ 等のケイ酸化合物や、ＴｉＯ、Ｔｉ_２ Ｏ_３ 、ＴｉＯ_２ 等の酸化チタン、ＢａＴｉＯ_４ 、ＢａＴｉＯ_３ 、Ｂａ_２ Ｔｉ_９ Ｏ_２０、ＢａＴｉ_５ Ｏ_１１、ＣａＴｉＯ_３ 、ＳｒＴｉＯ_３ 、ＰｂＴｉＯ_３ 、ＭｇＴｉＯ_３ 、ＺｒＴｉＯ_２ 、ＳｎＴｉＯ_４ 、Ａｌ_２ ＴｉＯ_５ 、ＦｅＴｉＯ_３ 等のチタン酸化合物、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２ ）、ＢａＺｒＯ_３ 、ＺｒＳｉＯ_４ 、ＰｂＺｒＯ_３ 、ＭｇＺｒＯ_３ 、Ｋ_２ ＺｒＯ_３ 等のジルコン酸化物、さらにＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３ ］、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３ ］、ＳＢＴ［Ｓｒ（Ｂｉ，Ｔａ）Ｏ］、ＳＢＮ［Ｓｒ（Ｂｉ，Ｎｂ）Ｏ］などが使用可能である。
【００３４】
また、材料層５１を形成する材料としては有機材料、例えばポリフルオレンやその誘導体、ポリフェニレンビニレンやその誘導体、さらには各種の色素などを用いることもでき、また、蛋白質等の生体物質も使用可能である。蛋白質等の生体物質を材料層５１の材料として用いる場合には、例えばこれを適当な溶媒で混合し、これをサンプルプレート上で乾燥させて材料層５１としてもよい。
【００３５】
また、チャンバー５６内には、被パターニング体となる基体５２を保持する保持機構５４が設けられている。この保持機構５４は、本例では後述するように基体５２側から光線を照射するため、図１に示したようなガラス等からなる透光性（透明）のステージによって構成される。なお、この保持機構５４としては、基体５２を保持できるものであれば特に限定されることなく種々のものを用いることができる。例えば、基体５２側からの光線照射を可能にするため、基体５２の周辺部のみを支持するようにした環状の保持台、あるいは隅部のみを複数箇所支持するようにした複数のブロック状保持台、さらには基体５２の側面を挟み込むようにしてこれを保持する挟持体などが使用可能である。
【００３６】
このような保持機構５４には、これを移動させるることによってこれに保持される基体５２を水平方向及び垂直方向に移動可能とする移動機構５７が接続されている。このような構成によって保持機構５４に保持された基体５４は、前記材料層５１と対向し、かつこれに十分に近接した状態となるよう配置されるようになっている。なお、移動機構５７については水平方向と垂直方向のいずれか一方の移動のみを行わせる構成としてもよい。ただし、その場合にも、保持機構５４に保持した基体５４を材料層５１と対向させた際、基体５４の表面が材料層５１表面に十分近接するように構成しておくのが好ましい。なお、図１では基体５４の表面と材料層５１の表面との間をあけて示しているが、これは後述の説明をし易くするためであり、実際には基体５４の表面と材料層５１の表面との間がわずかな間隙を介するだけで、十分に近接しているものとする。
【００３７】
光照射機構５３は、チャンバー５６内に配設され、あるいはチャンバー５６外に配設されるもので、光線を照射するための光源５３ａが備えられ、さらに本例では光源５３ａから照射される光線の照射位置を走査するための走査部５３ｂが備えられている。光源５３ａは、照射する光線として、その波長や強度が基体５２等を透過して前記材料層５１を照射するものが予め選択して用いられる。また、そのエネルギー強度についても、照射された材料層５１の材料の一部が分子状に飛散し、その照射面側、すなわち基体５２側に移行して拡散するように予め調整しておく。このようなエネルギー強度をもつ光線としては、水銀ランプ光線、ハロゲンランプ光線、キセノンランプ光線などの定常光源光線も使用可能であるが、レーザー光線が最も好適に用いられる。レーザー光線としては、例えばエキシマレーザー、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、チタンサファイアレーザー、及びこれらレーザー光線の高調波、又はパラメトリック波長変換により発生した光線などが好適に用いられる。
【００３８】
また、このように光線としてレーザー光線を採用する場合、これをパルス光線とするのが好ましく、その場合にパルス幅としては、２０ｎｓ以下であるのが望ましく、２００ｐｓ以下であるのがより望ましく、２００ｆｓ以下であるのがさらに望ましい。パルス幅が短くなれば、線形吸収がなくとも非線形光学効果により物質に光を吸収させることができるようになる。したがって、非線形光学効果を用いれば基体にパルス光線を透過させて材料層に照射した際、基体に線形吸収が存在しても、レンズ等で光線の焦点距離を適宜設定すれば前記材料層にほぼ選択的に光を吸収させることができるようになるからである。
ここで、非線形光学応答としては、例えば、高調波発生、ポッケルス効果、カー効果、２光子吸収等の多光子吸収などが挙げられるが、中でも、多光子吸収を利用することが好ましい。
なお、例えば光照射機構５３をチャンバー５６の外に配設した場合などでは、その光源５３ａに対し、必要に応じてプリズムやレンズ等の光学部品（図示せず）を組み合わせることにより、その光路や焦点距離を適宜に調整するようにしてもよい。
【００３９】
このような構成のパターニンング装置５０によって基体５２上に所望パターンの材料部を形成するには、まず、形成するパターンの材料部に対応した材料層５１を有する第２の基体５５を所定位置に配置固定する。そして、基体５２を保持機構５４に保持固定させ、さらに移動機構５７を駆動させて基体５２を前記材料層５１に対向する位置に合わせる。
さらに、必要に応じてチャンバー５６内、及び／又は第２の基体５５を所望温度にまで加熱するとともに、チャンバー５６内を減圧する。なお、チャンバー５６内の圧については、特に限定されることなく、例えば大気圧であっても、また真空雰囲気としてもよく、もちろんこれらの間の範囲となる減圧雰囲気としてもよい。
その後、光照射機構５３の光源５３ａから図１中実線に示すように光線を材料層５１の表層部に照射する。なお、このような材料層５１表層部への照射は、光線の種類及びそのエネルギー強度や波長を適宜に調整し非線形光学効果を起こさせることにより、基体５２を透過させて材料層５１表層部に到達させるようにする。
【００４０】
すると、材料層５１の照射された部分が分子状に飛散することにより、この材料層５１の材料が図１中破線で示すように基体５２の所定箇所に移行拡散し、これにより材料層５１の材料が基体５２の所定箇所に堆積する。したがって、走査部５３ｂによって光源５３ａから照射される光線の照射位置を走査し、照射位置を所望するパターンに対応させることにより、本発明において材料部となるパターンを基体５２上に形成することができる。
なお、図１においては、光源５３からの光線の光路を材料層５１に対し斜めに記したが、これは材料層５１からの材料の移行拡散を説明するためにしたもので、材料層５１に対して垂直に光線を照射してもよいのはもちろんである。
【００４１】
このようなパターニング装置５０にあっては、光源照射機構５３による光線の照射を所望パターンに対応して行うことにより、基体５２上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することができる。また、材料層５１の材料については特に限定されないことから、材料の選択自由度を高くすることができる。
【００４２】
図２は、本発明のパターニング装置の他の例を示す図であり、図２中符号６０はパターニング装置である。このパターニング装置６０が図１に示したパターニング装置５０と異なるところは、光源照射機構５３に光線の照射位置を走査するための走査部５３ｂを設けるのに代えて、光線を、基体５２に対して選択的に照射させるための光照射用マスク６１を設けた点にある。
【００４３】
すなわち、本例のパターニング装置６０では、保持する保持機構５４上の基体５２と材料層５１との間に、光照射用マスク６１が設けられている。この光照射用マスク６１は、適宜な位置に一つあるいは複数の開口６１ａを有した金属等からなるもので、前記開口６１ａでは光線を通過させ、該開口６１ａ以外では光線を遮断するよう構成されたものである。なお、開口６１ａは所望のパターン状に対応して形成されている。
また、光照射用マスク６１は、基体５２あるいはこれを保持する保持機構５４に対して、例えばマグネットやその他の機械的な固定手段によって固定されるようになっている。
なお、図２において光照射用マスク６１を材料層５１と基体５２との間に配設するようにしたが、基体５２と保持機構５４との間に配設し、あるいは保持機構５４の下側に配設するようにしてもよい。
【００４４】
このような構成のパターニンング装置６０によって基体５２上に所望パターンの材料部を形成するには、まず、先の例と同様にして材料層５１を有する第２の基体５５を所定位置に配置固定する。また、基体５２を保持機構５４に保持固定し、さらに光照射用マスク６１を基体５２に対して所望位置にセットし、その状態でこれらを材料層５１に対して所定位置に移動させる。
さらに、必要に応じてチャンバー５６内、及び／又は第２の基体５５を所望温度に設定するとともに、チャンバー５６内を減圧する。なお、ここでの処理においても、温度や減圧度等を特に調整することなく、常温、常圧のもとで行うようにしてもよい。ただし、光照射用マスク６１が温度によって伸縮を起こす場合には、温度を適宜に調整してこれを抑制するのが好ましい。
その後、光照射機構５３の光源５３ａから光線を照射し、図２中実線に示すように光照射用マスク６１の開口６１ａを通過させて材料層５１の表層部に到達させる。
【００４５】
すると、先の例と同様に材料層５１の照射された部分が分子状に飛散することにより、この材料層５１の材料が基体５２側に移行拡散する。このとき、材料層５１と基体５２との間に光照射用マスク６１を設けているので、拡散した材料は開口６１ａのみを選択的に通過し、その他の箇所では遮断されることになる。したがって、光源５３ａから照射される光線の照射位置を開口６１ａに対応させることにより、本発明において材料部となるパターンを基体５２上に形成することができる。
【００４６】
このようなパターニング装置６０にあっても、光照射用マスク６１を設けたことにより、基体５２上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することができる。また、材料層５１の材料については特に限定されないことから、材料の選択自由度を高くすることができる。
なお、本発明のパターニング装置は、図１、図２に示した例に限定されることなく種々の形態を採用することができ、例えば、光源５３ａから照射される光線の照射位置を走査するための走査部５３ｂと、光照射用マスク６１とを両方備えるようにしてもよい。
【００４７】
次に、前記パターニング装置を用いてなる本発明のパターニング方法を、有機エレクトロルミネッセンス素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置（電気光学装置）の製造に適用した場合の例に基づいて説明するが、これに先立ち、この製造によって得られる電気光学装置について、図３、図４を用いてその概略構成を説明する。
【００４８】
図３、図４において符号１は表示装置であり、この表示装置１は、回路図である図３に示すように透明の基板上に、複数の走査線１３１と、これら走査線１３１に対して交差する方向に延びる複数の信号線１３２と、これら信号線１３２に並列に延びる複数の共通給電線１３３とがそれぞれ配線されたもので、走査線１３１及び信号線１３２の各交点毎に、画素（画素領域素）１Ａが設けられて構成されたものである。
【００４９】
信号線１３２に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ側駆動回路３が設けられている。
一方、走査線１３１に対しては、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路４が設けられている。また、画素領域１Ａの各々には、走査線１３１を介して走査信号がゲート電極に供給される第１の薄膜トランジスタ１４２と、この第１の薄膜トランジスタ１４２を介して信号線１３２から供給される画像信号を保持する保持容量ｃａｐと、保持容量ｃａｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給される第２の薄膜トランジスタ１４３と、この第２の薄膜トランジスタ１４３を介して共通給電線１３３に電気的に接続したときに共通給電線１３３から駆動電流が流れ込む画素電極１４１と、この画素電極１４１と対向電極１５４との間に挟み込まれる発光部１４０と、が設けられている。
【００５０】
このような構成のもとに、走査線１３１が駆動されて第１の薄膜トランジスタ１４２がオンとなると、そのときの信号線１３２の電位が保持容量ｃａｐに保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて、第２の薄膜トランジスタ１４３の導通状態が決まる。そして、第２の薄膜トランジスタ１４３のチャネルを介して共通給電線１３３から画素電極１４１に電流が流れ、さらに発光素子１４０を通じて対向電極１５４に電流が流れることにより、発光部１４０は、これを流れる電流量に応じて発光するようになる。
【００５１】
ここで、各画素１Ａの平面構造は、対向電極や有機エレクトロルミネッセンス素子を取り除いた状態での拡大平面図である図４に示すように、平面形状が長方形の画素電極１４１の四辺が、信号線１３２、共通給電線１３３、走査線１３１及び図示しない他の画素電極用の走査線によって囲まれた配置となっている。
【００５２】
次に、このような表示装置１に用いられる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法として、本発明のパターニング方法又は本発明の膜形成方法を適用した場合の第１の例について、図５〜図８を用いて説明する。なお、図５〜図８では、説明を簡略化するべく、単一の画素１Ａについてのみ図示する。
まず、本発明において第１の基体の基部となる基板を用意する。ここで、有機エレクトロルミネッセンス素子では後述する発光層による発光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特に安価なソーダガラスが好適に用いられる。ソーダガラスを用いた場合、これにシリカコートを施すのが、酸アルカリに弱いソーダガラスを保護する効果を有し、さらに基板の平坦性をよくする効果も有するため好ましい。
また、基板に色フィルター膜や発光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。
また、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００５３】
本例では、基板として図５（ａ）に示すようにソーダガラス等からなる透明基板１２１を用意する。そして、これに対し、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。
【００５４】
次に、透明基板１２１の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜２００を形成する。次いで、この半導体膜２００に対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜２００をポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は例えば２００ｍＪ／ｃｍ2 とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。
【００５５】
次いで、図５（ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）２００をパターニングして島状の半導体膜２１０とし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜２２０を形成する。なお、半導体膜２１０は、図３に示した第２の薄膜トランジスタ１４３のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においては第１の薄膜トランジスタ１４２のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。つまり、図５〜図８に示す製造工程では二種類のトランジスタ１４２、１４３が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られるため、以下の説明ではトランジスタに関しては、第２の薄膜トランジスタ１４３についてのみ説明し、第１の薄膜トランジスタ１４２についてはその説明を省略する。
【００５６】
次いで、図５（ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属を含む導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極１４３Ａを形成する。
次いで、この状態で高濃度のリンイオンを打ち込み、半導体膜２１０に、ゲート電極１４３Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域１４３ａ、１４３ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域１４３ｃとなる。
【００５７】
次いで、図５（ｄ）に示すように、層間絶縁膜２３０を形成した後、コンタクトホール２３２、２３４を形成し、それらコンタクトホール２３２、２３４内に中継電極２３６、２３８を埋め込む。
次いで、図５（ｅ）に示すように、層間絶縁膜２３０上に、信号線１３２、共通給電線１３３及び走査線（図５に示さず）を形成する。このとき、これらに囲まれる箇所は後述するように発光層等を形成する画素となることから、第２の薄膜トランジスタ１４３が前記の各配線に囲まれた箇所の直下に位置しないよう、各配線を形成する。
【００５８】
そして、各配線の上面をも覆うように層間絶縁膜２４０を形成し、中継電極２３６に対応する位置にコンタクトホール（図示せず）を形成し、そのコンタクトホール内にＩＴＯ等の導電性材料を埋め込む。
続いて、このコンタクトホール内の導電性材料に連続するようにして、本発明のパターニング方法を用いて画素１Ａとなる位置、すなわち信号線１３２、共通給電線１３３及び走査線に囲まれた箇所に、ＩＴＯ等の透明電極材料をパターニングし、画素電極１４１を形成する。
【００５９】
この画素電極１４１の形成にあたっては、予め図６（ａ）に示すように、ＩＴＯやフッ素をドープしてなるＳｎＯ_２ 、さらにＺｎＯやポリアニリン等の透明電極材料からなる材料層１０を合成樹脂等のフィルムなどからなる第２の基体１１の上に成膜しておいたものを用意しておく。ここで、第２の基体１１としては、例えば０．１ｍｍ程度の厚さのポリエチレンテレフタレートフィルムが用いられる。また、この材料層１０の形成については、例えば、ディッピング法、スピンコート法、インクジェット法、蒸着法が好適に採用される。
続いて、このようにして用意した第２の基体１１を、図６（ｂ）に示すようにその材料層１０が内側になるようにして、前記のコンタクトホール内に導電性材料を埋め込んだ状態の透明基板１２１の表面上、すなわち信号線１３２、共通給電線１３３及び走査線（図示せず）が形成された側に配置する。
【００６０】
次いで、図６（ｃ）に示すように透明基板１２１の裏面側、すなわち第２の基体１１と反対の側から光線を照射し、前記した画素１Ａとなる箇所と対向する材料層１０の表面にこの光線を照射する。この光線については、その波長や強度が透明基板１２１、及びゲート絶縁膜２２０、層間絶縁膜２３０等を透過して前記材料層１０を照射するように選択しておくとともに、そのエネルギー強度についても、照射された材料層１０の材料の一部が分子状に飛散し、その照射面側、すなわち透明基板１２１（透明基板）側に移行して拡散するように予め調整しておくのが好ましい。このようなエネルギー強度をもつ光線としては、水銀ランプ光線、ハロゲンランプ光線、キセノンランプ光線などの定常光源光線も使用可能であるが、レーザー光線が最も好適に用いられる。レーザー光線としては、例えばエキシマレーザー、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、チタンサファイアレーザー、及びこれらレーザー光線の高調波、又はパラメトリック波長変換により発生した光線などが好適に用いられる。
【００６１】
このようにして高いエネルギーを有する光線を照射すると、光線は透明基板１２１、及びゲート絶縁膜２２０、層間絶縁膜２３０等を透過して前記材料層１０に照射される。すると、材料層１０の照射された部分が分子状に飛散することにより、この材料層１０の材料が前記した画素１Ａとなる箇所に移行拡散し、これにより材料層１０の形成材料が画素１Ａとなる箇所に堆積する。したがって、光線の照射を所望する画素電極のパターンに対応して行うことにより、図５（ｅ）に示したように本発明において材料部となる画素電極１４１を形成することができる。ここで、画素電極１４１の膜厚については、光線の照射時間等を調整することにより、適宜厚さとなるように制御する。また、例えば、水晶式膜厚モニターを用いたり、発光強度や吸光強度等の分光学的データをモニターすることにより、最適な膜厚（適宜厚さ）となるように制御してもよい。
【００６２】
なお、前述したコンタクトホール内への導電性材料の埋め込みについても、図６に示したようなパターニング方法を用いて行うことができる。すなわち、コンタクトホール内に導電性材料を埋め込んで中継電極２３６、２３８を形成する際、これらコンタクトホールの開口部上に前記の第２の基体１１を配置し、その材料層１０をコンタクトホール側に向けておく。そして、前述したように材料層１０に高エネルギーの光線を照射することにより、材料層１０の材料をコンタクトホール内に移行させ、中継電極２３６、２３８を形成する
【００６３】
次いで、図７（ａ）に示すように、画素電極１４１を囲むようにして隔壁１５０を形成する。この隔壁１５は仕切部材として機能するものであり、例えばポリイミドや酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素等の絶縁性材料で形成するのが好ましい。隔壁１５０の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。このようにして隔壁１５０を形成することにより、画素１Ａの画素電極１４１の上面と隔壁１５０との間に、十分な高さの段差が形成される。
なお、本例では画素電極１４１を形成した後に隔壁１５０を形成したが、隔壁１５０を形成した後、画素電極１４１を形成するようにしてもよい。
【００６４】
このようにして隔壁１５０を形成した後、前記画素１Ａ内に、正孔輸送層の形成材料をパターニングし、図７（ｂ）に示すよう画素電極１４１の上に本発明において材料部となる正孔輸送層１４０Ａを形成する。
この正孔輸送層１４０Ａの形成にあたっても、前記の画素電極１４１の形成の場合と同様に、予め図６（ａ）に示したような、材料層１０を第２の基体１１上に成膜しておいたものを用意しておく。ここで、材料層１０となる正孔輸送層の形成材料としては、特に限定されることなく公知のものが使用可能であり、例えばピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等が挙げられる。具体的には、特開昭６３−７０２５７号、同６３−１７５８６０号公報、特開平２−１３５３５９号、同２−１３５３６１号、同２−２０９９８８号、同３−３７９９２号、同３−１５２１８４号公報に記載されているもの等が例示されるが、トリフェニルジアミン誘導体が好ましく、中でも４，４’−ビス（Ｎ（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ）ビフェニルが好適とされる。
【００６５】
なお、正孔輸送層に代えて正孔注入層を形成するようにしてもよく、さらに正孔注入層と正孔輸送層を両方形成するようにしてもよい。その場合、正孔注入層の形成材料としては、例えば銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）や、ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等が挙げられるが、特に銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）を用いるのが好ましい。
【００６６】
また、第２の基体１１としては、画素電極１４１の形成の場合と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム等が用いられる。また、前記材料層１０の形成については、特に限定されることなく種々の方法が採用可能であり、例えば蒸着法や、溶媒を用いたスピンコート、インクジェット、ディッピング、刷毛塗り等で第２の基体１１上に塗布するといった方法が採用される。
続いて、このようにして用意した第２の基体１１を、図６（ｂ）に示したようにその材料層１０が内側になるようにして、透明基板１２１の表面側に配置する。
【００６７】
次いで、図６（ｃ）に示したように透明基板１２１の裏面側からレーザ光線等の光線を所望する正孔輸送層１４０Ａのパターンに対応して発射し、前記の画素１Ａとなる箇所と対向する材料層１０の表面にこの光線を照射する。これにより、この材料層１０の材料、すなわち正孔輸送層１４０Ａの形成材料を飛散させて前記した画素１Ａとなる箇所に移行させ、この形成材料を画素電極１４１上に堆積させることにより、正孔輸送層１４０Ａを形成する。
なお、この正孔輸送層１４０Ａの形成に用いる光線についても、前記の画素電極１４１の場合と同様に、各種の定常光源光線やレーザー光線が用いられる。
また、正孔輸送層１４０Ａの膜厚についても、光線の照射時間等を調整することにより、適宜厚さとなるように制御する。また、前述したように水晶式膜厚モニターを用いたり、発光強度や吸光強度等の分光学的データをモニターすることにより、最適な膜厚（適宜厚さ）となるように制御してもよい。
【００６８】
ここで、このような正孔輸送層１４０Ａの形成に代えて、前記の銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）等を用いて正孔注入層を形成するようにしてもよい。また、特に正孔輸送層１４０Ａの形成に先立って正孔注入層を画素電極１４１側に形成し、さらに正孔輸送層１４０Ａを形成するのが好ましい。このように正孔注入層を正孔輸送層１４０Ａとともに形成することにより、駆動電圧の上昇を制御することができるとともに、駆動寿命（半減期）を長くすることもできる。
【００６９】
このようにして正孔輸送層１４０Ａを形成したら、続いて前記画素１Ａ内に発光層の形成材料をパターニングし、図７（ｃ）に示すよう正孔輸送層１４０Ａの上に本発明において材料部となる発光層１４０Ｂを形成する。
この発光層１４０Ｂの形成にあたっても、前記の画素電極１４１の形成の場合と同様に、予め図６（ａ）に示したような、材料層１０を第２の基体１１上に成膜しておいたものを用意しておく。ここで、材料層１０となる発光層の形成材料としては、特に限定されることなく、低分子の有機発光色素や高分子発光材料、すなわち各種の蛍光物質や燐光物質からなる発光物質が使用可能である。発光物質となる共役系高分子の中ではアリーレンビニレン構造を含むものが特に好ましい。低分子発光体では、例えばナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ペリレン誘導体、ポリメチン系、キサテン系、クマリン系、シアニン系などの色素類、８−ヒドロキノリンおよびその誘導体の金属錯体、芳香族アミン、テトラフェニルシクロペンタジエン誘導体等、または特開昭５７−５１７８１、同５９−１９４３９３号公報等に記載されている公知のものが使用可能である。
【００７０】
発光層の形成材料として高分子発光材料を用いる場合には、側鎖に発光基を有する高分子を用いることができるが、好ましくは共役系構造を主鎖に含むもので、特に、ポリチオフェン、ポリ−ｐ−フェニレン、ポリアリーレンビニレン、ポリフルオレンおよびその誘導体が好ましい。中でもポリアリーレンビニレンおよびその誘導体が好ましい。該ポリアリーレンビニレンおよびその誘導体は、下記化学式（１）で示される繰り返し単位を全繰り返し単位の５０モル％以上含む重合体である。繰り返し単位の構造にもよるが、化学式（１）で示される繰り返し単位が全繰り返し単位の７０％以上であることがさらに好ましい。
−Ａｒ−ＣＲ＝ＣＲ’− （１）
〔ここで、Ａｒは、共役結合に関与する炭素原子数が４個以上２０個以下からなるアリーレン基または複素環化合物基、Ｒ、Ｒ’はそれぞれ独立に水素、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数４〜２０の複素環化合物、シアノ基からなる群から選ばれた基を示す。〕
【００７１】
該高分子発光材料は、化学式（１）で示される繰り返し単位以外の繰り返し単位として、芳香族化合物基またはその誘導体、複素環化合物基またはその誘導体、およびそれらを組み合わせて得られる基などを含んでいてもよい。また、化学式（１）で示される繰り返し単位や他の繰り返し単位が、エーテル基、エステル基、アミド基、イミド基などを有する非共役の単位で連結されていてもよいし、繰り返し単位にそれらの非共役部分が含まれていてもよい。
【００７２】
前記高分子発光材料において化学式（１）のＡｒとしては、共役結合に関与する炭素原子数が４個以上２０個以下からなるアリーレン基または複素環化合物基であり、下記の化学式（２）で示す芳香族化合物基またはその誘導体基、複素環化合物基またはその誘導体基、およびそれらを組み合わせて得られる基などが例示される。
【００７３】
【化１】

（Ｒ１〜Ｒ９２は、それぞれ独立に、水素、炭素数１〜２０のアルキル基、アルコキシ基およびアルキルチオ基；炭素数６〜１８のアリール基およびアリールオキシ基；ならびに炭素数４〜１４の複素環化合物基からなる群から選ばれた基である。）
【００７４】
これらのなかでフェニレン基、置換フェニレン基、ビフェニレン基、置換ビフェニレン基、ナフタレンジイル基、置換ナフタレンジイル基、アントラセン−９，１０−ジイル基、置換アントラセン−９，１０−ジイル基、ピリジン−２，５−ジイル基、置換ピリジン−２，５−ジイル基、チエニレン基および置換チエニレン基が好ましい。さらに好ましくは、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフタレンジイル基、ピリジン−２，５−ジイル基、チエニレン基である。
【００７５】
化学式（１）のＲ、Ｒ’が水素またはシアノ基以外の置換基である場合について述べると、炭素数１〜２０のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ラウリル基などが挙げられ、メチル基、エチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基が好ましい。アリール基としては、フェニル基、４−Ｃ１〜Ｃ１２アルコキシフェニル基（Ｃ１〜Ｃ１２は炭素数１〜１２であることを示す。以下も同様である。）、４−Ｃ１〜Ｃ１２アルキルフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基などが例示される。
【００７６】
溶媒可溶性の観点からは化学式（１）のＡｒが、１つ以上の炭素数４〜２０のアルキル基、アルコキシ基およびアルキルチオ基、炭素数６〜１８のアリール基およびアリールオキシ基ならびに炭素数４〜１４の複素環化合物基から選ばれた基を有していることが好ましい。
【００７７】
これらの置換基としては以下のものが例示される。炭素数４〜２０のアルキル基としては、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ラウリル基などが挙げられ、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基が好ましい。また、炭素数４〜２０のアルコキシ基としては、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基、ラウリルオキシ基などが挙げられ、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基が好ましい。炭素数４〜２０のアルキルチオ基としては、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、ヘプチルチオ基、オクチルチオ基、デシルオキシ基、ラウリルチオ基などが挙げられ、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、ヘプチルチオ基、オクチルチオ基が好ましい。アリール基としては、フェニル基、４−Ｃ１〜Ｃ１２アルコキシフェニル基、４−Ｃ１〜Ｃ１２アルキルフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基などが例示される。アリールオキシ基としては、フェノキシ基が例示される。複素環化合物基としては２−チエニル基、２−ピロリル基、２−フリル基、２−、３−または４−ピリジル基などが例示される。これら置換基の数は、該高分子発光材料の分子量と繰り返し単位の構成によっても異なるが、溶解性の高い高分子発光材料を得る観点から、これらの置換基が分子量６００当たり１つ以上であることがより好ましい。
【００７８】
なお、前記高分子発光材料は、ランダム、ブロックまたはグラフト共重合体であってもよいし、それらの中間的な構造を有する高分子、例えばブロック性を帯びたランダム共重合体であってもよい。発光の量子収率の高い高分子発光材料を得る観点からは完全なランダム共重合体よりブロック性を帯びたランダム共重合体やブロックまたはグラフト共重合体が好ましい。また、ここで形成する有機エレクトロルミネッセンス素子は、薄膜からの発光を利用することから、該高分子発光材料は固体状態で発光を有するものが用いられる。
【００７９】
該高分子発光材料を用いて材料層１０を形成する際に、溶媒を使用する場合には、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、テトラヒドロフラン、トルエン、キシレンなどが好適に用いられる。用いる高分子発光材料の構造や分子量にもよるが、通常はこれらの溶媒に０．１ｗｔ％以上溶解させることができる。また、前記高分子発光材料としては、分子量がポリスチレン換算で１０^３ 〜１０^７ であることが好ましく、それらの重合度は繰り返し構造やその割合によっても変わる。成膜性の点から一般には繰り返し構造の合計数で好ましくは４〜１００００、さらに好ましくは５〜３０００、特に好ましくは１０〜２０００である。
【００８０】
このような高分子発光材料の合成法としては、特に限定されないものの、例えばアリーレン基にアルデヒド基が２つ結合したジアルデヒド化合物と、アリーレン基にハロゲン化メチル基が２つ結合した化合物とトリフェニルホスフィンとから得られるジホスホニウム塩からのＷｉｔｔｉｇ反応が例示される。また、他の合成法としては、アリーレン基にハロゲン化メチル基が２つ結合した化合物からの脱ハロゲン化水素法が例示される。さらに、アリーレン基にハロゲン化メチル基が２つ結合した化合物のスルホニウム塩をアルカリで重合して得られる中間体から熱処理により該高分子発光材料を得るスルホニウム塩分解法が例示される。いずれの合成法においても、モノマーとして、アリーレン基以外の骨格を有する化合物を加え、その存在割合を変えることにより、生成する高分子発光材料に含まれる繰り返し単位の構造を変えることができるので、化学式（１）で示される繰り返し単位が５０モル％以上となるように加減して仕込み、共重合してもよい。これらのうち、Ｗｉｔｔｉｇ反応による方法が、反応の制御や収率の点で好ましい。
【００８１】
さらに具体的に、前記高分子発光材料の１つの例であるアリーレンビニレン系共重合体の合成法を説明する。例えば、Ｗｉｔｔｉｇ反応により高分子発光材料を得る場合には、例えばまず、ビス（ハロゲン化メチル）化合物、より具体的には、例えば２，５−ジオクチルオキシ−ｐ−キシリレンジブロミドをＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド溶媒中、トリフェニルホスフィンと反応させてホスホニウム塩を合成し、これとジアルデヒド化合物、より具体的には、例えば、テレフタルアルデヒドとを、例えばエチルアルコール中、リチウムエトキシドを用いて縮合させるＷｉｔｔｉｇ反応により、フェニレンビニレン基と２，５−ジオクチルオキシ−ｐ−フェニレンビニレン基を含む高分子発光材料が得られる。このとき、共重合体を得るために２種類以上のジホスホニウム塩および／または２種類以上のジアルデヒド化合物を反応させてもよい。
これらの高分子発光材料を発光層の形成材料として用いる場合、その純度が発光特性に影響を与えるため、合成後、再沈精製、クロマトグラフによる分別等の純化処理をすることが望ましい。
【００８２】
また、前記の高分子発光材料からなる発光層の形成材料としては、フルカラー表示をなすため、赤、緑、青の三色の発光層形成材料がそれぞれ第２の基体１１に成膜されて材料層１０とされ、用いられる。すなわち、本例では、赤色を呈する発光層形成材料が材料層１０として形成された第２の基体１１、緑色を呈する発光層形成材料が材料層１１として形成された第２の基体１１、青色を呈する発光層形成材料が材料層１０として形成された第２の基体１１の３種類のものを用意しておき、これらを用いて後述するように順次パターニングを行うことにより、赤色を呈する発光層１４０Ｂ、緑色を呈する発光層１４０Ｂ、青色を呈する発光層１４０Ｂをそれぞれ形成するようにしている。
【００８３】
また、第２の基体１１については、画素電極１４１の形成の場合と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム等が用いられる。また、前記材料層１０の形成については、特に限定されることなく種々の方法が採用可能であり、例えば溶媒を用いてこれを刷毛塗り等で第２の基体１１上に塗布するといった方法が採用される。
続いて、このようにして用意した第２の基体１１を、図６（ｂ）に示したようにその材料層１０が内側になるようにして、透明基板１２１の表面側に配置する。なお、ここでの透明基板１２１における「透明」との意味は、用いる光線に対して光学的透過性を有しているとの意味である。例えば、チタンサファイアレーザーのように８００ｎｍ程度の近赤外の光を用いる場合、人間の目では透明でなくとも十分光が透過する場合があり、したがってこのような使用する光線に対して光学的透過性を有しているものは、ここでの透明基板１２１として使用可能となる。ただし、発光層１４０Ｂでの発光光を、この透明基板１２１を透過させて出射させる場合、この透明基板１２１としては、前記発光光が透過するのを大きく妨げない透光性を有している必要があるのはもちろんである。
【００８４】
次いで、図６（ｃ）に示したように透明基板１２１の裏面側からレーザ光線等の光線を所望する発光層１４０Ｂのパターンに対応して発射し、前記の画素１Ａとなる箇所と対向する材料層１０の表面にこの光線を照射する。これにより、この材料層１０の材料、すなわち発光層１４０Ｂの形成材料を飛散させて前記した画素１Ａとなる箇所に移行させ、この形成材料を画素電極１４１上に堆積させることにより、発光層１４０Ｂを形成する。ここで、これら発光層１４０Ｂの形成にあたっては、前述したように予め赤、緑、青のそれぞれに対応した３種類の第２の基体１１を用意しておき、これらを用いて順次パターニングを行うことにより、赤色を呈する発光層１４０Ｂ、緑色を呈する発光層１４０Ｂ、青色を呈する発光層１４０Ｂをそれぞれ形成する（図７（ｃ）では、一つの発光層のみを示している）。
【００８５】
なお、この発光層１４０Ｂの形成に用いる光線についても、前記の画素電極１４１の場合と同様に、各種の通常光源光線やレーザー光線が用いられる。
また、発光層１４０Ｂの膜厚についても、光線の照射時間を調整することによって適宜厚さとなるように制御する。また、前述したように水晶式膜厚モニターを用いたり、発光強度や吸光強度等の分光学的データをモニターすることにより、最適な膜厚（適宜厚さ）となるように制御してもよい。
【００８６】
このようにして発光層１４０Ｂを形成したら、続いて前記画素１Ａ内に電子輸送層の形成材料をパターニングし、図８（ａ）に示すよう発光層１４０Ｂの上に本発明において材料部となる電子輸送層１４０Ｃを形成する。
この電子輸送層１４０Ｃの形成にあたっても、前記の画素電極１４１の形成の場合と同様に、予め図６（ａ）に示したような、材料層１０を第２の基体１１上に成膜しておいたものを用意しておく。ここで、材料層１０となる電子輸送層の形成材料としては、特に限定されることなく、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタンおよびその誘導体、ベンゾキノンおよびその誘導体、ナフトキノンおよびその誘導体、アントラキノンおよびその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタンおよびその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレンおよびその誘導体、ジフェノキノン誘導体、８−ヒドロキシキノリンおよびその誘導体の金属錯体等が例示される。具体的には、先の正孔輸送層の形成材料と同様に、特開昭６３−７０２５７号、同６３−１７５８６０号公報、特開平２−１３５３５９号、同２−１３５３６１号、同２−２０９９８８号、同３−３７９９２号、同３−１５２１８４号公報に記載されているもの等が例示され、特に２−（４−ビフェニリル）−５−（４−ｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス（８−キノリノール）アルミニウムが好適とされる。
【００８７】
なお、前述した正孔輸送層１４０Ａの形成材料や電子輸送層１４０Ｃの形成材料を発光層１４０Ｂの形成材料に混合し、発光層形成材料として使用してもよく、その場合に、正孔輸送層形成材料や電子輸送層形成材料の使用量については、使用する化合物の種類等によっても異なるものの、十分な成膜性と発光特性を阻害しない量範囲でそれらを考慮して適宜決定される。通常は、発光層形成材料に対して１〜４０重量％とされ、さらに好ましくは２〜３０重量％とされる。
【００８８】
このようにして電子輸送層１４０Ｃを形成したら、続いて図８（ｂ）に示すように、透明基板１２１の表面全体に、あるいはストライプ状に対向電極１５４を形成し、有機エレクトロルミネッセンス素子を得る。この対向電極１５４の形成にあたっては、特にこれを透明基板１２１の表面全体に形成する場合、蒸着法が好適に用いられるが、ストライプ状に形成する場合には、前記の画素電極１４１の形成方法、すなわち図６（ａ）〜（ｃ）に示した本発明のパターニング法を用いて行うのが好ましい。本発明のパターニング法（膜形成方法）によれば、金属や有機又は無機導電材料を用いることにより、配線パターンも容易に形成することができるからである。なお、本発明のパターニング法（膜形成方法）は、対向電極１５４をストライプ状に形成する場合に限ることなく、透明基板１２１の表面全体に形成する場合にももちろん採用可能である。
【００８９】
ここで、このような対向電極１５４については、もちろんＡｌ、Ｍｇ、Ｌｉ、Ｃａなどの単体材料やＭｇ：Ａｇ（１０：１合金）の合金材料からなる１層で形成してもよいが、２層あるいは３層からなる金属（合金を含む。）層として形成してもよい。具体的には、Ｌｉ_２ Ｏ（０．５ｎｍ程度）／ＡｌやＬｉＦ（０．５ｎｍ程度）／Ａｌ、ＭｇＦ_２ ／Ａｌといった積層構造のものも使用可能である。
なお、対向電極１５４を２層の金属層で形成する場合、発光層１４０Ｂ側から第１の金属層、第２の金属層の順に積層する構成とすると、発光層１４０Ｂ側の第１の金属層については、仕事関数が３．７ｅＶを越える金属からなり、かつ２０ｎｍ以下の厚みとするのが好ましい。また、第１の金属層に接する第２の金属層については、仕事関数が３．７ｅＶ以下である金属（合金を含む。）とするのが好ましい。さらに、対向電極１５４を３層の金属層で形成する場合、第１の金属層、第２の金属層を前記の２層構成の場合と同様とし、第３の金属層を、白金、銀、金、ニッケル、チタン、タンタル、インジウムまたはアルミニウムから選ばれた金属とするのが好ましい。
【００９０】
ここで、第１の金属層に用いる金属としては、仕事関数が３．７ｅＶを越えるものであれば特に制限はないが、白金、銀、金、ニッケル、チタン、タンタル、インジウム、アルミニウム、スカンジウム、鉛、亜鉛から選ばれた金属が好ましく、白金、銀、金、インジウム、アルミニウムがさらに好ましい。第１の金属層の厚みは２０ｎｍ以下であればよいが、好ましくは２０ｎｍ以下１ｎｍ以上であり、さらに好ましくは１０ｎｍ以下２ｎｍ以上である。第１の金属層の形成方法としては、本発明のパターニング方法や、蒸着法、スパッタリング法等が採用可能である。
【００９１】
対向電極１５４の第２の金属層として用いられる金属は、仕事関数が３．７ｅＶ以下である金属（合金を含む。）であればよく、具体的にはリチウム、ストロンチウム、カルシウム、マグネシウムまたはこれらを含む合金が挙げられ、リチウム、ストロンチウム、カルシウム、またはこれらを含む合金が好ましく、リチウムまたはこれを含む合金が特に好ましい。該第２の金属層に合金を用いる場合には、仕事関数が３．７ｅＶ以下である金属が含まれていれば特に制限はなく、仕事関数が３．７ｅＶ以下である金属と銀、金、白金、アルミニウム、インジウム等との合金が挙げられる。具体的には、リチウムアルミニウム合金、リチウム銀合金、リチウムインジウム合金、カリウムアルミニウム合金、カリウム銀合金、カリウムインジウム合金等が挙げられる。該合金の組成比（仕事関数が３．７ｅＶ以上の金属と仕事関数が３．７ｅＶ以下の金属との組成比）は、対向電極１５４全体、つまり第１、第２および第３の金属層における仕事関数が３．７ｅＶ以下の金属の組成比が、０．００５％以上９９．９％以下となるような合金が選択され、好ましくは、０．００５％以上１０％以下であり、より好ましくは、１％以上２％以下である。その厚みは、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下が好ましく、２０ｎｍ以上２００ｎｍ以下がより好ましい。第２の金属層の形成方法としても、本発明のパターニング方法や、蒸着法、スパッタリング法等が採用可能である。
【００９２】
対向電極１５４の第３の金属層は、空気中で酸化や腐食に強い貴金属、または不動体を形成する遷移金属、またはヤング率の小さい金属もしくは合金からなる。具体的には、白金、銀、金、インジウム、アルミニウムから選ばれた金属薄膜からなり、インジウム、アルミニウムがさらに好ましい。対向電極１５４の第３の金属層の形成方法としても、本発明のパターニング方法や、蒸着法、スパッタリング法等が採用可能である。この第３の金属層の厚さについては、特に制限はないものの、蒸着法やスパッタリング法等で形成する場合には、あまり薄くすると第１の金属層または第２の金属層と外気との遮断が十分でなくなるので、５０ｎｍ以上とするのが好ましく、１００ｎｍ以上とするのがさらに好ましい。
【００９３】
なお、本例では、前記の正孔注入層（図示せず）、正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃに加えて、ホールブロッキング層を例えば発光層１４０Ｂの対向電極１５４側に形成して、発光層１４０Ｂの長寿命化を図ってもよい。このようなホールブロッキング層の形成材料としては、例えばＢＡｌｑが用いられる。
【００９４】
また、本例では画素電極１４１、正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃを本発明のパターニング方法で形成し、さらに対向電極１５４についても本発明のパターニング方法が採用可能としたが、特に正孔輸送層１４０Ａ以降の層を本発明法で形成する場合、レーザー光線等の光線の波長やその強度等を考慮する必要がある。すなわち、例えば発光層１４０Ｂを形成する場合、光線が正孔輸送層１４０Ａを透過する必要があるが、正孔輸送層１４０Ａの形成材料が顕著な光吸収を示す場合には、発光層１４０Ｂの形成材料からなる材料層１０に必要な量の光線が到達せず、したがって発光層１４０Ｂが形成されなくなってしまうおそれがある。このような場合には、光線の入射方向または焦点距離を変えたり、またレーザー光線を用いる場合にはそのパルス幅がナノ秒以下、好ましくはピコ秒、さらに好ましくはフェムト秒のものを用い、多光子励起を行うことなどにより、所望する層を形成することができる。
【００９５】
また、第２の薄膜トランジスタ１４３については、前述したようにこれが画素１Ａとなる箇所の直下に位置しないように形成しており、これによって第２の薄膜トランジスタ１４３がパターニングの際の光線の影響を受けないようにしているものの、第２の薄膜トランジスタ１４３や第１の薄膜トランジスタ１４２に光線が照射されるのを確実に防止するためには、これらトランジスタの透明基板１２１側に、金属等の光遮断膜を形成しておくのが好ましい。また、先に形成した層の光吸収をさけるため、光線の入射方向を変えたことにより、トランジスタに光線が照射されてしまう場合にも、光遮断膜を形成するのが望ましい。
【００９６】
また、このようなトランジストへの悪影響や、先に形成された層での光吸収を避けるためには、透明基板１２１側から第２の基体１１上の材料層１０に光線を照射するのでなく、透明基板１２１と反対の側、すなわち第２の基体１１の裏面側からその表面側の材料層１０の表面部に光線を照射し、その材料を飛散させて透明基板１２１側に移行させるようにしてもよい。ただし、その場合には、第２の基体１１についても、これを透明あるいは半透明の材料によって形成する必要がある。
【００９７】
また、本例では画素電極１４１、正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃを本発明のパターニング方法で形成し、さらに対向電極１５４についても本発明のパターニング方法が採用可能としたが、これら全部を本発明のパターニング方法で形成することなく、少なくとも一つを形成するようにしてもよい。
また、材料層１０を第２の基体１１上でなく単体で形成できる場合、例えば電極材料として金属箔を直接用いることができる場合などでは、第２の基体１１を用いることなく、この金属箔からなる材料層１０を透明基板１２１上に直接配置し、パターニングを行うようにしてもよい。
【００９８】
このような本発明のパターニング方法にあっては、光線を照射することによって材料層の材料を透明基板１２１に移行させることができることから、光線の照射を所望パターンに対応して行うことにより、透明基板１２１上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することができる。また、材料層の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができ、したがって種々のパターニングに適用できるのはもちろん、一つの構成要素のパターニングにおいても使用する材料に制限されることなく、多種の材料から任意に選択してパターニングを行うことができる。
【００９９】
また、光線を、透明基板１２１側から該透明基板１２１を透過させて材料層に照射しているので、光線の照射面となる材料層の表面側に透明基板１２１が位置していることにより、材料層を飛散した材料が該透明基板１２１側に移行しやすくなり、したがって透明基板１２１上に材料部を良好にパターニングすることができる。
また、照射する光線として特にレーザー光線を用いれば、安定した高いエネルギーの光線を照射できることにより、良好なパターニングを行うことができる。
【０１００】
また、材料層をＩＴＯ等の透明電極材料、あるいは一般的な金属からなる電極材料とすることにより、例えば前述したごとく有機エレクトロルミネッセンス素子の画素電極１４１をＩＴＯで作製した際、従来のパターニングのごとく強酸によるエッチングを行わないことから、素子上の他の金属配線に腐食等の悪影響を及ぼすことがない。
また、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃのそれぞれを形成していることにより、これら正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができる。
【０１０１】
また、このようなパターニング方法を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法にあっては、正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる有機エレクトロルミネッセンス素子の品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【０１０２】
次に、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法として、本発明のパターニング方法を適用した場合の第２の例について説明する。
この例が先の第１の例と異なるところは、特に発光層１４０Ｂの形成について、予め材料層が所望パターンに形成されてなる第２の基体を用いる点にある。
すなわち、本例では、図９（ａ）に示すように、赤、緑、青に対応する発光層の形成材料からなる材料層１０Ｒ（赤対応）、１０Ｇ（緑対応）、１０Ｂ（青対応）を、第２の基体１１に形成しておき、この第２の基体１１を用いて、先の例と同様にして赤、緑、青の各発光層１４０Ｂをパターニングし、形成する。
【０１０３】
ここで、このような第２の基体１１上への各材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂについては、特に制限されることなく従来公知の方法が採用可能であるものの、特に図１０（ａ）に示すインクジェットヘッド３０を用いたインクジェット法が好適に採用される。
インクジェットヘッド３０は、図１０（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート３２と振動板３３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）３４を介して接合したものである。ノズルプレート３２と振動板３３との間には、仕切部材３４によって複数の空間３５と液溜まり３６とが形成されている。各空間３５と液溜まり３６の内部はインクで満たされており、各空間３５と液溜まり３６とは供給口３７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３２には、空間３５からインクを噴射するためのノズル孔３８が一列に配列された状態で複数形成されている。一方、振動板３３には、液溜まり３６にインクを供給するための孔３９が形成されている。
【０１０４】
また、振動板３３の空間３５に対向する面と反対側の面上には、図１０（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）４０が接合されている。この圧電素子４０は、一対の電極４１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子４０が接合されている振動板３３は、圧電素子４０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３５の容積が増大するようになっている。したがって、空間３５内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり３６から供給口３７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子４０への通電を解除すると、圧電素子４０と振動板３３はともに元の形状に戻る。したがって、空間３５も元の容積に戻ることから、空間３５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル孔３８から基板に向けてインクの液滴４２が吐出される。
なお、インクジェットヘッド３０のインクジェット方式としては、前記の圧電素子４０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたものを採用してもよい。
【０１０５】
このような構成のインクジェットヘッド３０を用いて、前記発光層の各形成材料を、それぞれ所定位置、すなわち形成する有機エレクトロルミネッセンス素子の各発光層の位置と対応する位置に規則的に配列してこれらを形成する。そして、このようにして得られた第２の基体１１を、先の例と同様にして透明基板１２１上に配置するとともに、各材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを透明基板１２１上の各画素１Ａに対応させて配置する。
その後、先の例と同様にして各材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂに光線を照射し、正孔輸送層１４０Ａ上に赤、緑、青からなる各色の発光層１４０Ｂを、所望のパターン、すなわち所望の配列に形成する。
【０１０６】
このようなパターニング方法にあっては、予め赤、緑、青の各発光層に対応する形成材料をそれぞれ材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂとして第２の基体１１上に形成しておくことにより、この第２の基体１１を用いることによって該第２の基体１１を交換することなく一つの工程で３色の材料を全てパターニングすることができ、したがってパターニング工程の効率化を図ることができる。
【０１０７】
なお、第２の基体１１上に発光層１４０Ｂの形成材料からなる材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを形成する際、図９（ｂ）に示すように予めこれら材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂの形成箇所に適宜高さの凸部１２を形成しておき、その上に材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを形成するのが好ましい。ここで、凸部１２については、透明基板１２１上において隔壁１５０に囲まれて凹部となっている画素１Ａ内の深さ、すなわち隔壁１５０の頂部から正孔輸送層１４０Ａ表面までの深さに相当する高さより、形成する材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂの高さ分を引いた高さにほぼ一致するような高さ（好ましくはそれよりわずかに低い高さ）とするのが好ましい。また、凸部１２の形状についても、ここに材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂが形成された状態で、前記の隔壁１５０に囲まれた凹部に嵌合する形状とするのが好ましい。
【０１０８】
このような高さ及び形状とすれば、図９（ｃ）に示すように第２の基体１１の凸部１２を透明基板１２１の隔壁１５０に囲まれてなる凹部（画素１Ａとなる箇所）に嵌合させることにより、この第２の基体１１の透明基板１２１上への配置、及びその位置合わせ、すなわち画素１Ａとなる箇所に各材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを対応させる位置決めが容易になり、工程の効率化や得られる発光層１０４Ｂの位置精度向上を図ることができる。
【０１０９】
ここで、このように第２の基体１１に凸部１２を形成する場合、この凸部１２については、例えばポリイミド等の有機材料を前記のインクジェット法で所定の配列に吐出塗布し、これを固化させて凸部１２とすることができる。また、このようにして凸部１２を形成した場合、この凸部１２の頂部に親インク処理（インクジェットヘッドから吐出する液体材料に対する親液処理）を施し、またそれ以外の箇所には撥インク処理（インクジェットヘッドから吐出する液体材料に対する撥液処理）を施すことにより、発光層の形成材料が選択的に凸部１２上に塗布されて材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂが所望位置に選択的に形成されるようにするのが好ましい。
【０１１０】
このような親インク処理及び撥インク処理のうち、まず、撥インク処理としては、例えば凸部１２の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ_４ 、ＳＦ_５ 、ＣＨＦ_３ などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理が挙げられる。また、親インク処理としては、先に撥インク処理した部分に再度ＵＶ照射処理を行うことにより、前記フッ素化合物からなる重合膜の重合を切断して親インク化するといった方法が採用される。
【０１１１】
このような処理方法によって凸部１２の表面（頂部）を親インク処理し、それ以外の箇所に撥インク処理するには、まず、予め凸部１２を形成した第２の基体１１にフッ素系化合物を塗布し、プラズマ重合処理等によってこれを重合させ、第２の基体１１表面にフッ素系重合膜を形成する。その後、予め用意した光照射用のマスクを用いて凸部１２の表面（頂部）にのみ選択的に紫外線を照射し、照射した凸部１２の表面（頂部）を親インク化する。
【０１１２】
このようにして凸部１２の表面（頂部）のみを親インク化したら、前述したようにインクジェット法でこれら凸部１２上に発光層の各形成材料を所定の配列に吐出塗布し、これを固化させて材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂとする。このとき、凸部１２の表面（頂部）は親インク化されていることから、ここに着弾されたインク（発光層材料）は凸部１２表面に一様に付着するとともに、撥インク化されている部分、すなわち凸部１２の側面には流れ落ちないようになっている。したがって、発光層材料は凸部１２の表面（頂部）にのみ選択的に付着して固化することにより、前述したように材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂは凸部１２の表面（頂部）にのみ選択的に形成されたものとなる。
なお、このようにして形成した第２の基体１１を使用する場合、この第２の基体１１を上下逆にし、図９（ｃ）に示したようにその材料層１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを下に向けた状態で透明基板１２１に合わせるようにする。
【０１１３】
次に、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法として、本発明のパターニング方法を適用した場合の第３の例について説明する。
この例が先の第１、２の例と異なるところは、光線を照射してパターニングを行う際、光線照射を選択的に行うための光照射用のマスクを用いる点にある。
すなわち、本例では、例えば正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃを形成する際、予め図１１（ａ）に示すように全部（あるいは半分などの一部）の画素１Ａとそれぞれ対応した位置に開口部（あるいは透明部）１３を形成配置し、他の部分を遮光部としたマスク１４を用意しておく。
【０１１４】
そして、第１の例と同様に透明基板１２１上に第２の基体１０を配置した後、前記マスク１４を透明基板１２１の裏面側（光線照射側）に位置合わせをした状態、すなわち開口部１３が各画素１Ａに対応した位置となるようにセットし、その状態で光線を照射する。このとき、特に正孔輸送層１４０Ａ及び電子輸送層１４０Ｃをパターニングする場合には、これらを全部の画素１Ａで共通に形成することから、特に選択的に光線を照射することなく行うことができる。したがって、光源として面発光が行えるものを用いた場合などでは、複数の画素１Ａでのパターニング（正孔輸送層１４０Ａあるいは電子輸送層１４０Ｃの形成）を同時に行えることから、パターニング工程の効率化を一層促進することができる。
【０１１５】
また、発光層１４０Ｂをパターニングする場合には、図１１（ａ）に示したマスク１４を用い、赤、緑、青の各画素１Ａに対応する開口部１３毎に選択的に光線を照射し、それぞれの色の発光層１４０Ｂを形成するようにしてもよいが、赤、緑、青の各画素１Ａがその絶対的な位置が異なるだけで、配列パターンが一致している場合には、図１１（ｂ）に示すように一つの色の発光層の配列パターンと対応した位置に開口部（あるいは透明部）１３を形成配置し、他の部分を遮光部としたマスク１５を用意しておく。
【０１１６】
そして、第１の例と同様にして、例えば赤色の材料層を形成した第２の基体１０を透明基板１２１上に配置した後、前記マスク１４を透明基板１２１の裏面側（光線照射側）に位置合わせをした状態、すなわち開口部１３が赤色の画素１Ａに対応した位置となるようにセットし、その状態で光線を照射する。このとき、開口部１３に対応する画素１Ａは全て赤色の画素１Ａとなることから、特に選択的に光線を照射することなくパターニング（発光層の形成）を行うことができる。
【０１１７】
このようにして赤色の発光層を形成したら、第２の基体１２を例えば緑色の材料層を形成したものに変え、また前記マスク１４を移動して、その開口部１３が緑色の画素１Ａに対応した位置となるようにセットし直す。そして、この状態で赤色の場合と同様に光線を照射し、緑色の発光層を形成する。
続いて、第２の基体１２を青色の材料層を形成したものに変え、また前記マスク１４をさらに移動して、その開口部１３が青色の画素１Ａに対応した位置となるようにセットし直す。そして、この状態で赤色の場合と同様に光線を照射し、青色の発光層を形成する。
【０１１８】
このようなマスク１５を用いる方法にあっては、蒸着法でパターニングする場合と異なり、マスク１５には単に光線が照射されるだけであるので、一つのマスクを複数の材料によるパターニングに用いることができ、したがってコスト的に有利であるとともに、単にマスクを移動させるだけで異なる色の発光層１４０Ｂをパターニングすることができることから、パターニング工程の効率化を図ることができる。
なお、このようなマスク１５を用いる発光層１４０Ｂのパターニングにおいては、マスク１５を移動させる機構として、例えば特許第３０１９０９５号に開示される、パルス制御モータで駆動することによる移動量調整機能を有した制御装置が好適に用いられる。
【０１１９】
また、パターニング用の光照射用マスクについては、前述したマスク１４のように正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃのパターニングを全て兼ねるようにしたり、また、マスク１５のように発光層１４０Ｂの全ての色のパターニングを兼ねるようにすることなく、個々の材料毎に専用のマスクを用意して、そのマスクを用いてパターニングを行うようにしてもよい。
その場合には、例えば各材料からなるパターン毎に大きさや形状を変えたい場合に、個々のパタ−ンを所望する大きさや形状にパターニングすることができる。
【０１２０】
次に、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法として、本発明のパターニング方法を適用した場合の第４の例について説明する。
この例が先の第１、２、３の例と異なるところは、発光層１４０Ｂを形成する際、その材料をホスト／ゲスト系の発光材料、すなわちホスト材料にゲスト材料が添加分散されてなる発光材料によって形成する点である。
【０１２１】
このような発光材料としては、ホスト材料として例えば高分子有機化合物や低分子材料が、またゲスト材料として得られる発光層の発光特性を変化させるための蛍光物質、あるいは燐光物質を含んでなるものが好適に用いられる。
高分子有機化合物としては、溶解性の低い材料の場合、例えば前駆体が塗布された後、以下の化学式（３）に示すように加熱硬化されることによって共役系高分子有機エレクトロルミネッセンス層となる発光層を生成し得るものがある。例えば、前駆体のスルホニウム塩の場合、加熱処理されることによりスルホニウム基が脱離し、共役系高分子有機化合物となるもの等がある。
また、溶解性の高い材料では、材料をそのまま塗布した後、溶媒を除去して発光層にし得るものもある。
【０１２２】
【化２】

【０１２３】
前記の高分子有機化合物は固体で強い蛍光を持ち、均質な固体超薄膜を形成することができる。しかも、形成能に富みＩＴＯ電極との密着性も高く、さらに、固化した後は強固な共役系高分子膜を形成する。
【０１２４】
このような高分子有機化合物としては、例えばポリアリーレンビニレンが好ましい。ポリアリーレンビニレンは水系溶媒あるいは有機溶媒に可溶で第２の基体１１に塗布する際の塗布液への調製が容易であり、さらに一定条件下でポリマー化することができるため、光学的にも高品質の薄膜を得ることができる。
このようなポリアリーレンビニレンとしては、ＰＰＶ（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））、ＭＯ−ＰＰＶ（ポリ（２，５−ジメトキシ−１，４−フェニレンビニレン））、ＣＮ−ＰＰＶ（ポリ（２，５−ビスヘキシルオキシ−１，４−フェニレン−（１−シアノビニレン）））、ＭＥＨ−ＰＰＶ（ポリ［２−メトキシ−５−（２’−エチルヘキシルオキシ）］−パラ−フェニレンビニレン）、等のＰＰＶ誘導体、ＰＴＶ（ポリ（２，５−チエニレンビニレン））等のポリ（アルキルチオフェン）、ＰＦＶ（ポリ（２，５−フリレンビニレン））、ポリ（パラフェニレン）、ポリアルキルフルオレン等が挙げられるが、なかでも化学式（４）に示すようなＰＰＶまたはＰＰＶ誘導体の前駆体からなるものや、化学式（５）に示すようなポリアルキルフルオレン（具体的には化学式（６）に示すようなポリアルキルフルオレン系共重合体）が特に好ましい。
ＰＰＶ等は強い蛍光を持ち、二重結合を形成するπ電子がポリマー鎖上で非極在化している導電性高分子でもあるため、高性能の有機エレクトロルミネッセンス素子を得ることができる。
【０１２５】
【化３】

【０１２６】
【化４】

【０１２７】
【化５】

【０１２８】
なお、前記ＰＰＶ薄膜の他に発光層を形成し得る高分子有機化合物や低分子材料、すなわち本例においてホスト材料として用いられるものは、例えばアルミキノリノール錯体（Ａｌｑ３）やジスチリルビフェニル、さらに化学式（７）に示すＢｅＢｑ_２ やＺｎ（ＯＸＺ）_２ 、そしてＴＰＤ、ＡＬＯ、ＤＰＶＢｉ等の従来より一般的に用いられているものに加え、ピラゾリンダイマー、キノリジンカルボン酸、ベンゾピリリウムパークロレート、ベンゾピラノキノリジン、ルブレン、フェナントロリンユウロピウム錯体等が挙げられ、これらの１種または２種以上を含む有機エレクトロルミネッセンス素子用組成物を用いることができる。
【０１２９】
【化６】

【０１３０】
一方、このようなホスト材料に添加されるゲスト材料としては、前記したように蛍光物質や燐光物質などの発光色素が挙げられる。特に発光色素は、発光層の発光特性を変化させることができ、例えば、発光層の発光効率の向上、または発光波長（発光色）を変えるための手段としても有効である。すなわち、発光色素は単に発光層材料としてではなく、発光機能そのものを担う色素材料として利用することができる。例えば、共役系高分子有機化合物分子上のキャリア再結合で生成したエキシトンのエネルギーを発光色素分子上に移すことができる。この場合、発光は蛍光量子効率が高い発光色素分子からのみ起こるため、発光層の電流量子効率も増加する。したがって、発光層の形成材料中に発光色素を加えることにより、同時に発光層の発光スペクトルも蛍光分子のものとなるので、発光色を変えるための手段としても有効となる。
【０１３１】
なお、ここでいう電流量子効率とは、発光機能に基づいて発光性能を考察するための尺度であって、下記式により定義される。
ηE ＝放出されるフォトンのエネルギー／入力電気エネルギー
そして、発光色素のドープによる光吸収極大波長の変換によって、例えば赤、青、緑の３原色を発光させることができ、その結果フルカラー表示体を得ることが可能となる。
さらに発光色素をドーピングすることにより、エレクトロルミネッセンス素子の発光効率を大幅に向上させることができる。
【０１３２】
発光色素としては、赤色の発色光を発光する発光層を形成する場合、レーザー色素のＤＣＭ−１、あるいはローダミンまたはローダミン誘導体、ペニレン等を用いるのが好ましい。これらの発光色素をＰＰＶなどホスト材料にドープすることにより、発光層を形成することができるが、これらの発光色素が水溶性である場合は、水溶性を有するＰＰＶ前駆体であるスルホニウム塩にドープし、その後、加熱処理すれば、より均一な発光層の形成が可能になる。このような発光色素として具体的には、ローダミンＢ、ローダミンＢベース、ローダミン６Ｇ、ローダミン１０１過塩素酸塩等が挙げられ、これらを２種以上混合したものであってもよい。
【０１３３】
また、緑色の発色光を発光する発光層を形成する場合、キナクリドン、ルブレン、ＤＣＪＴおよびその誘導体を用いるのが好ましい。これらの発光色素についても、前記の発光色素と同様、ＰＰＶなどホスト材料にドープすることにより、発光層を形成することができるが、これらの発光色素が水溶性である場合は、水溶性を有するＰＰＶ前駆体であるスルホニウム塩にドープし、その後、加熱処理すれば、より均一な発光層の形成が可能になる。
【０１３４】
さらに、青色の発色光を発光する発光層を形成する場合、ジスチリルビフェニルおよびその誘導体を用いるのが好ましい。これらの発光色素についても、前記の発光色素と同様、ＰＰＶなどホスト材料にドープすることにより、発光層を形成することができるが、これらの発光色素が水溶性である場合は、水溶性を有するＰＰＶ前駆体であるスルホニウム塩にドープし、その後、加熱処理すれば、より均一な発光層の形成が可能になる。
【０１３５】
また、青色の発色光を有する他の発光色素としては、クマリンおよびその誘導体を挙げることができる。これらのうち特にクマリンは、それ自体は溶媒に不溶であるものの、置換基を適宜に選択することによって溶解性を増し、溶媒に可溶となるものもある。このような発光色素として具体的には、クマリン−１、クマリン−６、クマリン−７、クマリン１２０、クマリン１３８、クマリン１５２、クマリン１５３、クマリン３１１、クマリン３１４、クマリン３３４、クマリン３３７、クマリン３４３等が挙げられる。
【０１３６】
さらに、別の青色の発色光を有する発光色素としては、テトラフェニルブタジエン（ＴＰＢ）またはＴＰＢ誘導体、ＤＰＶＢｉ等を挙げることができる。これらの発光色素は、前記赤色発光色素等と同様に水溶液に可溶であり、またＰＰＶと相溶性がよく発光層の形成が容易である。
以上の発光色素については、各色ともに１種のみを用いてもよく、また２種以上を混合して用いてもよい。
なお、このような発光色素としては、化学式（８）に示すようなものや、化学式（９）に示すようなもの、さらに化学式（１０）に示すようなものが用いられる。
【０１３７】
【化７】

【０１３８】
【化８】

【０１３９】
【化９】

【０１４０】
これらの発光色素については、前記共役系高分子有機化合物等からなるホスト材料に対し、後述する方法によって０．５〜１０ｗｔ％添加するのが好ましく、１．０〜５．０ｗｔ％添加するのがより好ましい。発光色素の添加量が多過ぎると得られる発光層の耐候性および耐久性の維持が困難となり、一方、添加量が少な過ぎると、前述したような発光色素を加えることによる効果が十分に得られないからである。
【０１４１】
また、ホスト材料に添加されるゲスト材料としての燐光物質としては、化学式（１１）に示すＩｒ（ｐｐｙ）_３ 、Ｐｔ（ｔｈｐｙ）_２ 、ＰｔＯＥＰなどが好適に用いられる。
【０１４２】
【化１０】

【０１４３】
なお、前記の化学式（１１）に示した燐光物質をゲスト材料とした場合、ホスト材料としては、特に化学式（１２）に示すＣＢＰ、ＤＣＴＡ、ＴＣＰＢや、前記したＤＰＶＢｉ、Ａｌｑ３が好適に用いられる。
また、前記発光色素と燐光物質については、これらを共にゲスト材料としてホスト材料に添加するようにしてもよい。
【０１４４】
【化１１】

【０１４５】
このようなホスト／ゲスト系の発光材料から各色（赤、緑、青）の発光層１４０Ｂを形成するには、まず、ホスト材料からなる材料層を形成した第２の基体１１と、ゲスト材料からなる材料層を形成した第２の基体１１とを用意する。ここで、これら第２の基体については、基本的にはホスト材料は共通として１種類のホスト材料用第２の基体１１を用意し、一方、ゲスト材料については赤、緑、青の３種類を用意しておく。その際、これら第２の基体１１については、図９（ａ）に示したようにその材料層を予めパターニングしておいてもよく、あるいは図６（ａ）に示したように単一の層構造としてもよい。
【０１４６】
このようにして各材料層を形成した第２の基体１１を用意したら、まず、ホスト材料から材料層を形成した第２の基体１１を透明基板１２１上に配置し、第１の例と同様にして光線を照射し、図１２（ａ）に示すように各画素１Ａにおける正孔輸送層１４０Ａの上にホスト材料層１４０ｂを形成する。
次いで、このホスト材料から材料層を形成した第２の基体１１に代えて、ゲスト材料から材料層を形成した第２の基体１１のうちの一つ（例えば赤色用）を配置し、同様に光線を照射して材料層からゲスト材料を飛散させ、これをホスト材料層１４０ｂ中に移行拡散させることにより、前記ホスト材料層１４０ｂを図１２（ｂ）に示すように発光層１４０Ｂとする。以下、同様にして他の２色のゲスト材料についても、これに光線を照射することによりそれぞれホスト材料層１４０ｂ中に移行拡散させ、発光層１４０Ｂを形成する。
【０１４７】
このとき、ホスト材料からなる材料層を形成した第２の基体１１については、前記の第２の例で示したごとく、図９（ａ）に示したように予めフラットな状態にパターニングしておき、あるいは図９（ｂ）に示したように凸部１２上にパターニングしておき、これに光線を照射してパターニングするようにしてもよく、また、第３の例で示したごとく、光照射用のマスク１４を用いてパターニングしてもよい。
【０１４８】
同様に、各色に対応するゲスト材料からなる材料層を形成した第２の基体１１についても、前記の第２の例で示したごとく、図９（ａ）に示したように予めフラットな状態にパターニングしておき、あるいは図９（ｂ）に示したように凸部１２上にパターニングしておき、これに光線を照射してパターニングするようにしてもよく、また、第３の例で示したごとく、光照射用のマスク１５を用いてパターニングするとともに、これを移動させて別の色を順次パターニングするようにしてもよい。
また、特にゲスト材料からなる材料層を形成した第２の基体１１については、赤、緑、青の各色の材料層を全て同一の第２の基体上にパターニングしておき、これを用いて一回の光照射工程で、ホスト材料層１４０ｂへの各ゲスト材料の添加拡散を行うようにしてもよい。
【０１４９】
なお、前記ホスト材料あるいはゲスト材料からなる材料層を第２の基体１１上にパターニングする場合には、これら材料を溶媒に溶解または分散させてインクとし、このインクを前記したインクジェットヘッド３０から吐出して第２の基体１１上に材料層を形成するのが好ましい。
【０１５０】
このような溶媒として具体的には、水、メタノール、エタノール等の水と相溶性のあるアルコール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルイミダゾリン（ＤＭＩ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）等の有機溶媒または無機溶媒が挙げられ、これらの溶媒を２種以上適宜混合したものであってもよい。
さらに、前記ホスト材料またはゲスト材料中には必要に応じて湿潤剤を添加しておいてもよく、さらにその他の添加剤や被膜安定化材料を添加してもよい。
【０１５１】
このような、ホスト材料とゲスト材料とを別にパターニング（材料の移行）してこれらホスト／ゲスト材料からなる発光層１４０Ｂを形成する方法にあっては、赤、青、緑に対応するゲスト材料を、それぞれ予め形成したホスト材料層１４０ｂの所望の位置に分けて移行させることにより、所望パターンでかつ所望色で発光する発光層を容易にかつ正確に形成することができ、したがってコスト的にも工程の効率化の点でも有利な方法となる。すなわち、従来であればこれらホスト／ゲスト材料については、マスクを用いた共蒸着法によってパターニングを行うが、その場合に各色の打ち分けが困難になる。（この共蒸着法では蒸着用のマスクを用いて行うのが普通であるが、蒸着であることからマスクに材料が蒸着されることにより、マスクが多数回繰り返して使用することが困難となる。したがってコストや工程の効率化等の点で不利になる場合がある。）
【０１５２】
また、ホスト材料が各色で共通である場合には、同じホスト材料を透明基板１２１の全面に塗布あるいは蒸着しておき、その後、前記した本発明の方法でＲ、Ｇ、Ｂに対応するゲスト材料をホスト材料中に移行させ、発光層を形成することもできる。また、このようにホスト材料が各色で共通である場合には、ゲスト材料層を特にパターニングする必要はなく、スピンコート法、蒸着法などによってゲスト材料層を形成し、本発明の方法を用いてゲスト材料層中に発光色素を導入するようにしてもよい。
【０１５３】
なお、前記第１、２、３、４の例では、発光層１４０Ｂの下層として正孔輸送層１４０Ａを形成し、上層として電子輸送層１４０Ｃを形成したが、本発明はこれに限定されることなく、例えばこの正孔輸送層１４０Ａと電子輸送層Ｃのうちの一方のみを形成するようにしてもよく、また、正孔輸送層１４０Ａに代えて正孔注入層を形成するようにしてもよく、さらに発光層１４０Ｂのみを単独で形成するようにしてもよい。
【０１５４】
また、前記の正孔注入層（図示せず）、正孔輸送層１４０Ａ、発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃに加えて、ホールブロッキング層を例えば発光層１４０Ｂの対向電極１５４側に形成して、発光層１４０Ｂの長寿命化を図ってもよい。このようなホールブロッキング層の形成材料としては、例えば化学式（１３）に示すＢＣＰや化学式（１４）で示すＢＡｌｑが用いられるが、長寿命化の点ではＢＡｌｑの方が好ましい。
【０１５５】
【化１２】

【０１５６】
【化１３】

【０１５７】
また、本発明のパターニング方法にあっては、前記例に示した有機エレクトロルミネッセンス素子の構成要素の形成にのみ適用されることなく、種々の用途に適用可能である。例えば、液晶表示装置などの各種の表示装置（電気光学装置）におけるカラーフィルタの形成（パターニング）にも適用可能である。
すなわち、カラーフィルタ材料を例えば図６（ａ）に示したように第２の基体１１上に塗布しあるいはインクジェット法等によりパターニングして材料層１０を形成しておき、図６（ｃ）に示したような形態でこの第２の基体１１を第１の基体（表示装置の構成要素を形成した透明基板）上に配置し、材料層１０に光線を照射して材料を飛散させることにより、これを第１の基体上に移行させてカラーフィルタのパターンを形成する。
【０１５８】
ここで、カラーフィルタ材料としては、例えばポリウレタンオリゴマーあるいはポリメチルメタクリレートオリゴマーに赤、緑、あるいは青の各色の無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に必要に応じて非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整したものが用いられる。なお、このような材料から得られるカラーフィルタとしては、所望の色を透過するものや、所望の色の光を発しあるいは反射するものなどがある。
【０１５９】
このようなカラーフィルタの製造方法にあっては、前記本発明のパターニング方法によってカラーフィルタをパターニングするようにしたので、カラーフィルタを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られるカラーフィルタの品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【０１６０】
また、このような方法によってカラーフィルタを形成し、あるいは前記のパターニング方法によって有機エレクトロルミネッセンス素子における各構成要素を形成する電気光学装置の製造方法にあっては、所望パターンの材料部（正孔輸送層１４０Ａや発光層１４０Ｂ、電子輸送層１４０Ｃなど）、あるいはカラーフィルタを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化を図ることができる。
また、このようにして得られた電気光学装置にあっては、得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化が図られたものとなり、あるいは、所望パターンでかつ所望色を呈する発光層が容易にかつ正確に形成されたものとなる。
【０１６１】
また、本発明のパターニング方法は、各種電子装置の製造方法、及びこの製造方法によって得られる電子装置にも適用可能である。すなわち、電子装置の構成要素の少なくとも一部を本発明のパターニング方法あるいは本発明のパターニング装置を用いてパターニングすることにより、本発明の電子装置あるいはこれの製造方法となる。
適用される電子装置としては、特に限定されることなく種々のものが用いられる。例えば、メモリやＴＦＴ（薄膜トランジスタ）、ダイオード等の各種の電子素子を有するものが挙げられる。
【０１６２】
このような電子装置とその製造方法によれば、構成要素を容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【０１６３】
次に、前記例の有機エレクトロルミネッセンス素子、あるいはカラーフィルタを用いてなる電気光学装置が備えられた電子機器の具体例について説明する。
図１３（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１３（ａ）において、５００は携帯電話本体を示し、５０１は図３、図４に示した表示装置からなる表示部（表示手段）、あるいは前記カラーフィルタを用いた表示部（表示手段）を示している。
図１３（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１３（ｂ）において、６００は情報処理装置、６０１はキーボードなどの入力部、６０３は情報処理本体、６０２は前記の図３、図４に示した表示装置からなる表示部（表示手段）、あるいは前記カラーフィルタを用いた表示部（表示手段）を示している。
図１３（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１３（ｃ）において、７００は時計本体を示し、７０１は前記の図３、図４に示した表示装置からなる表示部（表示手段）、あるいは前記カラーフィルタを用いた表示部（表示手段）を示している。
図１３（ａ）〜（ｃ）に示す電子機器は、前記電気光学装置が備えられたものであるので、優れた表示品質が得られる表示手段を備えた電子機器となる。
【０１６４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のパターニング方法は、第１の基体上に材料層を配置し、該材料層に光を照射することにより、該材料層の材料を第１の基体上に移行させて所望パターンの材料部を形成するようにした方法であり、高いエネルギーで光線が照射されると、照射された物質の一部が分子状に飛散する原理により、光線が照射された材料層の材料を、第１の基体上に移行させるようにした方法である。したがって、光線の照射を所望パターンに対応して行うことにより、第１の基体上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することができる。また、材料層の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができる。
【０１６５】
本発明のパターニング装置は、光線を照射する光照射機構と、基体を保持する保持機構とを備えたものであるから、光照射機構によって材料層に光線を照射することで、材料層の材料を保持機構に保持された基体上に移行させることができる。したがって、光線の照射を所望パターンに対応して行えば、基体上に所望パターンの材料部を容易にかつ正確に形成することができる。また、材料層の材料については特に限定されないことなく、材料の選択自由度を高くすることができる。
【０１６６】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、前記パターニング方法を用いて電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つを形成するので、これら電子輸送層、正孔輸送層あるいは発光層を容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる有機エレクトロルミネッセンス素子の品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【０１６７】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、材料層をカラーフィルタ材料によって形成し、前記パターニング方法によってカラーフィルタをパターニングするようにしたので、カラーフィルタを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られるカラーフィルタの品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【０１６８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、前記のパターニング方法、あるいはカラーフィルタの製造方法を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングするようにしたので、所望パターンの材料部、あるいはカラーフィルタを容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化を図ることができる。
【０１６９】
また、本発明の別の電気光学装置の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層の形成材料のうちのホスト材料を予め第１の基体上に所望するパターンに形成しておき、その後、前記発光層のうちのゲスト材料を前記のパターニング方法を用いて前記ホスト材料からなるパターン中に移行させ、該ホスト材料中にゲスト材料を有した発光層を形成するようにしているので、例えば赤、青、緑に対応するゲスト材料を、それぞれ予め形成したホスト材料からなるパターンの所望の位置に分けて移行させることにより、所望パターンでかつ所望色を呈する発光層を容易にかつ正確に形成することができる。
【０１７０】
本発明の電気光学装置は、前記の電気光学装置の製造方法によって得られてなるものであるので、得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化が図られたものとなり、あるいは、所望パターンでかつ所望色を呈する発光層が容易にかつ正確に形成されたものとなる。
【０１７１】
本発明の電子装置の製造方法は、前記パターニング方法、あるいは前記パターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングする方法であるから、構成要素を容易にかつ正確に形成することができ、しかもその形成材料を高い自由度で選択することができることから、得られる電子装置の品質向上やコストの低減化を図ることができる。
【０１７２】
本発明の電子装置は、前記パターニング方法、あるいは前記パターニング装置によって構成要素の少なくとも一部がパターニングされたものであるから、構成要素が容易にかつ正確に形成されたものとなり、しかもその形成材料が高い自由度で選択されて形成されたものとなることから、品質向上やコストの低減化が図られたものとなる。
【０１７３】
本発明の電子機器は、前記の電気光学装置を表示手段として備えてなるものであるので、特にその表示手段について、前述したように得られる材料部やカラーフィルタの品質向上、さらにはコストの低減化が図られたものとなり、あるいは、所望パターンでかつ所望色の発光層が容易にかつ正確に形成されたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のパターニング装置の一例の概略構成図である。
【図２】 本発明のパターニング装置の他の例の概略構成図である。
【図３】 本発明の電気光学装置の配置部を示す回路図である。
【図４】 図３に示した電気光学装置における画素部の平面構造を示す拡大平面図である。
【図５】 （ａ）〜（ｅ）は図３、図４に示した電気光学装置の製造方法に本発明のパターニング方法を適用した場合の第１の例を工程順に説明するための要部側断面図である。
【図６】 （ａ）〜（ｃ）は本発明のパターニング方法を工程順に説明するための要部側断面図である。
【図７】 （ａ）〜（ｃ）は図５に続く工程を順に説明するための要部側断面図である。
【図８】 （ａ）、（ｂ）は図７に続く工程を順に説明するための要部側断面図である。
【図９】 図３、図４に示した電気光学装置の製造方法に本発明のパターニング方法を適用した場合の第２の例を工程順に説明するためのものであり、（ａ）は第２の基体の要部平面図、（ｂ）は（ａ）に示したものとは別の第２の基体の、要部側断面図、（ｃ）は（ｂ）に示した第２の基体を透明基板上に配置した状態を示す要部側断面図である。
【図１０】 インクジェットヘッドの概略構成を説明するための図であり、（ａ）は要部斜視図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図１１】 （ａ）、（ｂ）は本発明に用いられる光照射用のマスクを説明するための要部平面図である。
【図１２】 （ａ）、（ｂ）はホスト／ゲスト材料を順番に打ち分けてパターニングする場合の方法を説明するための要部側断面図である。
【図１３】 エレクトロルミネッセンスディスプレイが備えられた電子機器の具体例を示す図であり、（ａ）は携帯電話に適用した場合の一例を示す斜視図、（ｂ）は情報処理装置に適用した場合の一例を示す斜視図、（ｃ）は腕時計型電子機器に適用した場合の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…表示装置
１０…材料層
１１…第２の基体
１４、１５…（光照射用）マスク
５０、６０…パターニング装置
５１…材料層
５２…基体
５３…光線照射機構
５３ａ…光源
５３ｂ…走査部
５４…保持機構
５５…第２の基体
６１…光照射用マスク
１２１…透明基板
１４１…画素電極
１４０Ａ…正孔輸送層
１４０Ｂ…発光層
１４０ｂ…ホスト材料層
１４０Ｃ…電子輸送層
１５４…対向電極

Claims (21)

1. 第１の基体の最上層に形成された受容層の上方で、前記受容層から離間した位置に材料を含む材料層を配置した状態で、前記材料層に対する光線の照射を行うことにより前記材料を前記受容層に移行させる工程を含み、
   前記工程において、前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する非線形光学現象の生起確率が前記光線のパルス強度の１乗より大きくなるように行われ、
   前記材料層に対する前記光線の照射により前記材料の非線形光学現象が誘起されることで、前記材料が飛散して前記受容層に移行すること
   を特徴とするパターニング方法。
2. 請求項１に記載のパターニング方法において、
   前記材料は前記光線に対して線形吸収を有していないこと、
   を特徴とするパターニング方法。
3. 請求項１または２に記載のパターニング方法において、
   前記パターニング方法により所望パターンの材料部が形成されること、
   を特徴とするパターニング方法。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載のパターニング方法において、
   前記光線は、前記第１の基体側から前記第１の基体を透過させて前記材料層に照射されること、
   を特徴とするパターニング方法。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載のパターニング方法において、
   前記材料層が第２の基体上に配置されてなること、
   を特徴とするパターニング方法。
6. 請求項１乃至４のいずれかに記載のパターニング方法において、
   前記材料層が、予め前記第２の基体上にパターニングされて形成されていること、
   を特徴とするパターニング方法。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載のパターニング方法において、
   前記光線はレーザー光線であること、
   を特徴とするパターニング方法。
8. 請求項１乃至７のいずれかに記載のパターニング方法において、
   前記光線がパルス光線であること、
   を特徴とするパターニング方法。
9. 請求項７に記載のパターニング方法において、
   前記工程において、前記光線の照射は走査しながら行われること、
   を特徴とするパターニング方法。
10. 請求項１乃至９のいずれかに記載のパターニング方法において、
    前記工程において、前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する現象の生起確率が、前記光線が通過する際の前記材料層以外の部分における生起確率より高くするように行われること、
    を特徴とするパターニング方法。
11. 請求項１乃至１０のいずれかに記載のパターニング方法において、
    前記材料層に対する前記光線の照射により、前記材料の多光子吸収が生起すること、
    を特徴とするパターニング方法。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載のパターニング方法において、
    前記材料層が、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つの形成材料であること、
    を特徴とするパターニング方法。
13. 第１の基体の最上層に形成された受容層の上方で、前記受容層から離間した位置に材料を含む材料層を配置した状態で、前記材料層に対する光線の照射を行うことにより前記材料を前記受容層に移行させる工程を含み、
    前記光線の照射は、前記光線を走査しながら行われ、
    前記工程において、前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する非線形光学現象の生起確率が前記光線のパルス強度の１乗より大きくなるように行われ、
    前記材料層に対する前記光線の照射により前記材料の非線形光学現象が誘起されることで、前記材料が飛散して前記受容層に移行すること
    を特徴とする膜形成方法。
14. 材料層に光線を照射して前記材料層の材料を基体の最上層に形成された受容層内に移行させるパターニング装置であって、
    前記材料層を前記受容層の上方で当該受容層から離間した位置に配置し、
    前記光線を照射する光照射機構と、
    前記基体を保持する保持機構と、を含み、
    前記光照射機構による前記材料層に対する前記光線の照射は、前記材料層に対する前記光線の照射により生起する非線形光学現象の生起確率が前記光線のパルス強度の１乗より大きくなるように行われ、
    前記材料層に対する前記光線の照射により前記材料の非線形光学現象が誘起されることで、前記材料を飛散させて前記受容層に移行させること
    を特徴とするパターニング装置。
15. 請求項１４に記載のパターニング装置において、
    前記保持機構に保持された前記基体を水平方向及び垂直方向に移動させる移動機構と、
    を含んでいること、
    を特徴とするパターニング装置。
16. 請求項１４又は１５に記載のパターニング装置において、
    前記光照射機構は、光線照射位置を走査するための走査部を備えていること、
    を特徴とするパターニング装置。
17. 請求項１乃至１２のいずれかに記載のパターニング方法を用いて電子輸送層、正孔輸送層、発光層のうちの少なくとも一つを形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
18. 前記材料層をカラーフィルタ材料によって形成し、請求項１乃至１２のいずれかに記載のパターニング方法、あるいは請求項１４乃至１６のいずれかに記載のパターニング装置を用いてカラーフィルタをパターニングすることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
19. 請求項１乃至１２のいずれかに記載のパターニング方法、請求項１８に記載のカラーフィルタの製造方法、あるいは請求項１５乃至１７のいずれかに記載のパターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングすることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
20. 有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層の形成材料のうちのホスト材料を予め第１の基体上に所望するパターンに形成しておき、その後、前記発光層の形成材料のうちのゲスト材料を請求項１乃至１２のいずれかに記載のパターニング方法、あるいは請求項１４乃至１６のいずれかに記載のパターニング装置を用いて前記ホスト材料からなるパターン中に移行させ、前記ホスト材料中にゲスト材料を有した発光層を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
21. 請求項１乃至１２のいずれかに記載のパターニング方法、あるいは請求項１４乃至１６のいずれかに記載のパターニング装置を用いて構成要素の少なくとも一部をパターニングすることを特徴とする電子装置の製造方法。

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