JP4328658B2 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Description
22 ポンプ
23 レジスト液吐出ノズル
23b 吐出口
24 ピストン
26 レジスト液貯留室
60 レジスト液補充用容器
W ウェハ
Claims (3)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって,
基板上を基板の表面に沿って移動しながら,当該基板に対して塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルと,
前記塗布液吐出ノズルに取り付けられ,前記塗布液吐出ノズルと一体となって移動でき,前記塗布液吐出ノズルに対して塗布液を圧送する塗布液圧送部と,
前記塗布液圧送部に塗布液を補充するための塗布液補充用容器と,を備え,
前記塗布液圧送部は,内部に前記塗布液吐出ノズルの吐出口に通じる塗布液貯留室と,当該塗布液貯留室内で往復移動するピストンを有し,前記ピストンが前記塗布液貯留室内の塗布液を押圧することによって前記吐出口から塗布液を吐出でき,
前記塗布液補充用容器は,前記塗布液吐出ノズルを収容可能に構成され,
前記塗布液補充用容器内には,塗布液を供給する供給管が挿入されており,
前記供給管の先端部と前記塗布液吐出ノズルの吐出口は,前記塗布液補充用容器内で互いに嵌合し,前記供給管の先端部から前記塗布液吐出ノズルの吐出口に直接塗布液を流入できるように構成されていることを特徴とする,塗布装置。 - 前記塗布液補充用容器は,収容した前記塗布液吐出ノズルに対し洗浄液を供給する洗浄液供給部を備えたことを特徴とする,請求項1に記載の塗布装置。
- 前記塗布液補充用容器の底面は,傾斜しており,当該底面の最下部には,前記塗布液補充用容器内の液体を排出する排液管が接続されていることを特徴とする,請求項1又は2のいずれかに記載の塗布装置。
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