JP2005296771A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X方向に往復移動可能なレジスト液吐出ノズル23に,ポンプ23を直接取り付ける。ポンプ22には,レジスト液吐出ノズル23の吐出口23bに連通するレジスト液貯留室26と,レジスト液貯留室26内で往復移動するピストン24が設けられ,ピストン24がレジスト液貯留室26内のレジスト液を押圧することによって吐出口23bからレジスト液を吐出できる。塗布装置1内には,レジスト液を貯留できかつレジスト液吐出ノズル23を収容できるレジスト液補充用容器60を設け,レジスト液吐出ノズル23の吐出口23bをレジスト液補充用容器60内のレジスト液中に浸漬し,その状態でピストン24を引いてレジスト液を吸引することによって,ポンプ22にレジスト液を補充する。
【選択図】 図4
Description
22 ポンプ
23 レジスト液吐出ノズル
23b 吐出口
24 ピストン
26 レジスト液貯留室
60 レジスト液補充用容器
W ウェハ
Claims (10)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって,
基板上を基板の表面に沿って移動しながら,当該基板に対して塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルと,
前記塗布液吐出ノズルに対して塗布液を圧送する塗布液圧送部と,を備え,
前記塗布液圧送部は,前記塗布液吐出ノズルに取り付けられ,前記塗布液吐出ノズルと一体となって移動できることを特徴とする,塗布装置。 - 前記塗布液圧送部は,内部に前記塗布液吐出ノズルの吐出口に通じる塗布液貯留室と,当該塗布液貯留室内で往復移動するピストンを有し,前記ピストンが前記塗布液貯留室内の塗布液を押圧することによって前記吐出口から塗布液を吐出できることを特徴とする,請求項1に記載の塗布装置。
- 前記塗布液圧送部に塗布液を補充するための塗布液補充用容器をさらに備え,
前記塗布液補充用容器は,前記塗布液吐出ノズルを収容可能で,かつ前記塗布液を貯留可能に構成されていることを特徴とする,請求項2に記載の塗布装置。 - 前記塗布液圧送部に塗布液を補充するための塗布液補充用容器をさらに備え,
前記塗布液補充用容器は,前記塗布液吐出ノズルを収容可能に構成され,
前記塗布液補充用容器内には,塗布液を供給する供給管が挿入されており,
前記供給管の先端部と前記塗布液吐出ノズルの吐出口は,前記塗布液補充用容器内で互いに嵌合し,前記供給管の先端部から前記塗布液吐出ノズルの吐出口に直接塗布液を流入できるように構成されていることを特徴とする,請求項2に記載の塗布装置。 - 前記塗布液補充用容器は,収容した前記塗布液吐出ノズルに対し洗浄液を供給する洗浄液供給部を備えたことを特徴とする,請求項3又は4のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記塗布液補充用容器の底面は,傾斜しており,当該底面の最下部には,前記塗布液補充用容器内の液体を排出する排液管が接続されていることを特徴とする,請求項3,4又は5のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記塗布液吐出ノズル又は前記塗布液圧送部には,前記塗布液圧送部に塗布液を補充するための塗布液補充管が接続され,
前記塗布液補充管には,塗布液補充管内の開放,閉鎖を行う開閉弁が設けられていることを特徴とする,請求項2に記載の塗布装置。 - 前記塗布液補充管には,前記開閉弁に代えて,前記塗布液吐出ノズル側へ向かう塗布液の流れのみを許容する逆止弁が設けられていることを特徴とする,請求項7に記載の塗布装置。
- 塗布液吐出ノズルを基板の表面に沿って移動させながら,前記塗布液吐出ノズルから前記基板に対して塗布液を吐出することによって,基板に塗布液を塗布する塗布方法であって,
前記塗布液吐出ノズルに塗布液を圧送する塗布液圧送部は,塗布液吐出ノズルに取り付けられて前記塗布液吐出ノズルと一体となって移動でき,かつ内部に前記塗布液吐出ノズルの吐出口に通じる塗布液貯留室と,当該塗布液貯留室内で往復移動するピストンとを有しており,
前記ピストンが前記塗布液貯留室内の塗布液を押圧することによって前記塗布液吐出ノズルから基板に対して塗布液を吐出した後,前記塗布液吐出ノズルを,塗布液補充用容器内に貯留された塗布液内に浸積し,前記ピストンを引き戻すことによって前記塗布液補充用容器内の塗布液を前記吐出口から吸引して前記塗布液貯留室内に補充することを特徴とする,塗布方法。 - 塗布液吐出ノズルを基板の表面に沿って移動させながら,前記塗布液吐出ノズルから前記基板に対して塗布液を吐出することによって,基板に塗布液を塗布する塗布方法であって,
前記塗布液吐出ノズルに塗布液を圧送する塗布液圧送部は,塗布液吐出ノズルに取り付けられて前記塗布液吐出ノズルと一体となって移動でき,かつ内部に前記塗布液吐出ノズルの吐出口に通じる塗布液貯留室と,当該塗布液貯留室内で往復移動するピストンとを有し,
前記塗布液吐出ノズル又は前記塗布液圧送部には,前記塗布液圧送部に塗布液を補充するための塗布液補充管が接続されており,
前記ピストンが前記塗布液貯留室内の塗布液を押圧することによって前記塗布液吐出ノズルから基板に対して塗布液を吐出した後,前記ピストンを引き戻すことによって,前記塗布液補充管を通じて塗布液を吸引して前記塗布液貯留室内に塗布液を補充することを特徴とする,塗布方法。
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