JP4315272B2 - 補償器を備えたワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを使用する表示装置 - Google Patents

補償器を備えたワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを使用する表示装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、一般的に、画像形成のための液晶デバイスを用いるディジタル投影装置に、より詳しくは、ピクセルの黒(オフ)状態における漏出光を最小にするための補償器を備えたワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを使用することによって、高いレベルのコントラストを達成するための装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のフィルム投影機に対する適切な置換として考慮されるために、ディジタル投影系は、画像品質に対する要求の厳しい要件を満たさなければならない。これは、映画の投影系に関して特に真実である。従来の映画の質の投影機に対する競合的な代替品を提供するために、ディジタル投影装置は、高い解像度、広い色域、高い明るさ(>10,000スクリーンルーメン)、及び1,000:1を超えるフレーム連続系コントラスト比を提供する。
【0003】
ディジタル映画投影のための最も有望な解決策は、画像形成デバイスとして二つのタイプの空間光変調器の一つを用いる。第一のタイプの空間光変調器は、Texas Instruments,Inc.,Dallas,TXによって開発された、ディジタルマイクロミラーデバイス(DMD)である。DMDデバイスは、多くの特許に記載されている(例えば、特許文献1、2、3、及び4参照)。DMDを用いる投影装置に関する光学設計は、米国特許に開示されている(例えば、特許文献5、6、7、及び8参照)。DMDに基づいた投影機が、必要な光の処理量、コントラスト比、及び色域を提供するいくらかの能力を証明するが、現行の解像度の限界(1024x768ピクセル)並びに高い構成部品及び系の費用は、高品質のディジタル映画投影に関するDMDの許容可能性を制限してきた。
【0004】
ディジタル投影に使用される第二のタイプの空間光変調器は、液晶デバイス(LCD)である。LCDは、各々の対応するピクセルに対する入射光の偏光状態を選択的に変調することによって、ピクセルのアレイとして画像を形成する。高い解像度で、大きなエリアのLCDを、DMDよりも容易に作製することができる。LCDは、ディジタル映画投影系において使用される実現性のある代替の変調器技術である。LCD空間光変調器を利用する電子投影装置の例の間で、それらは、米国特許に開示されている(例えば、特許文献9、10、11、12、及び13参照)。最近、JVCは、2,000のx1280ピクセルを提供する)高解像度、(1000:1を超過する)高いフレーム連続コントラスト、及び(公称で、12,000のルーメンまでの)高い光処理量の可能なLCDに基づく投影機を証明した。この系は、陰極線管(CRT)によって駆動されるか又は扱われる三つの垂直に整列した(VA)(ホメオトロピックとも呼ばれる)LCD(色毎に一つ)を利用した。この系が、LCDに基づくディジタル映画投影機に対する可能性を証明したと同時に、系の複雑さ及び全体的な信頼度は、関心のあるままである。加えて、費用の考慮は、そのような系を、ディジタル映画投影市場における広い商業化に関してまだ準備ができていなくする。
【0005】
またJVCは、CRTによって間接的にというよりもむしろ、シリコンバックプレーン(LCOS)を介して直接扱われる垂直に整列したLCDの新しい系統を開発してきた。これらの新しいデバイスが有望であると同時に、それらは、ディジタル映画の上演に対する期待を十分に満たすために、まだ実証されてない。TVCのLCDデバイスは、米国特許に部分的に記載されている(例えば、特許文献14、15、及び16参照)。初期のツイストネマチック又はコレステリックLCDとは対照的に、垂直に整列したLCDSは、(2,000:1を超過する)はるかにより高い変調コントラスト比を提供することを約束する。LCディスプレイにおける垂直整列を導入するための方法論を、またTVCに譲渡された米国特許に、具体的に記載してある(特許文献17参照)。スクリーンで1,000:1又はそれより良好なフレーム連続コントラストを得るために、ことに注意することは有益である。全系は、>1000:1のコントラストを生成しなければならず、LCDもどんな必要な偏光光学部品も両方とも、各々個別に〜2,000:1のコントラストを提供しなければならない。著しく、コリメートされたレーザービームを変調するとき、偏光を補償する垂直に整列したLCDが、>20,000:1のコントラストを提供することができると同時に、これらの同じ変調器は、適切な偏光の補償無しで、コリメートされたレーザービームを変調するとき、500:1又はそれ以下のコントラストを示してもよい。また、変調のコントラストは、入射光のスペクトルの帯域幅及び角度幅(F#)にも依存し、帯域幅を増加させるか又はF#を減少させると、コントラストは一般的に落ちる。熱的に導入する応力複屈折のような、残余の脱偏光又は誤った方向に向く偏光の効果によって、LCD内の変調コントラストもまた減少させることができる。このような効果を、典型的に観察される“鉄十字”の偏光コントラストパターンが縮退パターンを帯びる、デバイスの遠視野で観察することができる。
【0006】
ディジタル投影技術における当業者に明白であるように、LCD基づく電子投影系によって提供される光学性能は、大部分が、LCD自体の特性によって、及びLCD投影を支持する偏光光学部品によって定義される。偏光ビームスプリッター、前偏光子、及び偏光子/検光子構成部品のような、偏光分離光学部品の性能は、高いコントラスト比を得るために特別に重要である。また、これらの偏光光学構成部品を投影ディスプレイの変調光学系内で組み合わせる正確な様式は、最終的な結果として生じるコントラストに顕著な影響力を有し得る。
【0007】
多くの投影系で使用される、最も一般的な従来の偏光ビームスプリッターの解決策は、米国特許に開示されている伝統的なMacNeilleプリズムである(特許文献18参照)。このデバイスを、(300:1程度の)良好な消光率を提供するために示してきた。しかしながら、この標準的なプリズムは、ある限定された範囲の角度(数度)にわたる入射光のみで良好に動作する。MacNeilleプリズムの設計が、一つの偏光状態のみに対して良好な消光率を提供するので、この光が、キセノン又はハロゲン化金属アークランプのような、偏光してない白色光源からであるとき、このデバイスを使用する設計は、入射する光の半分を有効に放棄しなければならない。
【0008】
MacNeilleの設計に基づく、従来のガラスの偏光ビームスプリッターの設計は、ディジタル映画投影用のその使用を妨げ得るかもしれない限定された方向特性を超える他の限定を有する。特に、製造又は動作中の熱応力で使用されるボンディングの技術は、応力複屈折を引き起こすことができ、次には、ビームスプリッターの偏光コントラストの性能を低下させる。しばしば中間レンジの電子投影用途に許容可能でない、これらの効果は、映画投影の用途に対して許容できない。熱応力の問題は、米国特許に開示されている、偏光構成部品における使用のために特別に設計された、より適切な低い光弾性光学ガラスの使用で最近改善されてきた(特許文献19参照)。残念ながら、高い製造費用及び不確実な利用可能性は、この解決策の有用性を限定する。さらに、それが、応力複屈折を最小にするために各々の波長帯域に適合した注文の溶融した低応力ガラスプリズムに対して実現可能であるかもしれないと同時に、角度製造を幾分拡張すると同時に、このような解決策は、高価で誤りがちである。これらの問題の結果として、およそ800:1のコントラストで500−5,000ルーメンで動作する、低乃至中間レンジの電子投影系に関して必要な性能が可能である、従来のMacNeilleに基づくガラスのビームスプリッターの設計は、おそらく、原寸の商業上のディジタル映画投影のより要求の厳しい要求が足りなくなる。
【0009】
LCDに基づくディジタル映画投影系の要求を満たすために、他の偏光ビームスプリッター技術を提案してきた。例えば、二つのDoveプリズムの間に挟まれた複数の薄膜層を含む、米国特許に開示されたビームスプリッターは、(特許文献20参照)は、両方の偏光状態に対する高い消光率を達成することを試みる。理論的に、このビームスプリッターデバイスは、2,000:1を超過する消光率が可能である。さらに、六個のLCD(色毎に二つ)を備えた投影系に設計されるとき、このプリズムは、両方の偏光の使用を許容することによって系の光の効率を押し上げることができるかもしれない。しかしながら、大きさの制約及び極端に厳しいコーティングの公差は、このビームスプリッターの設計を使用する投影装置の商業化に著しい障害を与える。
【0010】
別の従来の解決策として、いくつかの投影機の設計は、液浸偏光ビームスプリッターを用いてきた。液体が充填されたビームスプリッターが、高コントラストの用途に必要とされる高い消光率を提供するために示されてきたと共に高強度の光の条件下でいくつかの利点を有する(例えば、特許文献21参照)。しかしながら、これらのデバイスは、製造することが高価であり、埃又は含有される泡無しで作製されなければならず、安定した使用の条件下で、多くの固有の欠点を示してきた。液浸偏光ビームスプリッターの欠点の間には、対流による一様でない屈折率分布を含む、温度による液体の屈折率における変動がある。漏出の危険性は、これらのデバイスに別の潜在的な欠点を与える。
【0011】
ワイヤーグリッド偏光子は、長年存在していたと共に、主として、無線周波数及び遠赤外の光学的用途で使用された。可視スペクトル光によるワイヤーグリッド偏光子の使用は、大部分は、デバイスの性能又は製造の制約により、限定されてきた。例えば、虚像表示装置におけるワイヤーグリッドビームスプリッターの使用が開示されている(特許文献22参照)。このHegg等の開示において、安価なワイヤーグリッドビームスプリッターは、従来のプリズムビームスプリッターに対して比較されたとき、高い光処理量の効率を提供する。Hegg等のワイヤーグリッド偏光子によって提供される偏光コントラストは、非常に低く(6.3:1)、ディジタル投影には不適切である。可視スペクトル用の第二のワイヤーグリッド偏光子は、米国特許に開示されている(特許文献23)。この特許で議論されたデバイスが、偏光の分離を提供すると同時に、コントラスト比は、映画の投影に不適切であり、設計は、本質的に、むしろ狭い波長帯域に限定される。
【0012】
最近、米国特許に開示されているように、(特許文献24、25、及び26参照)。高品質ワイヤーグリッド偏光子及びビームスプリッターが、可視スペクトルにおける広帯域の使用のために開発されてきた。これらの新しいデバイスは、Orem,UT.のMoxtek Inc.から商業的に入手可能である。米国特許に記載されているデバイスを含む、既存のワイヤーグリッド偏光子が、ディジタル映画投影に要求される高いコントラストを得るために必要とされる必要な性能特性の全てを示さなくてもよいと同時に、これらのデバイスは、多くの利点を有する(特許文献24及び25参照)。標準的な偏光子に対して比較したとき、ワイヤーグリッド偏光デバイスは、相対的に高い消光率及び高い効率を示す。加えて、これらのワイヤーグリッドデバイスのコントラストの性能は、また、より広い角度の許容性(NA又は開口数)及び標準的な偏光デバイスよりも熱的に導入された応力複屈折に関して少ない機会でより確固とした熱性能を有する。さらに、ワイヤーグリッド偏光子は、光の強度、温度、及び振動のような苛酷な環境の条件に対して丈夫である。これらのデバイスは、青色光チャンネル内の応答が追加の補償を要求する場合もあることを除いては、異なる色のチャンネルの条件下でよく実行する。
【0013】
ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター(PBS)デバイスは、いくつかのディジタル投影装置内で用いられてきた。例えば、投影ディスプレイの用途に対する広帯域のワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターの使用が米国特許に開示されている(特許文献25参照)。ディジタル画像投影系において偏光子及び検光子の両方として機能するワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターが米国特許に開示されている(特許文献27参照)。しかしながら、この米国特許は、非常に低い実効F#のものを、コントラストのいくらかの損失と共に、ワイヤーグリッドPBSを使用して達成することができることを述べている(特許文献27参照)。特に、この米国特許は、光の漏出を減少させると共に低いF#で動作する明るい光学系に対するコントラストを押し上げるために、偏光の補償を、ワイヤーグリッドデバイスと組み合わせてどのように使用してもよいかを議論しない。
【0014】
一般的に、ワイヤーグリッド偏光子は、進歩しているが、ディジタル映画投影装置によって課された厳しく要求する要件の全てを満たすことは満足に証明されてこなかった。室内環境及び高い負荷の条件の両方における基板の平面度、全体的な偏光性能、及び丈夫さにおける欠陥は、映画の投影用のワイヤーグリッド偏光デバイスの商業化を限定してきた。
【0015】
本発明の装置及び方法に対して特に関心及び関連のあるのは、ワイヤーグリッド偏光子もワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターもどちらも、個々に、1,000:1又はそれより良好な所望の投影系のフレーム連続コントラストを達成するために、特に小さいF#(<F/3.5)で目標となる偏光の消光率の性能(公称で>2,000:1)を提供しないことを強調しなければならない。むしろ、これらの構成部品の両方は、最良の条件下で〜1,200:1より低いコントラストを提供する。性能は、著しく、青色スペクトルでさらに落ちる。従って、系の光学的な部分(LCDを除外する)に対する所望の2,000:1のコントラストの目標を達成するために、投影ディスプレイの変調光学系内の組み合わせで、おそらくワイヤーグリッド偏光デバイスを含む、様々な偏光デバイスを利用することが必要である。しかしながら、LCD、色光学部品、及び投影レンズと組み合わせて、ワイヤーグリッド偏光子を含む偏光光学部品の最適化された構成を設計する問題点は、一般に電子投影用か特にディジタル映画投影用かいずれかで、完全に扱われてこなかった。さらに、先行技術は、コントラストを押し上げるための偏光補償器さらに有する、LCD及びワイヤーグリッドデバイスの両方を使用する投影ディスプレイ用の変調光学系を設計する方法を記載してない。
【0016】
一般的にLCD及び特に垂直に整列したLCDの偏光性能を増強するために開発された偏光補償器の多数の例がある。最適化された系において、補償器は、組み合わせでLCD及び偏光光学部品の性能を増強するために同時に設計される。これらの補償器は、典型的には、光ビームの他の部分で偏光状態に影響を及ぼすことなく、通過する光ビームの(ある一定の空間及び角度エリア内の)部分で偏光状態に影響を及ぼすために、空間的に異なる様式で構築される、角度を変動させる複屈折を提供する。偏光補償器は、一般的にLCD、しかし特にまた垂直に整列したLCDと共に作動するように設計されてきた。制限された厚さをもつ垂直に整列したLCDに対して設計された複屈折の補償が、米国特許に開示されている(特許文献28参照)。シートの偏光子/検光子の組みの間に提供される少なくとも二つの一軸性又は二つの二軸性の遅延器を含む補償器を備えた垂直に整列したLCDが、米国特許に開示されている(特許文献29参照)。LCDのダーク状態がゼロでない電圧(バイアス電圧)を有する、交差したシートの偏光子を備えたパッケージで使用される、LCDにおける光学的な複屈折の誤差を補正する二軸性フィルム補償器の使用が、米国特許に開示されている(特許文献30参照)。VA LCDの電圧オン状態に対するコントラストを最適化するように設計される、円盤状のフィルム補償器が、米国特許に開示されている(特許文献31参照)。比較すると、二つの遅延フィルム、正の複屈折をもつ一方及び負の複屈折をもつ他方によって補償されたVA LCDが、米国特許に開示されている(特許文献32参照)。
【0017】
従来のMacNeilleプリズムタイプの偏光ビームスプリッターを備えたLCDを使用する投影機装置における使用のために構築された補償器が、米国特許に開示されている(特許文献33参照)。この補償器は、プリズムを補償するための1/4波長板及び固有のLCDの残余の複屈折効果に対する追加の0.02λの補償を含む。必要に応じて、A−プレート、C−プレート、及びO−プレートの組み合わせを使用する、補償器が多層構造を有する、ツイストネマチックLCDと共に使用可能な補償デバイスが、米国特許に開示されている(特許文献34参照)。
【0018】
一般的に、これらの先行技術の補償器の特許の大部分は、LCDが、シートの偏光子との組み合わせで使用されると共にLCDの偏光の誤差を補正することを仮定する。しかしながら、また偏光補償器は、明らかに、従来のPolaroidタイプの色素シートの偏光子からの非均一な偏光効果を補正するために開発されてきた。1929年にE.H.Landによって開発された色素シート偏光子は、二色性又は光の偏光の選択的な異方性吸収によって機能する。色素シート偏光子用の補償器は、Chen等の文献に記載されており、A−プレート及びC−プレートの構造の組み合わせを使用する(非特許文献1参照)。米国特許におけるように先行技術の特許に目標を向けたLCD系の最大のコントラストは、多くの用途には十分であるが、ディジタル映画投影の用件を満たさない、たった500:1までである(特許文献32参照)。
【0019】
この先行技術の資料が、様々な条件下で使用される偏光補償器の設計を広く詳述すると同時に、ワイヤーグリッド偏光子との使用のために明らかに開発されて最適化された補償器は、開示されてない。さらに、多数のワイヤーグリッド偏光子デバイスを使用する、又は垂直に整列したLCDと組み合わせて多数のワイヤーグリッドデバイスを使用する、変調光学系の性能を増強するための偏光補償器の設計は、以前に開示されてこなかった。補償無しで、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターは、入射光が、低い開口数内にあるとき、許容可能なコントラストを提供する。しかしながら、高い明るさレベルを達成するために、光学系が、それがより大きな斜角で入射光を集めることができるように、高い開口数(>〜0.13)を有することは、最も有利である。高い明るさ及び高いコントラスト比を維持する矛盾する目標は、偏光構成部品に対して重大な設計の問題を与える。オフ状態における光の漏出は、高いコントラストレベルを達成するために、最小でなければならない。しかし、光漏出は、高い明るさを達成するために要求される斜角における入射光に対して最も表明される。
【0020】
米国特許を参照して注意したように、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターデバイス用の補償器の要件は、MacNeilleプリズムの設計に基づく偏光ビームスプリッターデバイスを備えた補償器のより多くの従来の使用と著しく異なる(特許文献33参照)。性能の結果は、1/4波長板の補償器の従来の使用が、解決策ではなく、コントラスト比をさらに劣化させ得ることを示す。加えて、以前に補償器が、投影ディスプレイ系においてVA LCDSを備えたタンデムで作動するように特に開発されてきたと同時に、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを利用する変調光学系の情況でVA LCDSとの使用のために最適化された補償器は、開発され開示されてこなかった。
【0021】
【特許文献1】
米国特許第4,441,791号明細書
【特許文献2】
米国特許第5,535,047号明細書
【特許文献3】
米国特許第5,600,383号明細書
【特許文献4】
米国特許第5,719,695号明細書
【特許文献5】
米国特許第5,914,818号明細書
【特許文献6】
米国特許第5,930,050号明細書
【特許文献7】
米国特許第6,008,951号明細書
【特許文献8】
米国特許第6,089,717号明細書
【特許文献9】
米国特許第5,808,795号明細書
【特許文献10】
米国特許第5,798,819号明細書
【特許文献11】
米国特許第5,918,961号明細書
【特許文献12】
米国特許第6,010,121号明細書
【特許文献13】
米国特許第6,062,694号明細書
【特許文献14】
米国特許第5,652,667号明細書
【特許文献15】
米国特許第5,767,827号明細書
【特許文献16】
米国特許第5,978,056号明細書
【特許文献17】
米国特許第5,620,755号明細書
【特許文献18】
米国特許第2,403,731号明細書
【特許文献19】
米国特許第5,969,861号明細書
【特許文献20】
米国特許第5,912,762号明細書
【特許文献21】
米国特許第5,844,722号明細書
【特許文献22】
米国特許第5,383,053号明細書
【特許文献23】
米国特許第5,748,368号明細書
【特許文献24】
米国特許第6,122,103号明細書
【特許文献25】
米国特許第6,243,199号明細書
【特許文献26】
米国特許第6,288,840号明細書
【特許文献27】
米国特許第6,234,634号明細書
【特許文献28】
米国特許第4,701,028号明細書
【特許文献29】
米国特許第5,039,185号明細書
【特許文献30】
米国特許第5,298,199号明細書
【特許文献31】
米国特許第6,081,312号明細書
【特許文献32】
米国特許第6,141,075号明細書
【特許文献33】
米国特許第5,576,854号明細書
【特許文献34】
米国特許第5,619,352号明細書
【非特許文献1】
J. Chen, K. H. Kim, J. J. Jyu, J. H. Souk, J. R. Kelly, P.J. Bos, "Optimum Film Compensation Modes for TN and VA LCDs", SID 98 Digest, pages 315-318
【発明が解決しようとする課題】
このように、高コントラスト出力を提供するために、組み合わせでワイヤーグリッド偏光デバイス、垂直に整列したLCD、及び偏光補償器を使用する、改善された投影装置に対する要求があることを理解することができる。
【0022】
【課題を解決するための手段】
簡潔に、本発明の一つの態様に従って、表示装置は、光のビームを形成するための光源を含む。前偏光子は、光の偏光したビームを提供するために光のビームを偏光させる。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターは、光の偏光したビームを受ける。光の偏光したビームは、第二の偏光を有する光の偏光したビームを反射させるために、第一の偏光を透過させる。反射性液晶デバイスは、変調されたビームを形成するために、画像データをコード化するために第一の偏光を有する光の偏光したビームを選択的に変調すると共に、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターへ変調されたビームを反射し返す。補償器は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及び反射性液晶デバイスの間に位置する。液晶デバイスは、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターから反射される変調されたビームの傾斜したスキュー光線を状態調節する。偏光ビームスプリッターにおけるワイヤーは、補償された変調されたビームを反射する。画像形成光学部品は、変調されたビームから画像を形成する。
【0023】
【発明の実施の形態】
明細書が、本発明の主題を特に指摘すると共に明確に請求する請求項と共に結論すると同時に、本発明が、添付する図面と一緒に理解するとき、以下の説明からより良好に理解されると思われることを信じる。
【0024】
本説明は、特に、本発明に従う装置の一部を形成する、又はその装置とより直接的に協働する素子に向けられる。具体的に示してない又は記載してない素子が、等業者に周知の様々な形態をとってもよいことを理解することができる。
【0025】
図1を参照して、その開示がここに組み込まれる“DIGITAL CINEMA PROJECTOR”と題された発明者Kurtz等による2001年3月20日に出願された本件出願人に譲渡された同時継続の米国特許出願第09/813,207号に記載するように、ディジタル投影装置10における光学構成部品の配置を概略の形態で示す。照明光学部品20及び前偏光子45は、本質的に均一化され偏光させられる照明を提供するために、光源15からの光を予め状態調節する。照明光学部品20は、積分棒又はフライアイ積分器組み立て品のような均一化する光学部品、及び集光するリレー光学部品の組み立て品を含む。除去された代替の偏光状態の光が、名目上、光源へ反射し返ると同時に、この光は、引き続き、偏光ビームスプリッターへ向けられる所望の偏光状態の光と共に、前偏光子45によって偏光させられる。前偏光子45は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター50、偏光を回転させる空間光変調器55、及び偏光検光子60も含む、変調光学系40の一部である。名目上、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター50は、好適な偏光状態を有する入射光を透過させる。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター50は、系からの代替の偏光状態を有する残余の入射光を反射すると同時に、好適な偏光状態を有する入射光を透過させる。光に二次元画像をコード化するために、入射光は、名目上は液晶ディスプレイ(LCD)である空間光変調器55によって変調され、次に変調された光ビームとして反射される。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター50は、一つの偏光状態を有する変調された光ビームからの光を反射し、代替の偏光状態を有する光を透過させる。次に、投影光学部品70は、名目上投影スクリーンである、ディスプレイの表面75へ反射された変調された光ビームを向ける。
【0026】
ディジタル投影装置10及び変調光学系40の設計は、両方とも、これらの系内で使用されるワイヤーグリッド偏光子の特性のより深い議論からより良好に理解することができる。図2は、基本的な先行技術ワイヤーグリッド偏光子を説明し、先行技術及び本発明の一連の説明用の例で使用することになる用語を定義する。ワイヤーグリッド偏光子100は、誘電体基板120によって支持された非常に多数の並列の導電性電極(ワイヤー)110で構成される。このデバイスは、(p)で表示される格子の間隔又は導体のピッチ若しくは周期、(W)で表示される個々の導体の幅、及び、(t)で表示される導体の厚さによって特徴付けられる。名目上、ワイヤーグリッド偏光子は、ピッチ(p)、導体又はワイヤーの幅(w)、及び導体又はワイヤーの厚さ(t)が、全て入射光の波長(λ)より小さいように、サブ波長の構造を使用する。光源132によって生成された光のビーム130は、導電性素子に直交する入射の平面で法線から角度θで偏光子に入射する。ワイヤーグリッド偏光子100は、このビームを、正反射の回折されない出て行く光ビーム、即ち反射された光ビーム140及び透過された光ビーム150に分割する。使用されるS及びP偏光に対する定義は、P偏光した光が、導電性素子に直交するその偏光ベクトルを有すると同時に、S偏光した光が、導電性素子と平行なその偏光ベクトルを備えた光であるというものである。一般的に、ワイヤーグリッド偏光子は、グリッドに対して平行な(“S”偏光)その電場ベクトルをもつ光を反射すると共にグリッドに垂直な(“P”偏光)その電場ベクトルをもつ光を透過させることになる。ワイヤーグリッド偏光子100は、それが透過におけるE−タイプの偏光子(異常光線を透過させる)及び反射におけるO−タイプの偏光子(常光線を反射させる)であるという点で、幾分普通でない偏光デバイスである。
【0027】
このようなデバイスを垂直入射(θ=0度)で使用するとき、反射された光ビーム140は、一般的に、光源132へ再び向けられ、デバイスは、偏光子と呼ばれる。しかしながら、このようなデバイスを、非垂直入射(典型的には、30°<θ<60°)で使用するとき、照明する光のビーム130、反射された光ビーム140、及び透過した光ビーム150は、別個の分離可能な経路に続き、デバイスは、偏光ビームスプリッターと呼ばれる。ワイヤのピッチ(p)、ワイヤの幅(w)、ワイヤのデューティサイクル(w/p)、及びワイヤの厚さ(t)に対するワイヤーグリッドデバイスの詳細な設計を、偏光子又は偏光ビームスプリッターとしての使用のために、異なって最適化してもよい。偏光を変更する空間光変調器と共に設計するとき、ディジタル投影装置10及び変調光学系40の両方は、ワイヤーグリッドタイプのデバイス以外に偏光検光子及び偏光ビームスプリッターを使用してもよいことが、理解されるはずである。例えば、偏光ビームスプリッターは、MacNeilleタイプのガラスプリズムであってもよいか、又は偏光子は、色素/ポリマーを主材料としたシートの偏光子のいずれかであったもよい。この議論の中で、そのことは、投影機用の全ての構成には要求されないが、前偏光子45及び検光子60の両方もまた、一般的にワイヤーグリッドデバイスであると考えられると同時に、偏光ビームスプリッターは、ワイヤーグリッドタイプのデバイスであると仮定される。
【0028】
変調光学系200で使用されるような、これらの偏光子の好適な空間的な関係を、図3で説明する。変調光学系200の基本的な構造及び動作は、その開示がここに組み込まれる、発明者Kurtz等による“DIGITAL CINEMA PROJECTOR”と題された、2001年3月20日に出願された、本出願人に譲渡された同時継続の米国特許出願第09/813,207号に記載されている。電子投影系の一部分である、変調光学系200は、前偏光子230、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、補償器260を通じて、コンデンサー225によって空間光変調器210(LCD)に集束される、入射する照明光ビーム220を含む。変調された画像を生ずる光ビーム290は、空間光変調器210の表面から反射され、補償器260を透過し、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240の近い表面から反射され、引き続き偏光検光子270を透過する。変調光学系200を離れた後、変調画像を生ずる光ビーム290は、光軸275に沿って進み、スクリーンへのその進路で再結合プリズム280及び投影レンズ285を通じて透過する。前偏光子230及び偏光検光子を、両方ともワイヤーグリッド偏光デバイスであると仮定する。フルカラー投影系は、再結合プリズム280を通じて再度組み立てられた色ビームと共に、色(赤色、緑色、及び青色)毎に一つの変調光学系200を用いるかもしれない。おそらくいくつかのレンズ素子を含むことになる、コンデンサー225は、空間光変調器210の活動エリアを名目上満たす、源の光を名目上均一な光の長方形状の領域に変換する、より広範囲な照明系の一部である。
【0029】
先行技術のワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを利用する変調光学系200において、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240は、一つの表面に位置するサブ波長ワイヤー250を備えた誘電体基板245からなる(ワイヤーの目盛りは、非常に誇張されている)。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240は、投影レンズ系285への反射のために配置され、それによって、傾斜したプレートを通じた透過によって誘導される非点収差及びコマ収差を回避する。補償器260は、名目上、空間光変調器210の表面に起因する幾何学的欠陥及び複屈折効果を補償するために必要とされる少量の遅延を提供する波長板である。例えば、米国特許第5,576,854号(Smith等)に議論されるように、補償器260は、LCD偏光層の残余の幾何学的欠陥、及びLCDパッケージ内の反対の電極基板内における残余の熱的に誘導された複屈折によって引き起こされる偏光の誤差を補正するために0.02λの遅延(A−プレート)を提供してもよい。ディジタル映画よりも少ない要求の厳しい用途において、補償器260は、自由選択であると判明する場合もある。
【0030】
ディジタル映画の用途で使用されるような変調光学系200の構造は、系の仕様及び利用可能なワイヤーグリッド偏光デバイスの限定の両方によって定義される。特に、ディジタル映画は、高いフレーム連続系のコントラスト(1,000:1又はそれより良好)を提供するために電子投影機を要求する。これを達成するために、変調光学系200の空間光変調器210(LCD)を除いて、偏光光学構成部品は、〜2,000:1の合計の光学系のコントラスト(C)を提供しなければならない。偏光光学部品に対する実際の目標のコントラストは、LCDの性能に依存する。このように、例えば、LCDが、たった〜1500:1のコントラストを提供するとすれば、偏光光学部品は、〜3,000:1のコントラストを提供しなければならない。例えば、垂直に整列した分子を備えたLCDは、その高い固有のコントラストによりディジタル映画の用途に好適である。特に、LCDS及び偏光光学部品の両方のコントラスト性能は、典型的には、入射ビームの開口数を増加させるとともに減少する。残念ながら、今日の技術で、それだけで偏光光学部品用の2,000:1の目標のコントラストを満たすために、ちょうど単一のワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240を使用することは、十分ではない。この理由のために、変調光学系200は、目標の偏光性能を提供するために、ワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270もまた使用する。
【0031】
変調光学系200の構成及び動作を、その偏光性能に対して、さらに非常に詳しく理解することができる。好ましくは、変調光学系に“P”偏光した光を透過させるために、前偏光子23を配向させる。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240を、偏光子230のサブ波長ワイヤーに名目上平行に配向させたそのサブ波長ワイヤーパターンと共に配向させる(即ち、二つのデバイスは、交差しない)。このように、透過した“P”光は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを通じた透過によって、さらに変更される(コントラストが増強される)。次に、透過した光ビームは、補償器260を通過し、名目上は、ピクセルのベースに対する印加された制御電圧に従ってピクセルにおける入射光の偏光状態を変更する、反射性LCDである空間光変調器210に遭遇する。白色及び黒色の間における中間のコード値は、“オン”状態の量を減少させ、“オフ”状態の光の量を増加させる。偏光を回転させてきた“オン”状態の光は、ワイヤーグリッドビームスプリッター240に対する“S”偏光状態にある。このように、“S”状態の光は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240から反射し、引き続き自由選択の補償器265(図5a及び10参照)及び偏光検光子270を透過し、投影レンズ285によってスクリーンへ向けられる。(LCD及び補償器の寄与を無視する)変調光学系200に対する全体的なコントラスト(C)を、
1/C=1/(CT1*CT2)+1/(CR2*CT3
によって近似すことができ、ここで、CT1は、ワイヤーグリッド前偏光子230の透過したコントラストであり、CT2及びCR2は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240の透過した又は反射したコントラスト比であり、CT3は、ワイヤーグリッド偏光検光子270に対する透過したコントラストである。この系において、全体的なコントラストは、大部分が、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240の“S” 偏光状態の光に対する低い反射されたコントラスト比CR2によって決定される。検光子のコントラストCT3は、低いCR2の値(〜30:1)を補償するためにかなり高いことを必要とする。透過したコントラストCT1及びCT2が、特に高いことを必要としないのに対して、それぞれのコントラストの値は、スペクトルにわたって適度に均一であることを条件とする。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240から反射すると共にワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240に対して“S”偏光を有する“オン”状態の光が、それ自体の構造に対してこの“P”状態の光と同じ光を見るように、偏光検光子270を配向させる。従って、偏光検光子270は、所望の“オン”状態のビームに付随するどんな交互の偏光漏出光も取り除く。
【0032】
例として、550nmの緑色光において、ワイヤーグリッド前偏光子230は、〜250:1の角度で平均した偏光のコントラスト比を有する。組み合わせで使用するとき、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240及びワイヤーグリッド前偏光子230は、スクリーンで、系の要件が足りない方法になる〜25:1のフレーム連続光学コントラスト比を生じる。このように、全体的な変調光学系200の偏光性能は、また、ワイヤーグリッド偏光子230と同一であると名目上仮定される、ワイヤーグリッド偏光検光子270の追加と共に支持される。偏光検光子270は、好適な偏光状態以外のものである光の漏出を取り除き、〜2900:1まで理論的な全体的な系のコントラストCsを押し上げる。性能は、青色においてはたった〜900:1のコントラストだが、赤色のスペクトルにおいては〜3400:1のコントラストを提供するワイヤーグリッド偏光デバイスの同じ組み合わせで、可視スペクトルにわたってかなり変動する。確かに、この性能の変動は、色の帯域で調整したデバイスの使用と共に、それが利用可能であったならば、減少させることができるかもしれない。
【0033】
変調光学系200は、照明光学部品(コンデンサー225)及び光源(図3参照)へというよりもむしろ、空間光変調器210へ面するサブ波長ワイヤー250を備えた表面で配向させたワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240で最も良好に構築される。この配向を使用するとき全体的なコントラスト(C)が〜2,900:1であると同時に、代替の配向(光源への表面におけるワイヤー)を使用するとき正味のコントラストは、〜250:1まで急激に落ちる。変調光学系200が、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240から反射する画像の光で構築されるとき、全体的なコントラストにおけるこの差は、サブ波長ワイヤー250が空間光変調器又は光源に面するかどうかの関数として、より遅い(より大きいf#)系に対してあまり重要でない場合もある。加えて、図3を参照して、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240のサブ波長ワイヤー250が、(頁の平面内で)“水平に”というよりもむしろ“垂直に”(示すように“頁の中へ”)配向するとき、変調光学系200は、最も高いコントラスト及び光の効率を提供する。また、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240を、コントラストの性能を調整するために、数度だけ(表面の法線まわりで)回転させることができる。
【0034】
ディジタル映画の投影機を構築するために、様々な光学部品、ワイヤーグリッドデバイス、及びLCDの限定を扱うと同時に。35−55フィートのワイドスクリーンを照明する系で輝度(10,000−15,000ルーメン)及びコントラスト(1,000:1+)を同時に最大にすることが必要である。ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及びLCDに入射する光の許容角度(開口数)を増加させることによって輝度を最大にすることができる。より広い許容角度(又はより低いF#)で、投影光学部品は、より多くの光を集めることができる。しかしながら、同時に、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターに入射する源の光の角度が広いほど、他の偏光状態からの漏出光がより大きく、よって利用可能なコントラスト比(C)がより小さい。図4を参照して、(ワイヤーグリッド前偏光子230、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、VA LCD、及びワイヤーグリッド偏光検光子270を含む)変調光学系200のコントラスト対系を透過する光のF#のグラフを示す。系のコントラスト300のプロットは、およそF/2.3で〜600:1のコントラスト比を達成さすることを示す。この値は、ディジタル映画の投影に必要とされる1,000:1+よりも著しく小さいコントラストである。しかしながら、効率の計算は、スクリーンの輝度の目標を満たすために、より大きなスクリーンに潜在的に要求されるF/2.0乃至F/2.3の系の集光能力で、LCDに基づくディジタル映画投影機がF/3.0以下で動作することを必要とすることを提案する。
【0035】
図5aを参照して、LCD210のピクセルに関する、変調光学系内のワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240を透過した又はワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240によって反射された光に対する光の偏光状態を表す透視図を示す。コリメートされた又は正反射の予め偏光したビーム350は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240を透過する。図5aに示すように、透過したビーム355の電場の偏光は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240のワイヤーグリッドに垂直なベクトルにある。戻る変調されたビーム360は、LCD210におけるピクセルから反射され、ここで“S”偏光した光は、画像データであり、“P”偏光した光は、除去されることになっている。理想的には、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240は、変調された透過した光370として望まれない“p”光の100%を透過する。しかしながら、小さな漏出光365は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240から反射され、“s”変調されたビーム360を伴い、減少したコントラスト(“p”に対する“s”の比)を引き起こす。変調されたビーム360に対して、ワイヤーグリッドビームスプリッターは、透過における前偏光子及び反射における偏光検光子として作用し、典型的な交差した偏光子の構成を含む。
【0036】
偏光のコントラストのいくらかの損失が、軸でコリメートされた光に起こると同時に、それら効果は、傾斜したスキュー光線に関してより劇的である。これをより良好に理解するために、図5bが、(LCD210、前偏光子230、又は検光子270のような)表面に垂直に入射するビームに対する幾何学を示すと同時に、図5aは、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240の45°傾斜した表面に入射する大きなNAの反射しないビームに対するビームの幾何学の説明を含む。垂直に入射する場合に関して、角度の極の掃引が、限定される(F/2.0に対して0−15°)と同時に、入射するビームは、0−180°の方位の掃引によって記載される。傾斜した光線は、局所的な光軸275を含む平面にある、交差した偏光子によって定義される軸(方位角0°及び180°、90°及び270°)の外側における四つの四分円に届く光線である。スキュー光線は、局所的な光軸275を含まない平面にある光線である。45°傾斜した表面への入射の場合に関して、角度の極の掃引が、光軸に対して〜0−15°を覆うか又はワイヤーグリッド表面に対して〜30−60°の掃引であると同時に、入射するビームは、再び、0−180°の方位の掃引によって定義される。このビーム幾何学は、図8a−iによって与えられる結果を認識することにおいて重要であると思われる。
【0037】
図6aは、角度空間で見ることができる、“鉄十字”として知られる、交差した偏光子に対する偏光のコントラストプロフィールを説明する。鉄十字パターン320は、検光子のグリッドと平行及び垂直な方向にピークの消滅、スキュー光線に対する減少した消滅、四つの軸外の四分円における傾斜した光線を証明する。ほとんどの既存の偏光子と比較されたとき、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターが、優れた角度性能を有すると、これらのデバイスは、一般的にスキュー光線の問題を有さないと、従って、さらなる偏光の補償を要求しないと考えられてきた。部分的に、これは、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターが、反射におけるO−タイプの偏光子及び透過におけるE−タイプの偏光子として機能し、従って、部分的に、変調光学系200におけるような透過及び反射の両方において使用されたとき、自己補償するためである。しかしながら、そうでさえ、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターの消滅は、ディジタル映画のような要求の厳しい用途にはまだ適切でない。
【0038】
反射性液晶ディスプレイを利用して開発されたオリジナルの電子投影系においては、各々のLCDを、CRTを使用して背後からアドレスした。今日、当技術の反射性LCDの状態は、直接的に、シリコンバックプレーンによって電子的にアドレスされる。シリコン(LCOS)ディスプレイにおける液晶として知られる、これらの現代のデバイスは、一般的に、反射性及び光遮断層、引き続きLCD整列層、液晶の薄い(〜5μm)層、反射防止(AR)塗装されたカバーガラスで上を覆われる、ピクセルをアドレスする回路でパターン化されるシリコン基板を含む。VA LCD用のカバーガラスの内部表面は、液晶層に接する、内部表面にITO電極アドレシング層及び整列層を有する。LCDの光学性能は、液晶の材料特性、電極の構造、ピクセルのパターニング及び近接、液晶分子のオン状態及びオフ状態の配向、整列層の使用及び構造、反射性、反射防止、及び光遮断層の光学特性などを含む、多くの設計パラメーターに依存する。例えば、液晶分子が、シリコン基板及びカバーガラスの内部表面に名目上垂直であると同時に、実際に、表面の隣接した分子は、法線から1−2度の残余の傾斜を伴って配向する。この残余の傾斜角度が、より大きくなるとすれば、デバイスのコントラストは、悪くなり始める。
【0039】
図6aの“鉄十字”の説明は、また、それが無視できる傾斜角度を有すると仮定して、交差した偏光子を通じて見られるように、理想的なVA LCDにおける名目上の偏光の応答を表す。しかしながら、変調光学系によって提供される正味のコントラストは、いずれかのLCDの様々な微妙な効果(大きな傾斜角度、オフ状態用のバイアス電圧、熱的に誘導された応力、及び大きな入射角度(大きなNA))内又は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを含む偏光デバイス内の(ワイヤー表面の配向、ワイヤーの回転、及び大きな入射角度(大きなNA)のような)様々な微妙な効果によって低下し得る。これらの効果は、鉄十字パターン320が保持されると同時にコントラストを一般的に減少させることを引き起こし得るか、又は、鉄十字パターン320を別の消滅パターンへ変形することを引き起こし得る(例えば、図6bに示す“ベースボール”パターン325)か、いずれかである。ワイヤーグリッド前偏光子230、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、垂直に整列したLCD 210、及びワイヤーグリッド偏光検光子270を部分的に含む、変調光学系200の場合には、名目上の系は、使用以下である、F/2.3の緑色において〜600:1のコントラストを提供するのみである。適切な補償器の使用を通じて、仕様を満たし超えるために、系のコントラストを増強することができる。確かに、偏光コントラストを、実際の偏光デバイス(ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及びLCD)自体に設計変更をすることによって潜在的に増強させることができる。しかしながら、これらのデバイスの基礎設計、製造、及び性能の限定を変えることが、必ずしも可能であるか又は容易であるとは限らないとき、コントラストを改善する代替の方法が探求されてきた。特に、変調光学系200のコントラストの性能は、具体的にワイヤーグリッド偏光子と共に作動するように開発された新しい偏光補償器、及び具体的に垂直に整列したLCD及びワイヤーグリッドデバイスの組み合わせと共に作動するように開発された新しい偏光補償器で増強されてきた。
【0040】
補償器及び偏光子は、多数の屈折率を有する複屈折材料から構築される。比較として、(ガラスのような)等方性の媒体は、単一の屈折率を有し、(液晶のような)一軸性の媒体は、二つの屈折率を有する。光学材料は、三つまでの主屈折率を有してもよい。全ての三つの異なる屈折率をもつ材料は、二軸性と呼ばれ、図7aに示すような、その主屈折率nx、ny、nz及び三つの配向の角度によって特有に指定される。図7bは、それぞれ、x、y、z軸と整列したnx、ny、及びnzの軸をもつ二軸性フィルムを示す。二つの等しい主屈折率をもつ材料は、一軸性材料と呼ばれる。これらの二つの等しい屈折率は、正常な屈折率であり、nと呼ばれる。他の異なる屈折率は、異常な屈折率と呼ばれる。また、nの軸は、光軸とも呼ばれる。一軸性材料は、n、n及びその光軸の配向を記載する二つの角度によって特有に特徴付けられる。全ての三つの主屈折率が等しいとき、材料は、等方的と呼ばれる。
【0041】
光は、一軸性又は二軸性の材料を通じて伝わるとき、その電場の偏光方向に依存する、変動する有効屈折率に遭遇し、結果として、位相差が、電場の二つの固有モード間に導入される。位相差は、光の伝播方向と共に変動し、よって光の透過は、一軸性又は二軸性の材料が二つの交差した偏光子の間で置かれるとき、角度と共に変動する。これらの位相差は、光軸に沿う又は平行以外の経路に沿って伝わる光線に対する局所的な偏光の配向の変更に転換する。特に、補償器は、傾斜した及びスキュー光線の両方もまた含む、大きな極の角度の光線に対する局所的な偏光の配向を変更する又は状態調節する。液晶材料は、典型的には、一軸性材料である。それが、液晶ディスプレイにおけるような二つの基板の間にはさまれるとき、それの光軸は、一般的に、基板におけるその固着及び厚さにわたって印加される電圧に依存して、厚さにわたって変化する。補償器は、液晶又は他の光学部品によって導入された位相差の角度依存性を相殺する方法で、角度に依存した位相差を導入するように設計される一つ又はそれ以上の一軸性及び/又は二軸性フィルムで構築される。当技術において周知であるように、フィルムの平面に垂直なその光軸をもつ一軸性のフィルムが、図7dに示すようにC−プレートと呼ばれると同時に、フィルムの平面に平行なその光軸をもつ一軸性フィルムは、図7cに示すようなA−プレートと呼ばれる。nよりも大きなnをもつ一軸性材料は、正に複屈折と呼ばれる。同様に、nよりも小さなnをもつ一軸性材料は、負に複屈折と呼ばれる。A−プレート及びC−プレートの両方は、ne及びn0に依存して、正又は負であり得る。より高級な多層の補償器400は、図7eにおけるように、その光軸又はその厚さにわたって変動する三つの主屈折率を有し、ここで補償フィルムのスタック(複屈折層410a、410b、及び410c)は、完全な補償器を組み立てるために、基板420と共に使用される。スタック補償の詳細な議論は、米国特許第5,619,352号(Koch等)に見出すことができる。当技術において周知であるように、A−プレートを、ポリビニルアルコールまたはポリカーボネートのような延伸した重合体フィルムで作ることができると同時に、C−プレートを、一軸性に圧縮された重合体又は鋳造する酢酸セルロースの使用によって作製することができる。
【0042】
変調光学系における交差したワイヤーグリッド偏光子(ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、ワイヤーグリッド前偏光子230、及びワイヤーグリッド偏光検光子270)の組み合わせは、ワイヤーに平行又は垂直な平面で伝わる光に対して優れたダーク状態を提供する。しかしながら、光が、法線の方向及びワイヤーに対して45/135度の偏光子から大きな極の角度(シータ)で伝わるとき、最大量の光の漏出が起こる(図5bは、偏光子に対して極及び方位の幾何学を示す)。例えば、図6aを参照して、交差した座標軸から45度に位置する四つの四分円におけるコントラストが、300:1又はそれ以下までに至ると同時に、標準的な“鉄十字”タイプの消滅パターンに対して、軸に沿ったピークのコントラストは、1,000:1を超え得る。スキュー光線を含む、これらの角度の領域を移動する光は、軸により近い光よりも少ない消滅を経験する。四分円の光線及びスキュー光線からのコントラストのこの損失は、再び高い光学系のコントラスト(>2,000:1)及び明るい光学部品(<F/3.0)を要求する、ディジタル映画投影に関して重大であり得る。
【0043】
ワイヤーグリッド偏光子は、有効な媒体の理論(“Generalized model for wire grid polarizers” ,Yeh,SPIE Vol.307,(1981),pp.13−21)の使用によって研究されてきた。格子ピッチ(p)が波長(λ)よりもはるかに小さいとき、サブ波長の格子を、有効な屈折率をもつ一軸性フィルムとしておよそ考えることができる。有効な媒体の理論は、実施することがはるかにより容易であり、ワイヤーグリッド偏光子の定性的な理解を提供するが、それは、一般的に正確な結果を得ない。それは、交差したワイヤーグリッド偏光子を通じた非常に低い透過の計算には特に真実である。有効な媒体の理論の限定は、Kihuta等によって指摘されてきた(“Ability and limitation of effective medium theory for subwavelength gratings”,Optical Review 2,(1995)pp.92−99)。結果として、ワイヤーグリッド偏光子は、Kuta等で議論された、より精密さを要求する厳密な結合した波の分析(RCWA)を使用してモデル化されてきた(“Coupled−wave analysis of lamellar metal transmission gratings for the visible and the infrared”,Kuta,et al.,Journal of Optical Society of America A,Vol.12,(1995),pp.1118−1127)。
【0044】
ワイヤーグリッド偏光子に対して図8a乃至8iに与えられた結果は、RCWAを使用してモデル化される。
【0045】
図8aは、垂直入射まわりの交差したワイヤーグリッド偏光子を通じた理論的な透過を示し、0度の極角度での0.4x10−3の透過よりも2.5倍大きい、20度(F/1.5)の極角度及び45度の方位角での透過が0.99x10−3であることを示す。45度の方位角で40度(F/0.8)のようなさらにより大きい極角度に関して、透過の損失は、5x10−3の値で、はるかに大きい。増加した透過は、追加の光の漏出、よってコントラストの損失に変換する。これらの計算に関して、ワイヤーグリッド偏光子は、144nm(〜λ/4)のワイヤーのピッチ、0.45のワイヤーのデューティサイクル、及び130nmのワイヤーの高さで、Corningのガラス1737Fに沈積させたアルミニウムのワイヤー構造としてモデル化された。ワイヤーグリッド偏光子は、Alの屈折率が0.974+i6.73で550nmの緑色でモデル化され、Corningのガラスの屈折率は、1.52である。これらのパラメーターは、他に指定がなければ、図8a乃至図8iに対して使用される。図8aで理解することができるように、最大の光の漏出(減少したコントラスト)が、ワイヤーグリッドに対して45度で起こる。図8aを、垂直に入射するビームに関するものを示す、図5bの幾何学を参照して理解することができ、光の関連する円錐を、0−180°の方位の掃引及び〜0−20°の極の掃引(F/1.5)によって記載する。図8aのプロットは、コントラストにおける変動よりもむしろ、交差した偏光子に対する透過における変動対方位角及び極角度を示す。偏光のコントラストは、変調光学系200のような複雑な系に対する包括的な方法でモデル化することが困難であり得る。しかしながら、コントラストは、透過した光における小さな変化が、系のコントラストにおける巨大な変化を引き起こし得るような、交差した偏光子に対する透過におよそ反比例する。図8a−fは、また、(特に10°又はF/2.9で)より遅いビームに関する重大なオフ角度の透過効果を示すと同時に、データを、より劇的な比較のために、20°(F/1.5)で一貫して与えることにする。
【0046】
特に、大きな極角度で傾斜したスキュー光線に関する光の漏出を欠点としてもつ交差した偏光子の一般的な挙動は、ちょうどより良好な偏光子を使用することによって実質的に変化しない。例えば、モデル化は、たとえワイヤーグリッドのピッチが、1/100のような光の波長よりもはるかに小さいとしても、有意な量の光が、まだ、大きな極角度で二つの交差したワイヤーグリッド偏光子を通じて漏れることを示してきた。図8bは、交差したワイヤー及び偏光子を通じた透過を示し、ここでワイヤーグリッド偏光子のピッチは、5.5nm(λ/100)である。確かに、精密なピッチλ/100のデバイスは、λ/4のデバイスよりも低い透過を示し(0度の極角度で0.23x10−3対0.4x10−3)、よって、より高いコントラストを提供する(理論的なコントラストの差は、λ/100及びλ/4のデバイスの間で2倍よりも大いに大きい)。この場合に、モデル化されたλ/100のデバイスは、0度の極角度で0.23x10−3の透過より大きい〜4倍である、20度の極角度及び45度の方位角で、0.95x10−3の増加した透過(よって光の漏出)を示す。40度の極角度(及び45度の方位)で、透過(光の漏出)は、10倍より大きい(9.7x10−3)。このように、現在製造可能であるものよりもはるかにより微細である、これらのλ/100のワイヤーグリッドに対してさえ、理論的な消滅はより大きいが、軸外の挙動は、大部分は同じである。
【0047】
入射光の〜10%を吸収するのみであると同時に、異常光線(E−タイプ)のようなP−偏光を透過させると共に常光線(Oタイプ)のようなS−偏光を反射する、ワイヤーグリッド偏光子を、一軸性フィルムとして正確に扱うことができない。比較によって、Polaroid Corporationによって製造される標準的なシート偏光子は、それが“ワイヤー”(延伸したPVAプラスチックに埋め込まれたヨウ素原子)を使用するという点で、ワイヤーグリッド偏光子に類似し、実際に著しく異なるデバイスである。第一に、色素シート偏光子のサブ波長“ワイヤー”(p<<λ)は、可視波長のワイヤーグリッド偏光子(p〜λ/4)のワイヤーよりも著しく小さい。さらに、色素シート偏光子は、正常な波を透過し、異常な波を(反射するというよりもむしろ)吸収する、O−タイプ偏光子である。標準的な色素シート偏光子を、異常な屈折率及び正常な屈折率をもつ一軸性フィルムとして正確にモデル化することができる。Optiva Inc.は、入射光の異常な波を透過すると共に正常な波を吸収する、スープラ−分子のリオトロピック液晶の材料に基づくE−タイプのシート偏光子を最近開発した(Lazarev et al.,“Low−leakage off−angle in E−polarizers”,Journal of the SID,vol.9,(2001),pp.101−105参照)。Optiva偏光子は、それが、異常な波を透過すると共に正常な波を(反射するというよりもむしろ)吸収する、E−タイプの偏光子であることを除いて、標準的な色素シート偏光子に類似するシート偏光子である。
【0048】
二つの標準的なO−タイプの色素シートのPolaroid偏光子が、交差した構成で使用されるとき、鉄十字パターン320(図6a参照)もまた経験される。光は、シート偏光子の透過又は吸収の軸に対して45度で起こる最大の漏出と共に、傾斜して入射する角度でこれらの従来の交差したシート偏光子を通じて漏出する。様々な補償器は、Chen等によりUchida等に出版された(T.Ishinabe、T.Miyahita、及びT.Uchida,“Novel Wide Viewing Angle Polarizer withHigh Achromaticity”,SID2000 Digest,pgs.1094−1097)ような、交差したO−タイプの偏光子を通じた光の漏出を減少させるために提案されてきた。Chenに従って、一軸性材料、A−プレート、及びC−プレートの組み合わせは、オフ角度で光漏出を劇的に縮小させる。その設計要件の一つは、A−プレートの光軸が、隣接した偏光子の透過軸に平行であるべきであることである。Uchidaは、補償器を構築するための二つの二軸性フィルムを使用して、同じ問題を解決する。
【0049】
ワイヤーグリッド偏光子(透過におけるE−タイプ偏光子、反射におけるOタイプ)及び標準的なシート偏光子(透過におけるO−タイプ、吸収におけるE−タイプ)は、著しく異なるデバイスであるが、交差したワイヤーグリッド偏光子とシート偏光子用の既存の補償器を組み合わせることによって、利益が得られるかもしれない。図8cは、137nmのA−プレート及び80nmのC−プレートからなる、Chen等からの先行技術のシート偏光子補償器と組みになった交差したワイヤーグリッド偏光子を通じた透過を示す。20度の極角度(F/1.5)及び45度の方位角における光ビームの場合に、この補償器は、著しい改善を提供し、補償されてない交差した偏光子(0.4x10−3)に関して軸上の場合よりも約30%多い光の漏出を表す透過を0.52x10−3に減少させる。しかしながら、40度のような(再び、45度の方位角)、より大きな極角度で、この補償器は、まだ、2.4x10−3のレベルの、又は軸上の場合よりも〜6倍大きい、実質的により大きな透過を許容する。ワイヤーグリッドのピッチは、再び、144nmであると仮定される。よって、先行技術のシート偏光子の補償器を、いくらかの偏光のコントラストの改善を提供するために、交差したワイヤーグリッド偏光子と組み合わせて使用することができると同時に、さらなる改善の余地がまだある。
【0050】
幸運にも、ワイヤーグリッド偏光子及びワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターと共に作動するように具体的に最適化される、並びに変調光学系200によって提供されるコントラストを押し上げるために使用することができる、補償器を設計することは可能である。ワイヤーグリッド偏光子を、偏光ビームスプリッターとして利用するとき、それらは、第一に光を透過させ次に光を反射するか、又は第一に光を反射し次に光を透過させる。光が第一の時間にワイヤーグリッド偏光子に達する角度は、光が第二の時間に達する角度とは一般的に異なる。新しい補償器は、変調光学系200内のオフ角度で、交差したワイヤーグリッド偏光子を通じた光の漏出を最小にするために開発されてきた。同様に、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを通じた光の漏出を減少させる補償器が、開発されてきた。
【0051】
第一の例として、偏光補償器を、A−プレート及びC−プレートの組み合わせとして設計したが、そのどちらも、軸外の透過を減少させると同時に、軸上の透過に影響を及ぼさないことになる。交差したワイヤーグリッド偏光子(図3のワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270)の性能を増強する、設計された補償器は、二つの特定の複屈折フィルム、+275nmのA−プレート及び−60nmのC−プレートの組み合わせを使用する。交差したワイヤーグリッド偏光子及びこの第一の例の補償器の組み合わせを通じた合計の透過を示す図8dは、図8aに比較したような著しい透過した光の減少を示す、透過の応答曲線における広い変化を示す。その透過は、補償されてない交差したワイヤーグリッド偏光子に対する軸上の透過(0.4x10−3)に基本的に等しい、40度までの全ての極角度に対して0.48xl0−3以下(20°の極角度で〜0.4x10−3)である。実際に、補償器は、交差した偏光子を通じてそれらの透過を改善するために、傾斜したスキュー光線の偏光の配向を変更する又は状態調節することによって、変調されたビームのコントラスを増強させる。また、ワイヤーグリッド偏光子に対するこの最適化された補償器は、先に議論したシート偏光子の補償器よりも著しく良好な性能を提供する。特に、このワイヤーグリッド偏光子補償器に対するA−プレートの光軸は、隣接した偏光子の透過軸に対して垂直である。ところが、比較によって、Chen等によって記載するような先行技術のシート偏光子の補償器が、A−プレートの光軸が隣接した偏光子の透過軸に平行であることを要求する。
【0052】
この第一の例の補償器の設計が、交差したワイヤーグリッド偏光子を使用する、変調光学系200の著しく改善された性能を有するが、ここでこれらのワイヤーグリッドデバイスは、相対的に大きいピッチ(p=144nm〜λ/4)を有し、より小さなピッチをもつワイヤーグリッドデバイスを使用するとき、同じ補償器の設計は、性能を改善することができる。例えば、図8eは、補償を伴った微細なピッチのデバイス(p=5.5nm〜λ/100)のモデル化した性能を示し、ここで40度の極角度及び45度の方位角における透過は、図8bに示す9.7x10−3の先行する飛翔されてない結果と比較して0.24x10−3まで落ちた。
【0053】
第二の例補償器は、またA−プレート及びC−プレートの組み合わせを有する、交差したワイヤーグリッド偏光子を伴う使用に関して設計された。この場合において、A−プレート及びC−プレートは、両方とも、それぞれ、137nm及び160nmの遅延と共に、正の複屈折を有する。第一の例の補償器と違って、この補償器用のA−プレートの光軸は、隣接した偏光子の透過軸と平行である。図8fは、20度までの全ての極角度に対して0.46x10−3以下である、この補償器の設計から結果として生じる改善された透過を示す。しかしながら、40度の極角度及び45度の方位角で、透過は、たった1.1x10−3まで減少する。この設計が、第一の例の補償器設計ほど良好でなと同時に、特に20度以上の極角度(図8d参照)で、光の漏出は、補償されてない交差した偏光子と比較して、まだ著しく減少する(図8a参照)。上述のように、この補償器を、加えた要素、二次補償器265として、図10の変更した変調光学系200中へ挿入することができる。
【0054】
変更した変調光学系200を示す、図10において、交差したワイヤーグリッド偏光子(前偏光子230及び検光子270)を通じた性能を最適化するために使用される補償器を、検光子270に先立って位置させ、二次補償器265として示す。この同じ補償器を、図10の代替の二次補償器266によって示すような、ワイヤーグリッド前偏光子230直後に交互に位置させることができるかもしれない。別の代替物として、これらの交差した偏光子のための設計された補償器の一部は、別の部分が、代替の二次補償器266として同時に提供されると同時に、二次補償器265として位置決めすることができる。それは、両方の構成部品の計数及び取り付ける要件を増加させると、ありそうもないシナリオである。単数又は複数の二次補償器265(及び/又は266)が、ワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270の間における光路に位置することもまた要件である。それは、例えば、二次補償器265を、ワイヤーグリッド偏光検光子270の後に位置させることができないことを意味する。
【0055】
また、図5cに示すように、二次補償器265を、偏光ビームスプリッター無しの展開した光学系で使用することもできる。この場合に、透過した偏光した光は、ワイヤーグリッド前偏光子230を出て、(名目上透過性のLCDである)空間光変調器210、二次補償器265、及びワイヤーグリッド偏光検光子270を通過する。代わりに、ワイヤーグリッド偏光子二次補償器265を、変調光学系200内の空間光変調器210に先立って位置させることができる。図5cに示すように、変調光学系200が名目上オフ状態にあると共に空間光変調器210が、オン状態の光を提供するためにワイヤーグリッド偏光検光子270を通じて透過するように光を回転させるように、ワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270を交差させる。ワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270を、名目上の開いた状態の(交差してない)透過のために、オフ状態に対して光を回転させる空間光変調器210と整列させることができることを理解するべきである。
【0056】
また、偏光の応答の改善を、ワイヤーグリッド偏光子だけでなくワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターにも提供することができる。図8gは、空間光変調器210を完全な鏡と交換すると仮定して、偏光の補償無しでワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを通じて組み合わされた透過(透過した光及び反射した光の積)を示す。この場合に、入射するビームは、0−180°の方位の掃引及び〜0−40°の角度の極の掃引(図5a参照)によって記載する円錐をもつ45°傾斜した表面に入射し、ここで光は、F/2.0のビームに対する0−15°の極角度内に至る。例えば、図8gは、30°の極角度及び45°の方位角で6.5x10−2の偏光の補償無しで組み合わされた透過を示す。
【0057】
この場合に、第三の例の補償器を、空間光変調器210(VA LCD)と一緒に図10の変調光学系200で使用されるように、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240によって提供されるコントラストを増強するように設計した。この補償器の例は、それぞれ、90nm及び320nmの遅延(両方とも正の複屈折を伴う)を有する、A−プレート及びC−プレートの組み合わせを有する。補償器の層状の構造内で、A−プレートを、LCDにより近いC−プレートよりもワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターにより近くに優先的に位置させる。A−プレートの光軸は、(ワイヤーに垂直な)隣接した偏光子の透過軸に平行である。図8hは、この補償器との組み合わせで使用されるワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを通じた組み合わされた透過を、図8gにおける30度の極角度における6.5x10−2と比較して2.7x10−2までに減少させることを示す。15又は20度のような、より小さな角度でさえ、補償器は、補償されてないワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターと比較して、〜2倍だけ透過を減少させる(より少ない漏出)。この補償器を、補償器260として図10の変更した変調光学系200に示し、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240及び液晶空間光変調器210の間に位置させる。これは、変調光学系200内のこの補償器に対する唯一の許容可能な場所である。
【0058】
第四の例の補償器は、空間光変調器210(VA LCD)と一緒に図10の変調光学系200で使用されるワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240によって提供される組み合わされた透過を増強させるために、最後の模範的なデバイスとして設計された。この補償器は、それぞれ90nm及び−200nmの遅延を有するA−プレート及びC−プレート(正及び負の複屈折)の組み合わせである。図8iの補償器は、図8gにおいて6.5x10−2と比較して3.5x10−2である、より小さい組み合わされた透過を提供する。第三の例の補償器と違って、この補償器に対するA−プレートの光軸は、透過軸に平行(ワイヤーに垂直)というよりもむしろ隣接した偏光子の透過軸に垂直(ワイヤーに平行)である。前述のように、この補償器は、補償器260として図10の変更した変調光学系200に示される。
【0059】
先行技術は、コントラストを押し上げるための偏光補償器をさらに有する、LCD及びワイヤーグリッドデバイスの両方を使用して投影ディスプレイ用の変調光学系を設計する方法を記載しないことを強調するべきである。確かに、ワイヤーグリッドデバイスとの使用のために設計された実際の模範的な補償器は、先に他の偏光デバイスに関して記載してきたような従来の構造及び(ポリカーボネートまたはアセタートのような)材料の組み合わせを有し得る。しかしながら、ワイヤーグリッド偏光子は、微妙で自明でない方法における先行技術のデバイス(例えば、シート偏光子及びMacNeilleプリズム)とは明確に異なり、従って、関連した最適化された補償器の設計を、先行の補償器の設計から容易に外挿することができない。
【0060】
もちろん、様々な設計が、上述のような類似の性能又はさらにより良好な性能を達成することができることが理解される。また、A−プレート及びC−プレートの組み合わせをこれらの模範的な補償器のいずれにも交換するために、単一の二軸性フィルムを使用することができることが理解される。また、モデル化した補償器を、上記の例で提供されたA−プレート及び次にC−プレートの順序よりもむしろ、A−プレートの前に遭遇するC−プレートの逆の順序で設計することができることが理解されるはずである。順序を切り替えるとき、設計した複屈折の値は、おそらく変化する。また、追加のA−プレート及び/又はC−プレート及び/又は二軸性フィルムを、これらの模範的な補償器のいずれに対してもA−プレート及びC−プレートの組み合わせに加えることができることも理解される。
【0061】
確かに、系へのどんな他の光学構成部品の追加で、その取り付け及びこれらの補償器に対するARコーティングを提供することに対する通常の懸念もまた当てはまる。補償器は、互いに素子を保持する光学的に調和する接着剤又はゲルにより二つのガラス基板の間にはさまれたそれらの複屈折フィルムで構築してもよい。その場合に、空気の表面に対するどんなガラスもARコーティングするべきである。代わりに、補償器は、ワイヤーグリッド偏光子(ワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270)で統合すると共にこれらの構成部品のガラス基板に直接取り付けることができる。それは、部分カウント、空気の表面の相互作用に対するガラスのカウント、及び取り付けの問題点を減少させる。しかしながら、補償器を、ワイヤーグリッドデバイスの平坦なガラスの表面に取り付けるべきであり、ワイヤーグリッドのコーティングの表面には取り付けるべきでない。
【0062】
上記の例は、550nmの単一の波長に対して設計されるが、これらの例が、補償器の材料が、波長と合った分散を有するという条件で、550nmに対するのと十分に等しく全ての他の波長で機能することが理解されるはずである。これは、遅延/波長の比は、全ての可視の波長にわたって実質的に不変であることを意味する。
【0063】
また、変調光学系200を、様々な組み合わせで構築することができることは理解されるはずである。図10に描いたように、それは、ワイヤーグリッド前偏光子230、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、ワイヤーグリッド偏光検光子270、補償器260、二次補償器265、及び代替の二次補償器266を含む。しかしながら、二次補償器が省略されて、ワイヤーグリッド前偏光子230、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、ワイヤーグリッド偏光検光子270及び補償器260で系を構築することができるかもしれない。同様に、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240及び補償器260で系を構築することができるかもしれないが、非ワイヤーグリッドデバイスとしてのワイヤーグリッド前偏光子230及びワイヤーグリッド偏光検光子270、並びに二次補償器が省略される。代わりに再び、ワイヤーグリッド前偏光子230、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240、ワイヤーグリッド偏光検光子270、及び二次補償器265で系を構築することができるかもしれないが、補償器260は、省略される。言うまでもなく、構成部品のさらに他の組み合わせが可能である。
【0064】
交差したワイヤーグリッド偏光子又はワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターの性能を最適化するだけでなく、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを通じて見られるようなLCDの性能もまた増強する補償器を提供する、図10の変調光学系200の全体的なコントラストの性能を、増強することができる。比較によって、先行技術の米国特許第5,576,854号(Schmidt等)には、MacNeilleのビームスプリッターとの組み合わせにおいてVA LCDの作動に対して最適化する補償器が、記載されている。米国特許第5,576,854号に開示されるように、0.27λの補償器が使用され、ここで、0.25λのものは、MacNeilleプリズムに関して補償し、0.02λのものは、反対の電極基板における複屈折に関する。反対の電極基板は、次には局所化された複屈折を引き起こす、基板内の応力を引き起こす温度勾配に影響されやすい。SF−57又は溶融石英のような、基板のガラス用に注意深く選んだ材料とでさえ、0.02λのような小さな遅延を、応力複屈折からのダーク状態における残余の光の漏出を補償するために使用した。垂直に整列したLCDが、印可されたどんな電圧も無しに非活動状態にあるとき、軸上での光の漏出は、小さい。しかしながら、実際上、ダークの状態は、Voffと呼ばれるゼロでない電圧の状態である。この電圧は、液晶が下方に傾くことを引き起こし、光の漏出を著しく増加させることができる。また、補償器は、この効果を補正するために、他のもの、例えば米国特許第5,298,199号(Hirose等)によって設計されてきた。
【0065】
ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターと組み合わされた垂直に整列したLCDの場合には、MacNeilleタイプのプリズムに関して米国特許第5,576,854号で使用される0.25λの遅延は、要求されない。しかしながら、A−プレートとして提供される、残余の0.02λの遅延(〜11nm)は、ワイヤーグリッドデバイスでさえ、VA LCD内の応力複屈折に対して補正するために、まだ有用である場合もある。加えて、VA LCDに関して最適化された補償器もまた、F/3.0又はそれ以下で動作するディジタル映画の系を含む、明るい光学系で使用するとき、負のC−プレートを含んでもよい。よって、ワイヤーグリッド偏光子との組み合わせで使用される反射性VA LCD用の好適な補償器は、負のC−プレート及び正のA−プレートを含む。負のC−プレートは、液晶と同じ量の遅延(例えば+233nm)を有するためには、しかし反対符号では、液晶の視角依存性を補正するために好適である。液晶に存在するこの視角依存性の遅延は、典型的には、〜160−250nmである。
【0066】
例として、図9aは、オフ状態における交差した偏光子を通じた理想的なVALCDの反射された光に関するコントラストの等高線プロットを示す。これは、光軸(球面パターンの中心)に沿った、及び交差した偏光子の透過軸に平行又は垂直な方向に沿った、最小の光で図6aの“鉄十字”パターン320に対応する。しかしながら、鉄十字パターン320が示すように、いくらかの漏出光を、四つの四分円で期待することができる。図9bは、図6bのベースボールパターン325に対応する、基板における誘導された複屈折からの10nmの残余の遅延を伴ったVA LCDから反射された光に対するコントラストの等高線プロットを示す。残念ながら、このベースボールパターン325が生じるとき、投影系への漏出光を、著しく増加させ、コントラストを、減少させる。図9cは、上述の場所に挿入された本発明に従って設計された適切な補償器(−233nmのC−プレート)を備えたVA LCDに対するコントラストの等高線プロットを示す。1000:1のiso−コントラストの曲線は、13°より多い極角度まで延びる。この補償器を、補償器260として、LCD210の直前に、図10の変更した光学変調系200中に挿入することができる。
【0067】
現実には、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240用の補償器及びLCD210は、これら二つの構成部品の間に共に位置し、一つの包装された補償器デバイス中に組み合わせられ得る。図8hに対応するワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240用の模範的な補償器は、90nm及び320nmの遅延を有するA−プレート及びC−プレートの組み合わせを使用した。比較のために、垂直に整列したLCDは、−233nmの遅延を有し、補正用の−233nmの遅延を伴うC−プレートを要求する。これら二つのC−プレートの設計を組み合わせるとき、残りのC−プレートは、たった−87nmの遅延を有する。このように、補償器及びLCD間における相殺は、著しく、必要とされる追加の遅延の量を減少させる。次に、組み合わせられた補償器260は、連続した順序で、VA LCD用の11nmのA−プレート(0.02λの補償)、87nmのC−プレート、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター240用の90nmのA−プレートを含み、11nmのA−プレートは、LCD210に最も近く位置する。二つのA−プレートを、90nmのA―プレートが、サブ波長ワイヤー250に対して固定された配向を有すると同時に、11nmのA−プレートが回転可能であることが必要であるように単純に組み合わせることができる。このように、提供するものは、VA LCDに関してピクセルの黒(オフ)状態における漏出光を最小にするための補償器を備えたワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを使用することによって、高いレベルのコントラストを達成するための装置及び方法である。
【0068】
図4は、変調されたビームを戻す際に望まれないP偏光を補正する、VA LCD、ワイヤーグリッド偏光子、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター、及び補償器を含む変調光学系に関して、相対的なF#に対する系のコントラストに関するグラフ310を示す。この場合において、補償器260のカスタマイズしたバージョンを使用する。特に、補償器の使用は、実際には、より高いF#の値でCRを減少させることができるが、補償器は、およそF/4.0以下の低い値のコントラストを改善する。補償器が、望まれない反射及び欠陥を被る、複雑な構造であり得るので、コントラスト310は、必ずしもより良好であるとは限らないかもしれない。
【0069】
ワイヤーグリッド偏光子デバイスの偏光性能を最適化するためのこの用途内で開発された偏光の補償の概念を、垂直に整列したLCDを除いた空間光変調器を有する変調光学系で使用することができるかもしれない、例えばまた、空間光変調器210は、60度のツイストネマチックLCD、PLZT変調器、又はいくつかの他の偏光を回転させる変調器であり得ることが理解されるはずである。
[付記]
付記(1):(a)光のビームを形成する光源、(b)前記光のビームを偏光させて光の偏光したビームを提供する前偏光子、(c)前記光の偏光したビームを受ける、第一の偏光を有する前記光の偏光したビームを透過させる、及び第二の偏光を有する前記光の偏光したビームを反射させる、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター、(d)変調されたビームを形成するために前記第二の偏光を有する前記光の偏光したビームを選択的に変調して画像データをコード化する、及び前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターに前記変調されたビームを反射し返す反射性液晶デバイス、並びに(e)前記変調されたビームの傾斜したスキュー光線を状態調節する、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及び前記反射性液晶デバイスの間に位置する補償器、を含み、(f)前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターは、前記補償された変調されたビームを反射し、(g)残余の変調されてない第一の偏光光を取り除く偏光検光子、及び(h)前記変調されたビームから画像を形成する画像形成光学部品、を含む表示装置。
付記(2):前記補償器は、一つ又は複数の複屈折層を含み、前記複屈折層は、以下のA−プレートフィルム、C−プレートフィルム、又は二軸性フィルムの少なくとも一つを含む、付記(1)記載の装置。
付記(3):前記Aプレートの光軸は、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターのサブ波長ワイヤーに実質的に平行である、付記(2)記載のA−プレート。
付記(4):前記Aプレートの光軸は、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターのサブ波長ワイヤーに実質的に垂直である、付記(2)記載のA−プレート。
付記(5):前記反射性液晶デバイスは、垂直に整列した構築物を有する、付記(1)記載の装置。
付記(6):前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター若しくは前記反射性液晶デバイス、又は前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及び前記反射性液晶デバイスの両方に対して、前記傾斜したスキュー光線の偏光状態を変更する、付記(1)記載の補償器。
【図面の簡単な説明】
【図1】投影装置における光学構成部品の配置を示す概略図である。
【図2】先行技術ワイヤーグリッド偏光子の透視図である。
【図3】ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターを含む変調光学系を示す断面図である。
【図4】偏光の補償有り及び偏光の補償無しの両方でワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及びLCDの両方を含む、変調光学系に関するF/#に対するコントラスト比の関係を示すグラフである。
【図5a】偏光状態及び局所的なビームの幾何学の両方を説明する、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及び変調光学系内のLCDに対する入射光の幾何学を示す。
【図5b】交差した偏光子の偏光状態に対する垂直に入射する光の幾何学を説明する。
【図5c】透過性の空間光変調器、ワイヤーグリッド偏光子、及び偏光補償器を備えた展開した変調光学系の幾何学を説明する。
【図6a】偏光の補償無しで交差したワイヤーグリッド偏光子に対する方向特性を示す。
【図6b】偏光の補償無しで交差したワイヤーグリッド偏光子に対する方向特性を示す。
【図7a】偏光補償器の可能な軸の配向及び構築を示す。
【図7b】偏光補償器の可能な軸の配向及び構築を示す。
【図7c】偏光補償器の可能な軸の配向及び構築を示す。
【図7d】偏光補償器の可能な軸の配向及び構築を示す。
【図7e】偏光補償器の可能な軸の配向及び構築を示す。
【図8a】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8b】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8c】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8d】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8e】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8f】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8g】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8h】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図8i】ワイヤーグリッド偏光デバイス及び補償器の様々な配置からの遠視野方向特性プロットである。
【図9a】補償器無しの理想的なVA LCDに対するコントラストの等高線プロットを示す。
【図9b】ITO基板から10nmの導入された遅延を備えたVA LCDに対するコントラストの等高線プロットを示す。
【図9c】ITO基板から10nmの導入された遅延及び適切な補償器を備えたVA LCDに対するコントラストの等高線プロットを示す。
【図10】本発明の好適な実施例に従う変調光学系の基本的な構成部品を示す概略図である。
【符号の説明】
10 ディジタル投影装置
15、132 光源
20 照明光学部品
40、200 変調光学系
45、230 前偏光子
50、240 ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター
55、210 空間光変調器
60 偏光検光子
70 投影光学部品
75 ディスプレイの表面
100 ワイヤーグリッド偏光子
110 ワイヤー
120、245 誘電体基板
130、140、150、220、290 光ビーム
225 コンデンサー
250 サブ波長ワイヤー
260、265、266 補償器
270 ワイヤーグリッド偏光検光子
275 光軸
280 再結合プリズム
285 投影レンズ
300、310 系のコントラスト
320 鉄十字パターン
325 ベースボールパターン
350、355、360 ビーム
365 漏出光
370 変調された透過した光
400 多層の補償器
410a、410b、410c 複屈折層
420 基板

Claims (6)

  1. 表示装置であって、
    (a)光のビームを形成するための光源;
    (b)光の偏光させられたビームを提供するために前記光のビームを偏光させるための前偏光子;
    (c)前記光の偏光させられたビームを受容するための、第一の偏光を有する前記光の偏光させられたビームを透過させるための、及び、第二の偏光を有する前記光の偏光させられたビームを反射させるための、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター;
    (d)変調されたビームを形成する為にそれに画像データをコード化するために前記第二の偏光を有する前記光の偏光させられたビームを選択的に変調するための、及び、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターへ逆戻りに前記変調されたビームを反射させるための、反射性の液晶デバイス;
    (e)前記変調されたビームの斜めの及びスキュー光線の偏光状態を変更するための、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター及び前記反射性の液晶デバイスの間に位置させられた、補償器;
    (f)前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターが、前記補償された変調されたビームを反射させること;
    (g)残余の変調されてない第一の偏光の光を取り除くものである偏光検光子;及び
    (h)前記変調されたビームから画像を形成するための画像を形成する光学部品
    :を含む、表示装置。
  2. 請求項1に記載の装置において、
    前記補償器は、一つの又はより多くの複屈折性の層を含むと共に、
    前記複屈折性の層は、後に続くもの;A−プレートフィルム、C−プレートフィルム、又は二軸性のフィルムの少なくとも一つを含む、装置。
  3. 請求項2に記載の装置において、
    前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターのワイヤーは、サブ波長のワイヤーを含むと共に、前記Aプレートの光軸は、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターのサブ波長のワイヤーに対して実質的に平行なものである、装置。
  4. 請求項2に記載の装置において、
    前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターのワイヤーは、サブ波長のワイヤーを含むと共に、前記Aプレートの光軸は、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッターのサブ波長のワイヤーに対して実質的に垂直なものである、装置。
  5. 請求項1に記載の装置において、
    前記反射性の液晶デバイスは、垂直配向型の構成を有する、装置。
  6. 請求項1に記載の装置において、
    前記補償器は、前記ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッター、若しくは、前記反射性の液晶デバイス、又はそれら両方に対して相対的な前記斜めの及びスキュー光線の偏光状態を変更する、装置。
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