JP2003295110A - 画像表示装置 - Google Patents
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- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カバーガラスと空気との境界面、あるいはＴ
ＩＲプリズムと空気との境界面からの正反射光を抑制
し、コントラストを改善する。 【解決手段】 基板６３に設けられた多数のマイクロミ
ラー６２と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラ
ス６１Ａとから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤ
チップ６０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行
に配置され、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッ
ドインテグレータ・リレーレンズ系などの照明光源系か
らの照明光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射すると
ともに、ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズに
よってスクリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備
え、基板６３に対して平行とならないように傾斜して配
置したカバーガラス６１ＡをＤＭＤチップ６０に備え
る。
ＩＲプリズムと空気との境界面からの正反射光を抑制
し、コントラストを改善する。 【解決手段】 基板６３に設けられた多数のマイクロミ
ラー６２と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラ
ス６１Ａとから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤ
チップ６０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行
に配置され、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッ
ドインテグレータ・リレーレンズ系などの照明光源系か
らの照明光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射すると
ともに、ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズに
よってスクリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備
え、基板６３に対して平行とならないように傾斜して配
置したカバーガラス６１ＡをＤＭＤチップ６０に備え
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＤＭＤ（デジタ
ル・ミラー・デバイス、登録商標）チップを用いた投影
型の画像表示装置（ＤＬＰ）に係るものである。
ル・ミラー・デバイス、登録商標）チップを用いた投影
型の画像表示装置（ＤＬＰ）に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】ＤＬＰとはデジタル・ライト・プロセッ
シングの略であり、ＤＭＤチップを用いたプロジェクタ
ーを指す。ＤＭＤチップは、２次元的に配列されたマイ
クロ（例えば１７μｍ）ミラーがそれぞれＯＮ／ＯＦＦ
の２方向（例えば±１０°）へ傾き、光のスイッチング
を行うデバイスである。
シングの略であり、ＤＭＤチップを用いたプロジェクタ
ーを指す。ＤＭＤチップは、２次元的に配列されたマイ
クロ（例えば１７μｍ）ミラーがそれぞれＯＮ／ＯＦＦ
の２方向（例えば±１０°）へ傾き、光のスイッチング
を行うデバイスである。
【０００３】このＤＭＤチップへ照明光を照射し、ＤＭ
Ｄチップの画素を投射レンズによってスクリーン上へ転
写する。ミラーの角度がＯＮの場合にのみ、ＤＭＤチッ
プから投射レンズの絞りへ光が入るようにしておけば、
ＤＭＤチップ各画素のＯＮ状態がスクリーン上で明るい
状態に対応し、画像を投射することが可能となる。
Ｄチップの画素を投射レンズによってスクリーン上へ転
写する。ミラーの角度がＯＮの場合にのみ、ＤＭＤチッ
プから投射レンズの絞りへ光が入るようにしておけば、
ＤＭＤチップ各画素のＯＮ状態がスクリーン上で明るい
状態に対応し、画像を投射することが可能となる。
【０００４】図９は従来の画像表示装置の構成を示す図
であり、図１０は図９のＴＩＲプリズムとＤＭＤチップ
との配置関係を示す図である。図９において、１１０は
高圧水銀ランプ（照明光源系）、１２０はコンデンサレ
ンズ（照明光源系）、１３０はロッドインテグレータ
（照明光源系）、１４０はアパーチャ１４１を有するリ
レーレンズ系（照明光源系）、１５０はＴＩＲプリズム
（全反射プリズム）、１６０はＤＭＤチップ、１７０は
投射レンズ（投射光学系）である。なお図９では、スク
リーンの図示を省略している。
であり、図１０は図９のＴＩＲプリズムとＤＭＤチップ
との配置関係を示す図である。図９において、１１０は
高圧水銀ランプ（照明光源系）、１２０はコンデンサレ
ンズ（照明光源系）、１３０はロッドインテグレータ
（照明光源系）、１４０はアパーチャ１４１を有するリ
レーレンズ系（照明光源系）、１５０はＴＩＲプリズム
（全反射プリズム）、１６０はＤＭＤチップ、１７０は
投射レンズ（投射光学系）である。なお図９では、スク
リーンの図示を省略している。
【０００５】また、図１０において、１５１はＤＭＤチ
ップ１６０側を向いたＴＩＲプリズム１５０の１面（以
下、ＤＭＤ対向面と称す）、１６１，１６２，１６３は
それぞれＤＭＤチップ１６０のカバーガラス、多数のマ
イクロミラー、基板である。この図１０に示すように、
ＤＭＤチップ１６０の基板１６３は、ＴＩＲプリズム１
５０のＤＭＤ対向面１５１に対して平行に配置されてい
る。さらにＤＭＤチップ１６０では、カバーガラス１６
１と基板１６３とが平行に配置されている。
ップ１６０側を向いたＴＩＲプリズム１５０の１面（以
下、ＤＭＤ対向面と称す）、１６１，１６２，１６３は
それぞれＤＭＤチップ１６０のカバーガラス、多数のマ
イクロミラー、基板である。この図１０に示すように、
ＤＭＤチップ１６０の基板１６３は、ＴＩＲプリズム１
５０のＤＭＤ対向面１５１に対して平行に配置されてい
る。さらにＤＭＤチップ１６０では、カバーガラス１６
１と基板１６３とが平行に配置されている。
【０００６】次に動作について説明する。コンデンサレ
ンズ１２０は、高圧水銀ランプ１１０から出射した平行
光を焦点に集光する。コンデンサレンズ１２０の焦点に
はロッドインテグレータ１３０の入射端面が配置してあ
り、コンデンサレンズ１２０からの光はロッドインテグ
レータ１３０へ入射する。ロッドインテグレータ１３０
へ入射した光は、ロッドインテグレータ１３０によって
平均化され、出射端面でほぼ均一な光強度分布になって
出射する。
ンズ１２０は、高圧水銀ランプ１１０から出射した平行
光を焦点に集光する。コンデンサレンズ１２０の焦点に
はロッドインテグレータ１３０の入射端面が配置してあ
り、コンデンサレンズ１２０からの光はロッドインテグ
レータ１３０へ入射する。ロッドインテグレータ１３０
へ入射した光は、ロッドインテグレータ１３０によって
平均化され、出射端面でほぼ均一な光強度分布になって
出射する。
【０００７】ロッドインテグレータ１３０から出射した
光は、アパーチャー１４１を有するリレーレンズ系１４
０を介してＴＩＲプリズム１５０へと入射する。ＴＩＲ
プリズム１５０への入射光は内部で全反射して、ＤＭＤ
対向面１５１，カバーガラス１６１を順次透過し、ＤＭ
Ｄチップ１６０を照射する。ＤＭＤチップ１６０では、
マイクロミラー１６２のＯＮ／ＯＦＦに応じて光が反射
される。ＤＭＤチップ１６０からＴＩＲプリズム１５０
へ戻った光は、投射レンズ１７０から不図示のスクリー
ンへと転写され、スクリーンに画像が表示される。
光は、アパーチャー１４１を有するリレーレンズ系１４
０を介してＴＩＲプリズム１５０へと入射する。ＴＩＲ
プリズム１５０への入射光は内部で全反射して、ＤＭＤ
対向面１５１，カバーガラス１６１を順次透過し、ＤＭ
Ｄチップ１６０を照射する。ＤＭＤチップ１６０では、
マイクロミラー１６２のＯＮ／ＯＦＦに応じて光が反射
される。ＤＭＤチップ１６０からＴＩＲプリズム１５０
へ戻った光は、投射レンズ１７０から不図示のスクリー
ンへと転写され、スクリーンに画像が表示される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の画像表示装置は
以上のように構成されているので、カバーガラスと空気
との境界面、あるいはＴＩＲプリズムと空気との境界面
からの各反射光が投射光学系へ入り込み、コントラスト
（白の表示の明るさと黒の表示の明るさとの比で定義さ
れる）を悪化させてしまうという課題があった。
以上のように構成されているので、カバーガラスと空気
との境界面、あるいはＴＩＲプリズムと空気との境界面
からの各反射光が投射光学系へ入り込み、コントラスト
（白の表示の明るさと黒の表示の明るさとの比で定義さ
れる）を悪化させてしまうという課題があった。
【０００９】上記の課題について説明する。ＤＭＤチッ
プからＯＮ以外の光線が投射レンズの絞り内へ入り込む
と、画像の白黒がはっきりしないボケた画像がスクリー
ンに表示されてしまう。その原因のとして、ＤＭＤチッ
プのカバーガラスからの反射光と、ＴＩＲプリズムから
の反射光とが挙げられる。
プからＯＮ以外の光線が投射レンズの絞り内へ入り込む
と、画像の白黒がはっきりしないボケた画像がスクリー
ンに表示されてしまう。その原因のとして、ＤＭＤチッ
プのカバーガラスからの反射光と、ＴＩＲプリズムから
の反射光とが挙げられる。
【００１０】これらの反射光が発生する様子を示したも
のが図１０である。図１０のＣ１，Ｃ２，Ｃ３は、それ
ぞれＤＭＤチップ１６０のカバーガラス１６１表面（Ｔ
ＩＲプリズム側の面）からの正反射光、ＤＭＤチップ１
６０のカバーガラス１６１裏面（ＤＭＤチップ１６０の
基板側の面）からの正反射光、ＴＩＲプリズム１５０の
ＤＭＤ対向面１５１からの正反射光である。つまり、正
反射光Ｃ１，Ｃ２はカバーガラス１６１と空気との境界
面で、正反射光Ｃ３はＴＩＲプリズム１５０と空気との
境界面で発生している。
のが図１０である。図１０のＣ１，Ｃ２，Ｃ３は、それ
ぞれＤＭＤチップ１６０のカバーガラス１６１表面（Ｔ
ＩＲプリズム側の面）からの正反射光、ＤＭＤチップ１
６０のカバーガラス１６１裏面（ＤＭＤチップ１６０の
基板側の面）からの正反射光、ＴＩＲプリズム１５０の
ＤＭＤ対向面１５１からの正反射光である。つまり、正
反射光Ｃ１，Ｃ２はカバーガラス１６１と空気との境界
面で、正反射光Ｃ３はＴＩＲプリズム１５０と空気との
境界面で発生している。
【００１１】図１０では反射防止膜のない状態で約４％
の反射率がある。仮に反射防止膜を施しても、照明光の
スペクトルが白色と大変広く、また入射角範囲も広いた
めに、せいぜい０．５〜１％程度しか反射率を抑えられ
ず、迷光の原因となってしまう。
の反射率がある。仮に反射防止膜を施しても、照明光の
スペクトルが白色と大変広く、また入射角範囲も広いた
めに、せいぜい０．５〜１％程度しか反射率を抑えられ
ず、迷光の原因となってしまう。
【００１２】特に、ＤＭＤチップ１６０へより効率的に
光を照明するためには、高角度で集光される光線もＤＭ
Ｄチップ１６０へ入射させ、開口の大きな（つまりＦ値
の小さな）投射レンズ１７０によって投射する必要が生
じる。この場合、ＯＮ方向へ反射される光の角度分布の
一領域と、カバーガラス１６１あるいはＴＩＲプリズム
１５０のＤＭＤ対向面１５１からの反射光の角度分布の
一領域とが重なってしまい、投射レンズ１７０内へ入り
込んでしまうこともある。ＤＭＤチップ１６０のカバー
ガラス１６１表面による正反射光Ｃ１と、ＴＩＲプリズ
ム１５０のＤＭＤ対向面１５１による正反射光Ｃ３とが
投射レンズ１７０内へ入り込む様子を図１１，図１２に
それぞれ示す。図９と同一の構成要素には共通する符号
を付してある。
光を照明するためには、高角度で集光される光線もＤＭ
Ｄチップ１６０へ入射させ、開口の大きな（つまりＦ値
の小さな）投射レンズ１７０によって投射する必要が生
じる。この場合、ＯＮ方向へ反射される光の角度分布の
一領域と、カバーガラス１６１あるいはＴＩＲプリズム
１５０のＤＭＤ対向面１５１からの反射光の角度分布の
一領域とが重なってしまい、投射レンズ１７０内へ入り
込んでしまうこともある。ＤＭＤチップ１６０のカバー
ガラス１６１表面による正反射光Ｃ１と、ＴＩＲプリズ
ム１５０のＤＭＤ対向面１５１による正反射光Ｃ３とが
投射レンズ１７０内へ入り込む様子を図１１，図１２に
それぞれ示す。図９と同一の構成要素には共通する符号
を付してある。
【００１３】一例として、入射角−１０°（すなわち照
明光の光軸とＤＭＤチップ１６０の法線とのなす角）、
Ｆ／１．７の角度広がりを持つ照明光（すなわち光軸か
ら周囲１６．４°の角度内に入る光線）がスイッチング
±１０°のＤＭＤチップ１６０へ入射する際の角度分布
図を図１３に示す。図１３において、Ａは照明光、Ｂは
マイクロミラー１６２のＯＮ光、Ｃはカバーガラス１６
１あるいはＴＩＲプリズム１５０からの正反射光（図１
０の正反射光Ｃ１〜Ｃ３が重なったもの）、Ｄはマイク
ロミラー１６２のＯＦＦ光、Ｅは投射レンズ１７０の開
口である。
明光の光軸とＤＭＤチップ１６０の法線とのなす角）、
Ｆ／１．７の角度広がりを持つ照明光（すなわち光軸か
ら周囲１６．４°の角度内に入る光線）がスイッチング
±１０°のＤＭＤチップ１６０へ入射する際の角度分布
図を図１３に示す。図１３において、Ａは照明光、Ｂは
マイクロミラー１６２のＯＮ光、Ｃはカバーガラス１６
１あるいはＴＩＲプリズム１５０からの正反射光（図１
０の正反射光Ｃ１〜Ｃ３が重なったもの）、Ｄはマイク
ロミラー１６２のＯＦＦ光、Ｅは投射レンズ１７０の開
口である。
【００１４】図１３中の照明光Ａでは、ＴＩＲプリズム
１５０内での全反射条件から外れるために、その右側が
ほぼ直線状に削られている。ＯＮ光Ｂ，正反射光Ｃ，Ｏ
ＦＦ光Ｄはいずれも照明光Ａの反射光であるため、照明
光Ａの角度分布の鏡像が図１３中に描かれる。ＯＮ光Ｂ
は０度の方向へ、ＯＦＦ光Ｄは４０°の方向へそれぞれ
反射されて両者は分離されるが、カバーガラス１６１あ
るいはＴＩＲプリズム１５０からの正反射光Ｃは２０°
の方向へ反射される。
１５０内での全反射条件から外れるために、その右側が
ほぼ直線状に削られている。ＯＮ光Ｂ，正反射光Ｃ，Ｏ
ＦＦ光Ｄはいずれも照明光Ａの反射光であるため、照明
光Ａの角度分布の鏡像が図１３中に描かれる。ＯＮ光Ｂ
は０度の方向へ、ＯＦＦ光Ｄは４０°の方向へそれぞれ
反射されて両者は分離されるが、カバーガラス１６１あ
るいはＴＩＲプリズム１５０からの正反射光Ｃは２０°
の方向へ反射される。
【００１５】このとき、投射レンズ１７０としてＦ／
１．７の開口Ｅ（図１３で半径１６．４°の円）を持つ
ものを想定すると、この投射レンズ１７０はＯＮ光Ｂを
全て取り込むことができるものの、カバーガラス１６１
あるいはＴＩＲプリズム１５０からの正反射光Ｃの一部
までも取り込んでしまう。これが上述したコントラスト
を下げる原因になっている。
１．７の開口Ｅ（図１３で半径１６．４°の円）を持つ
ものを想定すると、この投射レンズ１７０はＯＮ光Ｂを
全て取り込むことができるものの、カバーガラス１６１
あるいはＴＩＲプリズム１５０からの正反射光Ｃの一部
までも取り込んでしまう。これが上述したコントラスト
を下げる原因になっている。
【００１６】また、従来の画像表示装置は以上のように
構成されているので、ＤＭＤチップ上のマイクロミラー
の隙間に入り込んだ光がマイクロミラーの下部に存在す
る基板で反射あるいは散乱され、迷光の原因となってし
まうという課題があった。
構成されているので、ＤＭＤチップ上のマイクロミラー
の隙間に入り込んだ光がマイクロミラーの下部に存在す
る基板で反射あるいは散乱され、迷光の原因となってし
まうという課題があった。
【００１７】このＤＭＤチップ上に配列されているマイ
クロミラーの間の隙間は、面積比にして全体の約１０％
である。この隙間に入り込んだ光線もまた同様に、ＤＭ
Ｄチップの基板に到達すると、この基板で反射あるいは
散乱されて迷光を発生させることになる。これもまた、
コントラスト劣化の一因になる。
クロミラーの間の隙間は、面積比にして全体の約１０％
である。この隙間に入り込んだ光線もまた同様に、ＤＭ
Ｄチップの基板に到達すると、この基板で反射あるいは
散乱されて迷光を発生させることになる。これもまた、
コントラスト劣化の一因になる。
【００１８】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、カバーガラスと空気との境界面、
あるいはＴＩＲプリズムと空気との境界面からの正反射
光を抑制し、コントラストを改善することが可能な画像
表示装置を提供することを目的とする。
めになされたもので、カバーガラスと空気との境界面、
あるいはＴＩＲプリズムと空気との境界面からの正反射
光を抑制し、コントラストを改善することが可能な画像
表示装置を提供することを目的とする。
【００１９】また、この発明は、ＤＭＤチップの基板に
よる光の反射・散乱を抑制し、コントラストを改善する
ことが可能な画像表示装置を提供することを目的とす
る。
よる光の反射・散乱を抑制し、コントラストを改善する
ことが可能な画像表示装置を提供することを目的とす
る。
【００２０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る画像表示
装置は、基板に対して平行とならないようにカバーガラ
スが配置されるようにしたものである。
装置は、基板に対して平行とならないようにカバーガラ
スが配置されるようにしたものである。
【００２１】この発明に係る画像表示装置は、ＤＭＤ対
向面およびカバーガラスの間に屈折率整合オイルが充満
されるようにしたものである。
向面およびカバーガラスの間に屈折率整合オイルが充満
されるようにしたものである。
【００２２】この発明に係る画像表示装置は、マイクロ
ミラーの設けられた基板の表面に黒塗りが施されるよう
にしたものである。
ミラーの設けられた基板の表面に黒塗りが施されるよう
にしたものである。
【００２３】この発明に係る画像表示装置は、マイクロ
ミラーの設けられた基板の表面に反射防止膜を備えるよ
うにしたものである。
ミラーの設けられた基板の表面に反射防止膜を備えるよ
うにしたものである。
【００２４】この発明に係る画像表示装置は、マイクロ
ミラーが設けられた基板の表面に鋸歯状構造を備えるよ
うにしたものである。
ミラーが設けられた基板の表面に鋸歯状構造を備えるよ
うにしたものである。
【００２５】この発明に係る画像表示装置は、マイクロ
ミラーが設けられた基板の表面に散乱面を備えるように
したものである。
ミラーが設けられた基板の表面に散乱面を備えるように
したものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による画
像表示装置の構成を示す図であり、特にＴＩＲプリズム
とＤＭＤチップとを図示している。ＴＩＲプリズム、Ｄ
ＭＤチップ以外の構成については、図９の構成例などに
準ずるため図示を省略する。
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による画
像表示装置の構成を示す図であり、特にＴＩＲプリズム
とＤＭＤチップとを図示している。ＴＩＲプリズム、Ｄ
ＭＤチップ以外の構成については、図９の構成例などに
準ずるため図示を省略する。
【００２７】図１において、５０はＴＩＲプリズム、６
０はＤＭＤチップ、５１はＤＭＤチップ６０側を向いた
ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対向面、６１Ａ，６２，６
３はそれぞれＤＭＤチップ６０のカバーガラス、マイク
ロミラー、基板である。ＤＭＤチップ６０の基板６３は
ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対向面５１に対して平行に
配置されているものの、ＤＭＤチップ６０のカバーガラ
ス６１Ａは基板６３に対して平行にならないように配置
されている。
０はＤＭＤチップ、５１はＤＭＤチップ６０側を向いた
ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対向面、６１Ａ，６２，６
３はそれぞれＤＭＤチップ６０のカバーガラス、マイク
ロミラー、基板である。ＤＭＤチップ６０の基板６３は
ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対向面５１に対して平行に
配置されているものの、ＤＭＤチップ６０のカバーガラ
ス６１Ａは基板６３に対して平行にならないように配置
されている。
【００２８】この図１に示すように、基板６３に対して
平行とならないように、ＤＭＤチップ６０のカバーガラ
ス６１Ａを傾斜して配置することで、カバーガラス６１
Ａ表面・裏面からの正反射光Ｃ１，Ｃ２がより大きな角
度で反射されて不図示の投射レンズの開口から外れるよ
うになり、コントラストを改善することが可能になる。
平行とならないように、ＤＭＤチップ６０のカバーガラ
ス６１Ａを傾斜して配置することで、カバーガラス６１
Ａ表面・裏面からの正反射光Ｃ１，Ｃ２がより大きな角
度で反射されて不図示の投射レンズの開口から外れるよ
うになり、コントラストを改善することが可能になる。
【００２９】図２はこの発明の実施の形態１による画像
表示装置の効果を説明するための図であり、入射角−１
０°（すなわち照明光の光軸とＤＭＤチップ６０の法線
とのなす角）、Ｆ／１．７の角度広がりを持つ照明光
（すなわち光軸から周囲１６．４°の角度内に入る光
線）がスイッチング±１０°のＤＭＤチップ６０へ入射
する際の角度分布を示している。図２において、Ａは照
明光、Ｂはマイクロミラー６２のＯＮ光、Ｃ１＆Ｃ２は
カバーガラス６１Ａ表面・裏面からの正反射光、Ｃ３は
ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対向面５１からの正反射
光、Ｄはマイクロミラー６２のＯＦＦ光である。
表示装置の効果を説明するための図であり、入射角−１
０°（すなわち照明光の光軸とＤＭＤチップ６０の法線
とのなす角）、Ｆ／１．７の角度広がりを持つ照明光
（すなわち光軸から周囲１６．４°の角度内に入る光
線）がスイッチング±１０°のＤＭＤチップ６０へ入射
する際の角度分布を示している。図２において、Ａは照
明光、Ｂはマイクロミラー６２のＯＮ光、Ｃ１＆Ｃ２は
カバーガラス６１Ａ表面・裏面からの正反射光、Ｃ３は
ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対向面５１からの正反射
光、Ｄはマイクロミラー６２のＯＦＦ光である。
【００３０】傾斜させたカバーガラス６１Ａにより、カ
バーガラス６１Ａ表面・裏面からの正反射光Ｃ１＆Ｃ２
は角度空間分布内でシフトし、投射レンズの開口の角度
範囲外へ移動している。例えばマイクロミラー６２のＯ
ＦＦの傾斜方向へカバーガラス６１Ａを３．２°傾ける
と、カバーガラス６１Ａによる正反射光Ｃ１＆Ｃ２の領
域は図２の右方向へ６．４°シフトし、投射レンズの半
径１６．４°の開口外へ移動するようになる。
バーガラス６１Ａ表面・裏面からの正反射光Ｃ１＆Ｃ２
は角度空間分布内でシフトし、投射レンズの開口の角度
範囲外へ移動している。例えばマイクロミラー６２のＯ
ＦＦの傾斜方向へカバーガラス６１Ａを３．２°傾ける
と、カバーガラス６１Ａによる正反射光Ｃ１＆Ｃ２の領
域は図２の右方向へ６．４°シフトし、投射レンズの半
径１６．４°の開口外へ移動するようになる。
【００３１】このように、カバーガラス６１Ａ表面・裏
面からの正反射光Ｃ１＆Ｃ２を抑制することが可能にな
り、正反射光Ｃ１〜Ｃ３に起因する迷光を約１／３に低
減でき、コントラストの改善が可能になる。なお、ＤＭ
Ｄ対向面５１からの正反射光Ｃ２の抑制については次の
実施の形態２で述べる。
面からの正反射光Ｃ１＆Ｃ２を抑制することが可能にな
り、正反射光Ｃ１〜Ｃ３に起因する迷光を約１／３に低
減でき、コントラストの改善が可能になる。なお、ＤＭ
Ｄ対向面５１からの正反射光Ｃ２の抑制については次の
実施の形態２で述べる。
【００３２】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、基板６３に設けられた多数のマイクロミラー６２
と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラス６１Ａ
とから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤチップ６
０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行に配置さ
れ、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッドインテ
グレータ・リレーレンズ系などの照明光源系からの照明
光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射するとともに、
ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズによってス
クリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備え、基板
６３に対して平行とならないように傾斜して配置したカ
バーガラス６１ＡをＤＭＤチップ６０に備えるようにし
たので、カバーガラス６１Ａ表面・裏面からの正反射光
Ｃ１＆Ｃ２を抑制でき、コントラストを改善できるとい
う効果が得られる。
ば、基板６３に設けられた多数のマイクロミラー６２
と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラス６１Ａ
とから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤチップ６
０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行に配置さ
れ、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッドインテ
グレータ・リレーレンズ系などの照明光源系からの照明
光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射するとともに、
ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズによってス
クリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備え、基板
６３に対して平行とならないように傾斜して配置したカ
バーガラス６１ＡをＤＭＤチップ６０に備えるようにし
たので、カバーガラス６１Ａ表面・裏面からの正反射光
Ｃ１＆Ｃ２を抑制でき、コントラストを改善できるとい
う効果が得られる。
【００３３】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２による画像表示装置の構成を示す図であり、特にＴ
ＩＲプリズムとＤＭＤチップとを図示している。図１と
共通する符号は同一または相当する構成である。図３に
おいて、６４は屈折率整合オイルであり、ＴＩＲプリズ
ム５０のＤＭＤ対抗面５１とＤＭＤチップ６０のカバー
ガラス６１表面との間を満たしている。屈折率整合オイ
ル６４は、カバーガラスと空気、あるいはＴＩＲプリズ
ムと空気の屈折率の差をマッチングしている。なおここ
では、カバーガラス６１は基板６３と平行である。
態２による画像表示装置の構成を示す図であり、特にＴ
ＩＲプリズムとＤＭＤチップとを図示している。図１と
共通する符号は同一または相当する構成である。図３に
おいて、６４は屈折率整合オイルであり、ＴＩＲプリズ
ム５０のＤＭＤ対抗面５１とＤＭＤチップ６０のカバー
ガラス６１表面との間を満たしている。屈折率整合オイ
ル６４は、カバーガラスと空気、あるいはＴＩＲプリズ
ムと空気の屈折率の差をマッチングしている。なおここ
では、カバーガラス６１は基板６３と平行である。
【００３４】図４はこの発明の実施の形態２による画像
表示装置の効果を説明するための図である。図２と共通
する符号は同一のものを指している。図３に示した屈折
率整合オイル６４の充満により、カバーガラス６１表面
からの正反射光Ｃ１と、ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対
抗面５１からの正反射光Ｃ３とはほとんどゼロになり、
図４に示すように、Ｆ／１．７投射レンズの開口Ｅ（半
径１６．４°の円）に対して入射する反射光は、カバー
ガラス６１裏面からの正反射光Ｃ２のみに抑えることが
できる。したがって、正反射光に起因する迷光成分を全
体として約１／３に低減でき、コントラストを改善する
ことができる。
表示装置の効果を説明するための図である。図２と共通
する符号は同一のものを指している。図３に示した屈折
率整合オイル６４の充満により、カバーガラス６１表面
からの正反射光Ｃ１と、ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対
抗面５１からの正反射光Ｃ３とはほとんどゼロになり、
図４に示すように、Ｆ／１．７投射レンズの開口Ｅ（半
径１６．４°の円）に対して入射する反射光は、カバー
ガラス６１裏面からの正反射光Ｃ２のみに抑えることが
できる。したがって、正反射光に起因する迷光成分を全
体として約１／３に低減でき、コントラストを改善する
ことができる。
【００３５】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、基板６３に設けられた多数のマイクロミラー６２
と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラス６１Ａ
とから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤチップ６
０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行に配置さ
れ、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッドインテ
グレータ・リレーレンズ系などの照明光源系からの照明
光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射するとともに、
ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズによってス
クリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備え、ＴＩ
Ｒプリズム５０のＤＭＤ対抗面５１とＤＭＤチップ６０
のカバーガラス６１表面との間を屈折率整合オイル６４
で満たすようにしたので、カバーガラス６１表面からの
正反射光Ｃ１と、ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対抗面５
１からの正反射光Ｃ３とを抑制でき、コントラストを改
善できるという効果が得られる。
ば、基板６３に設けられた多数のマイクロミラー６２
と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラス６１Ａ
とから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤチップ６
０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行に配置さ
れ、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッドインテ
グレータ・リレーレンズ系などの照明光源系からの照明
光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射するとともに、
ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズによってス
クリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備え、ＴＩ
Ｒプリズム５０のＤＭＤ対抗面５１とＤＭＤチップ６０
のカバーガラス６１表面との間を屈折率整合オイル６４
で満たすようにしたので、カバーガラス６１表面からの
正反射光Ｃ１と、ＴＩＲプリズム５０のＤＭＤ対抗面５
１からの正反射光Ｃ３とを抑制でき、コントラストを改
善できるという効果が得られる。
【００３６】実施の形態３．図５はこの発明の実施の形
態３による画像表示装置の構成を示す図であり、特にＤ
ＭＤチップのみを図示している。図１，図２と共通する
符号は同一または相当する構成である。図５において、
６３ＡはＤＭＤチップ６０の黒塗基板である。
態３による画像表示装置の構成を示す図であり、特にＤ
ＭＤチップのみを図示している。図１，図２と共通する
符号は同一または相当する構成である。図５において、
６３ＡはＤＭＤチップ６０の黒塗基板である。
【００３７】発明が解決しようとする課題で説明したよ
うに、ＤＭＤチップ６０上に配列されているマイクロミ
ラー６２の間には、面積比にして全体の約１０％の隙間
があるため、この隙間へ入り込んだ光は基板で反射・散
乱されて迷光の原因となる。このため、図５に示すよう
にマイクロミラー６２の下部に存在する基板を黒塗りし
て黒塗基板６３Ａとするようにし、隙間へ入り込んだ光
の反射・散乱を黒塗基板６３Ａで抑制して、上記の迷光
を低減するようにしている。なお、黒塗基板６３Ａの黒
塗は基板全体に施す必要はなく、マイクロミラー６２が
設けられた側の表面に施せばよい。
うに、ＤＭＤチップ６０上に配列されているマイクロミ
ラー６２の間には、面積比にして全体の約１０％の隙間
があるため、この隙間へ入り込んだ光は基板で反射・散
乱されて迷光の原因となる。このため、図５に示すよう
にマイクロミラー６２の下部に存在する基板を黒塗りし
て黒塗基板６３Ａとするようにし、隙間へ入り込んだ光
の反射・散乱を黒塗基板６３Ａで抑制して、上記の迷光
を低減するようにしている。なお、黒塗基板６３Ａの黒
塗は基板全体に施す必要はなく、マイクロミラー６２が
設けられた側の表面に施せばよい。
【００３８】以上のように、この実施の形態３によれ
ば、基板６３に設けられた多数のマイクロミラー６２
と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラス６１Ａ
とから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤチップ６
０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行に配置さ
れ、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッドインテ
グレータ・リレーレンズ系などの照明光源系からの照明
光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射するとともに、
ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズによってス
クリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備え、マイ
クロミラー６２の設けられた表面を黒塗りにした黒塗基
板６３Ａを備えるようにしたので、マイクロミラー６２
の隙間へ入り込んだ光の反射・散乱を抑制でき、コント
ラストを改善できるという効果が得られる。
ば、基板６３に設けられた多数のマイクロミラー６２
と、マイクロミラー６２を保護するカバーガラス６１Ａ
とから構成されたＤＭＤチップ６０と、ＤＭＤチップ６
０の基板６３に対してＤＭＤ対向面５１が平行に配置さ
れ、高圧水銀ランプ・コンデンサレンズ・ロッドインテ
グレータ・リレーレンズ系などの照明光源系からの照明
光を全反射してＤＭＤチップ６０を照射するとともに、
ＤＭＤチップ６０からの戻り光を投射レンズによってス
クリーンへ転写するＴＩＲプリズム５０とを備え、マイ
クロミラー６２の設けられた表面を黒塗りにした黒塗基
板６３Ａを備えるようにしたので、マイクロミラー６２
の隙間へ入り込んだ光の反射・散乱を抑制でき、コント
ラストを改善できるという効果が得られる。
【００３９】実施の形態４．実施の形態３の黒塗基板６
３Ａに代えて、図６に示すように、反射防止膜６３Ｂを
基板６３の表面に施すようにしても良い。このようにし
ても、実施の形態３と同様に、光の反射・散乱を抑制で
き、その結果、コントラストを改善できるという効果が
得られる。
３Ａに代えて、図６に示すように、反射防止膜６３Ｂを
基板６３の表面に施すようにしても良い。このようにし
ても、実施の形態３と同様に、光の反射・散乱を抑制で
き、その結果、コントラストを改善できるという効果が
得られる。
【００４０】実施の形態５．実施の形態３の黒塗基板６
３Ａに代えて、図７に示すように、マイクロミラー６２
の隙間間隔で鋸歯状構造を表面に施した基板６３Ｃを備
えるようにしても良い。このようにすることで、ＯＮ光
の反射方向に対して、マイクロミラー６２の下部に存在
する基板の表面からの反射・散乱光を大きくそらすこと
ができ、その結果、コントラストを改善できるという効
果が得られる。
３Ａに代えて、図７に示すように、マイクロミラー６２
の隙間間隔で鋸歯状構造を表面に施した基板６３Ｃを備
えるようにしても良い。このようにすることで、ＯＮ光
の反射方向に対して、マイクロミラー６２の下部に存在
する基板の表面からの反射・散乱光を大きくそらすこと
ができ、その結果、コントラストを改善できるという効
果が得られる。
【００４１】実施の形態６．実施の形態３の黒塗基板６
３Ａに代えて、図８に示すように、基板６３の表面に散
乱面６３Ｄを施すようにしても良い。このようにするこ
とで、ＯＮ光の反射方向に対して、マイクロミラー６２
の下部に存在する表面からの反射・散乱光を大きくそら
すことができ、その結果、コントラストを改善できると
いう効果が得られる。
３Ａに代えて、図８に示すように、基板６３の表面に散
乱面６３Ｄを施すようにしても良い。このようにするこ
とで、ＯＮ光の反射方向に対して、マイクロミラー６２
の下部に存在する表面からの反射・散乱光を大きくそら
すことができ、その結果、コントラストを改善できると
いう効果が得られる。
【００４２】なお、以上説明した実施の形態１〜６を適
宜組み合わせて画像表示装置を構成するようにしても良
く、各実施の形態で示した効果をより一層大きくするこ
とができる。
宜組み合わせて画像表示装置を構成するようにしても良
く、各実施の形態で示した効果をより一層大きくするこ
とができる。
【００４３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、基板
に対して平行とならないようにカバーガラスが配置され
るようにしたので、カバーガラスと空気との境界面で生
じる正反射光を抑制でき、コントラストを改善できると
いう効果が得られる。
に対して平行とならないようにカバーガラスが配置され
るようにしたので、カバーガラスと空気との境界面で生
じる正反射光を抑制でき、コントラストを改善できると
いう効果が得られる。
【００４４】この発明によれば、ＤＭＤ対向面およびカ
バーガラスの間に屈折率整合オイルが充満されるように
したので、カバーガラス表面と空気との境界面、ＤＭＤ
対抗面と空気との境界面で生じる正反射光を抑制でき、
コントラストを改善できるという効果が得られる。
バーガラスの間に屈折率整合オイルが充満されるように
したので、カバーガラス表面と空気との境界面、ＤＭＤ
対抗面と空気との境界面で生じる正反射光を抑制でき、
コントラストを改善できるという効果が得られる。
【００４５】この発明によれば、マイクロミラーの設け
られた基板の表面に黒塗りが施されるようにしたので、
マイクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱を抑
制でき、コントラストを改善できるという効果が得られ
る。
られた基板の表面に黒塗りが施されるようにしたので、
マイクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱を抑
制でき、コントラストを改善できるという効果が得られ
る。
【００４６】この発明によれば、マイクロミラーの設け
られた基板の表面に反射防止膜を備えるようにしたの
で、マイクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱
を抑制でき、コントラストを改善できるという効果が得
られる。
られた基板の表面に反射防止膜を備えるようにしたの
で、マイクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱
を抑制でき、コントラストを改善できるという効果が得
られる。
【００４７】この発明によれば、マイクロミラーが設け
られた基板の表面に鋸歯状構造を備えるようにしたの
で、マイクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱
を抑制でき、コントラストを改善できるという効果が得
られる。
られた基板の表面に鋸歯状構造を備えるようにしたの
で、マイクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱
を抑制でき、コントラストを改善できるという効果が得
られる。
【００４８】この発明によれば、マイクロミラーが設け
られた基板の表面に散乱面を備えるようにしたので、マ
イクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱を抑制
でき、コントラストを改善できるという効果が得られ
る。
られた基板の表面に散乱面を備えるようにしたので、マ
イクロミラーの隙間へ入り込んだ光の反射・散乱を抑制
でき、コントラストを改善できるという効果が得られ
る。
【図１】 この発明の実施の形態１による画像表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による画像表示装置
の効果を説明するための図である。
の効果を説明するための図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による画像表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図４】 この発明の実施の形態２による画像表示装置
の効果を説明するための図である。
の効果を説明するための図である。
【図５】 この発明の実施の形態３による画像表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図６】 この発明の実施の形態４による画像表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図７】 この発明の実施の形態５による画像表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図８】 この発明の実施の形態６による画像表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図９】 従来の画像表示装置の構成を示す図である。
【図１０】 図９のＴＩＲプリズムとＤＭＤチップとの
配置関係を示す図である。
配置関係を示す図である。
【図１１】 ＤＭＤチップのカバーガラス表面による正
反射光が投射レンズ内へ入り込む様子を示す図である。
反射光が投射レンズ内へ入り込む様子を示す図である。
【図１２】 ＴＩＲプリズムのＤＭＤ対向面による正反
射光が投射レンズ内へ入り込む様子を示す図である。
射光が投射レンズ内へ入り込む様子を示す図である。
【図１３】 発明が解決しようとする課題を説明するた
めの図である。
めの図である。
５０ ＴＩＲプリズム、５１ ＤＭＤ対向面、６０ Ｄ
ＭＤチップ、６１，６１Ａ カバーガラス、６２ マイ
クロミラー、６３ 基板、６３Ａ 黒塗基板、６３Ｂ
反射防止膜、６３Ｃ 鋸歯状構造の基板、６３Ｄ 散乱
面、６４ 屈折率整合オイル、Ａ 照明光、Ｂ ＯＮ
光、Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ１＆Ｃ２正反射光、Ｄ
ＯＦＦ光、Ｅ 投射レンズ開口。
ＭＤチップ、６１，６１Ａ カバーガラス、６２ マイ
クロミラー、６３ 基板、６３Ａ 黒塗基板、６３Ｂ
反射防止膜、６３Ｃ 鋸歯状構造の基板、６３Ｄ 散乱
面、６４ 屈折率整合オイル、Ａ 照明光、Ｂ ＯＮ
光、Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ１＆Ｃ２正反射光、Ｄ
ＯＦＦ光、Ｅ 投射レンズ開口。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０４Ｎ 5/74 Ｈ０４Ｎ 5/74 Ｂ
(72)発明者 岡本 達樹
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 佐藤 行雄
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 園 淳弘
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
Ｆターム(参考） 2H041 AA16 AB14 AZ02
2K103 AA07 AA14 AA16 AB01 BB01
BB10 BC39 BC41 BC51 CA18
CA26
5C058 AA18 AB08 BA08 DA01 DA03
EA27
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上に設けられ、ＯＮ／ＯＦＦのスイ
ッチングによって光を反射する多数のマイクロミラー
と、上記マイクロミラーを保護するカバーガラスとから
構成されたＤＭＤチップを備え、照明光源系から入射し
た照明光を上記ＤＭＤチップへ照射するとともに、上記
ＤＭＤチップからの戻り光を投射光学系によってスクリ
ーンへ転写する画像表示装置において、 上記カバーガラスは、上記基板に対して平行とならない
ように配置されることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項２】 基板上に設けられ、ＯＮ／ＯＦＦのスイ
ッチングによって光を反射する多数のマイクロミラー
と、上記マイクロミラーを保護するカバーガラスとから
構成されたＤＭＤチップと、上記基板に対して平行に配
置されたＤＭＤ対向面を有し、照明光源系から入射した
照明光を全反射して上記ＤＭＤチップを照射するととも
に、上記ＤＭＤチップからの戻り光を投射光学系によっ
てスクリーンへ転写するＴＩＲプリズムとを備えた画像
表示装置において、 上記ＤＭＤ対向面および上記カバーガラスは、その間に
屈折率整合オイルが充満されることを特徴とする画像表
示装置。 - 【請求項３】 基板上に設けられ、ＯＮ／ＯＦＦのスイ
ッチングによって光を反射する多数のマイクロミラー
と、上記マイクロミラーを保護するカバーガラスとから
構成されたＤＭＤチップを備え、照明光源系から入射し
た照明光を上記ＤＭＤチップへ照射するとともに、上記
ＤＭＤチップからの戻り光を投射光学系によってスクリ
ーンへ転写する画像表示装置において、 上記基板は、上記マイクロミラーの設けられた表面に黒
塗りが施されることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項４】 基板上に設けられ、ＯＮ／ＯＦＦのスイ
ッチングによって光を反射する多数のマイクロミラー
と、上記マイクロミラーを保護するカバーガラスとから
構成されたＤＭＤチップを備え、照明光源系から入射し
た照明光を上記ＤＭＤチップへ照射するとともに、上記
ＤＭＤチップからの戻り光を投射光学系によってスクリ
ーンへ転写する画像表示装置において、 上記基板は、上記マイクロミラーの設けられた表面に反
射防止膜を備えることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項５】 基板上に設けられ、ＯＮ／ＯＦＦのスイ
ッチングによって光を反射する多数のマイクロミラー
と、上記マイクロミラーを保護するカバーガラスとから
構成されたＤＭＤチップを備え、照明光源系から入射し
た照明光を上記ＤＭＤチップへ照射するとともに、上記
ＤＭＤチップからの戻り光を投射光学系によってスクリ
ーンへ転写する画像表示装置において、 上記基板は、上記マイクロミラーの設けられた表面に鋸
歯状構造を備えることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項６】 基板上に設けられ、ＯＮ／ＯＦＦのスイ
ッチングによって光を反射する多数のマイクロミラー
と、上記マイクロミラーを保護するカバーガラスとから
構成されたＤＭＤチップを備え、照明光源系から入射し
た照明光を上記ＤＭＤチップへ照射するとともに、上記
ＤＭＤチップからの戻り光を投射光学系によってスクリ
ーンへ転写する画像表示装置において、 上記基板は、上記マイクロミラーの設けられた表面に散
乱面を備えることを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002101544A JP2003295110A (ja) | 2002-04-03 | 2002-04-03 | 画像表示装置 |
| US10/267,031 US6698902B2 (en) | 2002-04-03 | 2002-10-09 | Image displaying apparatus for displaying an image according to light reflected by an optical spatial modulator element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002101544A JP2003295110A (ja) | 2002-04-03 | 2002-04-03 | 画像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003295110A true JP2003295110A (ja) | 2003-10-15 |
Family
ID=28672117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002101544A Pending JP2003295110A (ja) | 2002-04-03 | 2002-04-03 | 画像表示装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6698902B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003295110A (ja) |
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| JP2021081564A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 株式会社リコー | 光学系、および画像投射装置 |
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| US8619352B2 (en) * | 2003-07-29 | 2013-12-31 | Silicon Quest Kabushiki-Kaisha | Projection display system using laser light source |
| TWI227791B (en) * | 2003-10-06 | 2005-02-11 | Delta Electronics Inc | Reflective projection display system |
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| US6698902B2 (en) | 2004-03-02 |
| US20030189692A1 (en) | 2003-10-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061020 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070306 |