JP4280009B2 - 窒化アルミニウム基板およびそれを用いた薄膜基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高い放熱性を有するとともに、高い薄膜密着性を有する窒化アルミニウム基板およびそれを用いた薄膜基板に関し、特にマイクロ波集積回路基板やVLD用サブマウントに用いられる窒化アルミニウム基板およびそれを用いた薄膜基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
マイクロ波集積回路は、半導体チップをマイクロ波帯のインピーダンス整合回路と直接接続することができるため、パッケージやリード線により生じる寄生リアクタンスの影響を極めて低減することが可能となり、その結果として小型でかつ高精度のマイクロ波周波数帯能動回路を実現することができる。
【0003】
このようなマイクロ波集積回路の特徴を活かして、最近では光通信用ハイブリッドIC、移動体通信用ハイブリッドIC、レーザダイオード用ハイブリッドIC、自動車用ハイブリッドICなどに急速に使用されはじめている。
【0004】
上述したようなマイクロ波集積回路においては、回路の高精度化や高信頼性化などが要求されることから、回路形成にはスパッタ法や真空蒸着法などの薄膜形成技術、特にPVD(Physical Vapor Deposition:物理的気相成長)法を適用することが一般的である。PVD法などの薄膜形成技術を適用した回路(薄膜回路)は、パターン精度が厚膜回路に比べて1桁以上優れており、また膜材の純度も高く、さらに膜素子の精度、雑音特性、温度特性、安定性などに優れるという利点を有している。
【0005】
薄膜回路を適用した薄膜ハイブリッドICにおいては、回路を高集積化することが可能であることことから、回路動作に伴う発熱量は増大する傾向にある。さらに、半導体チップ自体のハイパワー化なども進められており、半導体チップからの発熱量も年々増大している。このため、マイクロ波集積回路用の基板は放熱性に優れることが重要であり、熱伝導性に優れる窒化アルミニウム基板が多用されるようになってきている(特開2000-124566公報など参照)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
マイクロ波集積回路やVLDサブマウントにおいては、窒化アルミニウム基板表面に例えばTi/Pt/AuあるいはTi/Pd/Auなどの薄膜が形成されている。しかしながら、この薄膜の密着性が悪いとワイヤーボンディング時に膜剥がれが生じたり、高温下や長期間使用時に薄膜に膨れなどが生じることがある。
【0007】
このためマイクロ波集積回路用などの基板には放熱性に加えて、上述したような薄膜回路を精度よく形成することが可能な表面性を有することが求められている。すなわち、スパッタ法などで薄膜回路を形成する場合、基板の薄膜被着面(回路形成面)の表面性が重要であり、表面に凹凸などが存在していると回路の形成精度を低下させることになる。
【0008】
このような基板の薄膜被着面の表面性を向上させ、薄膜密着性を高めるために、例えば窒化アルミニウム基板表面に算術平均粗さRaが0.05μm程度となるまでポリッシュ仕上を施し、表面部分のうねり成分を除去した後、薄膜を形成する手法がとられる。また、薄膜密着性をさらに向上させる場合には、窒化アルミニウム基板表面に算術平均粗さRaが0.5μm以下となるまでラッピング加工を施した後、さらに酸やアルカリによりエッチング処理を施し、薄膜形成部分の比表面積を増やしてから薄膜を形成する手法がとられる。
【0009】
しかしながら、窒化アルミニウム基板(焼結体)には高い熱伝導率を達成するために窒化アルミニウム結晶間(粒界)に希土類アルミニウム酸化物、例えばYAG(イットリウム−アルミニウム−ガーネット材)などが偏析されており、この希土類アルミニウム酸化物はガラス質成分であるため、上記したようなエッチング処理によりこの希土類アルミニウム酸化物が窒化アルミニウム結晶粒子より先に腐食する。
【0010】
このようなエッチングが過度に施された場合、基板内部までエッチング液が入り込み、薄膜形成後にこれが染み出し、密着性を低下させる。逆に、エッチングが不充分である場合、アンカー効果が低下し、薄膜の密着強度が向上しない。
【0011】
本発明はこのような課題に対処するためになされたもので、窒化アルミニウム基板の高放熱特性を維持しつつ、各種回路の形成などに使用される薄膜との密着性や薄膜の形成精度などに優れる窒化アルミニウム基板およびそれを用いた信頼性に優れる薄膜基板を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の窒化アルミニウム基板は、希土類アルミニウム酸化物を含む窒化アルミニウム焼結体からなる基板であって、前記基板の少なくとも一方の表面の単位面積中に占める前記希土類アルミニウム酸化物の面積率をM1、前記基板の厚さ方向の中心であって基板表面と平行な面の単位面積中に占める前記希土類アルミニウム酸化物の面積率をM2としたとき、M1/M2が0.75以上0.95以下、かつM1が7%以下であり、前記基板表面の算術平均粗さRaが0.2μm以下であることを特徴とする。
【0013】
このような基板において、前記M1/M2は0.80以上0.95以下、かつ前記M1は2%以上4%以下であることが好ましい。このような基板表面は、例えば鏡面加工により算術平均粗さRaを0.2μm以下とした後、エッチング処理が施されたものであることが好ましい。また、エッチング処理は、エッチングによる質量減少率が0.02〜0.5%の範囲となるように行われることが好ましい。
【0014】
前記希土類アルミニウム酸化物は、イットリウムアルミニウム酸化物であることが好ましく、前記基板の窒化アルミニウム結晶粒の平均粒径は3μm以上5μm以下であり、かつ結晶粒径分布の標準偏差が2μm以下であることが好ましい。また、前記基板の25℃での熱伝導率は160W/m・K以上であることが好ましい。また、イットリウムアルミニウム酸化物はYAG、YAM、YALなど様々な形態があり、本発明においてはどのような形態であっても有効である。言い換えれば、本発明では希土類元素とアルミニウムと酸素を含む化合物であるものは、希土類アルミニウム酸化物に含まれるものである。
【0015】
本発明の薄膜基板は上記したような窒化アルミニウム基板の表面に薄膜が形成されてなることを特徴とする。この薄膜基板は、例えばマイクロ波集積回路基板、VLD用サブマウントに好適に使用することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
【0017】
図1は本発明の窒化アルミニウム基板1を薄膜形成用基板として用い、これに薄膜2を形成した薄膜基板3の一実施形態の概略構成を示す断面図である。窒化アルミニウム(AlN)基板1は、希土類アルミニウム酸化物を含む窒化アルミニウム焼結体からなるものである。
【0018】
本発明の窒化アルミニウム基板1では、窒化アルミニウム焼結体の高熱伝導率を維持しつつ薄膜の密着性を向上させるために、窒化アルミニウム基板1のうち薄膜が形成される基板表面1aを大きなアンカー効果が期待できる表面形状とするとともに、該基板表面以外における希土類アルミニウム酸化物の分布を緻密なものとしたことを特徴とする。
【0019】
すなわち、本発明の窒化アルミニウム基板1は、希土類アルミニウム酸化物を含む窒化アルミニウム焼結体からなる基板であって、前記基板の少なくとも一方の基板表面1aの単位面積中に占める前記希土類アルミニウム酸化物の面積率をM1、前記基板の厚さ方向の基板中心1bにおける基板表面と平行な面の単位面積中に占める前記希土類アルミニウム酸化物の面積率をM2としたとき、M1/M2を0.75以上0.95以下、かつM1を7%以下、前記基板表面の算術平均粗さRaを0.2μm以下としたことを特徴とする。
【0020】
本発明においては、基板中心1bの希土類アルミニウム酸化物の量に対して基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物の量を少なくしている。すなわち基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物のみを適量除去することにより、適度に基板表面1aが粗された状態となり、アンカー効果により薄膜の密着性を向上させることができる。また、基板中心1bの希土類アルミニウム酸化物の量はほとんど変化させていないため、緻密な構造が維持され、窒化アルミニウム基板の高熱伝導率も維持することができる。
【0021】
本発明では、M1/M2を0.95以下とすることにより、上記したように表面部分の希土類アルミニウム酸化物が適量除去され、適度に表面が粗された状態とすることができ、薄膜の密着性を向上させることができる。M1/M2が0.95を超える場合には、基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物の除去量が不足しており、薄膜の密着性を向上させるために必要な表面性状を得られない。
【0022】
M1/M2は少なくとも0.75以上とする。過度に粒界相成分およびそこに存在する凝集体成分である希土類アルミニウム酸化物が除去されると、結晶粒の脱落などにより比較的大きな凹部が発生し、このような凹部が形成された基板表面1aに薄膜2を形成すると、窒化アルミニウム基板1と薄膜2との間に空隙が生じてしまう。また、この空隙は、その後の製造工程や回路使用時に印加される熱により、薄膜2に膨れを生じさせ、回路精度の低下や薄膜の剥がれの原因となる。本発明におけるより好ましいM1/M2の値は、0.80〜0.95である。
【0023】
また、基板表面1aの単位面積中に占める希土類アルミニウム酸化物の面積率M1は7%以下とする。基板表面1aの単位面積中に占める希土類アルミニウム酸化物の面積率M1が7%を超える場合、基板表面1aに占める希土類アルミニウム酸化物の量が多くなり、アンカー効果により薄膜の密着性を向上させることが難しくなる。基板表面1aの単位面積中に占める希土類アルミニウム酸化物の面積率M1のより好ましい値としては、2〜4%である。
【0024】
なお、本発明における単位面積とは20μm×20μmの面積であり、面積率M1、M2は、基板表面1aまたは基板中心1bにおける5個所の単位面積で測定した希土類アルミニウム酸化物の面積を、測定個所数(=5)で平均した値とする。また、基板中心1bにおける希土類アルミニウム酸化物の面積の測定は、窒化アルミニウム基板の厚さ方向の中心部を通り、かつ前記基板表面1aと平行な平面上で行うものとする。
【0025】
希土類アルミニウム酸化物の面積の測定は、基板表面1aおよび基板中心1bを走査型電子顕微鏡(SEM)で観察したり、あるいは電子線プローブマイクロアナライザ(EPMA)で調べることにより測定することができる。
【0026】
窒化アルミニウム基板1の少なくとも薄膜2が形成される基板表面1aの表面粗さはJIS B0601-1994で規定する算術平均粗さRaで0.2μm以下とする。基板表面1aの算術平均粗さRaが0.2μmを超える場合、薄膜2の形成面としての要求特性を満たすことが難しい。このような算術平均粗さRaを有する基板表面1aは、例えば窒化アルミニウム焼結体を作製した後、鏡面加工を行うことにより形成できる。
【0027】
さらに、この鏡面加工が行われ算術平均粗さRaが0.2μm以下となった基板表面1aにはエッチングが行われることが好ましい。このようなエッチングにより、基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物を適切に除去することができ、基板表面1aの単位面積中に占める希土類アルミニウム酸化物の面積率M1を制御することができる。これによりM1/M2の制御も可能となる。
【0028】
すなわち、基板中心1bの希土類アルミニウム酸化物はエッチングにより除去されにくく、基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物はエッチングにより除去しやすいため、基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物のエッチング量を制御できるようになり、面積率の比、M1/M2を例えば0.95以下とすることができる。
【0029】
このようなエッチングは、例えば窒化アルミニウム焼結体を一定の温度に保温された酸液に浸漬することにより行われる。このエッチングによる質量減少率は0.02〜0.5%以下となるようにすることが好ましい。
【0030】
質量減少率が0.02%未満であると、希土類アルミニウム酸化物の除去が少ないことになり、薄膜の密着性を向上させるために必要な表面部分の粗さを得られなくなり、アンカー効果が低下し、薄膜の密着強度が低下してしまう。また、希土類アルミニウム酸化物が多く存在する窒化アルミニウム基板表面に薄膜を形成すると、高温環境下に置かれたときに希土類アルミニウム酸化物が膨張(または溶けだし)し薄膜の膨れなどの不具合の原因となり易い。
【0031】
また、質量減少率が0.5%を超える場合には、過度に粒界相成分である希土類アルミニウム酸化物が除去されることになり、結晶粒の脱落などにより比較的大きな凹部が発生するとともに、エッチングに使用された酸液などが基板内部まで入り込み、薄膜形成後にこれが染み出し、薄膜の密着性を低下させる。また、仮に基板内部に入り込んだ酸液などを十分除去・乾燥などを行ったとしても、基板表面部に空隙が必要以上にできてしまう。このような空隙が必要以上に存在する基板表面に薄膜を形成すると高温環境下に置かれたときに空隙中に存在する空気が膨張し、薄膜の膨れなどの不具合の原因となり易い。
【0032】
エッチングによる質量減少率を上記したような0.02〜0.5%とするには、例えば窒化アルミニウム焼結体を40℃に保温された20%希釈濃度の酸液、すなわち硫酸(H2SO4)、塩酸(HCl)、硝酸(HNO3)などの酸液に5〜60分間程度浸漬することにより行うことができる。
【0033】
また、上記したような窒化アルミニウム基板1を構成する窒化アルミニウム焼結体については、その結晶粒径(窒化アルミニウム結晶粒の粒径)の平均値を3〜5μmの範囲とすると共に、粒径分布の標準偏差を2μm以下とすることが好ましい。
【0034】
このように、窒化アルミニウム結晶粒の粒径を微細化すると共に、粒径分布をシャープにすることによって、焼結助剤成分(粒界相成分)の析出並びに凝集を抑制することができる。なお、窒化アルミニウム結晶粒の粒径は、それを含む最小円の直径(すなわち窒化アルミニウム結晶粒の最大径)を示すものとする。
【0035】
窒化アルミニウム結晶粒の平均粒径が5μmを超えると、窒化アルミニウム結晶粒同士の隙間(例えば三重点)が大きくなるため、焼結助剤成分(粒界相成分)の析出量が増大し、焼結助剤成分の凝集体が大きくなると共に、凝集体の面積の総和が増大する傾向にある。結晶粒径分布の標準偏差についても同様であり、その値が2μmを超えると焼結助剤成分(粒界相成分)の析出量が増大しやすくなる。焼結助剤成分の析出や凝集体が必要以上に存在すると、M1または/およびM2の値が好ましいものが得難くなる。
【0036】
一方、窒化アルミニウム結晶粒の平均粒径が3μm未満になると、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の低下が著しくなり、例えば常温で160W/m・K以上という熱伝導率を満たさなくなるおそれがある。
【0037】
窒化アルミニウム焼結体の結晶粒径の微細化については、例えば上記した焼結助剤の組成や添加量、さらに焼結条件を制御することで実現することができる。ただし、単に結晶粒径を微細化しただけでは、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の低下が著しくなるおそれがあるが、例えば窒化アルミニウム焼結体の製造過程において、脱バインダ後の残留炭素量を低減するなどによって、結晶粒径の微細化を図った上で160W/m・K以上という熱伝導率を満足させることができる。
【0038】
窒化アルミニウム基板1の熱伝導率は、上記したように160W/m・K以上(25℃)であることが好ましい。窒化アルミニウム基板1の常温での熱伝導率が160W/m・K未満であると、薄膜基板3を例えばマイクロ波集積回路などに適用する際に、十分な放熱性を確保することができず、窒化アルミニウム基板1を用いることの利点が損なわれてしまう。
【0039】
また、窒化アルミニウム基板1(焼結体)に含まれる希土類アルミニウム酸化物は、焼結助剤として、予め希土類アルミニウム酸化物を添加してもよいし、希土類酸化物を添加して窒化アルミニウムまたは/および窒化アルミニウム粉末中の不純物酸素などと反応させて希土類アルミニウム酸化物を形成させてもよい。希土類酸化物としては、例えば酸化イットリウム(Y2O3)、酸化エルビウム(Er2O3)、酸化ディスプロシウム(Dy2O3)、酸化ホルミウム(Ho2O3)などが挙げられる。また、希土類酸化物を添加する場合は、窒化アルミニウム焼結体中にすべて希土類アルミニウム酸化物の形態で存在する必要はなく、希土類アルミニウム酸化物と希土類酸化物の両方が存在する形態であってもよい。なお、焼結体中に希土類アルミニウム酸化物と希土類酸化物の両方の形態で存在する場合であっても、M1およびM2の値は希土類アルミニウム酸化物の面積率のみで算出するものとする。
【0040】
このような希土類アルミニウム酸化物を構成する焼結助剤としての希土類酸化物の配合量は、窒化アルミニウム粉末に対して1〜9質量%の範囲とすることが好ましい。希土類酸化物の配合量が9質量%を超えると、主として焼結助剤成分からなる粒界相が凝集しやすくなり、窒化アルミニウム基板1の基板表面1aにおける焼結助剤成分の凝集体の存在量が増加しやすくなる。
【0041】
一方、希土類酸化物の配合量が1質量%未満であると、窒化アルミニウム焼結体の焼結性などが低下してポアの増大などを招いたり、また熱伝導性が低下するおそれがある。希土類酸化物の配合量は3〜5質量%の範囲とすることがさらに好ましい。
【0042】
焼結助剤としては希土類酸化物に加えて、Ca、Ba、Srなどのアルカリ土類金属元素の酸化物、さらにSiO2やSi3N4などのSi化合物、B2O3、B4C、TiB2、LaB6などの硼素化合物などを併用してもよい。なお、希土類酸化物やアルカリ土類酸化物などは、焼成時に酸化物となる炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、フッ化物などとして配合してもよい。また、TiO2、HfO2、ZrO2などの黒色化材を併用することも可能である。これらの化合物を希土類酸化物と併用する場合には、焼結助剤の総量が酸化物換算で2〜10質量%の範囲となるように添加量を調整することが好ましい。
【0043】
次に、本発明の窒化アルミニウム基板の作製について一例を挙げる。
【0044】
まず、窒化アルミニウム焼結体を作製するための窒化アルミニウム原料粉末および焼結助剤などを用意する。窒化アルミニウム原料粉末としては、平均粒径が1μm以下、不純物酸素濃度が1質量%以下のもの用いることが好ましい。また、焼結助剤粉末としては、例えば酸化イットリウム(Y2O3)、酸化エルビウム(Er2O3)、酸化イッテルビウム(Yb2O3)が挙げられ、高純度で微細な粉末であることが好ましい。焼結助剤の添加量は1〜9重量%とすることが好ましい。
【0045】
次に、焼結助剤のみを溶媒中にて10分以上、好ましくは1時間〜3時間程度攪拌する。この攪拌により焼結助剤が偏析せず均一に混合できるようになる。攪拌を終えた焼結助剤は窒化アルミニウム原料粉末および適量の有機バインダと混合し、ドクターブレード法などにより板状に成形する。得られた成形体は600〜800℃の温度で脱脂を行う。
【0046】
脱脂処理を施したAlN成形体は、例えばAlN、BNなどからなる焼成容器中に配置する。焼成容器は蓋付きの密閉型を使用することが好ましい。この際、焼成容器内へのAlN成形体の充填量は体積比で50〜70%の範囲とすることが好ましい。また、AlN成形体は敷板上に一定の間隔を空けて対称に配置することが好ましい。図2(a)および図2(b)にAlN成形体の対称配置の例を示す。これらの図において、4はAlN成形体、5は焼成容器の底面または焼成容器内に収めた敷板である。図2(a)はAlN成形体4を左右(または前後)に対称に配置した例である。図2(b)はAlN成形体4を左右および前後に対称に配置した例である。
【0047】
このようなAlN成形体を充填した焼成容器を焼成炉内に配置する。焼成炉内への焼成容器の充填量は体積比で40〜70%の範囲とすることが好ましい。なお、焼成容器はカーボン製容器収納部材(円筒状部材)中に入れて焼成炉内に配置することがある。このような二重容器を使用する場合には、カーボン製容器収納部材への焼成容器の充填量を体積比で40〜70%の範囲とすることが好ましい。図3に二重容器の一構成例を示す。図3において、6は焼成容器、7は容器収納部材である。焼成容器6が収納された容器収納部材7を重ねて使用したり、複数の焼成容器6を重ねて容器収納部材7内に収納してもよい。
【0048】
上記したような状態で焼成炉内に配置したAlN成形体は、窒素雰囲気のような不活性雰囲気中にて1650〜1900℃の範囲の温度で1〜10時間焼成される。焼成工程は常圧もしくは雰囲気加圧下で行われる。このような焼成工程によって、上述したような特性を有するAlN焼結体が得られる。この際、焼成時の雰囲気ガスは純度99%以上の窒素ガスを使用することが好ましい。焼成炉内の圧力は2×105〜10×105Paの範囲とすることが好ましい。また、焼成炉内の圧力は設定値に対して±1×105Paの範囲となるように調整することが好ましく、さらに好ましくは±0.3×105Paの範囲である。
【0049】
さらに、得られた窒化アルミニウム焼結体のうち、少なくとも薄膜を形成する表面部分に鏡面加工を施し、さらにこの鏡面加工を行った表面部分にエッチングを施して本発明の窒化アルミニウム基板1が作製される。なお、エッチングは希土類アルミニウム酸化物の面積率(M1/M2)が0.95以下、質量減少率が0.02〜0.5%の範囲となるように、硫酸溶液などに浸漬する時間や温度を調整して行うことが好ましい。
【0050】
本発明の薄膜基板3は、このような窒化アルミニウム基板1の鏡面加工およびエッチングを行った基板表面1aに薄膜2を形成することによって構成される。
【0051】
薄膜2は例えばスパッタ法、真空蒸着法、分子線エピタキシー(MBE)法、イオンプレーティング法、レーザデポジション法、イオンビームデポジション法などのPVD法により形成されるものである。また、場合によっては、熱CVD法、プラズマCVD法、光CVD法などのCVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長)法を適用することもできる。薄膜2は回路構造を有するものに限らず、ベタ膜であってもよい。また、ここで言う薄膜2とは、膜の総厚が3μm以下のものを示すものとする。
【0052】
上述したように、基板中心1bに対する基板表面1aの希土類アルミニウム酸化物の面積率(M1/M2)を0.95以下とした窒化アルミニウム基板1の基板表面1a上に薄膜2を形成することによって、その密着性並びに形成精度を大幅に高めることが可能となる。
【0053】
なお、本発明の窒化アルミニウム基板は薄膜を形成する面に所定の構成を有するものであればよく、薄膜を形成しない基板表面を必ずしも上述したような構成とする必要はない。
【0054】
このような薄膜(回路)2を有する薄膜基板3は、例えば光通信用ハイブリッドIC、移動体通信用ハイブリッドIC、レーザーダイオード用ハイブリッドIC、自動車用ハイブリッドICなどのマイクロ波集積回路に対して好適に用いられ、またVLD(Visible Laser Diode)用サブマウント基板などとしても有効である。
【0055】
【実施例】
以下、本発明について実施例を参照して詳細に説明する。
【0056】
(実施例1〜7、比較例1〜8)
平均粒径0.8μmのAlN粉末100重量部および平均粒径0.8μmのY2O3粉末3〜6重量部を用意した。
【0057】
まず、焼結助剤であるY2O3粉末のみを溶媒中にて60分間攪拌した後、これにAlN粉末および有機バインダを添加・混合してスラリを作製し、このスラリをドクターブレード法により板状に成形した。この成形体を600〜800℃で脱脂した後、純度99%以上の窒素ガス雰囲気下、焼成温度1700〜1900℃、焼成時間1〜8時間にて焼成することにより、厚さ0.8mmのAlN焼結体を作製した。なお、AlN焼結体の熱伝導率はいずれも160〜230W/m・K、AlN結晶粒の平均粒径は3〜5μm、結晶粒径分布の標準偏差は2μm以下とした。
【0058】
次に、該AlN焼結体の薄膜を形成する表面部分に対し、算術平均粗さが0.2μmとなるように鏡面加工を施した後、この鏡面加工が施された表面部分を20%希釈濃度の硫酸溶液に浸漬してエッチングを行うことにより表1に示すような希土類アルミニウム酸化物(Y−Al−O化合物)の分散状態および質量減少率を有するAlN基板を作製した。なお、比較例1については、エッチングを行わないものとした。
【0059】
【表1】
【0060】
(実施例8〜16、比較例3〜4)
次に、実施例1〜7および比較例2のAlN基板の基板表面に10−2Pa以下の真空中でTi薄膜を真空蒸着により形成し薄膜基板を作製した。なお、Ti薄膜は、エッチング処理を行ったものについては、エッチング処理を行った基板表面に形成した。また、各実施例についてはTi薄膜上にPtまたはPd薄膜を形成した後、Au薄膜を形成した。
【0061】
これらの金属薄膜を形成した薄膜基板について、薄膜の接合強度(ピール強度)および加熱後の膨れの有無を調べた。ピール強度の測定は、直径2.0mmのネイルピンをAg−Cu共晶ろう材を介して薄膜状に接合した後、速度10mm/minで該ネイルピンを引張ることにより行った。なお、膨れの有無の測定は薄膜基板をホットプレート上にて450℃×10分の条件でそれぞれ加熱し、これらの加熱処理後の薄膜の膨れの有無を調べた。結果を表2に示す。
【0062】
【表2】
【0063】
表2から明らかなように、基板表面の単位面積中に占める希土類アルミニウム酸化物の面積率M1と基板中心の単位面積中に占める希土類アルミニウム酸化物の面積率M2との比(M1/M2)を0.95以下、かつエッチングによる質量減少率を0.02〜0.5%の範囲内とした本発明の実施例においてはいずれも高い接合強度を有し、かつ膨れも発生しないことが認められた。
【0064】
(実施例17〜20および21〜24)
次に、希土類酸化物の種類および添加量を表3のように変えてAlN基板を作製した。さらに、このAlN基板に表4に記載したような金属薄膜を設けて接合強度の測定を行った。結果を表3、表4に示す。なお、AlN基板および薄膜基板の作製・評価は、実施例1および実施例8に準じた方法で行った。
【0065】
【表3】
【0066】
【表4】
表3および表4から分かるように、希土類酸化物を変えたとしても、本実施例にかかる薄膜基板は良好な結果が得られた。
【0067】
(実施例25〜33、比較例5〜11)
焼結助剤として表5に示されるような粉末を用意し、この焼結助剤粉末を有機溶媒(エタノール)中に投入して撹拌した。撹拌はボールミルを使用し、表に示すような撹拌時間(予備混合時間)で行った。
【0068】
一方、表5に示されるような平均粒子径、不純物酸素量を有するAlN粉末に、適量の有機バインダと溶媒などを加えて混合してスラリ状とした。このAlNスラリに、上記焼結助剤粉末の分散体を表5に示されるような配合量となるように添加した。これをさらにボールミルで24時間混合した。
【0069】
【表5】
【0070】
次に、上記した原料スラリーをドクターブレード法により板状に成形し、このAlN成形体を600〜800℃の温度で脱脂した。この脱脂後のAlN成形体を、焼成容器なしで、または密閉型あるいは開放型の焼成容器を使用して焼成した。なお、焼成容器を使用した焼成は、脱脂後の複数のAlN成形体を高純度AlN(純度99.9質量%以上)製の焼成容器中に配置し、さらに焼成容器をカーボン製円筒部材中に入れた状態で焼成炉内に配置することにより行った。
【0071】
焼成は1700〜1900℃×1〜8時間の条件で実施した。焼成雰囲気は純度99%以上の窒素ガスとし、焼成炉内の圧力は3×105〜7×105Paの範囲とした。その他、焼成容器の種類、焼成容器内の成形体の充填量、2重容器内の焼成容器の充填量、雰囲気調整の有無等の焼成条件については、表6に示すとおりとした。
【0072】
【表6】
【0073】
このようにして得たAlN焼結体の平均結晶粒径と結晶粒径分布を調べた。AlN結晶粒の粒径については、AlN焼結体の破断面の任意の3箇所で単位面積50×50μm内の結晶粒径を測定し、これらの平均値に基づいて平均粒径および粒径分布を求めた。なお、結晶粒径を測定する単位面積のうち、少なくとも1箇所は加工面に隣接するAlN結晶粒を含む箇所とすることが望ましい。さらに、AlN焼結体の熱伝導率を測定した。これらの測定結果を表7に示す。
【0074】
【表7】
【0075】
表7に示したように、実施例25〜33による各AlN焼結体は、いずれもAlN結晶粒の粒径が微細であると共に、粒径分布の標準偏差が小さいことが分かる。
【0076】
【発明の効果】
本発明の窒化アルミニウム基板では、少なくとも薄膜が形成される基板表面を大きなアンカー効果が期待できる表面性状とするとともに、該表面部分以外における希土類アルミニウム酸化物の分布を緻密なものとすることにより、窒化アルミニウム基板の高熱伝導率を維持しつつ、薄膜の密着性を向上させることができる。
【0077】
また、本発明の薄膜基板では、上記窒化アルミニウム基板に薄膜を形成することによって、薄膜の接合強度が向上されるとともに膨れの発生も抑制され、信頼性に優れたものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の窒化アルミニウム基板を用いた薄膜基板の一実施形態の概略構成を示す断面図である。
【図2】本発明の窒化アルミニウム基板の焼成工程における成形体の配置例を示す図である。
【図3】本発明の窒化アルミニウム基板の焼成工程に適用する二重容器の一構成例を一部切り欠いて示す斜視図である。
【符号の説明】
1…窒化アルミニウム基板、 2…薄膜、 3…薄膜基板
Claims (10)
- 希土類アルミニウム酸化物を含む窒化アルミニウム焼結体からなる基板において、前記基板の少なくとも一方の表面の単位面積中に占める前記希土類アルミニウム酸化物の面積率をM1、前記基板の厚さ方向の中心であって基板表面と平行な面の単位面積中に占める前記希土類アルミニウム酸化物の面積率をM2としたとき、M1/M2が0.75以上0.95以下、かつM1が7%以下であり、前記基板表面の算術平均粗さRaが0.2μm以下であることを特徴とする窒化アルミニウム基板。
- 前記M1/M2が0.80以上0.95以下、かつ前記M1が2%以上4%以下であることを特徴とする請求項1記載の窒化アルミニウム基板。
- 前記基板表面は、鏡面加工により算術平均粗さRaを0.2μm以下とした後、エッチング処理が施されたものであることを特徴とする請求項1または2記載の窒化アルミニウム基板。
- 前記基板に対するエッチング処理は、エッチングによる質量減少率が0.02〜0.5%の範囲となるように行われることを特徴とする請求項3記載の窒化アルミニウム基板。
- 前記希土類アルミニウム酸化物がイットリウムアルミニウム酸化物であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の窒化アルミニウム基板。
- 前記基板の窒化アルミニウム結晶粒の平均粒径が3μm以上5μm以下であり、かつ結晶粒径分布の標準偏差が2μm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の窒化アルミニウム基板。
- 前記基板の25℃での熱伝導率が160W/m・K以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の窒化アルミニウム基板。
- 請求項1乃至7のいずれか1項記載の前記窒化アルミニウム基板の前記基板表面に薄膜が形成されてなることを特徴とする薄膜基板。
- マイクロ波集積回路基板に使用されることを特徴とする請求項8記載の薄膜基板。
- VLD用サブマウントに使用されることを特徴とする請求項8記載の薄膜基板。
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