JP4267974B2 - 回路基板及びその製造法 - Google Patents

回路基板及びその製造法 Download PDF

Info

Publication number
JP4267974B2
JP4267974B2 JP2003195114A JP2003195114A JP4267974B2 JP 4267974 B2 JP4267974 B2 JP 4267974B2 JP 2003195114 A JP2003195114 A JP 2003195114A JP 2003195114 A JP2003195114 A JP 2003195114A JP 4267974 B2 JP4267974 B2 JP 4267974B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ions
circuit board
insulating resin
treatment step
photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003195114A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005032924A (ja
Inventor
秀明 田中
伸幸 泉水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Mektron KK
Original Assignee
Nippon Mektron KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2003195114A priority Critical patent/JP4267974B2/ja
Application filed by Nippon Mektron KK filed Critical Nippon Mektron KK
Priority to US10/554,660 priority patent/US20060249304A1/en
Priority to PCT/JP2004/009667 priority patent/WO2005006825A1/ja
Priority to EP04747136A priority patent/EP1646270A4/en
Priority to CNB2004800008169A priority patent/CN100459826C/zh
Priority to TW093120544A priority patent/TWI261488B/zh
Publication of JP2005032924A publication Critical patent/JP2005032924A/ja
Priority to US11/986,577 priority patent/US20080182025A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4267974B2 publication Critical patent/JP4267974B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017Etching of the substrate by chemical or physical means
    • H05K3/0023Etching of the substrate by chemical or physical means by exposure and development of a photosensitive insulating layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/26Cleaning or polishing of the conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/07Electric details
    • H05K2201/0753Insulation
    • H05K2201/0761Insulation resistance, e.g. of the surface of the PCB between the conductors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/07Electric details
    • H05K2201/0753Insulation
    • H05K2201/0769Anti metal-migration, e.g. avoiding tin whisker growth
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0779Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing characterised by the specific liquids involved
    • H05K2203/0786Using an aqueous solution, e.g. for cleaning or during drilling of holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0779Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing characterised by the specific liquids involved
    • H05K2203/0786Using an aqueous solution, e.g. for cleaning or during drilling of holes
    • H05K2203/0793Aqueous alkaline solution, e.g. for cleaning or etching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49126Assembling bases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板及びその製造法に関し、特には回路配線パターンの表面保護層の形成及び多層回路基板にあっては層間絶縁層の形成に特徴を有する回路基板及びその製造法に関する。
【0002】
【従来技術】
フレキシブル回路基板等の回路基板の実装パッド部は実装部品の小型化、及び、実装の高密度化により、近年急激な微細化が促進されてきており、これに伴って、従来より配線パターンの表面に形成する表面保護層として用いられるカバーフィルムを打ち抜き、貼着する方法では対応が困難になってきている。
【0003】
そのため近年では、上記カバーフィルムに代えて、感光性絶縁樹脂が採用されるようになってきた。この感光性樹脂は露光、現像、水洗、硬化処理を施すことにより、カバーフィルムの打ち抜き、貼着では達成が困難であった精細な開口形状と複雑な開口形状を有する表面保護層を形成することが可能となった。
【0004】
また、回路基板の形成方法においても、ビルドアップ型回路基板が多く用いられるようになり、層間絶縁層には感光性絶縁樹脂が採用されるようになってきた。
【0005】
その一方で回路基板の軽薄化に伴い、従来の硬い膜となるエポキシやアクリルを主としたフォトソルダーレジストでは材料特性のミスマッチに由来する基板の反りや、基板製造工程内におけるハンドリングでの割れが問題となる。これらの問題を回避するため、フォトソルダーレジストは、かさ高い分子構造をもち、柔軟な塗膜となるウレタンのようなポリマーを配合したものが開発されてきている。
【0006】
この感光性絶縁樹脂による表面保護層または層間絶縁層をもつ回路基板の製造工程は、所要の配線パターンを形成した絶縁材ベース材への感光性絶縁樹脂皮膜の塗工またはラミネート工程、露光工程、現像工程、UVキュアおよび熱硬化工程を経て絶縁膜を形成する。その後、絶縁膜を形成した回路基板の実装パッド部分へ、めっきなどの表面処理が施され製品となる。
【0007】
多くの場合、上記感光性絶縁樹脂はアルカリ型現像液を用いて現像を行ない、その後水洗されるが、その現像工程に用いる現像液は炭酸ナトリウムを主成分とする水溶液が用いられ、現像工程中で行う水洗工程には、従来、市水水洗と純水水洗とを適宜組み合わせて行なっている。
【0008】
しかし、従来の水洗工程では、現像工程における炭酸ナトリウムのNaイオンが絶縁樹脂被膜中に存在するカルボキシル基と結合した形となる。このNaは高温高湿下の通電試験において絶縁膜への吸水を促進し、かつ、これが電解質として働くため、絶縁膜の絶縁性が低下する。
【0009】
そのため、陽極側からイオン化した銅が陰極側へ泳動、析出することにより形成されるデンドライトによるショートが発生する。また、Naは高温高湿下において塗膜を形成する樹脂の分子鎖を加水分解し、膜質を劣化させるため、電気特性、機械物性が低下すると考えられる。
【0010】
この絶縁被膜中のNaイオンを除去するための従来技術としては、アルカリ現像後にCaイオンやMgイオンを含んだ水で回路基板を洗浄する方法があり、例えば特開2000-208904公報、特開2002-162739公報、特開2002-305368公報に開示されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、回路基板の製造において、絶縁樹脂被膜を形成した後にはめっきなどの表面処理が行なわれる。これらの工程中にはアルカリ処理を含むものもあり、現像液または現像後の水洗工程で添加したCaイオンやMgイオンの一部が再びナトリウムに置換されてしまう。特開2000-208904公報、特開2002-162739公報、特開2002-305368公報に開示されている方法のみでは、このような理由から上記のようなNaイオンに由来する問題が発生する。
【0012】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は回路配線パターンの表面保護層、多層回路基板にあっては層間絶縁層として感光性絶縁樹脂を用いる回路基板を製造する場合、熱硬化処理工程を終えた絶縁樹脂被膜を多価金属含有水でイオン置換することにより、表面保護層または層間絶縁層の耐環境性を向上させ、且つ柔軟性を付与した回路基板及びその製造法を提供するものである。
【0013】
本発明による回路基板を製造するには絶縁樹脂被膜の硬化処理、または回路基板の表面処理を実施した後に行なう置換水中にMgイオンまたはCaイオンより選ばれる少なくとも1種が0.1wt%〜10wt%、特に好ましくは0.5wt%〜5wt%含まれる事を特徴とする回路基板の製造法が採用される。
【0014】
この手法により、回路基板製造工程で感光性絶縁樹脂に浸入し、カルボキシル基と結合したNaイオンをMgイオンまたはCaイオンへと置換することで、感光性樹脂被膜の吸水および、樹脂の加水分解を抑制することにより耐環境性を有し且つ、柔軟な回路基板を安価に且つ安定的に供給できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を説明するため、回路基板を製造する場合に関して説明する。実施例においては、感光性絶縁樹脂として、ドライフィルム型レジストと同様の形態のフィルム状の感光性絶縁樹脂であって、ネガ型の紫外線硬化樹脂を用いた。
【0016】
先ず、常法に従って適当な絶縁ベース材面上に所要の配線パターンを形成した後、この配線パターンの表面に表面保護層を形成する工程に移行する。この表面保護層は、感光性絶縁樹脂によるラミネート工程、露光工程、現像工程、UVキュア工程、熱硬化工程を経て形成される。絶縁膜を形成した後、回路基板は必要に応じてめっきなどの表面処理が施され製品となる。
【0017】
本発明は、熱硬化後もしくは表面処理工程後にMgイオンまたはCaイオンを含む置換水を用いて回路基板を処理することでカルボキシル基と結合したNaイオンを除去し、MgイオンまたはCaイオンへと置換するものである。
また、本発明の熱硬化後もしくは表面処理工程後におこなうMgイオンまたはCaイオン置換は単独で用いても良いし、特開2000-208904公報、特開2002-162739公報、特開2002-305368公報に開示されているアルカリ現像後にCaイオンやMgイオンを含んだ水で回路基板を洗浄する方法と併用しても良い。
【0018】
ここで、置換水中のMgイオンまたはCaイオンの濃度を種々検討した結果、高温高湿下における絶縁性、絶縁樹脂被膜へ可撓性を付与し、且つ又、安価な回路基板を提供するための装置条件における本発明の効果が得られる範囲として、置換水中のMgイオンまたはCaイオンの濃度が0.1wt%〜10wt%、特に0.5wt%〜5wt%の範囲で効果的な作用を確認した。
【0019】
電解金めっき処理を行なった後の回路基板をMgイオンが1wt%含有する置換水で処理し、高温高湿下における耐環境性能を調査した結果では、温度85℃、相対湿度85%の環境で1000時間通電試験を経たものでも表面保護層としての絶縁膜において絶縁抵抗値の低下はなく、回路のショートは発生しなかった。
【0020】
また、電解金めっき処理を行なった後の回路基板をMgイオンが1wt%含有する置換水で処理した後、回路基板より絶縁樹脂被膜を単離し、破断伸びを測定した結果、MgまたはCaで置換しなかった場合に比較して伸びが向上し、可撓性が付与できていることを確認した。
【0021】
【発明の効果】
従来の現像液または現像後の水洗水にMgやCaを添加する方法では、熱硬化後に行なわれるめっきなどの表面処理工程でMgやCaが再びNaに置換されることがあるため、表面処理後も絶縁被膜中にNaイオンが多く存在するが、本発明の製造工程を採用することにより、熱硬化後または表面処理工程後にMgまたはCaを添加した水で処理することでNaを除去し、MgまたはCaに置換することができる。
【0022】
従って、本発明では絶縁樹脂被膜の吸水や加水分解による、耐環境性の低下という問題のみならず、樹脂の加水分解による絶縁樹脂被膜の脆さを改善できる。
【0023】
また、コスト高となるような特段の装置や手法を要することなく且つ、最も安定しコスト的にも最適な現像条件を維持しながら改善することができるので、安定的に且つ、安価に回路基板を提供することが可能である。

Claims (4)

  1. 回路配線パターンの表面保護層として感光性絶縁樹脂を用いる回路基板において、前記感光性絶縁樹脂の熱硬化処理工程以後に行われるNaイオンを含むアルカリ処理工程を経由することにより前記感光性絶縁樹脂に吸着されるNaイオンを、前記アルカリ処理工程を含む表面処理工程後にMgイオンまたはCaイオンより選ばれる少なくとも1種に置換してこの感光性絶縁樹脂を構成したことを特徴とする回路基板。
  2. 多層回路基板の回路配線導体層間の絶縁層として感光性絶縁樹脂を用いる回路基板において、前記感光性絶縁樹脂の熱硬化処理工程以後に行われるNaイオンを含むアルカリ処理工程を経由することにより前記感光性絶縁樹脂に吸着されるNaイオンを、前記アルカリ処理工程を含む表面処理工程後にMgイオンまたはCaイオンより選ばれる少なくとも1種に置換してこの感光性絶縁樹脂を構成したことを特徴とする回路基板。
  3. 回路配線パターンの表面保護層として感光性絶縁樹脂を用いる回路基板の製造法において、前記感光性絶縁樹脂の熱硬化処理工程以後に行われるNaイオンを含むアルカリ処理工程を経由することにより前記感光性絶縁樹脂に吸着されるNaイオンを、前記アルカリ処理工程を含む表面処理工程後にMgイオンまたはCaイオンより選ばれる少なくとも1種に置換することを特徴とする回路基板の製造法。
  4. 多層回路基板の回路配線導体層間の絶縁層として感光性絶縁樹脂を用いる回路基板の製造法において、前記感光性絶縁樹脂の熱硬化処理工程以後に行われるNaイオンを含むアルカリ処理工程を経由することにより前記感光性絶縁樹脂に吸着されるNaイオンを、前記アルカリ処理工程を含む表面処理工程後にMgイオンまたはCaイオンより選ばれる少なくとも1種に置換することを特徴とする回路基板の製造法。
JP2003195114A 2003-07-10 2003-07-10 回路基板及びその製造法 Expired - Fee Related JP4267974B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003195114A JP4267974B2 (ja) 2003-07-10 2003-07-10 回路基板及びその製造法
PCT/JP2004/009667 WO2005006825A1 (ja) 2003-07-10 2004-06-30 回路基板及びその製造方法
EP04747136A EP1646270A4 (en) 2003-07-10 2004-06-30 PCB AND PROCESS FOR THEIR MANUFACTURE
CNB2004800008169A CN100459826C (zh) 2003-07-10 2004-06-30 电路板及其制造方法
US10/554,660 US20060249304A1 (en) 2003-07-10 2004-06-30 Circuit board and process for producing the same
TW093120544A TWI261488B (en) 2003-07-10 2004-07-09 Circuit substrate and manufacturing method thereof
US11/986,577 US20080182025A1 (en) 2003-07-10 2007-11-21 Circuit board and manufacturing method of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003195114A JP4267974B2 (ja) 2003-07-10 2003-07-10 回路基板及びその製造法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005032924A JP2005032924A (ja) 2005-02-03
JP4267974B2 true JP4267974B2 (ja) 2009-05-27

Family

ID=34055710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003195114A Expired - Fee Related JP4267974B2 (ja) 2003-07-10 2003-07-10 回路基板及びその製造法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20060249304A1 (ja)
EP (1) EP1646270A4 (ja)
JP (1) JP4267974B2 (ja)
CN (1) CN100459826C (ja)
TW (1) TWI261488B (ja)
WO (1) WO2005006825A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8938135B2 (en) * 2007-09-19 2015-01-20 Hitachi Chemical Company, Ltd. Method for manufacturing optical waveguide and optical waveguide manufactured by the method
JP5433959B2 (ja) * 2007-09-19 2014-03-05 日立化成株式会社 光導波路の製造方法及び該製造方法により得られた光導波路
AT11005U1 (de) * 2008-09-24 2010-02-15 Austria Tech & System Tech Verfahren zum verbessern der korrosionsbeständigkeit einer elektronischen komponente, insbesondere von leiterbahnen einer leiterplatte

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04221883A (ja) * 1990-12-25 1992-08-12 Fujitsu Ltd プリント基板の製造方法
JPH06295060A (ja) * 1992-10-29 1994-10-21 Ajinomoto Co Inc 感光性樹脂組成物又は感光性熱硬化性樹脂組成物及びそれらを使用したフォトソルダ−レジスト組成物
JPH09311458A (ja) * 1996-05-24 1997-12-02 Kansai Paint Co Ltd レジストパターンの形成方法及びプリント基板の製造方法
JP3254572B2 (ja) * 1996-06-28 2002-02-12 バンティコ株式会社 光重合性熱硬化性樹脂組成物
JPH1041633A (ja) * 1996-07-25 1998-02-13 Hitachi Ltd 多層配線板とそれに用いる感光性樹脂組成物
US6190834B1 (en) * 1997-05-15 2001-02-20 Hitachi, Ltd. Photosensitive resin composition, and multilayer printed circuit board using the same
JP4075005B2 (ja) * 1999-01-19 2008-04-16 イビデン株式会社 レジスト被膜の製造方法及び水洗用液
US6447969B1 (en) * 1999-06-02 2002-09-10 Canon Kabushiki Kaisha Toner and image forming method
AU2001284499A1 (en) * 2000-09-11 2002-03-26 Showa Denko K K Photosensitive composition, cured article thereof, and printed circuit board using the same
JP2002162739A (ja) * 2000-11-27 2002-06-07 Hitachi Chem Co Ltd 永久マスクレジスト、永久マスクレジストの製造法及び永久マスクレジスト積層基板
JP2002305368A (ja) * 2001-04-05 2002-10-18 Nippon Mektron Ltd 回路基板の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20060249304A1 (en) 2006-11-09
US20080182025A1 (en) 2008-07-31
TW200507717A (en) 2005-02-16
JP2005032924A (ja) 2005-02-03
TWI261488B (en) 2006-09-01
CN100459826C (zh) 2009-02-04
CN1701648A (zh) 2005-11-23
EP1646270A1 (en) 2006-04-12
EP1646270A4 (en) 2009-07-15
WO2005006825A1 (ja) 2005-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI541835B (zh) 配線電路基板之製造方法
CN102300417B (zh) 电子元件埋入式电路板及其制造方法
KR101167464B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
JP4267974B2 (ja) 回路基板及びその製造法
JPH1065315A (ja) フレキシブルプリント回路の製造方法および該方法により得られたフレキシブルプリント回路
CN103898498A (zh) 黑化药水及透明印刷电路板的制作方法
US9860977B1 (en) Transparent flexible printed circuit board and method for manufacturing the same
JP5647967B2 (ja) プリント配線基板の製造方法、プリント配線基板
KR101555014B1 (ko) 미세배선용 인쇄회로기판 및 이의 제조방법
JP2010021302A (ja) プリント配線板
JP2002305368A (ja) 回路基板の製造方法
CN110876239B (zh) 电路板及其制作方法
JP5311070B2 (ja) 金属化ポリイミドフィルム、およびその評価方法
JP5223241B2 (ja) 回路基板の製造方法
KR101138537B1 (ko) 캐리어 포일을 이용한 utc 레이저 마스크 오픈 방법 및 이를 이용하여 제조한 인쇄회로기판
JP2009272468A (ja) 樹脂回路基板の製造方法
JP2005072276A (ja) プリント配線板およびその製造方法
US20180317325A1 (en) Circuit board and method for manufacturing the same
JP7439384B2 (ja) 配線基板
TW201130404A (en) Method for manufacturing printed circuit board
JP2009295872A (ja) プリント配線板の製造方法、及びプリント配線板
JP2009267001A (ja) 配線基板の製造方法
JP4961749B2 (ja) 半導体実装基板の製造方法
JP2005072275A (ja) プリント配線板およびその製造方法
JP2013182971A (ja) プリント配線板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050405

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071120

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080110

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080723

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080820

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090203

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090219

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4267974

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140227

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees