JP5433959B2 - 光導波路の製造方法及び該製造方法により得られた光導波路 - Google Patents
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Description
(1)基材上に、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成する工程、所望のパターンを露光する工程、アルカリ性現像液を用いて現像する工程及び酸性水溶液を用いて洗浄する工程を有する光導波路の製造方法、
(2)前記酸性水溶液が、硫酸を含む水溶液である上記(1)記載の光導波路の製造方法、
(3)前記酸性水溶液のpHが、0超〜5である上記(1)又は(2)記載の光導波路の製造方法、
(4)前記アルカリ性現像液が、アルカリ性水溶液である上記(1)〜(3)のいずれかに記載の光導波路の製造方法、
(5)前記アルカリ性現像液が、アルカリ性水溶液と1種類以上の有機溶剤からなるアルカリ性準水系現像液である上記(1)〜(3)のいずれかに記載の光導波路の製造方法、
(6)前記感光性樹脂層が、感光性樹脂組成物を塗布することにより形成したものである上記(1)〜(5)のいずれかに記載の光導波路の製造方法、
(7)前記感光性樹脂層が、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂フィルムを積層して形成したものである上記(1)〜(5)のいずれかに記載の光導波路の製造方法、
(8)前記感光性樹脂組成物が、カルボキシル基及びフェノール性ヒドロキシル基のうち少なくとも1種を有する化合物を含む樹脂組成物である上記(1)〜(7)のいずれかに記載の光導波路の製造方法、
(9)前記感光性樹脂組成物が、(A)カルボキシル基含有アルカリ可溶性ポリマー、(B)重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含む樹脂組成物である上記(1)〜(8)のいずれかに記載の光導波路の製造方法、
(10)(A)カルボキシル基含有アルカリ可溶性ポリマーが、カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーである上記(9)に記載の光導波路の製造方法、
(11)上記(1)〜(10)のいずれかに記載の製造方法により得られた光導波路、
(12)光伝搬損失が、0.3dB/cm以下である上記(11)記載の光導波路、
(13)温度85℃及び湿度85%の高温高湿放置試験を1000時間実施後の光伝搬損失が、0.3dB/cm以下である上記(11)又は(12)記載の光導波路、
(14)温度−55℃と125℃の間の温度サイクル試験を1000サイクル実施後の光伝搬損失が、0.3dB/cm以下である上記(11)〜(13)のいずれかに記載の光導波路、及び
(15)最高温度265℃のリフロー試験を3回実施後の光伝搬損失が、0.3dB/cm以下である上記(11)〜(14)のいずれかに記載の光導波路、
を提供するものである。
本発明の光導波路の製造方法は、基材上に感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成する工程、所望のパターンを露光する工程、アルカリ性現像液を用いて現像する工程、及び酸性水溶液を用いて洗浄する工程を有することを特徴とする。
生産性に優れた光導波路製造プロセスが提供可能という観点から、上述のような光導波路形成用感光性樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法が好ましい。
以上の観点から、ラミネート温度は40〜100℃であることがさらに好ましい。ラミネートに際しての圧力は0.2〜0.9MPaであることが好ましく、ラミネート速度は0.1〜3m/minであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
下部クラッド層を形成する際の活性光線の照射量は、0.1〜5J/cm2とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
さらに、加熱をしながら活性光線を照射してもよい。
なお、光硬化後の処理として、必要に応じて、50〜200℃の加熱処理を行ってもよい。
また、露光後に、コアパターンの解像度及び密着性向上の観点から、必要に応じて露光後加熱を行ってもよい。紫外線照射から露光後加熱までの時間は、10分以内であることが好ましい。10分以内であれば紫外線照射により発生した活性種が失活することがない。露光後加熱の温度は40〜160℃であることが好ましく、時間は30秒〜10分であることが好ましい。
アルカリ性現像液としては、特に制限はないが、例えば、アルカリ性水溶液、アルカリ性水溶液と1種類以上の有機溶剤からなるアルカリ性準水系現像液などが挙げられる。
また、現像に用いるアルカリ性水溶液のpHは9〜14であることが好ましく、10〜13であることがさらに好ましい。現像に用いるアルカリ性水溶液の温度は光導波路形成用感光性樹脂層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤等を混入させてもよい。
また、アルカリ性準水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤等を少量混入させてもよい。
洗浄後の処理として、必要に応じて60〜250℃程度の加熱又は0.1〜1000mJ/cm2程度の露光を行うことによりパターンをさらに硬化してもよい。
上部クラッド層を形成する際の活性光線の照射量は、0.1〜30J/cm2とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
上部クラッド層を形成後、必要であれば支持フィルムを除去して、光導波路を形成することができる。
感光性樹脂組成物は、所望のパターンを露光後にアルカリ性現像液を用いて現像する観点から、カルボキシル基及びフェノール性ヒドロキシル基のうち少なくとも1種を有する化合物を含む樹脂組成物であることが好ましい。
(A)成分のカルボキシル基含有アルカリ可溶性ポリマーとして、特に制限はないが、例えば、下記(1)〜(6)で表されるポリマーなどが挙げられる。
(1)分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物と、それ以外のエチレン性不飽和基を有する化合物を共重合して得られるカルボキシル基含有アルカリ可溶性ポリマー。
以上の観点から、(A)成分の重量平均分子量は3,000〜2,000,000とすることがさらに好ましく、5,000〜1,000,000であることが特に好ましい。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレン換算した値である。
なお、耐現像液性とは、現像により除去されずにパターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質をいう。
(B)成分の重合性化合物として、特に制限はなく、例えば、エチレン性不飽和基などの重合性置換基を有する化合物や分子内に2つ以上のエポキシ基を有する化合物などが好適に挙げられる。
これらの中でも、透明性及び耐熱性の観点から、上記脂環式(メタ)アクリレート;上記複素環式(メタ)アクリレート;これらのエトキシ化体;これらのプロポキシ化体;これらのエトキシ化プロポキシ化体;これらのカプロラクトン変性体であることが好ましい。
これらの中でも、透明性及び耐熱性の観点から、上記脂環式(メタ)アクリレート;上記芳香族(メタ)アクリレート;上記複素環式(メタ)アクリレート;これらのエトキシ化体;これらのプロポキシ化体;これらのエトキシ化プロポキシ化体;これらのカプロラクトン変性体;上記脂環式エポキシ(メタ)アクリレート;上記芳香族エポキシ(メタ)アクリレートであることが好ましい。
これらの中でも、透明性及び耐熱性の観点から、上記複素環式(メタ)アクリレート;これらのエトキシ化体;これらのプロポキシ化体;これらのエトキシ化プロポキシ化体;これらのカプロラクトン変性体;上記芳香族エポキシ(メタ)アクリレートであることが好ましい。
これらの中でも、透明性及び耐熱性の観点から、上記2官能フェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記水添2官能フェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記3官能以上の多官能フェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記2官能脂環式アルコールグリシジルエーテルフェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記2官能芳香族グリシジルエステルフェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記2官能脂環式グリシジルエステルフェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記2官能脂環式エポキシ樹脂;上記多官能脂環式エポキシ樹脂;上記多官能複素環式エポキシ樹脂;上記2官能又は多官能ケイ素含有エポキシ樹脂であることが好ましい。
以上の化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができ、さらにその他の重合性化合物と組み合わせて使用することもできる。
(C)成分の光重合開始剤として、紫外線などの活性光線の照射によって重合を開始させるものであれば特に制限はなく、例えば、(B)成分の重合性化合物としてエチレン性不飽和基を有する化合物を用いる場合、光ラジカル重合開始剤などが挙げられる。
また、前記2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体において、2つのトリアリールイミダゾール部位のアリール基の置換基は、同一で対称な化合物を与えてもよく、相違して非対称な化合物を与えてもよい。
これらの中で、硬化性、透明性、及び耐熱性の観点から、上記α−ヒドロキシケトン;上記グリオキシエステル;上記オキシムエステル;上記ホスフィンオキシドであることが好ましい。
以上の光ラジカル重合開始剤は、単独で又は2種類以上組み合わせて用いることができる。さらに、適切な増感剤と組み合わせて用いることもできる。
本発明に用いられる光導波路形成用感光性樹脂組成物は、好適な有機溶剤を用いて希釈し、光導波路形成用感光性樹脂ワニスとして使用してもよい。ここで用いる有機溶剤として、該樹脂組成物を溶解しえるものであれば特に制限はなく、例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、p−シメン等の芳香族炭化水素;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等の環状エーテル;メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル;エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミドなどが挙げられる。
これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
また、樹脂ワニス中の固形分濃度は、通常20〜80質量%であることが好ましい。
本発明に用いられる光導波路形成用感光性樹脂フィルムは、前記光導波路形成用感光性樹脂組成物からなり、前記(A)〜(C)成分を含有する光導波路形成用感光性樹脂ワニスを好適な支持フィルムに塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造することができる。また光導波路形成用感光性樹脂組成物を直接支持フィルムに塗布して製造してもよい。
なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物などにより離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
本発明の製造方法により形成した光導波路において、光伝搬損失は0.3dB/cm以下であることが好ましい。0.3dB/cm以下であれば、光の損失が小さくなり、伝送信号の強度が十分である。以上の観点から0.2dB/cm以下であることがさらに好ましい。
製造例1
[カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーP−1の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート97質量部及び乳酸メチル24質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。
P−1の酸価を測定した結果、60mgKOH/gであった。なお、酸価はP−1溶液を中和するのに要した0.1mol/L水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。
P−1の重量平均分子量(標準ポリスチレン換算)をGPC(東ソー株式会社製、商品名SD−8022/DP−8020/RI−8020)を用いて測定した結果、31,000であった。なお、カラムは日立化成工業株式会社製、商品名Gelpack GL−A150−S/GL−A160−Sを使用した。
[カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーP−2の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート97質量部及び乳酸メチル24質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。
製造例1と同様な方法で、P−2の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ96mgKOH/g及び29,000であった。
[カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーP−3の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、上記P−2溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、ジブチルスズジラウリレート0.04質量部、p−メトキシフェノール0.1質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート21質量部を秤量し、空気を導入しながら撹拌を行った。
製造例1と同様な方法で、P−3の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ58mgKOH/g及び30,000であった。
[カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーP−4の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート60質量部及び乳酸メチル60質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。
製造例1と同様な方法で、P−4の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ80mgKOH/g及び31,000であった。
[カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーP−5の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート94質量部及び乳酸メチル40質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。
製造例1と同様な方法で、P−5の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ56mgKOH/g及び47,000であった。
[コア部形成用感光性樹脂ワニスCOV−1の調合]
(A)カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーとして、前記P−1溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、(B)重合性化合物として、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−BPE−10)20質量部、p−クミルフェノキシエチルアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−CMP−1E)20質量部及び(C)重合開始剤として、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア2959)1質量部、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア819)1質量部を広口ポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度25℃、回転数400rpmの条件で、6時間撹拌して、コア部形成用感光性樹脂ワニスを調合した。
前記コア部形成用感光性樹脂ワニスCOV−1を、ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A1517、厚み16μm)の非処理面上に塗工機(株式会社ヒラノテクシード製マルチコーターTM−MC)を用いて塗布し、100℃で20分乾燥し、次いで保護フィルムとして離型ポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名A31、厚み25μm)を貼付け、コア部形成用感光性樹脂フィルムCOF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、50μmとなるように調節した。
(A)カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーとして、前記P−1溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、(B)重合性化合物として、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−9300)20質量部、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−CHD−4E)20質量部及び(C)重合開始剤として、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア2959)1質量部、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア819)1質量部を広口ポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度25℃、回転数400min-1の条件で、6時間撹拌して、クラッド層形成用感光性樹脂ワニスを調合した。
前記クラッド層形成用感光性樹脂ワニスCLV−1を、ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A1517、厚み16μm)の非処理面上に塗工機(株式会社ヒラノテクシード製、商品名マルチコーターTM−MC)を用いて塗布し、100℃で20分乾燥し、次いで保護フィルムとして離型ポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名A31、厚み25μm)を貼付け、クラッド層形成用感光性樹脂フィルムCLF−1を得た。
ロールラミネータ(日立化成テクノプラント株式会社製、商品名HLM−1500)を用いて、保護フィルム(A31)を除去した下部クラッド層形成用感光性樹脂フィルムCLF−1を、FR−4基板(日立化成工業株式会社製、商品名E−679FB)上に、圧力0.4MPa、温度80℃、速度0.4m/minの条件で積層した。さらに、真空加圧式ラミネータ(株式会社名機製作所製、商品名MVLP−500/600)を用いて、圧力0.5MPa、温度80℃及び加圧時間30秒の条件で圧着した。
表1に示す配合比に従ってコア部形成用感光性樹脂ワニスCOV−2〜4を調合した。また、表2に示す配合比に従ってクラッド層形成用感光性樹脂ワニスCLV−2〜4を調合した。実施例1と同様な方法で、コア部形成用感光性樹脂フィルムCOF−2〜4及びクラッド層形成用感光性樹脂フィルムCLF−2〜4を作製した。
なお、比較例1〜4では、現像後の酸洗浄を行わずに光導波路を作製した。
*2:製造例2で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*3:製造例3で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*4:製造例4で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*5:エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*6:エトキシ化フルオレン型ジアクリレート(大阪ガスケミカル株式会社製)
*8:2−ヒドロキシ−3−(o−フェニルフェノキシ)プロピルアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*9:1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*10:ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*11:製造例5で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*12:エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*13:水添ビスフェノールA型エポキシアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*14:エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*9:1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*10:ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
実施例1〜8及び比較例1〜4で得られた光導波路(導波路長10cm)の光伝搬損失を、光源に波長850nmの光を中心波長とするVCSEL(EXFO社製、商品名FLS−300−01−VCL)、受光センサ(株式会社アドバンテスト製、商品名Q82214)、入射ファイバ(GI−50/125マルチモードファイバ、NA=0.20)及び出射ファイバ(SI−114/125、NA=0.22)を用いて、カットバック法(測定導波路長10、5、3、2cm)により測定し、以下の基準で評価した。
○:0.3dB/cm以下
×:0.3dB/cmより大きい
実施例1〜8及び比較例1〜4で得られた(導波路長10cm)を、高温高湿試験機(エスペック株式会社製、商品名PL−2KT)を用いて、JPCA規格(JPCA−PE02−05−01S)に準じた条件で温度85℃、湿度85%の高温高湿放置試験を1000時間実施した。
高温高湿試験実施後の光導波路の光伝搬損失を、前記と同様の光源、受光素子、入射ファイバ及び出射ファイバを用いて測定し、以下の基準で評価した。
○:0.3dB/cm以下
×:0.3dB/cmより大きい
実施例1〜8及び比較例1〜4で得られた(導波路長10cm)を、温度サイクル試験機(楠本化成株式会社製、商品名ETAC WINTECH NT1010)を用いて、JPCA規格(JPCA−PE02−05−01S)に準じた条件で温度−55℃と125℃の間の温度サイクル試験を1000サイクル実施した。詳細な温度サイクル試験条件を表4に示す。
○:0.3dB/cm以下
×:0.3dB/cmより大きい
実施例1〜8及び比較例1〜4で得られた(導波路長10cm)を、リフロー試験機(古河電気工業株式会社製、商品名サラマンダXNA−645PC)を用いて、IPC/JEDEC J−STD−020Bに準じた条件で最高温度265℃のリフロー試験を3回実施した。詳細なリフロー条件を表5、リフロー炉内の温度プロファイルを図1に示す。
○:0.3dB/cm以下
×:0.3dB/cmより大きい
以上の光伝搬損失の測定結果を表6に示す。
Claims (8)
- 基材上に、(A)カルボキシル基含有アルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマー、(B)重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成する工程、所望のパターンを露光する工程、アルカリ性現像液を用いて現像する工程及び酸性水溶液を用いて洗浄する工程を有する光導波路の製造方法。
- 前記酸性水溶液が、硫酸を含む水溶液である請求項1記載の光導波路の製造方法。
- 前記酸性水溶液のpHが、0超〜5である請求項1又は2記載の光導波路の製造方法。
- 前記アルカリ性現像液が、アルカリ性水溶液である請求項1〜3のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
- 前記アルカリ性現像液が、アルカリ性水溶液と1種類以上の有機溶剤からなるアルカリ性準水系現像液である請求項1〜3のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
- 前記感光性樹脂層が、感光性樹脂組成物を塗布することにより形成したものである請求項1〜5のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
- 前記感光性樹脂層が、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂フィルムを積層して形成したものである請求項1〜5のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
- 前記感光性樹脂組成物が、カルボキシル基及びフェノール性ヒドロキシル基のうち少なくとも1種を有する化合物を含む樹脂組成物である請求項1〜7のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008060094A JP5433959B2 (ja) | 2007-09-19 | 2008-03-10 | 光導波路の製造方法及び該製造方法により得られた光導波路 |
US12/678,547 US8938135B2 (en) | 2007-09-19 | 2008-09-18 | Method for manufacturing optical waveguide and optical waveguide manufactured by the method |
EP08832369A EP2189826A4 (en) | 2007-09-19 | 2008-09-18 | METHOD FOR MANUFACTURING A LIGHT WAVEGUIDE AND LIGHT WAVE LADDER MADE IN THIS METHOD |
CN200880107301.7A CN101802667B (zh) | 2007-09-19 | 2008-09-18 | 光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导 |
PCT/JP2008/066824 WO2009038114A1 (ja) | 2007-09-19 | 2008-09-18 | 光導波路の製造方法及び該製造方法により得られた光導波路 |
KR1020107004011A KR101533470B1 (ko) | 2007-09-19 | 2008-09-18 | 광도파로의 제조방법 및 그 제조방법에 의해 얻어진 광도파로 |
TW103108387A TWI502233B (zh) | 2007-09-19 | 2008-09-19 | 光導波管的製造方法以及利用該方法得到的光導波管 |
TW097136072A TW200921166A (en) | 2007-09-19 | 2008-09-19 | Method of manufacturing optical waveguide and optical waveguide obtained by using the method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007242218 | 2007-09-19 | ||
JP2007242218 | 2007-09-19 | ||
JP2008060094A JP5433959B2 (ja) | 2007-09-19 | 2008-03-10 | 光導波路の製造方法及び該製造方法により得られた光導波路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009093139A JP2009093139A (ja) | 2009-04-30 |
JP5433959B2 true JP5433959B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=40665154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008060094A Expired - Fee Related JP5433959B2 (ja) | 2007-09-19 | 2008-03-10 | 光導波路の製造方法及び該製造方法により得られた光導波路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5433959B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5771978B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2015-09-02 | 日立化成株式会社 | 光導波路形成用樹脂組成物及びこれを用いた光導波路形成用樹脂フィルム、並びにこれらを用いた光導波路 |
JP2014191052A (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 光導波路の製造方法及び光導波路 |
CN103709821B (zh) * | 2013-12-17 | 2015-09-02 | 华南理工大学 | 一种铜锌锡硫/硒墨水及其制备方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0736196A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | パターン形成方法 |
JPH09311458A (ja) * | 1996-05-24 | 1997-12-02 | Kansai Paint Co Ltd | レジストパターンの形成方法及びプリント基板の製造方法 |
JP2002162739A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 永久マスクレジスト、永久マスクレジストの製造法及び永久マスクレジスト積層基板 |
JP4267974B2 (ja) * | 2003-07-10 | 2009-05-27 | 日本メクトロン株式会社 | 回路基板及びその製造法 |
JP2006030919A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-02 | Kansai Paint Co Ltd | 光導波路の作成方法 |
JP2006039154A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Jsr Corp | 感光性樹脂組成物、光導波路およびその製造方法 |
-
2008
- 2008-03-10 JP JP2008060094A patent/JP5433959B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009093139A (ja) | 2009-04-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130827 |
|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |