JP4256237B2 - 電子部品検査用の異方導電性フィルムおよびそれを用いた電子部品の検査方法 - Google Patents
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Description
(1)フェノール樹脂で架橋されたナフタレン骨格エポキシ樹脂と、アクリルゴムとを含むフィルム基板中に、導電性材料からなる複数の導通路が、互いに絶縁された状態で、かつ該フィルム基板を厚み方向に貫通した状態で配置され、各導通路は上記フィルム基板の表裏面に両端部が露出した構造を有する、電子部品検査用の異方導電性フィルム。
(2)上記異方導電性フィルムの構造全体の弾性率が20℃〜150℃において1MPa〜100MPaであり、当該異方導電性フィルムの厚みが30μm〜500μmである、上記(1)記載の異方導電性フィルム。
(3)上記導通路の両端がフィルム基板の表裏面から突出しており、上記導通路のうちフィルム基板を貫通する部分は、直径5μm〜30μmの金属導線からなり、上記導通路のフィルム基板からの突出部分は、フィルム基板外に延長している上記金属導線自体からなるか、あるいは、上記金属導線の端部にめっきにより形成された金属凸部からなる、上記(1)または(2)記載の異方導電性フィルム。
(4)上記(1)〜(3)のいずれかに記載の異方導電性フィルムを、少なくとも1つの電極を備える電子部品と回路基板との間に、上記電子部品の電極と異方導電性フィルムの導通路とが接触するように配置して、電子部品の1つの電極あたり50g/mm2〜5000g/mm2の接触荷重で、異方導電性フィルムと電子部品とを押し付ける方向に荷重をかけながら、電子部品に通電する、電子部品の検査方法。
(5)上記荷重をかけることにより、異方導電性フィルムが圧縮されて、当該フィルムの厚みが5μm〜150μm減少する、上記(4)記載の検査方法。
・測定装置 ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社製 粘弾性測定装置RSA−II、
・試験片 100μm×5mm×22.5mm、
・測定条件 試験片の面拡張方向のうちの一方向に対し、周波数10Hz、温度20℃、150℃での物性を引張りモードで測定する。
・アクリルゴムの配合量を少なくする。
・ナフタレン骨格エポキシ樹脂に占めるナフタレン骨格の割合の小さい材料を使用する。
・一分子中に複数の官能基を有するエポキシ樹脂やフェノール樹脂を使用する。
異方導電性フィルムの弾性率を低下させるには、上記とは逆の方法を講じればよい。
(1)芯材に上述のナフタレン骨格エポキシ樹脂、フェノール樹脂またはアクリルゴムのいずれかを主体成分とするフィルムを巻く工程、
(2)その上に直径5〜30μmの金属導線を一定間隔を保つようにして巻く工程、
(3)さらにその上に、フィルム、金属導線、フィルム、金属導線、・・・と繰り返し巻く工程、
(4)前記(3)の工程で得られたコイルを加熱および/または加圧して、巻きつけられたフィルムどうしを融着および/または圧着させて一体化し、コイルブロックを形成する工程、
(5)前記(4)の工程で得られたコイルブロックを、巻きつけた絶縁導線と角度をなして交差する平面を断面として所定のフィルム厚みに切断する工程、
(6)前記(5)で得られたフィルム状物の絶縁性樹脂の部分をエッチングし、金属導線をフィルム基板面から突出させる工程、
(7)上記(5)あるいは(6)で得られたフィルム状物のフィルム基板面に露出している金属導線の端面にさらに金属を堆積させて、フィルム基板面から突起させる工程。
検査中の異方導電性フィルムの変位量(厚みの減少量)は、微小圧縮試験機(島津製作所製、MCT−W)で、直接的に計測できる。
(実施例1)
下記の樹脂の混合物を用いた。
ナフタレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量270) ・・・100(重量部)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(水酸基当量174)・・65(重量部)
アクリルゴム(エポキシモノマー共重合架橋タイプ) ・・・170(重量部)
(比較例1)
ポリエーテル型ポリウレタンゴム(日清紡(株) MF−50T−MX)
(比較例2)
シリコーンゴム(シロキサンを主成分とするコンパウンドに加硫剤を添加した市販品)
・フィルム基板厚み: 200μm
・フィルム基板の表裏各面からの導通路の突出長さ:20μm
・導通路の両端部に施した金メッキの厚さ: 0.2μm
・異方導電性フィルムの全体の厚み: 240μm
・導通路の直径: 25μm
・隣りあう導通路の中心軸間距離(ピッチ): 100μm
・チップサイズ: 10mm×10mm(厚さ:500μm)
・電極のタイプ: Auスタッドバンプ
・電極のバンプ径: 70μm
・バンプ高さ: 70μm
・電極数: 156個
・電極の中心間ピッチ:200μm
・ガラスエポキシ基板: FR−4
・回路パターンの厚みを含む厚み: 1mm
・回路パターンの回路幅と間隙部分の幅との比:100μm/100μm
「コンタクト性」は、圧縮試験機を用いて導通が確認できた場合に「OK」とし、さもなくば「NG」とした。
「回路基板との接着」は、検査後、異方導電性フィルムの取り外しがスムーズに行えない場合、または取り外せても基板上にフィルムの断片等の付着物がある場合に「あり」とし、さもなくば「なし」とした。
比較例2(シリコーンゴム使用)は、シリコーンの低分子量成分が検査対象物に付着してしまう(転写してしまう)ので、検査用の異方導電性フィルムとしては劣っている。
これらに対し、実施例の異方導電性フィルムは、耐熱性が高く、高温下での融着もなく、低分子量成分による検査対象物の汚染もないので、広範な温度領域で使用可能な優れた異方導電性フィルムである。
10 フィルム基板
11 導通路
2 電子部品
3 回路基板
F 接触荷重
Claims (5)
- ナフタレン骨格エポキシ樹脂100重量部に対してフェノール樹脂を50〜70重量部加えてなる、フェノール樹脂で架橋されたナフタレン骨格エポキシ樹脂と、前記ナフタレン骨格エポキシ樹脂100重量部に対して70〜250重量部のアクリルゴムとを含むフィルム基板中に、導電性材料からなる複数の導通路が、互いに絶縁された状態で、かつ該フィルム基板を厚み方向に貫通した状態で配置され、各導通路は上記フィルム基板の表裏面に両端部が露出した構造を有する、20℃〜150℃の温度下で行なう電子部品検査用の異方導電性フィルム。
- 上記異方導電性フィルムの構造全体の弾性率が20℃〜150℃において1MPa〜100MPaであり、当該異方導電性フィルムの厚みが30μm〜500μmである、請求項1記載の異方導電性フィルム。
- 上記導通路の両端がフィルム基板の表裏面から突出しており、
上記導通路のうちフィルム基板を貫通する部分は、直径5μm〜30μmの金属導線からなり、
上記導通路のフィルム基板からの突出部分は、フィルム基板外に延長している上記金属導線自体からなるか、あるいは、上記金属導線の端部にめっきにより形成された金属凸部からなる、
請求項1または2記載の異方導電性フィルム。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の異方導電性フィルムを、少なくとも1つの電極を備える電子部品と回路基板との間に、上記電子部品の電極と異方導電性フィルムの導通路とが接触するように配置して、
20℃〜150℃の温度下で、電子部品の1つの電極あたり50g/mm2〜5000g/mm2の接触荷重で、異方導電性フィルムと電子部品とを押し付ける方向に荷重をかけながら、電子部品に通電する、電子部品の検査方法。 - 上記荷重をかけることにより、異方導電性フィルムが圧縮されて、当該フィルムの厚みが5μm〜150μm減少する、請求項4記載の検査方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003326810A JP4256237B2 (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 電子部品検査用の異方導電性フィルムおよびそれを用いた電子部品の検査方法 |
AT04021330T ATE419661T1 (de) | 2003-09-09 | 2004-09-08 | Anisotrop-leitender film , herstellungs- und gebrauchsverfahren |
DE602004018720T DE602004018720D1 (de) | 2003-09-09 | 2004-09-08 | Anisotrop-leitender Film , Herstellungs- und Gebrauchsverfahren |
EP04021330A EP1515399B1 (en) | 2003-09-09 | 2004-09-08 | Anisotropic conductive film, production method thereof and method of use thereof |
US10/936,946 US7156669B2 (en) | 2003-09-09 | 2004-09-09 | Anisotropic conductive film |
SG200405710A SG110194A1 (en) | 2003-09-09 | 2004-09-09 | Anisotropic conductive film, production method thereof and method of use thereof |
TW093127253A TW200515644A (en) | 2003-09-09 | 2004-09-09 | Anisotropic conductive film, production method thereof and method of use thereof |
KR1020040072303A KR20050026683A (ko) | 2003-09-09 | 2004-09-09 | 이방성 도전막, 그 제조 방법 및 그 사용 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003326810A JP4256237B2 (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 電子部品検査用の異方導電性フィルムおよびそれを用いた電子部品の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005093298A JP2005093298A (ja) | 2005-04-07 |
JP4256237B2 true JP4256237B2 (ja) | 2009-04-22 |
Family
ID=34456882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003326810A Expired - Fee Related JP4256237B2 (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-18 | 電子部品検査用の異方導電性フィルムおよびそれを用いた電子部品の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4256237B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011029501A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Akira Technology Co Ltd | 導電コロイド構造の改良方法およびその完成品 |
CN102981094B (zh) * | 2012-11-23 | 2016-04-13 | 深圳莱宝高科技股份有限公司 | 一种面板测试装置 |
JP2018067483A (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | ヤマハ株式会社 | 異方導電性シート、電気検査ヘッド、電気検査装置及び異方導電性シートの製造方法 |
JP6454811B1 (ja) * | 2018-03-02 | 2019-01-16 | 東京特殊電線株式会社 | 異方性導電シート |
JP7296716B2 (ja) * | 2018-12-04 | 2023-06-23 | 株式会社Totoku | 異方性導電シート |
JP2020091982A (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | 東京特殊電線株式会社 | 異方性導電シート |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09199208A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 電気コネクタ |
JP3436170B2 (ja) * | 1999-02-16 | 2003-08-11 | 日本電気株式会社 | 異方性導電フィルム、これを用いた半導体装置及びその製造方法 |
JP2002124319A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Nitto Denko Corp | 異方導電性フィルムおよびそれを用いた半導体素子または電子部品の検査方法 |
JP2002141121A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Hitachi Ltd | 異方導電性フィルムおよびそれを用いた半導体装置並びにその製造方法 |
JP2002327162A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-11-15 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電性接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造 |
JP4522604B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2010-08-11 | 日東電工株式会社 | 異方導電性フィルム |
JP2003197033A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電性接着剤及び回路板 |
-
2003
- 2003-09-18 JP JP2003326810A patent/JP4256237B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2005093298A (ja) | 2005-04-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090129 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
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