JP4221285B2 - 顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は顕微鏡に関し、特に、横方向主部分とスタンド柱部分とスタンド足部分とから成るベース部を有しているスタンドであって、横方向主部分とスタンド柱部分とスタンド足部分とが実質的に同じ幅を有している前記スタンドと、スタンド柱部分に設けられる、顕微鏡テーブル保持要素を取り付けるための第１の組み付け面と、スタンド柱部分に設けられる、少なくとも１つの光源を取り付けるための第２の組み付け面と、スタンド柱部分の領域に位置するようにスタンドの両側にそれぞれ設けられる支持要素とを有している顕微鏡に関するものである。

顕微鏡またはそのスタンドにおいては、顕微鏡テーブル保持要素の領域および対物レンズレボルバーの領域に十分な自由空隙を設けて、被検査試料の種々の操作が可能であるように、或いは複数個の補助装置を組み付けることができるように努力が払われる。

特許文献１は半導体産業用の検査顕微鏡を開示している。顕微鏡スタンドはスタンド足とスタンド柱と横方向主部分とから成っている。顕微鏡スタンドの背面側から試料を支障なく供給できるように、スタンド柱はスタンド足の後端およびその上方にある横方向主部分の後端の横に位置するように側部に取り付けられている。この配置構成により接近性はよくなるが、顕微鏡テーブル保持要素の領域に要求される取り付け面積を減少させるものではない。

特許文献２には、光学要素と開口絞りと視野絞りとを備えた照明装置を収容するために用いる顕微鏡スタンド足を備えた顕微鏡が開示されている。もちろんこの種の構成も取り付け面積を減少させることに寄与するものではない。

特許文献３にも通常の開口形状構成の顕微鏡のための顕微鏡スタンドが開示されている。実質的な防振機能は、スタンド足とスタンド柱と鏡筒担持体と支持要素とから構成される顕微鏡スタンドによって達成され、スタンド足のために設置面上に支持部が設けられていることによって達成される。この顕微鏡スタンドは長方形の取り付け面を有しており、よって主要領域において取り付け面積を減少させることができない。

特許文献４は、円板状の大型の対象物を検査するための、C字状スタンドを備えた顕微鏡を開示している。このスタンドは顕微鏡テーブルの領域に設けた基板から成っているが、取り付け面積を減少させることはできない。

特許文献５には、通常のすべての検査方式に適したコンパクトな光学顕微鏡が開示されている。この光学顕微鏡は十分に閉じたケースとして構成されており、光学要素および機械要素以外に、１個または複数個の電子イメージセンサと、少なくとも１つのコンピュータと、平面スクリーンとを収容している。制御と電子的な通信のために、この一体型のデジタル光学顕微鏡はマイクロフォンとスピーカーと利用者に向けられたビデオカメラとを有することができる。組み込まれた大容量記憶部には、イメージと該イメージに関連づけられるデータとが記憶されてコンピュータでデジタル処理することができる。特許文献５に図示された顕微鏡は大型に構成されており、顕微鏡テーブル保持要素または顕微鏡レボルバーの領域において取り付け面積を減少させることはできない。

ドイツ連邦共和国特許第１９７１４２２１号公報 ドイツ連邦共和国特許第４２３１４６８号公報 ドイツ連邦共和国特許第４０１０８３４号公報 ドイツ連邦共和国特許第１９６０１７３１号公報 ドイツ連邦共和国特許第１９６３５６６６号公報

本発明の課題は、利用者が人間工学的に操作でき、顕微鏡の調整要素の領域に利用者にとって十分な自由空間が提供され、その際設置安定性が保証されているような顕微鏡を提供することである。

上記の課題は、請求項１の特徴部分の構成を含んでいる顕微鏡によって解決される。

本発明の利点は、横方向主部分とスタンド柱部分とスタンド足部分とが実質的に同じ幅を有し、スタンド柱部分の領域の両側に位置するようにスタンドに支持要素が付設されている点にある。これにより顕微鏡の十分な設置安定性が達成される。利用者にとって十分な自由空間を提供するため、支持要素は、スタンド柱部分の左右外面に対し面接触し、且つスタンド柱部分と同じ奥行きを有しているとともに、その先端がスタンド柱部分と横方向主部分との移行領域に接し、前記先端を起点として、スタンド柱部分の第１の組み付け面から第２の組み付け面の方向においてもスタンド柱部分の幅方向においても凸状に湾曲して絶えず連続的に拡幅されているような四面体として形成されている。

各支持要素は、湾曲した第１の表面を備えた第１の壁要素と、湾曲した第２の表面を備えた第２の壁要素とを有し、各壁要素が１つの辺でスタンド柱部分に当接している。本発明の有利な実施形態では、湾曲した第１の表面と湾曲した第２の表面とが凸状に湾曲した表面として構成されている。

支持要素は、たとえば顕微鏡テーブルの高さ調整のために、該支持要素に形成された自由空隙内の一部に駆動つまみが設けられているように構成されている。この構成の利点は、顕微鏡の前部領域に利用者のために十分な自由空間が提供され、利用者が顕微鏡用の調整要素によって邪魔されないことである。ほとんどすべての操作要素が大部分支持要素の領域に移されている。したがって、たとえば駆動つまみの周囲領域に位置するように複数個の操作要素が支持要素に配置されている。

本発明の他の有利な構成は従属項から読み取れる。

次に、本発明の実施形態を添付の図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明による顕微鏡１の斜視図である。顕微鏡１はスタンドを有し、スタンドはベース部２から成っている。ベース部２は３つの主部分に分割されており、すなわち横方向主部分３とスタンド柱部分４とスタンド足部分５とから組み立てられている。スタンド柱部分４には顕微鏡テーブル保持要素１０が固定されている。顕微鏡テーブル保持要素１０にはフィルタホールダ４０を設けてもよい。スタンド柱部分４には、顕微鏡テーブル保持要素１０とは逆の側に少なくとも１つの光源１４が設けられている。図示した実施形態では２つの光源１４が設けられている。この場合一方の光源１４は透過照明用のものであり、他方の光源１４は落射照明用のものである。スタンド柱部分４は第１の組み付け面８（図２）と第２の組み付け面１２とを決定しており、第１の組み付け面８には顕微鏡テーブル保持要素１０が取り付けられ、第２の組み付け面１２には少なくとも１つの光源１４が設けられている。横方向主部分３とスタンド柱部分４とスタンド足部分５とは実質的に同じ幅を持つように構成されている（図３と図４を参照）。スタンドには、スタンド柱部分４の領域の両側にそれぞれ支持要素１６が形成されている。各支持要素１６は、組み付け面８に沿ってスタンド柱部分４の幅を有するように、且つ横方向主部分３と第１の組み付け面８とを起点として、スタンド柱部分４の第１の組み付け面８から第２の組み付け面１２の方向においてもスタンド柱部分４の幅方向においても凸状に湾曲して絶えず連続的に拡幅されているような四面体として形成されている。本実施形態では、支持要素１６は、凸状に湾曲した表面１６ａを有する第１の壁要素と、同様に凸状に湾曲した第２の表面１６ｂを有する第２の壁要素とを備えている。第２の表面１６ｂのそれぞれは第２の組み付け面１２の領域に実質的にまっすぐな側面１８を有している。第１の表面１６ａと第２の表面１６ｂとがどのように湾曲しているかは、本発明の技術的観点にとって重要なことではない。特に重要なことは、支持要素１６のそれぞれがスタンド足部分５の領域において該スタンド足部分５の幅を越えて突出していることである。

凸状に湾曲した第１の表面１６ａは、１つの側線１７ａと２つの側稜１７ｂ，１７ｃとによって決定されている。側線１７ａは実質的に直線状に構成されており、スタンド柱部分４の第１の組み付け面８に沿って延びている。第１の側稜１７ｂは湾曲しており、スタンド足部分５から、スタンド柱部分４とは逆の側のまっすぐな側面１８の端部へ延びている。第２の側稜１７ｃも同様に、スタンド柱部分４と横方向主部分３とがぶつかっている領域（スタンド柱部分４と横方向主部分３との移行領域）から、まっすぐな側面１８の端部の方向へ延びている。第２の表面１６ｂは第２の側稜１７ｃと、まっすぐな側面１８と、湾曲した側線１８ａとによって張られている。湾曲した側線１８ａは、スタンド柱部分４と横方向主部分３とがぶつかっている領域から、まっすぐな側面１８の端部（スタンド柱部分４に直接始点をもっている端部）の方向へ延びている。図１の実施形態では、第２の表面１６ｂに電源スイッチ４３が設けられている。第２の表面１６ｂにはさらに接続要素４５も成形されており、この接続要素４５を介して電源ケーブルおよび／またはデータケーブルを顕微鏡１に接続させることができる。

スタンド足部分５はスタンド柱部分４に対し凸状に湾曲しており、凸状に湾曲した領域２５にディスプレイ２６を有している。ディスプレイ２６もタッチスクリーンとして構成されていてよく、これによりパラメータを入力したり、特定の測定方式を呼び出したりすることができる。ディスプレイ２６をタッチスクリーンとして構成しない場合には、ディスプレイ２６を介して顕微鏡１の現在の位置調整データをビジュアル表示させる。さらに、スタンド足部分５と支持要素１６との移行領域には、両側にそれぞれ１つの駆動つまみ２８が設けられている。駆動つまみ２８はたとえば顕微鏡テーブル保持要素１０の高さを調整する。駆動つまみ２８に補助的に他の機能を設定してもよい。駆動つまみ２８の周囲領域には複数個の操作要素３０が設けられ、これらの操作要素３０を介しても顕微鏡の機能を切換えることができる。顕微鏡の機能とはたとえばフィルタの交換、絞りの選択、レボルバーの移動等である。横方向主部分３の端面部分３２には接眼レンズフランジ３４が形成され、接眼レンズフランジ３４は少なくとも１つの対物レンズ（図示せず）を装着することのできるレボルバー３６との光学的結合部を形成している。

図２は顕微鏡１の側面図である。以下の説明では、重複を避けるため、図１の説明で説明しなかった構成要素のみを説明することにする。顕微鏡１自身は、防振材料から構成された複数個の足４７の上に設置されている。スタンド足部分５には集光器２４が設けられている。顕微鏡１の横方向主部分３には、種々の光学部材（図示せず）を顕微鏡の光路内へ持ち来たすための複数個の要素２２が設けられている。ランプ１４のそれぞれはフランジ３８を介して第２の組み付け面１２と結合されている。支持要素１６は駆動つまみ２８の周囲領域に自由空隙２０を持つように構成されている。自由空隙２０は利用者に駆動つまみ２８を操作するために十分な操作空間を提供している。

図３は顕微鏡１の背面図である。すでに図１の説明で述べたように、スタンド柱部分４には、該スタンド柱部分４とほぼ同じ幅を持つ光源１４が装着されている。この顕微鏡１の背面図では、支持要素１６は図面の面に対し投影して図示されており、該支持要素１６の湾曲した第２の表面１６ｂが見て取れる。足４７はスタンド足部分５にも支持要素１６にも設けられている。湾曲した第２の表面１６ｂには電源スイッチ４３と接続要素４５とが設けられている。もちろん、当業者の発明的技量の範囲内で他の配置構成を採用してもよい。

図４は顕微鏡１の底面図である。個々に図示した実施形態では、スタンド足部分５に２個の足４７が形成されている。スタンド足部分５は底部を少なくとも１つの着脱可能な底板５ａによって覆われている。これにより保守作業者または利用者がスタンド足部分５に設けられた電気部品、機械部品、または光学部品に接近しやすくなる。スタンド足部分５には支持要素１６が装着されている。図面の面に投影させた図４の投影図によれば、支持要素１６はほぼ直角三角形に対応する基面を有している。この場合、直角三角形の斜辺は湾曲した第１の表面１６ａの湾曲した側稜１７ｂである。直角に当接している短辺は直線状の側面１８によって形成されている。直角に当接している長辺はスタンド足部分５に当接している直線状の側面４９によって形成されている。支持要素１６を構成している側面１７ａ，１８，４９はすべてある程度の壁厚をもっているので、支持要素１６の内部は中空である。突っ張り５０は湾曲した側稜１７ｂとスタンド足部分５に当接している直線状の側面４９とを結合させている。支持要素１６の内部には多数の接点要素５２が設けられており、これらの接点要素５２を介して、種々の顕微鏡機能を制御するための電気ケーブルを接続させることができる。図４からわかるように、駆動つまみ２８は、少なくとも部分的に支持要素１６と重なるように配置されている。支持要素１６には、直線状の側面１８と湾曲した側稜１７ｂとが遭遇する領域にそれぞれ１つの他の足が設けられている。もちろん、支持要素１６も底板（図示せず）で閉鎖できるようにしてもよい。

以上本発明を特定の実施形態に関し説明したが、特許請求の範囲の権利範囲を逸脱しないように変更、変形できることはいうまでもない。

本発明による顕微鏡の斜視図である。 前記顕微鏡の側面図である。 前記顕微鏡の背面図である。 前記顕微鏡の底部の図である。

符号の説明

１ 顕微鏡
２ ベース部
３ 横方向主部分
４ スタンド柱部分
５ スタンド足部分
５ａ 底板
８ 第１の組み付け面
１０ 顕微鏡テーブル保持要素
１２ 第２の組み付け面
１４ 光源
１６ 支持要素
１６ａ 湾曲した第１の表面
１６ｂ 湾曲した第２の表面
１７ａ 側線
１７ｂ 側稜
１７ｃ 側稜
１８ 直線状の側面
１８ａ 湾曲した側線
２０ 自由空隙
２４ 集光器
２５ 凸状に湾曲した領域
２６ ディスプレイ
２８ 駆動つまみ
３０ 操作要素
３２ 端面部分
３４ 接眼レンズフランジ
３６ レボルバー
３８ フランジ
４０ フィルタホールダ
４３ 電源スイッチ
４５ 接続要素
４７ 足
４９ 側面
５０ 突っ張り
５２ 接点要素

Claims (8)

1. 横方向主部分（３）とスタンド柱部分（４）とスタンド足部分（５）とから成るベース部（２）を有しているスタンドであって、横方向主部分（３）とスタンド柱部分（４）とスタンド足部分（５）とが実質的に同じ幅を有している前記スタンドと、
   スタンド柱部分（４）に設けられる、顕微鏡テーブル保持要素（１０）を取り付けるための第１の組み付け面（８）と、
   スタンド柱部分（４）に設けられる、少なくとも１つの光源（１４）を取り付けるための第２の組み付け面（１２）と、
   スタンド柱部分（４）の領域に位置するようにスタンドの両側にそれぞれ設けられる支持要素（１６）と、
   を有している顕微鏡において、
   両支持要素（１６）はスタンド柱部分（４）の左右外面に面接触し、且つスタンド柱部分（４）と同じ奥行きを有していること、
   各支持要素（１６）は、その先端がスタンド柱部分（４）と横方向主部分（３）との移行領域に接し、前記先端を起点として、スタンド柱部分（４）の第１の組み付け面（８）から第２の組み付け面（１２）の方向においてもスタンド柱部分（４）の幅方向においても凸状に湾曲して絶えず連続的に拡幅されているような四面体として形成されていること、
   利用者側に開口するように支持要素（１６）に形成された自由空隙（２０）内の一部に駆動つまみ（２８）が設けられていること、
   駆動つまみ（２８）の周囲領域に位置するように複数個の操作要素（３０）が支持要素（１６）に配置されていること、
   を特徴とする顕微鏡。
2. 各支持要素（１６）が、湾曲した第１の表面（１６ａ）を備えた第１の壁要素と、湾曲した第２の表面（１６ｂ）を備えた第２の壁要素とを有し、各壁要素が１つの辺でスタンド柱部分（４）に当接していることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡。
3. 湾曲した第１の表面（１６ａ）と湾曲した第２の表面（１６ｂ）とが凸状に湾曲した表面として構成されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の顕微鏡。
4. 少なくとも第２の壁要素に少なくとも１つの電源スイッチおよび／または接続要素（４５）が設けられていることを特徴とする、請求項２に記載の顕微鏡。
5. スタンド足部分（５）に、凸状に湾曲した領域（２５）が形成され、この領域（２５）にディスプレイ（２６）が収納されていることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡。
6. ディスプレイ（２６）がタッチスクリーンとして構成され、該タッチスクリーンを介して利用者がパラメータの入力を行なうことを特徴とする、請求項５に記載の顕微鏡。
7. 防振性の複数個の足（４７）が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡。
8. 少なくとも２つの足（４７）がスタンド足部分（５）に形成され、少なくとも１つの足（４７）がそれぞれの支持要素（１６）に形成され、支持要素（４７）に設けた少なくとも１つの足（４７）は、直線状の側面（１８）と湾曲した側稜（１７ｂ）とが遭遇する領域に設けられていることを特徴とする、請求項７に記載の顕微鏡。

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