JP4207205B2 - リフトオフ方法及び装置 - Google Patents
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Description
6)を取り付け、割れウエーハ(27)を破片用ホルダー(26)のポケット(28)にピンセット等で差し込み、その後上記の如き処理をすれば全自動でディップしてメタル膜の剥離処理をすることができる。ディップ槽ユニットから取り出した割れウエーハ(27)を上記スピン洗浄ユニット(4)に搬入し、ジェット洗浄すればバリ等が残存することもない。
2 ワーク搬送ロボット
3 ディップ槽ユニット
4 スピン洗浄ユニット
5 剥離槽
6 置換槽
7 チャンバー
12 ウエーハホルダー
20 超音波振動子
21 剥離液シャワーノズル
22 置換液シャワーノズル
23 急速排出弁
24 回収タンク
25 ストレーナー
26 破片用ホルダー
Claims (6)
- 隣接して配置された剥離槽と置換槽の上面をチャンバーで覆ったディップ槽ユニットの、上記チャンバー内に位置するウエーハホルダーにウエーハを搬入して該ウエーハを起立状態に保持し、該ウエーハホルダーを降下して剥離槽内にウエーハを起立状態でディップし、ウエーハ面に沿って超音波を照射してメタル膜を剥離した後、上記剥離槽内の剥離液を剥離槽底部から排出しつつウエーハ面に清浄な剥離液をシャワーして上記ウエーハホルダーを上昇させウエーハを剥離槽から取り出し、該ウエーハホルダーを置換槽に対応する位置に移動して降下し該置換槽内にウエーハを起立状態でディップし、ウエーハ面に沿って超音波を照射して洗浄した後、上記置換槽内の置換液を置換槽底部から排出しつつウエーハ面に清浄な置換液をシャワーして上記ウエーハホルダーを上昇させウエーハを置換槽から取り出し、該ウエーハをディップ槽ユニットから搬出しスピン洗浄ユニットに搬入してジ
ェット洗浄するウエーハのリフトオフ方法であって、割れウエーハをリフトオフ処理する場合には、該割れウエーハを破片用ホルダーの通液性のポケット内に差し込み、該破片用ホルダーを上記ウエーハホルダーに取り付けて処理を実行することを特徴とするリフトオフ方法。 - 上記スピン洗浄ユニットは、割れウエーハを偏芯状態に回転部に支持して洗浄することを特徴とする請求項1に記載のリフトオフ方法。
- 上記剥離槽及び置換槽の各底部から剥離液及び置換液を排出する各排出路にストレーナーを設け剥離したメタル膜を回収するようにした請求項1または2に記載のリフトオフ方法。
- ウエーハを起立状態でディップ可能な剥離槽と置換槽を隣接して有し上面をチャンバーで覆ったディップ槽ユニットと、
該ディップ槽ユニット内に設けられウエーハを水平状態と起立状態に保持でき上下動及び横移動可能なウエーハホルダーと、
上記剥離槽及び置換槽の側面に設けられ起立状態で各槽内にディップされるウエーハ面に沿って超音波を照射する超音波振動子と、
上記剥離槽の上部に設けられ剥離液をウエーハ面にシャワーする剥離液シャワーノズルと、
上記置換槽の上部に設けられ置換液をウエーハ面にシャワーする置換液シャワーノズルと、
上記ウエーハホルダーに着脱可能に設けられ割れウエーハを差し込む通液性のポケットを有する破片用ホルダーと、
上記ディップ槽ユニットから取り出したウエーハを回転させながらジェット洗浄するスピン洗浄ユニットを具備するリフトオフ装置。 - 上記スピン洗浄ユニットのウエーハ回転部にはウエーハの全周を囲むように支持する複数の支持ピンが有り、該支持ピン間には割れウエーハを偏芯状態に保持するよう割れウエーハの外周の一部に接する破片用支持ピンが設けられている請求項4に記載のリフトオフ装置。
- 上記剥離槽及び置換槽の各底部には剥離液及び置換液を一気に排出するよう急速排出弁を有する排出路と、ウエーハから剥離したメタル膜を回収するようストレーナーが設けられている請求項4または5に記載のリフトオフ装置。
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