JP4205075B2 - ナノワイヤー発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
一方、特許文献2には、ナノワイヤーをp−nダイオード構造で形成した。すなわち、ナノワイヤーの下部はn型ナノワイヤー、その上部はp型ナノワイヤーで形成してそれら間の接合部から発光させる構造である。前記p−n接合構造のナノワイヤーを製造するために、VLS(Vapor phase−Liquid phase−Solid phase)方法を使用して他の組成を添加した。
このような構成により、ドーピングによるナノワイヤのダメージを防止することができ、高品質のナノワイヤ発光素子を提供することができる。
本発明の他の類型によれば、前記発光層は、前記p型ドーピング部分と前記n型ドーピング部分との間にドーピングされていない真性(intrinsic)部分である。
一方、前記ナノワイヤーはZnOからなることが望ましい。
前記目的を達成するための本発明の他の実施例によるナノワイヤー発光素子は、基板と、前記基板上の第1導電層と、前記第1導電層上に柱状に形成されており、それぞれはp型ドーピング部分とn型ドーピング部分とで形成された複数のナノワイヤーと、前記p型ドーピング部分とn型ドーピング部分との間の発光層と、前記ナノワイヤー上に形成された第2導電層と、を具備し、前記p型ドーピング部分とn型ドーピング部分のうちいずれか一つは、該当領域のナノワイヤーの外周に有機物分子が配置(吸着)されて形成されたものであり、他のドーピング部分は、その周囲に有機物ポリマーが満たされて前記有機物ポリマーとの反応で該当部分がp型またはn型にドーピングされたことを特徴とする。
前記目的を達成するための本発明のさらに他の実施例によるナノワイヤー発光素子は、基板と、前記基板上の第1導電層と、前記第1導電層上に柱状に形成された複数のナノワイヤーと、前記ナノワイヤー上に形成された第2導電層と、前記第1導電層と前記第2導電層間に配置されてシーリング空間を形成する壁体フレームと、を具備し、前記シーリング空間には電解質液が満たされたことを特徴とする。
前記他の目的を達成するための本発明によるナノワイヤー発光素子の製造方法は、基板上に第1電極層を形成する第1段階と、前記第1電極層上に複数のナノワイヤーを柱状に形成させる第2段階と、前記ナノワイヤーの下部を第1有機物ポリマーで満たしてpドーピングまたはnドーピングさせる第3段階と、前記ナノワイヤーの上部を第2有機物ポリマーで満たして、前記ナノワイヤーの上部を前記ナノワイヤーの下部と異なる極性のnドーピングまたはpドーピングさせる第4段階と、前記ナノワイヤー上に第2電極層を形成する第5段階と、を具備することを特徴とする。 前記第3段階は、前記ナノワイヤーの外周に電気親和度の大きい分子またはイオン化電位の低い分子を含む第1有機物ポリマーを満たす段階と、前記第1ポリマーをその上部から所定深さにエッチングして、前記ナノワイヤーの下部に該当する領域に前記第1ポリマーを満たす段階と、を具備することが望ましい。
図1は、本発明の第1実施例によるナノワイヤー発光素子を概略的に示した断面図である。
前記第1電極層110はアルミニウム、金、マグネシウムなどで蒸着されうる。前記第2電極層140は透明電極層、例えばITO層で形成されうる。
前記ナノワイヤー120はZnO、GaN、GaAs、InGaN、CdS、Siなどで形成されうる。前記ナノワイヤー120の材質によって本発明の発光素子から放出される色が決定される。ナノワイヤー120がZnOである場合に紫外線が放出され、Siである場合に赤外線が放出され、GaNである場合に紫外線または青色光が放出され、InGaNである場合に青色光、CdSである場合に緑色光、GaAsである場合に赤色光を放出できる。前記ナノワイヤー120はその直径が約20〜100nmであり、その長さは約1μmに形成されることが望ましい。
前記第1ポリマー152は、電気親和度の大きいポリマー、例えば、有機電子受容体ポリマーであるフッ素または硫黄含有ポリマーであることが望ましい。前記第1ポリマーとしては、フルオロ硫酸塩系列、フルオロ酢酸塩系列、スルホン酸塩系列ポリマーを用いることができる。例えば、PSSが好ましい。前記第1ポリマー152は、前記p型ドーピング部分122に該当するナノワイヤー120の表面から電子を取ることによってその表面に正孔が生成され、したがって、p型ドーピング部分122を形成する。このように第1ポリマー152が該当ナノワイヤー領域をp型ドーピング部分122とすることは、第1ポリマー152のLUMO(Lowest Unoccupied Molecular Orbital)のエネルギー電位がナノワイヤー120の価電子帯エネルギー電位と類似またはそれより低い場合、自然にナノワイヤー120の電子がポリマー152に移動するためである。
なお、ナノワイヤの直径は、10から100nm程度が適当であり、60nm程度が好ましい。また、隣接するナノワイヤとの間隔は、40から50nm程度が適当である。さらに、p型及びn型ドーパントのドーピング濃度は、例えば、1016cm-1程度が挙げられる。
まず、ナノワイヤー120のp型ドーピング部分122と連結された第1電極層110に+電圧、ナノワイヤー120のn型ドーピング部分126と連結された第2電極層140に−電圧を印加すれば、p型ドーピング部分122の正孔とn型ドーピング部分126の電子とが真性領域124で再結合する。この時、光が放出される。真性領域124から放出された光は透明な電極層、例えば、第2電極層140を通過して外部に放出される。
前記ナノワイヤー120’は、pドーピング部分122’、nドーピング部分126’と真性領域124’からなるp−i−n接合構造である。
なお、p型ドーピング部分及びn型ドーピング部分は、いずれか一方のみが、ナノワイヤーの間を満たして、該当ドーピング部分のドーパントと同じドーパントを含有する有機物ポリマーを用いて、ドーピングされていてもよい。つまり、ドーピング部分のナノワイヤ表面に配置された有機物ポリマーを利用して、ナノワイヤー表面から電子を受け取るか又は電子を与えることにより、所定の部分にドーピングされていてもよい。ナノワイヤ表面へのドーピング物質の配置及び/又はドーピングは、例えば、常温でもしくは加熱した雰囲気で及び/又は常圧下で、減圧もしくは加圧下で行うことができる。
前記ナノワイヤー120’の間には絶縁性ポリマー150が満たされてナノワイヤー120’間の電気的連結を防止する。絶縁性ポリマー150としてフォトレジストが使われうる。
一方、図1のpまたはnドーピング部分が変形例のように配置(吸着)によってドーピングされ、その周囲は絶縁性ポリマーで満たされうることは言うまでもない。
第2実施例では、ポリマーがナノワイヤーをドーピングするが、図2に図示された第1実施例の変形例のように、ナノワイヤーの表面を所定のドーピング物質が配置し(好ましくは吸着させて)、それら間を絶縁性ポリマーで満たしてもよい。
ここでの電解質溶液は、例えば、NaCl、LiClO4、LiBr、LiI、LiAsF6、LiPF6、LiAlCl4、LiBF4、LiCF3SO3、LiN(SO2CF3)2、LiC(SO2CF3)3、Li2S2O4、TBABF4、Li2B10Cl10、LiAlClO4中の一つ以上を含むものが挙げられる。
したがって、前記pドーピング部分322とnドーピング部分326との間に所定の境界324を形成することにより、この境界324で、ナノワイヤー320のpドーピング部分322の正孔とnドーピング部分326の電子とが再結合しつつ光を放出する。
図5を参照すれば、シリコン基板400の上に第1導電層410、例えばアルミニウム層を蒸着する。前記アルミニウム層410の上に金属有機物気相エピタクシー(Metal−Organic−Vapor Phase Epitaxy:MOVPE)方法で約1μm長さのナノワイヤー420を形成する。前記ナノワイヤー420はジエチル亜鉛(DEZn)及び酸素を反応ソースとして使用してZnOに製造され、必ずしもこれに限定されるものではない。
前記過程で製造した発光素子は図1のp−i−n接合構造を有する。
また、図2の構造を持つ発光素子の製造は、pドーピング部分またはnドーピング部分にそれぞれ電気親和度の大きい分子またはイオン化電位の低い分子を配置、例えば、吸着させた後、絶縁性ポリマーを満たす過程を除いては前述した製造方法と類似しているので詳細な説明は省略する。
110 導電層(第1電極層)
120 ナノワイヤー
122 p型ドーピング部分
124 真性部分
126 n型ドーピング部分
130 壁体フレーム
140 電極層(第2電極層)
152 第1有機物ポリマー
154 絶縁性ポリマー
156 第2有機物ポリマー
Claims (11)
- 基板と、
前記基板上の第1導電層と、
前記第1導電層上に、ZnO、GaN、GaAs、InGaN、CdS、Siからなる群から選択されるいずれか一つによって、柱状に形成された複数のナノワイヤーと、前記ナノワイヤー上に形成された第2導電層とを具備し、
それぞれの前記ナノワイヤーは、
有機電子受容体ポリマーが前記ナノワイヤの間を埋め込み、前記ナノワイヤーの表面から電子を取ることによって前記ナノワイヤーの表面に正孔が生成されるp型部分と、
有機電子ドナーポリマーが前記ナノワイヤの間を埋め込み、前記ナノワイヤーの表面に電子を与えることによって前記ナノワイヤーの表面に自由電子が生成されるn型部分と、
前記p型部分とn型部分との間の発光層とからなることを特徴とするナノワイヤー発光素子。 - 前記発光層は、前記p型部分と前記n型部分との境界面であることを特徴とする請求項1に記載のナノワイヤー発光素子。
- 前記発光層は、前記p型部分と前記n型部分との間の真性部分であり、前記真性部分に該当するナノワイヤー間を満たした絶縁性ポリマーをさらに具備することを特徴とする請求項1に記載のナノワイヤー発光素子。
- 前記有機電子受容体ポリマーはフッ素系または硫化物系高分子であることを特徴とする請求項1に記載のナノワイヤー発光素子。
- 前記有機電子受容体ポリマーはPSS系であることを特徴とする請求項4に記載のナノワイヤー発光素子。
- 前記有機電子ドナーポリマーは、アルカリ金属が含まれたNaC10H8、Na2Ph2CO及びLiPh(CH2)6Phの少なくとも一つが添加されているか又はPPVもしくはCN−PPP系の導電性ポリマーであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のナノワイヤー発光素子。
- 基板上に第1電極層を形成する第1段階と、
前記第1電極層上に、ZnO、GaN、GaAs、InGaN、CdS、Siからなる群から選択されるいずれか一つからなる複数のナノワイヤーを垂直に形成させる第2段階と、
前記ナノワイヤーの下部を第1有機物ポリマーで満たして前記ナノワイヤーの下部を第1導電型にする第3段階と、
前記第1有機物ポリマー上に第2有機物ポリマーで満たして前記ナノワイヤーの上部を第2導電型にする第4段階と、
前記ナノワイヤー上に第2電極層を形成する第5段階とを具備し、
前記第1有機物ポリマー及び第2有機物ポリマーは、有機電子受容体ポリマー及び有機電子ドナーポリマーのうちそれぞれ相異なるいずれか一つであり、
前記第1導電型及び前記第2導電型は、p型及びn型のうちそれぞれ相異なるいずれか一つであり、
前記有機電子受容体ポリマーは前記ナノワイヤーの外周から電子を奪って該当部分のナノワイヤーをp型にするものであり、
前記有機電子ドナーポリマーは前記ナノワイヤーの外周に電子を与え該当部分のナノワイヤーをn型にするものであることを特徴とするナノワイヤー発光素子の製造方法。 - 前記第3段階は、前記ナノワイヤーの外周に前記第1有機物ポリマーを満たす段階と、前記第1有機物ポリマーをその上部から所定深さにエッチングして、前記ナノワイヤーの下部に該当する領域に前記第1有機物ポリマーを満たす段階とを具備する請求項7に記載のナノワイヤー発光素子の製造方法。
- 前記第4段階は、第3段階の結果物上に露出された前記ナノワイヤーの外周に、前記第2有機物ポリマーを満たす段階を具備するこ請求項8に記載のナノワイヤー発光素子の製造方法。
- 前記第5段階は、前記ナノワイヤーの上端が露出されるように前記第2有機物ポリマーをエッチングする段階と、前記第2有機物ポリマー上に第2導電層を形成する段階とを具備する請求項7〜9のいずれか1つに記載のナノワイヤー発光素子の製造方法。
- 前記第4段階は、第3段階の結果物上に所定高さに絶縁性ポリマーを満たして、前記ナノワイヤーの真性部分を形成する段階と、前記真性部分上の露出された前記ナノワイヤーの外周に、前記第2有機物ポリマーを満たす段階とを具備する請求項7〜10のいずれか1つに記載のナノワイヤー発光素子の製造方法。
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