JP4199765B2 - 高電圧スイッチング回路 - Google Patents

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Description

本発明は、高電圧スイッチングに関する。
通常、メモリデバイスは、内部半導体集積回路としてコンピュータやその他の電子デバイスに設けられる。メモリには、ランダムアクセスメモリ(RAM)、リードオンリーメモリ(ROM)、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)、シンクロナスダイナミックランダムアクセスメモリ(SDRAM)、フラッシュメモリ等、多くのタイプがある。
通常、フラッシュメモリ集積回路は、プログラミング処理や消去処理に比較的大きな電圧を必要とする。例えば、メモリICは供給電圧3Vであるが、プログラム電圧は20Vを必要とすることもある。
図1は従来技術の高電圧スイッチング回路を示す。この回路は、エンハンスメント型nチャネル金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)101をエンハンスメント型pチャネルMOSFET102に直列接続して構成される。nチャネルデプレッション型MOSFET103はエンハンスメントトランジスタ101,102とスイッチングされる高電圧VPPとの間に接続される。このデプレッショントランジスタ103のゲートはVOUTに接続される。エンハンスメントPMOSFET102の基板又はウェルはデプレッションNMOSFET103のソースに接続される。インバータ100は信号VINを反転する。
INの論理信号1は、インバータ100によって論理信号0に反転される。これによってエンハンスメント型NMOSFET101はオフになり、エンハンスメント型PMOSFET102及びデプレッション型NMOSFET103を介してVOUTはVPPにチャージされる。PMOSFET102の基板電圧105もVPPになる。
INが論理信号0の時、インバータ100はその信号を論理信号1に反転して、エンハンスメント型NMOSFET101に入力する。これによってNMOSFET101がオンになり、回路は、回路アースVSSにディスチャージされる。こうして、デプレッション型NMOSFET103のゲート電位が0Vとなり、NMOSFET103はオフになる。エンハンスメントPMOSFET102の基板/ウェル電圧は、このようにして0Vとなる。このトランジスタ102のゲートバイアスは5V(すなわち論理信号1)であるが、基板電位はその入力信号である5Vより小さいため、PMOSFET102が遮断する。
図2は、図1の回路の入力信号と出力信号との関係の典型例を示す。最低値にあるVINがVCCになるとVOUT信号がVPPに達することがわかる。
従来技術のスイッチング回路では、PMOSFET102においてゲート基板間電圧が大きくなるというひとつの問題がある。長時間にわたってこのバイアスをうけると、電子もしくはホールの注入によって、図3に示すように閾値電圧Vthの変動を引き起こす。このため、Vthが減少する場合はスイッチング回路をオンすることができなくなったり、また、Vthが増加する場合は回路の漏れ電流が増加したりする。
上述した理由、及び以下に述べる理由により、本技術分野において、スイッチング回路の信頼性改善の必要性がある。これらの理由は、当業者であれば、明細書に記載された内容を理解することによって、明らかとなるであろう。
上述した問題及びその他の問題は本発明によって解決され、また、以下の明細書を検討することによって理解されるであろう。
本発明は高電圧スイッチング回路を包含する。前記回路はスイッチングされる高電圧に結合された第1のトランジスタを備える。第1のトランジスタは回路出力に結合されたゲートを有する。第2のトランジスタは第1のトランジスタと回路出力との間に結合される。第2のトランジスタはトランジスタの動作制御のためのゲートを有する。第3のトランジスタは第2のトランジスタと回路アースとの間に結合される。第3のトランジスタはトランジスタの動作制御のためのゲートを有する。制御回路は、第2のトランジスタのゲートと第3のトランジスタのゲートに結合され、それらトランジスタをオンオフする。制御回路は、回路出力に対して、第1及び第2のトランジスタを介して高電圧をスイッチングして、第2のトランジスタのゲートでの電圧を0Vより大きい状態に維持する。
一実施形態では、第1のトランジスタはデプレッション型nチャネル電界効果トランジスタ(FET)であり、第2のトランジスタはエンハンスメント型pチャネルFETであり、第3のトランジスタはエンハンスメント型nチャネルFETである。
さらに別の実施形態は、さまざまな範囲での方法及び装置を含む。
以下、添付図面を参照して本発明を詳細に説明する。添付図面は、本明細書の一部を構成するものであり、本発明の具体的な実施形態を例示的に示している。添付図面において、同類の参照符号は複数の図中の実質的に同等な構成要素を示す。実施形態の各々は、当業者が発明を実施できるように十分に説明されている。なお、本発明の範囲を逸脱することなく、構造的、論理的、電気的な変更を加えて発明を実施してもよい。従って、以下の詳細な説明は、限定的に解釈されるべきではない。本発明の範囲は、添付されたクレーム及びその均等物によってのみ定義されるものである。
図4は、本発明に係る高電圧スイッチング回路の一実施形態の回路図を示す。この実施形態は、エンハンスメント型nチャネルMOSFET401で構成される。このMOSFET401は、ドレインがアース(VSS)に結合され、ソースはエンハンスメント型pチャネルMOSFET402のドレインに結合される。
PMOSFET402のソースはデプレッション型nチャネルMOSFET403のソースに結合される。NMOSFET403のゲートはNMOSFET401とPMOSFET402との間の節点に結合される。この節点はまた、VOUTとして作用する。デプレッション型NMOSFET403のドレインはスイッチングされる高電圧(VPP)に結合される。PMOSFET402の基板もしくはn−ウェルはデプレッション型NMOSFET403とPMOSFET402の間との節点に結合される。
エンハンスメント型NMOSFET401のゲートはVINを入力とするインバータ400に結合される。エンハンスメントPMOSFET402のゲートはNANDゲート406の出力に結合される。NANDゲート406の一入力はVINであり、第2の入力はVINBDである。インバータ400とNANDゲート406は、制御回路として作用し、VOUTがVPPにスイッチングされている間、PMOSFET402のゲートでの電圧を0Vより大きい状態に維持する。
INBDは様々な方法で生成することができる。一実施形態では、この電圧は、VINを遅延し、反転することによって生成される。遅延は図6ではTdとして示されている。他の実施形態では、VOUTを検知し、その電圧を遅延して、NANDゲート406の入力にフィードバックすることによってVINBDを生成する。
一実施形態では、VPPは20Vであり、VCCは3Vである。しかしながら、本発明は、いずれかひとつの供給電圧、又は、いずれかひとつのスイッチ電圧に制限するものではない。
図4の高電圧スイッチング回路の動作を図5の概略図及び図6の電圧信号図を参照して説明する。図6において、VINがVCCに上昇し、VPPが回路出力にスイッチされて、VOUTが実質上0VからVPPに上昇する。これは、図4のインバータ400がVINの論理信号1を論理信号0に反転し、エンハンスメント型NMOSFET401のゲートをバイアスするのに応答して起こる。このバイアスによって、NMOSFET401はオフとなる。 VINはまた、NANDゲート406の入力に、VINBDと共に入力される。
最初は、VINのHレベルへの上昇とVINBDのLレベルへの下降との間には遅れがあるため、NANDゲート406の出力は論理上の低電圧(すなわち0V)になる。これによって、PMOSFET402のゲートは時間Tdの間は0Vでバイアスされて、その時間の間は、PMOSFET402はオンとなる。この時間の間に、VOUT節点はPMOSFET402及びデプレッション型NMOSFET403を介してVPPにチャージされる。時間TdはPMOSFET402がゲートストレスを受ける唯一の時間となる。デプレッション型NMOSFET403は、VPPがゲートに入力されて、オンになる。このようにして、PMOSFET402とデプレッションNMOSFET403の間の節点はVPPとなる。
遅延時間Tdの後、VINBDはLレベルに下がり、NANDゲート406の出力がHレベルになり、PMOSFET402のゲートはVCCでバイアスされる。しかしながら、ウェル電圧はVPPなので、ゲートがVCCであってもPMOSFET402はオンを維持する。
図5は、デプレッション型トランジスタ(NMOSFET)403とエンハンスメント型トランジスタ(PMOSFET)402がオンの時の状態を示す。トランジスタ402と403との間の節点は、PMOSFET402の基板又はnウェルに結合されており、この時点ではVPPである。それゆえ、電圧差は、従来技術のスイッチング回路よりも実質上減少し、この回路においては、ゲート基板間電圧は緩和される。
図4及び図6を参照すると、VINがLレベルにもどる場合、NMOSFET401はオンに、PMOSFET402はオフになり、その結果、回路は接地して、VOUTはVPPから0Vになる。デプレッションNMOSFET403は0Vゲートバイアスによってオフされる。
図7は本発明に係る高電圧スイッチング回路の利点を示す。Vth対時間(対数目盛)のグラフにおいて、従来技術のスイッチング回路での閾値電圧変動を閾値電圧変動701で示す。本発明の実施形態では、閾値電圧変動702は、時間tだけ引き延ばされている。この時間は、一実施形態においては、回路故障までの時間を3桁オーダで引き延ばす。
図8は本発明の高電圧スイッチング回路の他の実施形態の回路図を示す。この実施形態は図4の実施形態とほぼ同等であり、デプレッションNMOSFET803はVPPに結合されたドレインとエンハンスメント型PMOSFET802に結合されたソースを有する。NMOSFET803のゲートはVOUTに結合されている。エンハンスメント型NMOSFET801はPMOSFET802のドレインに結合されている。
図8の実施形態において、エンハンスメントNMOSFET801のドレインがVINに、ゲートがVCCに結合されており、そのためVINが論理信号0の場合、トランジスタ801がオンとなり、導通する。VINBDとVIN両方とも論理信号HIGHの場合、NANDゲート800は論理信号LOWを出力し、PMOSFET802をオンにする。このようにして、VINがLレベルの場合、VOUTは0Vに、VINがHレベルの場合は、VOUTは実質上VPPと等しくなる。
図9は本発明の高電圧スイッチング回路のさらに他の実施形態の回路図を示す。この実施形態では、先の実施形態と同様にデプレッション型NMOSFET902及びエンハンスメント型PMOSFET901を用いる。しかしながら、この実施形態においては、PMOSFET901は電圧VIN2に結合されたゲートを有する。信号パスブロック900は制御信号として入力電圧VIN1を有し、PMOSFET901のドレインに結合されている。 VIN2は、一実施形態においては、VIN1及びVINBDによって生成される。この信号パス回路ブロック900は高電圧をVOUTにスイッチしたい場合にHレベル信号をPMOSFET901のドレインに供給する役割を果たしている。VOUTを0Vにしたい場合は、信号パス回路900はPMOSFET901を接地する。
図10は、図9の実施形態の動作タイミング図を示す。VIN1がHレベルに、VIN2がLレベルになり、PMOSFET901をオンにすると、VPPがVOUTにスイッチングされる。時間T1で、VIN2がHレベルにもどる。時間T2で、VIN1がLレベルになり、VOUTが0Vにスイッチングする。
図11は、プロセッサ1110に結合された本発明の一実施形態のメモリデバイス1100の機能ブロック図を示す。プロセッサ1110は、マイクロプロセッサ、プロセッサ、又はその他のタイプの制御回路を用いることができる。メモリデバイス1100及びプロセッサ1110はメモリシステム1120の一部を構成する。メモリデバイス1100には、本発明に係る高電圧スイッチング回路1121が組み込まれており、また、本発明の理解を容易にするため、メモリの機能に焦点を当てて簡略化してある。
メモリデバイスはメモリセルアレイ1130を含む。一実施形態においては、メモリセルは不揮発性浮遊ゲートメモリセルであり、メモリアレイ1130は行と列のバンクに配列される。
アドレス入力接続A0−Ax 1142上のアドレス信号をラッチするためにアドレスバッファ回路1140が設けられる。アドレス信号は、行デコーダ1144及び列デコーダ1146によって受け取られ、デコードされて、メモリアレイ1130にアクセスする。 アドレス入力接続の数がメモリアレイ1130の密度及び構成に依存することは、本説明によって、当業者によって了解されよう。すなわち、メモリセル及びバンクとブロックの数が増えるとアドレスの数も増える。
上述した実施形態では、NAND構成メモリアレイを扱ってきたが、本発明はこの構成に制限されるものではない。本発明によるメモリブロック消去方法の実施形態では、メモリデバイスのいかなるアーキテクチャ(例えば、NAND、NOR、AND)も使用することができる。
メモリデバイス1100は、センス/ラッチ回路1150を用いてメモリアレイ列の電圧もしくは電流変化を検知することによってメモリアレイ1130のデータを読み出す。このセンス/ラッチ回路は、一実施形態においては、メモリアレイ1130からのデータ行を読み出してラッチするために結合される。複数のデータ接続1162にわたってコントローラ1110との双方向データ通信を行うために、データ入出力バッファ回路1160が設けられる。また、メモリアレイにデータを書き込むために書き込み回路1155が設けられる。
制御回路1170は、プロセッサ1110から送信される制御接続1172 上の信号をデコードする。これらの信号は、データ読み出し処理、データ書き込み処理及び消去処理を含むメモリアレイ1130に対する処理の制御に用いられる。制御回路1170には、ステートマシン、シーケンサ、又はその他のコントローラを用いることが可能である。
本発明の高電圧スイッチング回路1121は、 VCC論理回路1122 とメモリアレイ1130との間に結合される。VCC論理回路1122 はメモリデバイス1100が必要とする供給電圧及びプログラミング/消去電圧を生成する。通常、プログラミング/消去電圧は供給電圧よりも大きい。先に論じたように、この高電圧スイッチング回路1121は、メモリデバイスのプログラミング処理及び消去処理に必要となる高電圧を必要に応じてスイッチングする。
図11で図示されるフラッシュメモリデバイスはメモリの機能を容易に理解させるために簡略化されている。フラッシュメモリのより詳細な内部回路及び機能は、当業者にとっては周知である。
図12は本発明のフラッシュメモリ消去方法を組み込んだメモリモジュール1200の一実施形態の図である。メモリモジュール1200はメモリカードとして図示されているが、メモリモジュール1200に関して論じられる構成概念は、その他のタイプのリムーバブル又はポータブルメモリ(例えばUSBフラッシュドライブ)にも適用可能である。さらに、図12には、フォームファクタの一例が図示されているが、これらの構成概念も同様に他のフォームファクタに適用可能である。
メモリモジュール1200は、1個以上のメモリデバイス1210を収容するハウジング1205を含む。少なくとも1個のメモリデバイスは本発明に係る浮遊ゲートメモリセルで構成される。ハウジング1205は、ホストデバイスとの通信用接点1215を1個以上含む。ホストデバイスの例としては、デジタルカメラ、デジタル録音再生デバイス、PDA、パーソナルコンピュータ、メモリカードリーダ、インターフェースハブなどがある。ある実施形態では、接点1215は、標準インターフェースの形態である。ある実施形態では、接点1215は、USBフラッシュドライブのようなUSBのAタイプオスコネクタの形態である。ある実施形態では、接点1215はセミプロプライエタリインターフェース(a semi-proprietary interface)の形態であり、例えば、サンディスク株式会社(SANDISK corporation)にライセンスされているコンパクトフラッシュ(COMPACTFLASH memory cards)や、ソニー株式会社(SONY corporation)にライセンスされているメモリスティック(MEMORYSTICK memory cards)や、株式会社東芝(TOSHIBA corporation)にライセンスされているSDカード(SD SECURE DIGITAL memory cards)などがある。一般には、接点1215は、メモリモジュール1200と、接点1215と互換性のあるレセプタを有するホストとの間で制御信号、アドレス信号及び/又はデータ信号を伝えるためのインターフェースを与える。
メモリモジュール1200は、任意選択で付加回路1220を含めてもよい。ある実施形態では、付加回路1220はメモリコントローラを含み、このメモリコントローラは、複数のメモリデバイス1210全体にわたるアクセスを制御し、及び/又は、外部ホストとメモリデバイス1210とのトランスレーション層を与える。例えば、接点1215の数と1個以上のメモリデバイス1210へのI/O接続の数が1対1対応しない場合がある。こういう場合、メモリコントローラは、メモリデバイス1210のI/O接続(図12では図示されていない)を選択的に結合して、適切な時間に適切なI/O接続で適切な信号を受けるか、又は、適切な時間に適切な接点1215で適切な信号を送ることができる。同様に、ホストとメモリモジュール1200との間の通信プロトコルはメモリデバイス1210のアクセスの際に必要とされるものと違う場合がある。この場合は、メモリコントローラは、ホストから受けたコマンドシーケンスを適切なコマンドシーケンスにトランスレートし、メモリデバイス1210への所望のアクセスを達成する。さらに、このトランスレートは、コマンドシーケンスに加えて、信号電圧レベルの変更を含んでもよい。
さらに、付加回路1220は、メモリデバイス1210の制御とは関係のない機能を含んでもよい。例えば、パスワード保護や生体認証などのように、メモリモジュール1200に対しての読み出しアクセス、又は、書き込みアクセスを制限する回路を付加回路1220へ含めてもよい。また、付加回路1220に、メモリモジュール1200のステータスを表示する回路を含めてもよい。例えば、メモリモジュールに電力が供給されているかどうか、また、メモリモジュール1200にアクセス中かどうかを決定し、そのステータスを、例えばパワー供給されていれば点灯、アクセス中であれば点滅のように、ディスプレイ表示する機能を、付加回路1220に含めてもよい。さらに、付加回路1220に、メモリモジュール1200内の電力仕様を調整するためのデカップリングコンデンサのような受動デバイスを含めてもよい。
上述したように、高電圧スイッチング回路の実施形態では、PMOSFETトランジスタにおいてゲート基板間電圧を減少させることによって故障するまでの時間を長くすることができる。これによって、回路故障までの平均時間が3桁のオーダで増加することが可能となる。
本明細書中において、いくつかの具体的な実施形態を説明してきたが、同様の目的を達成することが意図された配置構成は、上述した具体的な実施形態と代替可能であることは当業者にとって明らかであろう。また、本発明の多くの改変は当業者にとって明らかであろう。従って、本願はいかなる本発明のいかなる改変、変形をカバーするものである。また、本発明は、以下の請求項及びそれらの均等物によってのみ限定される。
典型的な従来技術の高電圧スイッチング回路の回路図を示す。 図1の従来技術に係る回路での入力電圧と出力電圧との関係を示す。 図1の従来技術に係る回路での閾値電圧と時間のグラフを示す。 本発明に係る高電圧スイッチング回路の一実施形態の回路図を示す。 図4での実施形態で動作電圧がかかっている場合のより詳細な回路図を示す。 図4の実施形態の信号間の関係図を示す。 図4の実施形態の閾値電圧と時間のグラフを示す。 本発明に係る高電圧スイッチング回路の他の実施形態の回路図を示す。 本発明に係る高電圧スイッチング回路のさらに他の実施形態の回路図を示す。 図9の実施形態の動作電圧間の関係を示す。 本発明に係るメモリシステムの一実施形態のブロック図を示す。 本発明に係るメモリモジュールの一実施形態のブロック図を示す。
符号の説明
100…インバータ
101、801…エンハンスメント型nチャンネルMOSFET
102、802、901…エンハンスメント型pチャンネルMOSFET
103、803、902…デプレッション型nチャンネルMOSFET
105…基板電圧 400…インバータ
401…エンハンスメント型nチャンネルMOSFET
402…エンハンスメント型nチャンネルMOSFET
403…デプレッション型nチャンネルMOSFET
406、800…NANDゲート 701…従来技術による閾値電圧変動
702…本発明の実施形態による閾値電圧変動
900…信号パス回路 1100…メモリデバイス
1110…プロセッサ 1120…メモリシステム
1121…高電圧スイッチング回路 1122…VCC論理回路
1130…メモリアレイ 1140…アドレスバッファ回路
1142…アドレス入力接続 1144…行デコーダ
1146…列デコーダ 1150…センス/ラッチ回路
1155…書き込み回路 1160…データ入出力バッファ回路
1162…データ接続 1170…制御回路
1172…制御接続 1200…メモリモジュール
1205…ハウジング 1210…メモリデバイス
1215…接点 1220…付加回路

Claims (28)

  1. スイッチングされる高電圧と第1の節点との間に結合され、回路出力に結合されたゲートを有する第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタと前記回路出力との間に結合され、前記第1の節点に結合されたウェル接続部を有する第2のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタに結合された第3のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタに結合され、前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタの動作を制御して、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記第2のトランジスタのゲート電圧を0Vより大きい状態に維持する制御回路と、
    を備えることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  2. 請求項1記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記第1のトランジスタがnチャネルMOSトランジスタであることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  3. 請求項2記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記第1のトランジスタは、デプレッション型で動作することを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  4. 請求項1記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記第2のトランジスタはpチャネルMOSトランジスタであり、前記第3のトランジスタはnチャネルMOSトランジスタであることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  5. 請求項4記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタは、エンハンスメント型で動作することを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  6. 請求項1記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記制御回路は、前記第2のトランジスタのゲートにおいて供給電圧に維持することを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  7. スイッチングされる高電圧に結合されたドレインと、回路出力に結合されたゲートと、第1の節点に結合されたソースとを有するデプレッション型nチャネル電界効果トランジスタと、
    前記第1の節点に結合されたソースと、前記回路出力に結合されたドレインと、トランジスタ動作を制御するためのゲートと、前記第1の節点に結合された基板とを有するpチャネル電界効果トランジスタと、
    前記回路出力に結合されたソースと、トランジスタ動作を制御するためのゲートとを有するエンハンスメント型nチャネル電界効果トランジスタと、
    前記pチャネル電界効果トランジスタ及び前記エンハンスメント型nチャネル電界効果トランジスタに結合され、前記pチャネル電界効果トランジスタと前記エンハンスメント型nチャネル電界効果トランジスタの動作を制御して、前記デプレッション型nチャネル電界効果トランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングして出力信号を生成し、前記pチャネル電界効果トランジスタのゲート電圧を0Vより大きい状態に維持する制御回路と、
    を備えることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  8. 請求項7記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記トランジスタは、金属酸化膜半導体構造で構成されることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  9. 請求項7記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記制御回路は、
    第1の信号に結合された第1の入力と、第2の信号に結合された第2の入力と、前記pチャネル電界効果トランジスタのゲートに結合された出力とを有するNANDゲートと、
    前記第1の信号に結合された入力と、前記エンハンスメント型nチャネル電界効果トランジスタのゲートに結合された出力とを有するインバータゲートと、
    を備えることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  10. 請求項9記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記第2の信号は、反転され、且つ、所定の時間だけ遅延される前記第1の信号で構成されることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  11. 請求項9記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記第2の信号は、反転され、且つ、所定の時間だけ遅延される前記出力信号で構成されることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  12. 請求項7記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記エンハンスメント型nチャネルトランジスタは、さらに、回路アースに結合されたドレインを備えることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  13. データを記憶するための複数のメモリセルを備えるメモリアレイと、
    供給電圧と、前記供給電圧よりも大きいプログラミング電圧とを生成する電圧生成回路と、
    前記電圧生成回路及び前記メモリアレイに結合された高電圧スイッチング回路と、
    を備え、
    前記高電圧スイッチング回路は、
    スイッチングされる高電圧に結合され、回路出力に結合されたゲートを有する第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタと前記回路出力との間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートを有する第2のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタと回路アースとの間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートを有する第3のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタに結合され、前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタの動作を制御して、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記第2のトランジスタのゲート電圧を0Vより大きい状態に維持する制御回路と、
    を備えることを特徴とするメモリデバイス。
  14. 請求項13記載のメモリデバイスにおいて、
    前記メモリアレイは、不揮発性フラッシュメモリセルで構成されることを特徴とするメモリデバイス。
  15. 請求項13記載のメモリデバイスにおいて、
    前記メモリアレイは、NAND構成メモリアレイであることを特徴とするメモリデバイス。
  16. 請求項13記載のメモリデバイスにおいて、
    前記メモリアレイは、NOR構成メモリアレイであることを特徴とするメモリデバイス。
  17. メモリ制御信号を生成するプロセッサと、
    前記プロセッサに結合された不揮発性メモリセルデバイスと、
    を備える電子システムにおいて、
    前記メモリセルデバイスは、
    データを記憶するための複数のメモリセルを備えるメモリアレイと、
    供給電圧と、前記供給電圧よりも大きいプログラミング電圧とを生成する電圧生成回路と、
    前記電圧生成回路及び前記メモリアレイに結合された高電圧スイッチング回路と、
    を備え、
    前記高電圧スイッチング回路は、
    スイッチングされる高電圧に結合され、回路出力に結合されたゲートを有する第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタと前記回路出力との間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートを有する第2のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタと回路アースとの間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートを有する第3のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタに結合され、前記第2のトランジスタと前記第3のトランジスタの動作を制御して、前記第1のトランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記第2のトランジスタのゲート電圧を0Vより大きい状態に維持する制御回路と、
    を備えることを特徴とする電子システム。
  18. 半導体不揮発性メモリデバイスと、
    前記メモリデバイスとホストシステムとの間を選択的に接続するように構成された複数の接点と、
    を備えるメモリモジュールにおいて、
    前記メモリデバイスは、
    データを記憶するための複数のメモリセルを備えるメモリアレイと、
    供給電圧と、前記供給電圧より大きい高電圧とを生成する電圧生成回路と、
    前記電圧生成回路及び前記メモリアレイに結合された高電圧スイッチング回路と、
    を備え、
    前記高電圧スイッチング回路は、
    スイッチングされる高電圧に結合され、回路出力に結合されたゲートを有する第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタと前記回路出力との間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートを有する第2のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタと回路アースとの間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートを有する第3のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタに結合され、前記第2のトランジスタと前記第3のトランジスタの動作を制御して、前記第1のトランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記第2のトランジスタのゲート電圧を0Vより大きい状態に維持する制御回路と、
    を備えることを特徴とするメモリモジュール。
  19. 請求項18記載のメモリモジュールにおいて、
    前記メモリデバイスに結合され、前記ホストシステムに応答して前記メモリデバイスの動作を制御するメモリコントローラを、さらに含むことを特徴とするメモリモジュール。
  20. スイッチングされる高電圧に結合されたドレインと、回路出力に結合されたゲートと、第1の節点に結合されたソースと、を有するデプレッション型nチャネル電界効果トランジスタと、
    前記第1の節点に結合されたソースと、前記回路出力に結合されたドレインと、トランジスタ動作を制御するためのゲートと、前記第1の節点に結合された基板と、を有するpチャネル電界効果トランジスタと、
    前記回路出力に結合されたソースと、第1の制御電圧信号に結合され、トランジスタ動作を制御するためのドレインと、供給電圧に結合されたゲートと、を有するエンハンスメント型nチャネル電界効果トランジスタと、
    前記pチャネル電界効果トランジスタのゲート及び前記エンハンスメント型nチャネル電界効果トランジスタのドレインに結合され、前記トランジスタを制御して、前記第1の制御電圧信号と第2の制御電圧信号とに応じて、前記デプレッション型nチャネル電界効果トランジスタと前記pチャネル電界効果トランジスタを介し前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記pチャネル電界効果トランジスタのゲート電圧を0Vよりも大きい状態に維持する制御回路と、
    を備えることを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  21. 請求項20記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記制御回路はNANDゲートで構成され、前記NANDゲートは前記第1の制御電圧信号に結合された第1の入力と、前記第2の制御電圧信号に結合された第2の入力と、前記pチャネル電界効果トランジスタのゲートに結合された出力と、を有することを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  22. 請求項20記載の高電圧スイッチング回路において、
    前記高電圧は、前記供給電圧よりも大きい電圧レベルを有することを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  23. 前記高電圧と第1の節点との間に結合され、回路出力に結合されたゲートを有する第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタと前記回路出力との間に結合され、トランジスタ動作を制御するためのゲートと、前記第1の節点に結合されたウェル接続部と、を有する第2のトランジスタと、
    前記第2のトランジスタ及び前記回路出力に結合され、第1の制御電圧信号入力を有する信号パス回路と、
    前記第1の制御電圧信号と第2の制御電圧信号とを備える複数の制御電圧信号と、
    を備える高電圧スイッチング回路において、
    前記第1の制御電圧信号は、前記第2のトランジスタにHレベル信号を送って前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、又は、Lレベル信号を送ってアースを前記回路出力へスイッチングし、前記第2の制御電圧信号は、前記第2のトランジスタのゲートに結合され、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記第2のトランジスタのゲート電圧を0Vより大きい状態に維持することを特徴とする高電圧スイッチング回路。
  24. デプレッション型で動作し、高電圧に結合された第1のNMOSトランジスタと、前記第1のNMOSトランジスタと回路出力との間に結合されたPMOSトランジスタと、エンハンスメント型で動作し、前記回路出力に結合された第2のNMOSトランジスタと、前記PMOSトランジスタ及び前記第2のNMOSトランジスタに結合された制御回路と、を備えた回路において前記高電圧をスイッチングする方法において、
    第1の所定時間において状態を変化させる第1の制御信号を生成するステップと、
    前記第1の所定時間から所定の遅延にて状態を変化させる第2の制御信号を生成するステップと、
    前記第1の制御信号と前記第2の制御信号とを論理結合し、前記第1のNMOSトランジスタと前記PMOSトランジスタを介して前記高電圧を前記回路出力へスイッチングし、前記回路出力が前記高電圧になった後、前記PMOSのゲート接続部での電圧が0Vよりも大きくなるように前記PMOSトランジスタと前記第2のNMOSトランジスタを制御するステップと、
    を備えることを特徴とする高電圧をスイッチングする方法。
  25. 請求項24記載の高電圧をスイッチングする方法において、
    前記論理結合は、前記第1の制御信号と前記第2の制御信号とをNAND論理演算して、前記NAND演算の出力を前記PMOSトランジスタのゲート接続部に結合することを特徴とする高電圧をスイッチングする方法。
  26. 請求項25記載の高電圧をスイッチングする方法において、
    前記第1の制御信号は、前記第2のNMOSトランジスタのゲート接続部に結合される前に反転されることを特徴とする高電圧をスイッチングする方法。
  27. 請求項24記載の高電圧をスイッチングする方法において、さらに、
    前記第2のNMOSトランジスタのゲート接続部を供給電圧にバイアスするステップを備え、
    前記第1の制御信号は前記第2のNMOSトランジスタのドレイン接続部に結合され、
    前記論理結合は、前記第1の制御信号と前記第2の制御信号とのNAND論理演算を行い、前記PMOSトランジスタのゲート接続部に前記NAND演算の出力を加えることを特徴とする高電圧をスイッチングする方法。
  28. 請求項24記載の高電圧をスイッチングする方法において、
    前記第2の制御信号を生成するステップは、前記第1の制御信号を反転して、遅延させることを特徴とする高電圧をスイッチングする方法。
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