KR100714034B1 - 반도체 소자의 고전압 스위치 회로 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자의 고전압 스위치 회로에 관한 것으로, 본 발명은 백 바이어스로 인한 문턱 전압 상승를 줄여 약1.4V이하의 저전압에서도 플래시메모리에서 필요로 하는 약 20V이상의 고전압을 효과적으로 스위칭 할 수 있으며, 본 발명의 스위치 회로를 통해 저전압의 메모리 소자를 개발할 수 있고, 펌핑 커패시터의 면적도 줄일 수 있는 반도체 소자의 고전압 스위치 회로를 제공한다.
펌핑부, 네이티브 트랜지스터, 포지티브 피드백

Description

반도체 소자의 고전압 스위치 회로{High voltage switch circuit of semiconductor device}
도 1은 종래 기술에 따른 고전압 스위치 회로도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자의 고전압 스위치 회로도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 100 : 펌핑부 20, 300 : 프리차지부
30, 200 : 스위치부
본 발명은 반도체 소자의 고전압 스위치 회로에 관한 것으로, 특히, 저전압에서 고전압을 효과적으로 전달시켜줄 수 있는 고전압 스위치 회로에 관한 것이다.
반도체 소자에는 입력 전원전압보다 높은 펌핑된 전압이 필요하고, 이러한 전압을 통과시키기 위해서는 고전압 전달 스위치가 필요하다.
도 1은 종래 기술에 따른 고전압 스위치 회로도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 고전압 스위치 회로는 외부의 인에이블 신호(EN)와 클럭 신호(CLK)에 따라 펌핑 클럭 신호(P_CLK)를 출력하는 낸드 게이트(NG1)와, 외부 제 1 고전압(Vpp)과 펌핑 클럭 신호(P_CLK)에 따라 펌핑전압(Vpump)을 출력하는 펌핑부(10)와, 인에이블 신호(EN)에 따라 펌핑부(10)의 출력을 프리차지하는 프리차지부(20)와, 펌핑부(10)의 펌핑전압(Vpump)에 따라 제 2 고전압(Vin)을 전송하는 스위치부(30)를 포함한다.
펌핑부(10)는 펌핑 클럭 신호 입력단과 펌핑부(10)의 출력단 사이에 접속된 제 1 커패시터(C1)와, 펌핑 클럭 신호 입력단과 제 1 노드(Q1) 사이에 직렬로 접속된 인버터(I1)와 제 2 커패시터(C2)와, 제 1 노드(Q1)와 펌핑부(10)의 출력단 사이에 접속되어 상기 제 1 노드(Q1)에 따라 구동하는 네이티브 제 1 트랜지스터(T1)와, 제 1 노드(Q1)와 외부 고전압 입력단 사이에 접속되어 상기 펌핑부(10)의 출력단에 따라 구동하는 제 2 트랜지스터(T2)를 포함한다.
프리차지부(20)는 인에이블 신호 입력단과 펌핑부(10)의 출력단 사이에 접속되어 전원전압(Vcc)에 따라 구동하는 제 3 트랜지스터(T3)를 포함한다. 스위치부(30)는 제 2 고전압 입력단(Vin)과 제 2 고전압 출력단(Vout) 사이에 접속되어 펌핑부(10)의 출력에 따라 구동하는 제 4 트랜지스터(T4)를 포함한다.
이하, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 종래의 고전압 스위치 회로의 동작에 관해 설명한다.
인에이블 신호(EN)가 로직 하이가 되면 제 3 트랜지스터(T3)에 의해 펌핑부(10)의 출력단을 프리차지한다. 이때 클럭 신호(CLK)에 따라서 낸드 게이트(NG1)의 출력값이 변화하게 되고, 인버터(I1)에 의해 그 값이 반전된다. 제 1 및 제 2 커패시터(C1 및 C2)와, 제 1 및 제 2 트랜지스터(T1 및 T2)로 구성된 포지티브 피드백 루프(Positive Feedback Loop)를 통해 펌핑전압(Vpump)을 생성하게 된다. 하지만, 종래의 회로에 있어서는, 제 1 및 제 2 트랜지스터(T1 및 T2)의 백 바이어스(Back Bias)로 인해 문턱 전압이 상승하게 되고, 이로인해 포지티브 피드백 루프의 손실이 증대하게 된다. 이로써, 전원전압이 2.5V 이하의 저전압에서는 고전압 스위치가 제대로 동작하지 않게 되는 문제점이 발생하였다.
따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 펌프부 내의 트랜지스터를 네이티브 트랜지스터와 트리플 웰을 갖는 트랜지스터로 구성하고, 외부의 제어 트랜지스터를 두어 백 바이어스로 인한 포지티브 피드백 루프의 손실을 감소시킴으로써 고전압을 효과적으로 전달할 수 있도록 한다.
본 발명에 따른 클럭 신호와 인에이블 신호의 로직 조합에 따라 펌핑 클럭 신호를 출력하는 낸드 게이트와, 네이티브 트랜지스터와 트리플 웰을 갖는 트랜지스터를 포함하고 제 1 고전압과 상기 펌핑 클럭 신호에 따라 펌핑전압을 출력하는 펌핑부 및 상기 펌핑전압에 따라 제 2 고전압을 전송하는 스위치부를 포함하고, ㅍ상기 트리플 웰을 갖는 트랜지스터는 상기 펌핑부의 출력에 따른 제 1 고전압을 벌크에 제공받는 반도체 소자의 고전압 스위치 회로를 제공한다.
바람직하게 상기 펌핑부는 상기 펌핑 클럭 신호의 전압을 상기 펌핑부의 출력으로 펌핑하는 제 1 커패시터와, 상기 펌핑 클럭 신호를 반전하는 인버터와, 상기 반전된 펌핑 클럭 신호의 전압을 제 1 노드에 펌핑하는 제 2 커패시터와, 상기 제 1 노드에 따라 상기 제 1 노드의 전압을 상기 펌핑부의 출력단에 인가하는 트리플 웰을 갖는 제 1 트랜지스터와, 상기 펌핑부의 출력단에 따라 상기 제 1 고전압을 상기 제 1 노드에 전송하는 네이티브 제 2 트랜지스터 및 상기 펌핑부의 출력단에 따라 상기 제 1 고전압을 상기 제 1 트랜지스터의 벌크에 전송하는 네이티브 제 3 트랜지스터를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자의 고전압 스위치 회로도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 고전압 스위치 회로는 외부의 클럭 신호(CLK)와 인에이블 신호(EN)의 로직 조합에 따라 펌핑 클럭 신호(P_CLK)를 출력하는 낸드게이트(NG100)와, 백바이어스 효과를 줄일 수 있는 네이티브 트랜지스터와 트리플 웰을 갖는 트랜지스터를 포함하고 외부 제 1 고전압(Vpp)과 펌핑 클럭 신호(P_CLK)에 따라 펌핑전압(Vpump)을 출력하는 펌핑부(100)와, 펌핑전압(Vpump)에 따라 제 2 고전압(Vin)을 전송하는 스위치부(200)와, 인에이블 신호(EN)에 따라 펌핑부(100)의 출력을 프리차지 하는 프리차지부(300)를 포함한다.
펌핑부(100)는 펌핑 클럭 신호(P_CLK)의 전압을 펌핑부(100)의 출력으로 펌핑하는 제 1 커패시터(C100)와, 펌핑 클럭 신호(P_CLK)를 반전하는 인버터(I100)와, 반전된 펌핑 클럭 신호의 전압을 제 1 노드(Q100)에 펌핑하는 제 2 커패시터(C200)와, 제 1 노드(Q100)에 따라 제 1 노드(Q100)의 전압을 펌핑부(100)의 출력단에 인가하는 트리플 웰을 갖는 제 1 트랜지스터(T100)와, 펌핑부(100)의 출력단에 따라 제 1 고전압(Vpp)을 제 1 노드(Q100)에 전송하는 네이티브 제 2 트랜지스터(T200)와, 펌핑부(100)의 출력단에 따라 제 1 고전압(Vpp)을 제 1 트랜지스터(T100)의 벌크에 전송하는 네이티브 제 3 트랜지스터(T300)를 포함한다.
스위치부(200)는 펌핑 전압(Vpump)에 따라 제 2 고전압(Vin)을 전송하는 제 4 트랜지스터(T400)를 포함한다. 프리차지부(300)는 전원전압(Vcc)에 따라 인에이블 신호(EN)의 전압으로 펌핑부(100)의 출력단을 프리차지 하는 제 5 트랜지스터(T500)를 포함한다.
본 실시예에서는 백 바이어스로 인한 트랜지스터의 문턱 전압 상승을 방지하기 위하여 제 2 트랜지스터(T200)를 네이티브 트랜지스터로 하였으며, 제 1 트랜지 스터(T100)를 트리플 웰을 갖는 LVN 트랜지스터를 사용하고, 제 1 트랜지스터(T100)의 벌크 바이어스를 상승시키기 위해 네이티브 트랜지스터를 사용하였다. 이로써, 저전압(약 2.5V이하)에서도 고전압을 효과적으로 전달할 수 있도록 하였다. 이때, 제 1 및 제 2 트랜지스터(T100 및 T200)는 포지티브 피드백 루프를 구성하고 있다. 본 실시예에서는 약 1.4V이하의 저전압에서도 고전압을 전송할 수 있다.
이하, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 스위치 회로의 동작에 관해 설명한다.
먼저 인에이블 신호(EN)가 로직 하이가 되면, 펌핑부(100)의 출력이 제 5 트랜지스터(T500)에 의해 프리차지 되고, 클럭 신호(CLK)에 의해 펌핑 클럭 신호(P_CLK)의 상태가 변화하게 된다. 변화된 펌핑 클럭 신호(P_CLK) 만큼 펌핑부(100)의 출력이 상승하게 되고, 펌핑부(100) 출력이 상승한 만큼 제 1 노드(Q100)가 상승하게된다. 다시한번 펌핑 클럭 신호(P_CLK)가 변화하게 되면, 제 1 트랜지스터(T100)의 문턱 전압 손실을 거쳐 펌핑부(100)의 출력이 재 상승하게 된다.
이와 같은 포지티브 피드백 동작을 통해 펌핑부(100)의 출력(펌핑전압)이 제 2 고전압(Vin)과 동일한 레벨의 전압이 되도록 한다. 펌핑전압(Vpump)을 제 4 트랜지스터(T400)의 게이트 전압으로 사용하여 제 2 고전압(Vin)을 효과적으로 전달하게 된다. 즉 펌핑 전압(Vpump)이 Vin + Vt(T400)이상이면 제 2 고전압(Vin)은 아무런 손실 없이 Vout으로 전달된다. 제 2 고전압(Vin)은 약 20V 이상의 전압을 지칭 한다.
또한, 제 3 트랜지스터(T300)에 의해 제 1 트랜지스터(T100)의 문턱 전압 손실을 최소화하여 펌핑전압(Vpump)이 감소되는 현상을 방지할 수 있게 된다. 이는 게이트 전압과 벌크전압간의 차가 클수록 문턱 전압이 높아지는 현상을 제 3 트랜지스터(T300)를 통해 제 1 트랜지스터(T100)의 게이트 전압과 동일한 레벨의 전압을 제 1 트랜지스터(T100)의 벌크에 인가함으로써 해결할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 백 바이어스로 인한 문턱 전압 상승를 줄여 약1.4V이하의 저전압에서도 플래시메모리에서 필요로 하는 약 20V이상의 고전압을 효과적으로 스위칭 할 수 있다.
또한, 본 발명의 스위치 회로를 통해 저전압의 메모리 소자를 개발할 수 있고, 펌핑 커패시터의 면적도 줄일 수 있다.

Claims (3)

  1. 클럭 신호와 인에이블 신호의 로직 조합에 따라 펌핑 클럭 신호를 출력하는 낸드 게이트;
    네이티브 트랜지스터와 트리플 웰을 갖는 트랜지스터를 포함하고 제 1 고전압과 상기 펌핑 클럭 신호에 따라 펌핑전압을 출력하는 펌핑부; 및
    상기 펌핑전압에 따라 제 2 고전압을 전송하는 스위치부를 포함하고,
    상기 트리플 웰을 갖는 트랜지스터는 상기 펌핑부의 출력에 따른 제 1 고전압을 벌크에 제공받는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 고전압 스위치 회로.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 펌핑부는,
    상기 펌핑 클럭 신호의 전압을 상기 펌핑부의 출력으로 펌핑하는 제 1 커패시터;
    상기 펌핑 클럭 신호를 반전하는 인버터;
    상기 반전된 펌핑 클럭 신호의 전압을 제 1 노드에 펌핑하는 제 2 커패시터;
    상기 제 1 노드에 따라 상기 제 1 노드의 전압을 상기 펌핑부의 출력단에 인가하는 트리플 웰을 갖는 제 1 트랜지스터;
    상기 펌핑부의 출력단에 따라 상기 제 1 고전압을 상기 제 1 노드에 전송하는 네이티브 제 2 트랜지스터; 및
    상기 펌핑부의 출력단에 따라 상기 제 1 고전압을 상기 제 1 트랜지스터의 벌크에 전송하는 네이티브 제 3 트랜지스터를 포함하는 반도체 소자의 고전압 스위치 회로.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 인에이블 신호에 따라 상기 펌핑부의 출력을 프리차지 하는 제 5 트랜지스터를 더 포함하는 반도체 소자의 고전압 스위치 회로.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101569963B1 (ko) 2012-06-19 2015-11-17 인피니언 테크놀로지스 아게 승압 스위치에 대한 시스템 및 방법

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100520682B1 (ko) * 2004-02-25 2005-10-11 주식회사 하이닉스반도체 반도체 소자의 고전압 스위치 회로
JP4199765B2 (ja) * 2005-12-02 2008-12-17 マイクロン テクノロジー,インコーポレイテッド 高電圧スイッチング回路
US7599231B2 (en) * 2006-10-11 2009-10-06 Atmel Corporation Adaptive regulator for idle state in a charge pump circuit of a memory device
US7471135B2 (en) * 2006-12-05 2008-12-30 Cypress Semiconductor Corp. Multiplexer circuit
US7821866B1 (en) 2007-11-14 2010-10-26 Cypress Semiconductor Corporation Low impedance column multiplexer circuit and method
EP2245191A1 (en) * 2008-01-17 2010-11-03 Sequenom, Inc. Single molecule nucleic acid sequence analysis processes and compositions
KR101610829B1 (ko) * 2009-12-15 2016-04-11 삼성전자주식회사 트리플 웰 구조를 가지는 플래시 메모리 소자
US8493255B2 (en) * 2011-02-24 2013-07-23 Texas Instruments Incorporated High speed, high voltage multiplexer
KR101516306B1 (ko) * 2014-06-16 2015-05-04 (주)피델릭스 플래시 메모리 장치의 고전압 스위칭 회로의 레이아웃
KR101516316B1 (ko) * 2014-06-24 2015-05-04 (주)피델릭스 플래시 메모리 장치의 고전압 스위칭 회로 및 이에 포함되는 펌핑 모스 트랜지스터의 레이아웃
CN104753511B (zh) * 2015-04-20 2017-11-07 中国电子科技集团公司第二十四研究所 一种低压低功耗线型模拟开关

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010009557A (ko) * 1999-07-12 2001-02-05 김영환 고속 컬럼 동작용 고전압 발생 장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69519090T2 (de) * 1995-07-28 2001-06-13 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Verbesserte Ladungspumpenschaltung
US5767729A (en) * 1996-10-31 1998-06-16 Integrated Silicon Solution Inc. Distribution charge pump for nonvolatile memory device
US5784326A (en) * 1997-06-04 1998-07-21 Holtek Microelectronics Inc. Voltage raising device
JP3910765B2 (ja) * 1999-09-08 2007-04-25 株式会社東芝 電圧発生回路及びこれを用いた電圧転送回路
KR100535650B1 (ko) * 2002-07-15 2005-12-08 주식회사 하이닉스반도체 플래쉬 메모리 장치의 블럭 선택 회로
US6930536B2 (en) * 2003-11-04 2005-08-16 Micron Technology, Inc. Voltage booster

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010009557A (ko) * 1999-07-12 2001-02-05 김영환 고속 컬럼 동작용 고전압 발생 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101569963B1 (ko) 2012-06-19 2015-11-17 인피니언 테크놀로지스 아게 승압 스위치에 대한 시스템 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US7030684B2 (en) 2006-04-18
KR20050034847A (ko) 2005-04-15
TWI277295B (en) 2007-03-21
US20050077951A1 (en) 2005-04-14
JP4429096B2 (ja) 2010-03-10
JP2005117619A (ja) 2005-04-28
TW200524276A (en) 2005-07-16

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