JP4160174B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係わり、特にTFTを含む装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、多結晶シリコンや非結晶シリコンは、CVD法(Chemical Vapor Deposition)等によって透明基板上に成膜を行うことが可能であることから、液晶表示装置への応用が盛んに行われるに至っている。そして、これらの材料は画像表示部の画素電極に画像信号を印加するためのスイッチング素子の形成に用いられる他、多結晶シリコンについては更に画素部のスイッチング素子を動作させるための駆動回路(主にCMOSトランジスタから構成される)への応用も研究されている。
【0003】
多結晶シリコンをTFTの活性層に使用したCMOSトランジスタの従来の製造方法について、図6ならびに図7を用いて説明する。図6(a)に示されたように、無アルカリガラス基板21上に窒化シリコン膜22と非結晶シリコン膜23とをCVD(Chemical Vapor Deposition )法を用いて順に成膜する。その後、非結晶シリコン膜23中のH量を減らすために、N2 雰囲気中において摂氏500度で1時間アニールを行う。
【0004】
図6(b)に示されたように、エキシマレーザを用いて非結晶シリコン膜23を瞬時に溶融させ、多結晶シリコン膜24を成長させる。
【0005】
得られた多結晶シリコン膜24をCDE法(Chemical Dry Etching)によってパターニングすることにより、図6(c)に示されたように島状のn型TFT用の多結晶シリコン膜24aと、島状のp型TFT用の多結晶シリコン膜24bとを形成する。
【0006】
図6(d)のように、CVD法を用いて全面にゲート絶縁膜26を堆積する。
続いてスパッタリングによって全面に金属膜を堆積し、図6(e)に示されたようにRIE(reactive ion etching)法を用いて金属膜をパターニングし、n型TFTのゲート電極27aとp型TFTのゲート電極27bとを形成する。
【0007】
図6(f)に示されたように、ゲート電極27a及び27bをマスクとしてn型不純物であるリンを低濃度でイオン注入する。これにより、図6(g)に示されたようにゲート電極に対して自己整合的に、n型TFTのソース、ドレイン領域24a2と、p型TFTのソース、ドレイン領域24b2とを形成する。
【0008】
次に、全面にレジストを塗布し、図7(a)に示されたようにPEP(Photo Engraving Process )を経てp型TFTの上部全体、及びn型TFTのゲート電極27aよりわずかに大きい領域を覆うようにレジスト膜28を形成する。このレジスト膜28をマスクとして、リンを高濃度にイオン注入する。これにより、n型TFTのソース、ドレイン領域として高濃度領域24a2と低濃度領域24a3とを有するLDD構造が得られる。
【0009】
レジスト膜28をアッシング法によって除去し、再度レジストを全面に塗布する。PEPによりパターニングを行い、図7(b)に示されたようにn型TFT領域上全体を被覆するレジスト膜29を形成する。レジスト膜29をマスクとしてボロンを高濃度にイオン注入し、p型TFTのソース、ドレイン領域24b1にボロンを導入する。
【0010】
レジスト膜29を除去し、図7(c)に示されたようにCVD法を用いて全面にシリコン酸化膜30を堆積する。図7(d)に示されたように、シリコン酸化膜30にパターニングを行ってコンタクトホール31を開口する。
【0011】
図7(e)のように、コンタクトホール31に金属膜を埋め込むことにより、信号線32を形成してCMOSトランジスタを得る。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の半導体装置及びその製造方法には、それぞれの閾値電圧Vthを最適に設定することができないという問題があった。
【0013】
一般に、多結晶シリコンを活性層に用いるCMOSトランジスタは、結晶粒界にドナー型のトラップを含む。このため、TFTの閾値電圧Vthは負側にシフトする。すなわち、n側TFTはディプレッション型、P型TFTはエンハンスメント型になる。さらに、多結晶シリコン中のトラップは不均一で再現性に乏しく、閾値電圧が通常約2Vの広い範囲に跨がって変動する。
【0014】
このような閾値電圧を有するトランジスタを用いてCMOS型回路を構成しようとしても、n型TFTとp型TFTの両者がオン状態になり、回路動作に支障をきたすことになる。
【0015】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、所望の閾値電圧の設定が可能で回路動作が安定するCMOS構成の半導体装置を提供することを目的とする。
【0016】
【発明を解決するための手段】
本発明による半導体装置は、多結晶シリコン層を活性層とするp型及びn型薄膜トランジスタを含む半導体装置において、前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物のみを含み、前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物のみを含み、且つ前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度よりも前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度が高いことを特徴とする。
【0017】
本発明による半導体装置は、多結晶シリコン層を活性層とするp型及びn型薄膜トランジスタを含む半導体装置において、前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物のみを含み、前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物及びn型不純物を含み、且つ前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度と前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度が同じであることを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のー実施の形態について図面を参照して説明する。
【0026】
本発明の第1の実施の形態による半導体装置の構成について、その縦断面を示す図4を用いて述べる。ガラス基板1上にn型TFT及びp型TFTを含むCMOS回路が形成されている。
【0027】
ガラス基板1の表面上に、約300nmの膜厚のシリコン窒化膜SiNx2が形成されており、このシリコン窒化膜2上に膜厚が約50nmの多結晶シリコン膜から成る半導体膜4a及び4bが形成されている。半導体膜4aはn型TFTの活性層、半導体膜4bはp型TFTの活性層に相当する。シリコン窒化膜2と半導体膜4a及び4bとを覆うように、約100nmの膜厚のシリコン酸化膜から成るゲート絶縁膜6が形成されている。
【0028】
ゲート絶縁膜6の表面上において、半導体膜4aにおけるn型チャネル領域4a1上に約200nmの膜厚のゲート電極7aが形成され、半導体膜4bにおけるp型チャネル領域4b1上に約200nmの膜厚のゲート電極7bが形成されている。半導体膜4aのn型チャネル領域4a1の両側には、高濃度不純物領域4a2及び低濃度不純物領域4a3から成るLDD構造のソース、ドレイン領域が形成されている。半導体膜4bのp型チャネル領域4b1の両側には、高濃度不純物領域4b2から成るソース、ドレイン領域が形成されている。
【0029】
さらに、ゲート絶縁膜6とゲート電極7a及び7bの表面上に、シリコン酸化膜から成る層間絶縁膜10が形成されている。層間絶縁膜10にはソース、ドレイン領域4a2、4b2上にコンタクトホールが開口され、半導体膜が埋め込まれて配線層(信号線電極)12が形成されている。
【0030】
そして本実施の形態による半導体装置は、n型TFTのチャネル領域4a1と、p型TFTのチャネル領域4b1とで不純物濃度が異なっている点に特徴がある。具体的には、n型チャネル領域4a1にはボロンが約1.6E12/cm2 、p型チャネル領域4b1にはボロンが約1.8E11/cm2 の濃度で導入されており、n型チャネル領域4a1の方がp型チャネル領域4b1よりもp型不純物濃度が高い。
【0031】
即ち、n型TFTとp型TFTとでチャネル領域の不純物濃度が独立して設定されており、それぞれ最適な閾値電圧Vthを得ることができるので、回路動作が安定している。以下に、このような装置を製造する方法について述べる。
【0032】
図1(a)に示されたように、ガラス基板1上にCVD法を用いてシリコン窒化膜2を約300nmの膜厚で成膜し、その表面上に非結晶シリコン膜3を約50nmの膜厚で成膜する。非結晶シリコン膜3に含まれる水素濃度を0.1atom%以下まで低減するため、摂氏500度で約1時間アニール処理を行う。
【0033】
図1(b)に示されたように、水素希釈を行ったB2 H6 を、イオンドーピング装置を用いて、例えば加速電圧が約10kV、ドーズ量が8E11/cm2 の条件で1回目のボロンのイオン注入を行う。イオンドーピング装置内で表面吸着したB2 H6 等の不純物元素を除去するため、非結晶シリコン膜3の表面をHF溶液で洗浄し、さらに純水でリンスする。
【0034】
図1(c)に示されたように、エキシマレーザアニール装置を用いてガラス基板1に短パルスのレーザ照射を行い結晶化させることによって、多結晶シリコン膜4を得る。この処理により、注入されたボロンが活性化され、p型TFTのチャネル領域の閾値電圧Vthが決定される。
【0035】
表面全体にレジストを塗布し、露光及び現象処理を行ない、TFTとなる領域に対応した部分にレジストが残るようにレジスト膜を形成する。このレジスト膜をマスクとして多結晶シリコン膜4にCDEを行い、図1(d)に示されたように島状の多結晶シリコン膜4a及び4bを形成する。
【0036】
レジスト膜を除去し、再びレジストを塗布してp型TFTの多結晶シリコン膜4bを覆い、n型TFTの部分を露出したレジスト膜5を形成する。
【0037】
レジスト膜5をマスクとし、イオンドーピング装置を用いて加速電圧が約10kV、ボロンのドーズ量が約8E11/cm2 で2回目のイオン注入を行う。
【0038】
このように、本実施の形態ではチャネル領域へのイオン注入を2回行う点に特徴がある。先ず、p型チャネル領域として所望の濃度が得られるように1回目のイオン注入をn型及びp型チャネル領域の両方に行う。さらに、1回目のイオン注入と合計した濃度がn型チャネルの所望の濃度となるように、2回目のイオン注入をn型チャネル領域にのみ行う。図2(a)のように、レジスト膜5を除去した後、図2(b)のように熱酸化法を用いてシリコン酸化膜6を約100nmの膜厚で成膜する。
【0039】
図2(c)に示されたように、シリコン酸化膜6上にスパッタリングを行って金属膜としてモリブデンおよびタングステンの合金を約250nmの膜厚で堆積する。レジストを全面に塗布し、n型及びp型TFTのゲート電極の形状に対応したレジスト膜にパターニングを行う。このレジスト膜をマスクとして、金属膜にRIE(Reactive Ion Eching )を行ってn型TFTのゲート電極7a及びp型TFTのゲート電極7bを得る。
【0040】
図2(d)に示されたように、ゲート電極7a及びゲート電極7bをマスクとし、n型不純物として例えばリンをドーズ量3E13/cm2 、加速電圧80keVにてイオン注入を行う。これにより、n型TFTの半導体膜4aにおいてチャネル領域4a1の両側に低濃度不純物領域4a2が形成される。
【0041】
全面にレジストを塗布し、図3(a)に示されたように、p型TFTの全面を覆いかつn型TFTのゲート電極7aを覆うようなレジスト膜8を形成する。ここで、n型TFTのゲート電極を覆う部分は、ゲート電極7aの幅よりも片側が約2μm広くなるように設定する。PH3 ガスを用い、レジスト膜8をマスクとしn型不純物としてリンを加速電圧1E15/cm2 、ドーズ量65keVでイオン注入する。この工程により、n型TFTの半導体膜4aには、チャネル領域4a1の両側に低濃度不純物領域4a3が存在し、さらにその外側には高濃度不純物領域4a2が形成されることになり、LDD構造が得られる。高濃度不純物領域4a2とチャネル領域4a1との間の低濃度不純物領域4a3は、チャネル領域からドレイン、ソース領域への濃度勾配を下げて電界集中を緩和し、リーク電流の低減とTFTの劣化を防ぐために形成される。
【0042】
アッシング法を用いてレジスト膜8を除去した後、再度フォトレジストを全面に塗布する。図3(b)に示されたように、n型TFTを覆いp型TFTの部分が露出するようなレジスト膜9を形成し、このレジスト膜9をマスクとしてボロンをイオン注入する。このボロンのイオン注入ではB2 H6 ガスを使用し、ドーズ量は約2E15/cm2 、加速電圧は50keVとする。この後、レジスト膜9をアッシング法により除去する。
【0043】
この後、例えばN2 雰囲気中において摂氏600度で約1時間アニールを行う。これは、多結晶シリコン膜から成る半導体膜4a及び4bにイオン注入された不純物を活性化するためである。
【0044】
プラズマCVD法を用いて、図3(c)に示されたようにシリコン酸化膜から成る層間絶縁膜10を例えば400nmの膜厚で堆積する。レジストを全面に塗布し、n型TFT及びp型TFTにおけるソース、ドレイン領域のコンタクト部分が除去されたレジスト膜を形成する。このレジスト膜をマスクとし、層間絶縁膜10及びゲート絶縁膜6に例えば弗化アンモニウム溶液を用いてエッチングを行う。これにより、図3(d)に示されたように、n型及びp型TFTのソース、ドレイン領域上にコンタクトホール13が開口される。この後、フォトレジストを剥離液にて除去する。
【0045】
図3(e)に示されたように、スパッタリングを行ってMo、A、Moを順に堆積する。膜厚はそれぞれMoは50nm、Aは400nm、Moは50nmとする。この合金層に対してパターニングを行い、図3(e)に示されたように配線層12を形成する。
【0046】
このようにして得られたTFTの特性を従来の製造方法で作製したTFTの特性と比較すると、図8に示されるようである。本実施の形態によるn型TFTのゲート電圧Vgに対するドレイン電流Idは実線L1に示されるようであり、従来のn型TFTの特性を示す破線L2よりも図中右側にシフトしている。同様に、本実施の形態によるp型TFTの特性は実線L11に示されるようであって、従来のp型TFTの特性を示す破線L12よりも図中左側にシフトしている。このように、本実施の形態によれば従来よりもn型TFT及びp型TFTの閾値電圧が+側にシフトする。
【0047】
また、本実施の形態によればn型TFTとp型TFTとの閾値電圧Vthの間隔が広くなる。よって、膜厚や汚染不純物の量が変化して素子毎に閾値電圧Vthがばらついたとしても、TFTがデプレッション型となって常時オンしてしまうような事態が回避される。
【0048】
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。上記第1の実施の形態では、1回目のp型不純物(ボロン)のイオン注入を、p型TFTのチャネル領域4b1において所望の不純物濃度が得られるようにドーズ量を設定してn型及びp型の半導体膜4a及び4bに行い、2回目のp型不純物のイオン注入を、n型TFTのチャネル領域4a1において所望の不純物濃度が得られるようにドーズ量を設定してn型半導体膜4aにのみ行う。
【0049】
これに対し、第2の実施の形態では、1回目のp型不純物のイオン注入を、n型TFTのチャネル領域4a1において所望の不純物濃度が得られるようにドーズ量を設定してn型及びp型の半導体膜4a及び4bに行い、2回目のn型不純物のイオン注入を、p型TFTのチャネル領域4b1において所望の不純物濃度が得られるようにドーズ量を設定してp型半導体膜4aにのみ行う。他の工程は上記第1の実施の形態と同様であり説明を省略する。このような第2の実施の形態によれば、n型及びp型TFTにおけるチャネル領域の不純物濃度を独立して設定することができるので、第1の実施の形態と同様の効果が得られる。
【0050】
本発明の第3の実施の形態について、図5を用いて説明する。本実施の形態は、シリコン酸化膜を用いて多結晶シリコン膜の表面に付着した不純物を除去する点に特徴がある。
【0051】
図5(a)に示されたように、ガラス基板1上にCVD法を用いてシリコン窒化膜2と非結晶シリコン膜3を順に成膜する。非結晶シリコン膜3に含まれる水素濃度を0.1atom%以下まで低減するため、摂氏500度で約1時間アニール処理を行う。
【0052】
図5(b)に示されたように、非結晶シリコン膜3の表面上に、約5nm程度の自然酸化膜81、あるいはCVD法によりシリコン酸化膜81を形成する。この後、非結晶シリコン膜3に対してB2 H6 の1回目のイオン注入を行う。非結晶シリコン膜3の表面をHF溶液で洗浄することでシリコン酸化膜81を剥離し、さらに純水でリンスする。これにより、イオンドーピング装置内で表面吸着したB2 H6 等の不純物元素をより確実に除去することができる。
【0053】
図5(c)に示されたように、エキシマレーザアニール装置を用いてガラス基板1に短パルスのレーザ照射を行い結晶化させて、多結晶シリコン膜4を得る。
【0054】
表面全体にレジストを塗布し、露光及び現象処理を行ない、TFTの活性層に対応した部分にレジストが残るようにレジスト膜を形成する。このレジスト膜をマスクとして多結晶シリコン膜4にCDEを行い、図5(d)に示されたように島状の多結晶シリコン膜4a及び4bを形成する。
【0055】
レジスト膜を除去し、表面全体に自然酸化膜82、あるいはCVD法によりシリコン酸化膜82を形成する。再びレジストを全面塗布し、p型TFTの多結晶シリコン膜4bを覆い、n型TFTの部分を露出したレジスト膜5を形成する。
【0056】
レジスト膜5をマスクとし、ボロンの2回目のイオン注入を行う。レジスト膜5を除去し、さらにHF溶液を用いてシリコン酸化膜82を剥離して多結晶シリコン膜4a及び4bの表面を洗浄し、純水でリンスする。これにより、多結晶シリコン膜4a及び4bに表面吸着したB2 H6 等の不純物元素をより確実に除去することができる。以降の工程は上記第1の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【0057】
本実施の形態によれば、多結晶シリコン膜から成るTFTの活性層表面の不純物をより確実に除去することができる。さらに、上記第1の実施の形態と同様に、n型及びp型TFTにおけるチャネル領域の不純物濃度を独立して設定することが可能である。
【0058】
上述した実施の形態はー例であり、本発明を限定するものではない。例えば、各々の膜の材料や形成方法、不純物領域の不純物の種類やドーズ量、加速電圧は必要に応じて変えることができる。
【0059】
【発明の効果】
本発明の半導体装置によれば、n型TFT、p型TFTのそれぞれのチャネル領域の濃度が異なって設定されるので、それぞれのTFTにおいて所望の閾値に設定することができ、回路特性を改善し安定した動作を得ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による半導体装置の製造方法を工程別に示した縦断面図。
【図2】同第1の実施の形態による半導体装置の製造方法を工程別に示した縦断面図。
【図3】同第1の実施の形態による半導体装置の製造方法を工程別に示した縦断面図。
【図4】同半導体装置の構成を示した縦断面図。
【図5】本発明の第2の実施の形態による半導体装置の製造方法を工程別に示した縦断面図。
【図6】従来の半導体装置の製造方法を工程別に示した縦断面図。
【図7】同半導体装置の製造方法を工程別に示した縦断面図。
【図8】上記第1の実施の形態に従って作製した半導体装置と従来例の製造方法により作製した半導体装置の特性を比較したグラフ。
【符号の説明】
1 ガラス基板
2 窒化シリコン膜
3 非結晶シリコン膜
4 多結晶シリコン膜
4a n型TFT用半導体膜(多結晶シリコン膜)
4b p型TFT用半導体膜(多結晶シリコン膜)
4a1、4b1 チャネル領域
4a2、4b2 高濃度不純物領域
4a3 低濃度不純物領域
5、8、9 レジスト膜
6 ゲート絶縁膜(シリコン酸化膜)
7a、7b ゲート電極
10 層間絶縁膜(シリコン酸化膜)
12 配線層
13 コンタクトホール
Claims (2)
- 多結晶シリコン層を活性層とするp型及びn型薄膜トランジスタを含む半導体装置において、
前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物のみを含み、
前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物のみを含み、
且つ前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度よりも前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度が高いことを特徴とする半導体装置。 - 多結晶シリコン層を活性層とするp型及びn型薄膜トランジスタを含む半導体装置において、
前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物のみを含み、
前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域がp型不純物及びn型不純物を含み、
且つ前記n型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度と前記p型薄膜トランジスタのチャネル領域のp型不純物濃度が同じであることを特徴とする半導体装置。
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