JP4154851B2 - 駆動装置 - Google Patents
駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4154851B2 JP4154851B2 JP2000332792A JP2000332792A JP4154851B2 JP 4154851 B2 JP4154851 B2 JP 4154851B2 JP 2000332792 A JP2000332792 A JP 2000332792A JP 2000332792 A JP2000332792 A JP 2000332792A JP 4154851 B2 JP4154851 B2 JP 4154851B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- drive
- housing
- friction member
- expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 57
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 21
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動装置に関し、詳しくは、電気機械変換素子を用いた駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、圧電材料、電歪材料、磁歪材料などを用いた電気機械変換素子を駆動源とする種々の駆動装置が提案されている。
【0003】
例えば、図1(a)の模式図に示したように、圧電素子Mの伸縮方向一端に駆動摩擦部材Sを固定し、圧電素子Mの伸縮方向他端を固定部材Bに固定し、駆動摩擦部材Sに係合部材Aを摩擦力で係合するようにしたタイプの駆動装置が提案されている。
【0004】
このタイプの駆動装置は、例えば図1(b)に示したように圧電素子Mがゆっくり伸びるとき、駆動摩擦部材Sと係合部材Aとは、両者間の摩擦力によって一体的に移動する。すなわち、横軸を時間T、縦軸を変位Yとして示した図1(d)において、圧電素子Mの時間的な変位L1と係合部材Aの時間的な変位K1とは、略一致する。
【0005】
一方、図1(c)に示したように圧電素子Mが急速に縮むと、駆動摩擦部材Sと係合部材Aとの間で滑りが生じ、係合部材Aは静止したまま、駆動摩擦部材Sだけが移動する。すなわち、図1(d)において、圧電素子Mの時間的な変位L2に対して、係合部材Aの時間的な変位K2はほとんど変化しない。
【0006】
このような基本的な動作原理により、係合部材Aを駆動摩擦部材Sに沿って所望方向に相対的に移動させることができる。
【0007】
このタイプの駆動装置は、具体的には、例えば図2の分解斜視図のように構成される。
【0008】
すなわち、駆動装置5は、大略、筐体9の一方の空間9aに係合部材8と駆動摩擦部材6が収納され、他方の空間9bに圧電素子7が収納されるようになっている。圧電素子7の伸縮方向一端は駆動摩擦部材6の端面に固着され、圧電素子7の伸縮方向他端は筐体9に固着される。駆動摩擦部材6は、筐体9の貫通孔9s,9tに挿通され支持される。係合部材8は、駆動摩擦部材6が挿通されるスライダー8dと、挿通された駆動摩擦部材6に付勢される摩擦部材8cと、両端がねじ8aでスライダー8dに固定され中間部分が摩擦部材8cを付勢する板ばね8bとを有する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図3は、この駆動装置5の圧電素子7にデューティ比0.3の矩形波の駆動電圧を印加した場合の駆動特性を示す。縦軸は、係合部材8の移動速度である。横軸は、駆動電圧の駆動周波数を圧電素子7の共振周波数で除して規格化(無次元化)し、0.6〜09の範囲で測定した結果を示している。この図に示したように、概ね、駆動周波数が高くなるにつれて係合部材8が速く移動する傾向がある。
【0010】
しかし、特性曲線の凹凸が激しく、速度の落ち込みが見られ、駆動特性の変動が大きい。このように駆動特性の変動が大きいと、性能の低下を招く。
【0011】
そのため、例えば効率良く駆動したり、安定した速度で駆動するためには、速度の落ち込みをもたらす駆動周波数を避けるように、駆動周波数を厳密に制御する必要がある。また、同一構造の駆動装置5間で駆動特性がばらつくと、個々の駆動装置5に対してそれぞれ個別に最適な制御パラメータを調べて設定するなど、特別な調整作業が必要となる。
【0012】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、駆動特性の変動を防止して性能の向上を図ることができる駆動装置を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段および作用・効果】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の駆動装置を提供する。
【0014】
駆動装置は、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動摩擦部材と、前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合された係合部材と、前記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固定された台座と、前記台座を保持する筐体と、前記電気機械変換素子に、前記係合部材を移動させる駆動電圧を印加する駆動回路とを備える。前記台座は前記筐体に対して弾性部材を介して保持される。
【0015】
上記構成によれば、電気機械変換素子に適宜波形の駆動電圧を印加することにより、電気機械変換素子が伸縮する。これによる振動が駆動摩擦部材に伝達され、駆動摩擦部材に摩擦力で係合する係合部材は、電気機械変換素子に対して移動する。
【0016】
このとき、電気機械変換素子の伸縮により、駆動摩擦部材のみならず、台座も振動すると考えられる。しかし、台座は筐体に弾性的に保持されているので、台座と筐体との間では、振動の伝達が低減し、又は遮断される。これにより、電気機械変換素子の伸縮に伴なう振動が台座から筐体に伝わって、筐体が共振することを防止することができる。また、仮に筐体が共振しても、筐体から台座への振動伝達を低減又は遮断することができる。
【0017】
つまり、従来の装置では、特定周波数で速度の落ち込みが見られたが、これは、筐体の固有振動の影響と考えられる。そこで、これを防ぐために、台座を筐体に弾性的に保持して防振を図り、筐体にできるだけ振動が伝わらないようにしている。
【0018】
したがって、駆動特性の変動を防止して性能の向上を図ることができる。
【0019】
具体的には、以下のように、種々の態様で構成することができる。
【0020】
好ましくは、前記台座が弾性接着剤を用いて前記筐体に接着される。
【0021】
弾性接着剤(例えば、ゴム系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコン系接着剤、弾性エポキシ接着剤など)を用いれば、簡単な構成で、台座を筐体に弾性的に保持することができ、製造、組み立てが容易である。
【0022】
また、好ましくは、前記台座がばね部材を介して前記筐体に保持される。
【0023】
ばね部材の材質や形状を適宜選択することにより、容易に、かつ精度よく、所定のばね係数となるようにすることができる。したがって、所望の条件で台座が筐体に弾性的に保持されるようにすることが容易である。
【0024】
好ましくは、前記台座は、略円筒形状を有し、その中心軸が前記電気機械変換素子の伸縮中心軸と同軸になるように配置される。
【0025】
上記構成によれば、台座を軸対称にすることにより、例えば電気機械変換素子の伸縮方向と直角方向などの不要な振動モードの振動ができるだけ生じないようにすることができる。したがって、駆動特性の変動を一層防止することができる。
【0026】
また、台座を軸対称形状とし、電気機械変換素子と同軸に配置することにより、電気機械変換素子に対して角度を調整することが不要となり、組み立てが容易となる。
【0027】
好ましくは、前記台座は、凹凸が形成された外周面を有する。
【0028】
上記構成によれば、凹凸により、台座の外周面の表面積が大きくなる。これにより、台座からの放熱量が大きくなる。したがって、電気機械変換素子で発生した熱を台座から効率良く逃がし、電気機械変換素子の温度上昇を抑えることができる。
【0029】
好ましくは、前記電気機械変換素子は、略円筒形状である。
【0030】
上記構成によれば、電気機械変換素子を軸対称形状にすることにより、例えば電気機械変換素子の伸縮中心軸と直角方向などの不要な振動モードの振動ができるだけ生じないようにすることができる。したがって、駆動特性の変動を一層防止することができる。
【0031】
また、電気機械変換素子を駆動摩擦部材および台座と同軸に配置する場合には、駆動摩擦部材および台座に対する電気機械変換素子の角度を調整することが不要となり、組み立てが容易となる。
【0032】
好ましくは、前記駆動摩擦部材は、断面円形の丸棒部材であり、その中心軸が前記電気機械変換素子の伸縮中心軸と同軸となるように配置される。
【0033】
上記構成によれば、駆動摩擦部材を軸対称形状とすることにより、例えば電気機械変換素子の伸縮方向と直角方向などの不要な振動モードの振動ができるだけ生じないようにすることができる。したがって、駆動特性の変動を一層防止することができる。
【0034】
また、駆動摩擦部材を軸対称形状とし、電気機械変換素子と同軸に配置することにより、電気機械変換素子に対して角度を調整することが不要となり、組み立てが容易となる。
【0035】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態に係る駆動装置について、図面を参照しながら説明する。
【0036】
まず、第1実施形態の駆動装置1について、図4を参照しながら説明する。
【0037】
図4(a)は、駆動装置1の分解斜視図である。筐体10は、大略、駆動摩擦部材60および係合部材80が収納される断面口字状の空間10aと、圧電素子50が収納される断面コ字状の空間10aとを有する。筐体10の一端には、断面コ字状の空間10bに連通する開口10cが形成されているが、この開口10cは、図4(b)に示すように、台座12によって閉鎖されるようになっている。すなわち、筐体10の一端には、台座12が弾性接着剤18により接着される。この接着には、例えばスリーボンド1521Bのように合成ゴム系接着剤を用い、厚さ0.5mm程度の接着剤層を形成し、台座12が筐体10に弾性的に保持されるようにする。
【0038】
なお、図4(c)に示すように、台座14に凸部14aを設け、筐体10の空間10bと嵌合するようにして、同様に、弾性接着剤19を介して台座14を筐体10に弾性的に保持してもよい。
【0039】
圧電素子50は、その伸縮方向の一方の端面が駆動摩擦部材60の端面に固着され、他方の端面が台座12に固着される。圧電素子50と駆動摩擦部材60および台座12とは、強固に接着し、一体化する。この接着には、例えばエポキシ系接着剤を用い、150°C程度に加熱して、硬化させる。
【0040】
駆動摩擦部材60は、筐体10の貫通孔10s,10tに挿通され支持される。駆動摩擦部材60には、係合部材80が摩擦力で係合するようになっている。すなわち、係合部材80は、駆動摩擦部材60が挿通されるスライダー82と、挿通された駆動摩擦部材60に付勢される摩擦部材84と、摩擦部材84を付勢する板ばね86とを有する。板ばね86は、例えばねじ88により、その両端がスライダー82に固定される。
【0041】
駆動装置1は、不図示の駆動回路を備えており、例えば鋸歯状や矩形などの適宜波形の駆動電圧を圧電素子50に印加する。これによって、圧電素子50が伸縮し、駆動摩擦部材60が振動し、係合部材80が駆動摩擦部材60に沿って移動する。
【0042】
次に、第2実施形態の駆動装置2について、図5を参照しながら説明する。駆動装置2は、第1実施形態の駆動装置1と大略同様に構成されるので、以下では、相違点を中心に説明する。
【0043】
筐体20は、駆動摩擦部材60および係合部材80を収納する空間20aのみならず、圧電素子50を収納する空間20bも、断面口字状である。筐体20の端部には、空間20bと外部とを連通する丸穴20hが形成されている。圧電素子50には、円筒形の台座22が固着される。
【0044】
図5(b)に示すように、筐体20の丸穴20hに台座22が挿入される。台座22の外周面と丸穴20hの内周面との間に約0.5mmの隙間が均等に形成され、この隙間には弾性接着剤28が満たされるようになっている。
【0045】
図8は、駆動装置2の駆動特性のグラフである。従来例の図3と同様に図示している。図8に示したようになり、特性曲線の凹凸は少なく、速度の落ち込みが少なく、図3の従来例に比べ、駆動特性の変動は少なく、性能が向上していることが分かる。
【0046】
次に、第3実施形態の駆動装置3について、図6を参照しながら説明する。駆動装置3は、第1実施形態の駆動装置1と大略同様に構成されるので、以下では、相違点を中心に説明する。
【0047】
筐体30は、第1実施形態の駆動装置1と同様に、駆動摩擦部材60および係合部材80を収納する断面口字状の空間30aと、圧電素子50が収納される断面コ字状の空間30bとを有する。第1実施形態の駆動装置1と異なり、圧電素子50の伸縮方向の一方の端面は、円筒形の台座32の一方の端面に固着される。台座の他方の端面には、板ばね34が固着される。図6(b)に示すように、板ばね34は筐体30の端面にねじ36で固定され、台座12は筐体30の空間30bに収納される。なお、台座32と板ばね34との間の接着剤38には、合成ゴム系接着剤などの弾性接着剤を用いても、あるいは、エポキシ系接着剤などの弾性の少ない、又は弾性のない接着剤を用いてもよい。
【0048】
駆動装置3は、駆動摩擦部材60と圧電素子50と台座32と板ばね34とを相互に接着してユニット化したのち、筐体30の貫通孔30s,30tに駆動摩擦部材60を挿通し、調整しながら、筐体30にねじ36で固定することができる。したがって、製造、組み立てが容易である。
【0049】
駆動装置3の一例を、以下に示す。
【0050】
筐体30は、外形寸法が3×6×12mm、材質はSUS430である。駆動摩擦部材60は、寸法がφ1×8mm、材質はカーボンである。圧電素子50は、寸法が1.2×1.2×2.5mmの積層タイプであり、材料はソフト系PZT[Pb(Zr,Ti)O3]である。台座32は、寸法がφ2×1.5mmで、材質はタングステンである。係合部材80と駆動摩擦部材60との間の摩擦力は、2×10-3Nである。圧電素子50には、電圧Vp-pが6V、駆動周波数が120kHz〜180kHz、デューティ比0.35又は0.65(駆動方向により異なる)の矩形波の電圧を印加する。系における1次の共振周波数は、200kHzである。
【0051】
台座32の質量を駆動摩擦部材60の質量よりも十分に大きくして、圧電素子50の伸縮をできるだけ駆動摩擦部材60の変位に利用し、駆動効率を高めるようにしている。また、台座32と筐体30との間の固有振動数は、駆動周波数の1/10未満である。例えば、台座32と筐体30との間の固有振動数は、駆動周波数の1/100〜/1000程度、遮断周波数は数十〜数百Hz程度である。
【0052】
次に、第4実施形態の駆動装置4について、図7を参照しながら説明する。駆動装置4は、第3実施形態の駆動装置3と大略同様に構成されるので、以下では、相違点を中心に説明する。
【0053】
筐体40は、第3実施形態の駆動装置3と同様に、駆動摩擦部材60および係合部材80を収納する断面口字状の空間40aと、圧電素子50が収納される断面コ字状の空間40bとを有し、圧電素子50の伸縮方向の一方の端面は、円筒形の台座42の一方の端面に固着される。
【0054】
第3実施形態の駆動装置3と異なり、図7(b)に示すように、台座42は、その両端間が第1の板ばね44の押片44aと第2の板ばね46の突部46aとの間に挟持される。板ばね44,46は筐体40の端面にねじ48で固定され、台座42は筐体40の空間40bに収納される。
【0055】
以上説明した各駆動装置1〜4は、圧電素子に台座を固着し、台座と筐体との間を弾性的に結合することにより、台座と筐体との間にローパスフィルタとして機能する部分を形成し、筐体への振動伝達を低減又は遮断することができる。これにより、筐体が不要な振動モードで共振しないようにして、筐体が駆動特性に悪影響を与えないようにすることができる。
【0056】
したがって、駆動特性の変動を防止して、性能の向上を図ることができる。
【0057】
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【0058】
例えば図9の要部斜視図に示したように、それぞれ軸対称に形成され同軸に配置された駆動摩擦部材60と圧電素子52と台座43を用いてもよい。これによって、不要な振動モードができるだけ生じないようにして、一層の性能向上を図ることができる。
【0059】
また、図9に示したように、台座43の外周面にローレット43aを形成するなどして、凹凸により台座43の表面積を大きくしてもよい。これにより、圧電素子52で発生した熱を台座43の外周面から効率良く放熱することができる。
【0060】
また、台座と、筐体と、台座と筐体との間を接続する部分とを、一つの材料から一体成形してもよい。この場合、台座と筐体との間を接続する部分は、例えば断面を減少するなどして、弾性変形しやすいように形成する。
【0061】
また、駆動摩擦部材には、係合部材を駆動できるように、圧電素子からの振動が伝播すればよい。したがって、駆動摩擦部材を筐体に摺動自在に支持することも、弾性接着剤を用いて筐体に弾性的に保持することも、溶接等で強固に固着することも可能である。さらには、駆動摩擦部材を圧電素子にのみ固定し、空中に保持した片持ち状態として、筐体には支持されないようにすることも、あるいは、筐体以外の別部材で支持することも可能である。また、台座を筐体に接触させずに駆動摩擦部材を筐体にバネ等で弾性保持することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来例の駆動装置の原理説明図である。
【図2】 従来例の駆動装置の分解斜視図である。
【図3】 従来例の駆動装置の駆動特性のグラフである。
【図4】 本発明の第1実施形態の駆動装置の分解斜視図および要部平面図である。
【図5】 本発明の第2実施形態の駆動装置の分解斜視図および要部平面図である。
【図6】 本発明の第3実施形態の駆動装置の分解斜視図および要部平面図である。
【図7】 本発明の第4実施形態の駆動装置の分解斜視図および要部平面図である。
【図8】 図5の駆動装置の駆動特性のグラフである。
【図9】 変形例の要部斜視図である。
【符号の説明】
1,2,3,4 駆動装置
10 筐体
12,14 台座
18,19 弾性接着剤
20 筐体
22 台座
28 弾性接着剤
30 筐体
32 台座
34 板ばね
40 筐体
42,43 台座
46,48 板ばね(ばね部材)
50,52 圧電素子(電気機械変換素子)
60 駆動摩擦部材
80 係合部材
Claims (7)
- 電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動摩擦部材と、
前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合された係合部材と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固定された台座と、
前記台座を保持する筐体と、
前記電気機械変換素子に、前記係合部材を移動させる駆動電圧を印加する駆動回路とを備え、
前記台座は前記筐体に対して弾性部材を介して保持されることを特徴とする駆動装置。 - 前記台座が弾性接着剤を用いて前記筐体に接着されることを特徴とする、請求項1記載の駆動装置。
- 前記台座がばね部材を介して前記筐体に保持されることを特徴とする、請求項1記載の駆動装置。
- 前記台座は、略円筒形状を有し、その中心軸が前記電気機械変換素子の伸縮中心軸と同軸になるように配置されたことを特徴とする、請求項1記載の駆動装置。
- 前記台座は、凹凸が形成された外周面を有することを特徴とする、請求項1又は4記載の駆動装置。
- 前記電気機械変換素子は、略円筒形状であることを特徴とする、請求項1記載の駆動装置。
- 前記駆動摩擦部材は、断面円形の丸棒部材であり、その中心軸が前記電気機械変換素子の伸縮中心軸と同軸となるように配置されたことを特徴とする、請求項1記載の駆動装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000332792A JP4154851B2 (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 駆動装置 |
US10/001,428 US6528926B2 (en) | 2000-10-31 | 2001-10-30 | Driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000332792A JP4154851B2 (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002142470A JP2002142470A (ja) | 2002-05-17 |
JP4154851B2 true JP4154851B2 (ja) | 2008-09-24 |
Family
ID=18808953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000332792A Expired - Lifetime JP4154851B2 (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 駆動装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6528926B2 (ja) |
JP (1) | JP4154851B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012108309A1 (ja) | 2011-02-07 | 2012-08-16 | 株式会社村田製作所 | 変位部材、駆動部材、アクチュエータ及び駆動装置 |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6664714B2 (en) * | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
JP4144171B2 (ja) * | 2000-09-14 | 2008-09-03 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 電気−機械変換素子を用いた駆動装置 |
JP2002218773A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-08-02 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
US7323804B2 (en) * | 2003-04-22 | 2008-01-29 | Bookham Technology Plc | Linear output, closed loop mover assembly |
JP3906850B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2007-04-18 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 駆動装置 |
JP2006091210A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 駆動装置、レンズユニット、及び撮像装置 |
JP4936511B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2012-05-23 | 富士フイルム株式会社 | 駆動装置、撮影装置及び携帯電話 |
JP2006311789A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-11-09 | Fujinon Corp | 駆動装置、撮像装置及び携帯電話 |
JP4931425B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2012-05-16 | 富士フイルム株式会社 | 駆動装置 |
JP4931183B2 (ja) | 2005-03-31 | 2012-05-16 | 富士フイルム株式会社 | 駆動装置 |
JP2007049873A (ja) | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Fujinon Corp | アクチュエータ |
JP2007049874A (ja) | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Fujinon Corp | アクチュエータ |
JP2007049875A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Fujinon Corp | アクチュエータ |
JP4931182B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2012-05-16 | 富士フイルム株式会社 | 駆動装置 |
JP2007129795A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Konica Minolta Opto Inc | 駆動装置 |
JP2007151239A (ja) | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
JP2007151238A (ja) | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
JP2007151240A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
JP4906326B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-03-28 | 富士フイルム株式会社 | 駆動装置及び駆動装置の製造方法 |
US20070176514A1 (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Taiwan Advanced Materials Technologies Corp. | Electromechanical actuator structure |
DE102008003879A1 (de) * | 2007-01-25 | 2008-07-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Linearantrieb, Antriebseinheit zur Ausbildung eines Linearantriebs sowie Verfahren zum Verschieben eines Objekts mittels eines Linearantriebs |
JP2008253021A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
KR20080093880A (ko) * | 2007-04-17 | 2008-10-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
KR20080093885A (ko) * | 2007-04-18 | 2008-10-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
KR20080094572A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
US7956513B2 (en) * | 2007-04-20 | 2011-06-07 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Method of driving a driving device |
US7759634B2 (en) * | 2007-04-24 | 2010-07-20 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Position detecting device capable of improving detection accuracy |
US8044555B2 (en) | 2007-07-17 | 2011-10-25 | Fujinon Corporation | Driving apparatus |
CN102176645A (zh) | 2007-07-17 | 2011-09-07 | 富士胶片株式会社 | 驱动装置 |
JP2009025404A (ja) | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
JP2009136050A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Nidec Copal Corp | 駆動装置 |
CN101498829B (zh) * | 2008-01-30 | 2010-08-25 | 德昌电机(深圳)有限公司 | 镜头驱动装置 |
JP5218257B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-06-26 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 駆動装置 |
DE102012202945A1 (de) * | 2011-03-14 | 2012-12-13 | Smaract Gmbh | Verfahren zur Ansteuerung eines Trägheitsantriebs |
US8912707B2 (en) * | 2011-07-13 | 2014-12-16 | Academia Sinica | Friction-driven actuator |
JP2013172629A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-02 | Seiko Epson Corp | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置 |
US9845851B2 (en) * | 2015-05-28 | 2017-12-19 | Honda Motor Co., Ltd. | Spring mechanism and linear motion displacement mechanism |
DE112017006853B4 (de) * | 2017-01-18 | 2022-11-24 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Piezoelektrischer motor mit haft-gleit-prinzip |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63262065A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-28 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電アクチユエ−タの変位拡大装置 |
JPH0410704Y2 (ja) * | 1987-04-20 | 1992-03-17 | ||
JPH06123830A (ja) | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Minolta Camera Co Ltd | 圧電アクチュエータを用いた駆動機構 |
US5616980A (en) * | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
US5589723A (en) | 1994-03-29 | 1996-12-31 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus using transducer |
TW344912B (en) * | 1996-06-05 | 1998-11-11 | Toshiba Co Ltd | Multifunctional ultrasonic motor and apparatus using the motor |
JP2000139086A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Minolta Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
ATE318451T1 (de) * | 1999-06-04 | 2006-03-15 | Norbert Beyrard France Sarl | Durch einen piezoelektrischen motor angetriebenen schalter |
US6384514B1 (en) * | 1999-07-28 | 2002-05-07 | Technology Commercialization Corp. | Reversible piezoelectric positioning device and a disk drive using same |
JP3896745B2 (ja) * | 1999-12-17 | 2007-03-22 | コニカミノルタフォトイメージング株式会社 | 駆動装置 |
-
2000
- 2000-10-31 JP JP2000332792A patent/JP4154851B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-10-30 US US10/001,428 patent/US6528926B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012108309A1 (ja) | 2011-02-07 | 2012-08-16 | 株式会社村田製作所 | 変位部材、駆動部材、アクチュエータ及び駆動装置 |
US9455394B2 (en) | 2011-02-07 | 2016-09-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Displacement member, driving member, actuator, and driving device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020084719A1 (en) | 2002-07-04 |
US6528926B2 (en) | 2003-03-04 |
JP2002142470A (ja) | 2002-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4154851B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP4931425B2 (ja) | 駆動装置 | |
US6016231A (en) | Drive mechanism employing electromechanical transducer and apparatus employing the mechanism | |
JP4931183B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP4035158B2 (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JPS61224881A (ja) | 振動波モ−タ | |
JPH10337057A (ja) | 駆動装置 | |
NL8201577A (nl) | Piezo-electrische motor. | |
US8436513B2 (en) | Drive unit | |
KR20040027753A (ko) | 소형 압전/전왜 초음파 리니어모터 | |
KR101601871B1 (ko) | 변위 부재, 구동 부재, 액츄에이터 및 구동 장치 | |
JP5202538B2 (ja) | 振動型アクチュエータ | |
JP2012055152A (ja) | 駆動装置 | |
KR100902923B1 (ko) | 압전 초음파 모터 | |
JP2003324979A (ja) | 駆動機構 | |
JPH11103583A (ja) | 電気機械変換素子を使用した駆動装置及びその駆動に適した駆動パルス発生装置 | |
WO2016152224A1 (ja) | 圧電アクチュエータ及び電子時計 | |
JP2019103371A (ja) | 振動波モータ及び振動波モータを用いたレンズ駆動装置 | |
JP4236957B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 | |
JP2003033053A (ja) | 多自由度駆動機構 | |
EP2290720B1 (en) | Ultrasonic motor | |
JP6479238B2 (ja) | モータ | |
JP2002058260A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6659193B2 (ja) | モータ | |
JP4945023B2 (ja) | 電気−機械変換素子、超音波モータおよび電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050613 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070918 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080617 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080630 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4154851 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130718 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |