JP4644662B2 - 直線出力部、閉ループ発動機組み立て体 - Google Patents
直線出力部、閉ループ発動機組み立て体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4644662B2 JP4644662B2 JP2006513173A JP2006513173A JP4644662B2 JP 4644662 B2 JP4644662 B2 JP 4644662B2 JP 2006513173 A JP2006513173 A JP 2006513173A JP 2006513173 A JP2006513173 A JP 2006513173A JP 4644662 B2 JP4644662 B2 JP 4644662B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- stage
- motor
- movement
- assembly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 25
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 22
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 22
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0095—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing combined linear and rotary motion, e.g. multi-direction positioners
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/50—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding step-by-step
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/12—Constructional details
- H02N2/123—Mechanical transmission means, e.g. for gearing
- H02N2/126—Mechanical transmission means, e.g. for gearing for conversion into linear motion
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Description
本出願は、2003年4月22日付けで提出された「直線出力部、高精度、閉ループ・モータ組み立て体」と題する仮出願番号60/464,875号の出願に対する優先権を請求するものである。許されるかぎり、仮出願番号60/464,875号の内容は、ここに引用することで本明細書に取り入れられるものである。
マイクロモータは、対象物の位置及び/又は形状に対する微調整を行うのに使用される。マイクロモータ組み立て体の1つの種類は、回転兼並進出力軸と、マイクロモータの閉ループ制御のために位置をフィードバックする回転出力軸近くの回転エンコーダとを含んでいる。
しかし、或る実施態様では、回転出力軸は望ましくない。更に、ねじピッチ誤差とランアウト(よろめき)は、回転エンコーダの精度を有意に低下させる。
1実施態様では、発動機組み立て体は、比較的小型の閉ループ・アクチュエータである。カップリングの性質並びに案内とエンコーダとを選択することで、完全な発動機組み立て体の全体の形式要素は最小化することができる。別の実施態様では、発動機組み立て体は開ループで操作できる。
装置フレーム14は、剛性であり、装置10の他の構成素子を支持している。一実施例では、装置フレーム14は、1箇所でだけ発動機組み立て体16と結合されている。
図1では、発動機組み立て体16が、モータ20と、モータ20を対象物12に接続するカップリング組み立て体22とを含んでいる。一実施例では、カップリング組み立て体22は、組み立て体フレーム24と、機械式フィルタ24と、測定システム28(破線で示す)とを含んでいる。これらの構成素子の設計及び配向は、発動機組み立て体16の要求に適するように変更できる。更に、これらの構成素子の1つ以上が任意に備えることができるものである。例えば、一実施例では、カップリング組み立て体22は測定システム28を含んでいない。
図1では、カップリング組み立て体22が、モータ20に接続されているモジュールに付加されている。あるいは又、例えば、カップリング組み立て体22はモータ20に統合することもできる。
制御システム18は、対象物12又は発動機組み立て体16の一部の位置に関する情報を受け取り、モータ20へ駆動信号を送って、対象物12の位置及び/又は形状に対し微調整が行われる。制御システム18は1つ以上のプロセッサを含むことができる。図1では、制御システム18は発動機組み立て体16から離れた位置に配置されている。あるいは又、制御システム18は発動機組み立て体16に組み込むこともできる。
図2は、モータ20とカップリング組み立て体22とを含む、図1の発動機組み立て体16の斜視図である。
モータ20の設計は、発動機組み立て体16の設計要求に適するように変更できる。一実施例では、モータ20は、モータハウジング330と、モータ出力部332と、出力部案内334と、アクチュエータ436(図4Aに示す)とを含んでいる。これらの構成素子の1つ以上の設計、寸法、形状、配向の1つ以上又はすべては、発動機組み立て体16の設計要求に適するように変更できる。加えて、例えば、モータはモータ出力部332の回転をモニタする回転エンコーダ(図示せず)を含むことができる。
モータハウジング330は、モータ20の構成素子の1つ以上を保持するか又は取り囲んでいる。図3A及び図3Bでは、モータハウジング330が、アクチュエータ436を取り囲む剛性のカバーである。モータハウジング330は、直接にカップリング組み立て体22又は装置フレーム14(図1に示す)に固定されている。
一実施例では、モータ出力部332がアクチュエータ436と係合する出力摩擦接触区域(図示せず)を含んでいる。この設計により、アクチュエータ436の運動の結果、モータ出力部332が回転する。一実施例では、出力摩擦接触区域は外ねじ区域である。別の実施例では出力摩擦接触区域は粗面区域又は滑らかな区域である。
出力部案内334は、モータ出力部332を支持し、モータ出力部332を案内し、アクチュエータ436によりモータ出力部332の回転を生じさせ、その結果、X軸に沿ったモータ出力部332の運動を生じさせる。図3A及び図3Bでは、出力部案内334が、モータ出力部332を受容し、モータハウジング330に固定取り付けされた環状の取り付けフランジ340と、内ねじ面(図示せず)とを有する概して管状のハウジングを含んでいる。
アクチュエータ436はモータ出力部332を回転させる。アクチュエータ436の設計は変更可能である。図4は、アクチュエータ436の一実施例の分解斜視図である。この実施例では、アクチュエータ436は、アクチュエータ・フレーム442Aと、弾性的なアクチュエータ・コネクタ442Bと、圧電素子442Cとを含んでいる。
アクチュエータ・フレーム442A内には、圧電素子442Cが配置されている。図4では、圧電素子442Cの第1端部がフレーム基部442Hに取付けられ、反対側の第2端部が第1フレーム区分442Dに取付けられている。圧電素子442Cは両端に電極を有している。各電極には、制御システム18(図1に示す)が電気接続されている。この設計により、制御システム18は圧電素子442Cの両端に選択的に駆動信号を送ることができる。圧電素子442Cの内部構造は、実際には複数の相互接続された電極を内包し、これにより圧電素子442Cの操作に要する電圧が低減される。
このような設計により、圧電素子442Cが逐次延長されたり短縮されたりすることで、第1ジョー部分442Eが第2ジョー部分442Gに対して逐次移動させられる。ジョー部分442E,442Gとモータ出力部332との間に滑りが生じないと仮定すれば、モータ出力部332の回転が生じる。別の言い方をすると、制御システム18は、電気エネルギーを圧電素子442Cに向けることで、当接するジョー部分442E,442Gを、ある程度平行な径路で往復運動させるということである。
逆方向でのモータ出力部332の回転運動は、第1方向と第2方向の運動速度を単に交代させるだけで達せられる。別の言い方をすれば、モータ出力部332の選択的な回転は、適当な波形及び極性を有する周期的電気信号を送ることによって、どちらかの方向で可能になる。したがって、第1回転方向でモータ出力部332を回転させるには、制御システム18は、ゆっくりと上昇する波形に続いて急速に下降する波形を有する周期的電気信号を送ればよい。逆に、反対の第2回転方向でモータ出力部332を回転させるには、制御システム18は、急速に上昇する波形に続いてゆっくり下降する波形を有する周期的信号を送ればよい。
図3A及び図3Bに戻ると、既述のように、カップリング組み立て体22は、組み立て体フレーム24と、機械式フィルタ26と、測定システム28とを含んでいる。これらの構成部材の設計は変更可能である。
機械式フィルタ26は、モータ出力部332の直線運動及び/又は回転運動を受け取り、その運動を非回転直線並進運動に転換する。この設計により、機械式フィルタ26は、軸方向運動、例えばX軸に沿った運動を通過させる一方、その他の5度の運動、例えばY軸、Z軸に沿った運動と、X軸、Y軸、Z軸を中心とする運動とは遮断する。一実施例では、機械式フィルタ26は、ステージ344と、ステージ案内346と、引込み部材348とを含んでいる。
ステージ案内346は、組み立て体フレーム24に対するステージ344の、X軸に沿った運動を案内する。別の言い方をすれば、ステージ案内346は、ステージ344が組み立て体フレーム24に対しX軸に沿って円滑に直線運動できるようにするが、組み立て体フレーム24に対するステージ344の、Y軸、Z軸に沿った運動と、X軸、Y軸、Z軸を中心とする運動とは阻止する。一実施例によれば、ステージ案内346はベアリング、例えば、機械式フィルタ26に固定された第1構成素子346Aと、組み立て体フレーム24に固定された第2構成素子346Bとを含むリニアベアリングである。適当なリニアベアリングは、日本の東京所在のIKOニッポン・トムソン社で販売されている。
あるいはまた、更に、例えば、ステージ案内346は、高い捩じり剛性を有する柔軟性のある軸線方向案内、例えば金属ベローズを含んでいる。
引込み部材348は、ステージ344をモータ出力球338に対し押し付け、ステージ344の接触パッド344Cを常時モータ出力球338に接触させ、係合させる。例えば、引込み部材348は、ばねでよいが、他の弾性的な部材でもよい。図3A及び図3Bでは、引込み部材348は、フィルタ出力部344Bを取り囲むばねであり、組み立て体フレーム24の引込み部材ストッパ342Bに係合する遠位端と、ステージ本体344Aに係合する近位端とを含んでいる。
一実施例では、測定システム28はリニアエンコーダであり、このエンコーダには、ステージ344に固定され、ステージ344と一緒に運動する第1構成素子350Aと、組み立て体フレーム24に固定された第2構成素子350Bとが含まれている。この設計では、エンコーダの第1構成素子350Aが、ステージ案内346を介して組み立て体フレーム24に結合されている。
図5A及び図5Bは、図2の発動機組み立て体16の、一部を除去して示す別の斜視図である。図5A及び図5Bは、モータ出力部332が接触パッド344Cに係合し、引込み部材348がステージ344をモータ出力部332に対し押し付けているところを示している。この設計により、X軸を中心として回転し、かつX軸に沿って運動するモータ出力部332は、機械式フィルタ26によりX軸に沿ったフィルタ出力部344Bの単なる直線運動に転換される。更に、図5A及び図5Bは、またステージ案内346がステージ344を組み立て体フレーム24に結合していることを示している。
12 対象物
14 装置フレーム
16 発動機組み立て体
18 制御システム
20 モータ
22 カップリング組み立て体
24 組み立て体フレーム
26 機械式フィルタ
28 測定システム
330 モータハウジング
332 モータ出力部
334 出力部案内
338 玉軸受け、モータ出力球
340 取り付けフランジ
342A 出力開口
342B 引込み部材ストッパ
344 ステージ
344A ステージ本体
344B フィルタ出力部
344C 接触パッド
344D 玉軸受け
346 ステージ案内
346A 第1構成素子
346B 第2構成素子
348 引込み部材
350A エンコーダ第1構成素子
350B エンコーダ第2構成素子
420B モータ
432B モータ出力部
436 アクチュエータ
442A アクチュエータのフレーム
442B アクチュエータの弾性コネクタ
442C 圧電素子
442D 第1フレーム区分
442E 第1ジョー部分
442F 第2フレーム区分
442G 第2ジョー部分
442H フレーム基部
442I 摩擦接触区域
Claims (19)
- 第1軸線に沿って対象物の位置又は形状を調整する発動機組み立て体において、
該発動機組み立て体が、
第1軸線に沿って更に第1軸線回りで運動するモータ出力部を含むモータと、
対象物にモータ出力部を接続するステージ、及び第1軸線に沿ってステージの運動を案内し、且つ第1軸線回りでの更に第1軸線に直角な第2軸線回りでのステージの運動を防止するステージ案内を有するカップリング組み立て体とを含む、発動機組み立て体。 - 第1軸線に沿って対象物の位置又は形状を調整する発動機組み立て体であり、
該発動機組み立て体が、
第1軸線に沿って更に第1軸線回りで運動するモータ出力部を含むモータと、
対象物にモータ出力部を接続するステージ、及び第1軸線に沿ってステージの運動を案内するステージ案内を有し、前記モータ出力部が第1軸線に沿って、かつまた第1軸線を中心として運動し、前記ステージ案内がリニアベアリングであり、このリニアベアリングにより、ステージの、第1軸線に沿った運動は許容されるが、第1軸線、第2軸線、第3軸線を中心とする運動と、第2軸線、第3軸線に沿った運動は阻止され、第2軸線は第1軸線に直角であり、第3軸線は第1軸線と第2軸線とに直角である、発動機組み立て体。 - 前記モータ出力部が段階式に運動する、請求項1に記載された発動機組み立て体。
- 前記発動機がモータ出力部の回転を生じさせる圧電素子を含む、請求項1に記載された発動機組み立て体。
- 前記モータが1対の対向するジョー部材を含み、該ジョー部材がモータ出力部に係合し、かつ前記圧電素子がジョー部材を互に対し運動させる、請求項4に記載された発動機組み立て体。
- 更に、前記ステージの運動に関する情報を与える測定システムを含む、請求項1に記載された発動機組み立て体。
- 前記測定システムが第1構成素子を含み、該構成素子が、ステージに固定され、かつステージと共に運動する、請求項6に記載された発動機組み立て体。
- 精密装置において、
請求項1に記載された対象物と発動機組み立て体とを含む、精密装置。 - 第1軸線に沿って対象物の位置又は形状を調整する発動機組み立て体において、
該発動機組み立て体が、
第1軸線に沿って更に第1軸線回りで段階式に運動するモータ出力部を含むモータと、
モータ出力部と共に運動するステージと、第1軸線に沿ってステージの運動を案内し且つ第1軸線回りのステージの運動を防止するステージ案内と、ステージの運動に関する情報を与える測定システムとを有するカップリング組み立て体とを含む、発動機組み立て体。 - 前記モータ出力部が、前記ステージ案内がリニアベアリングであり、該リニアベアリングによりステージが、第1軸線に沿った運動は許容され、第1軸線、第2軸線、第3軸線を中心とする運動、また第2軸線、第3軸線に沿った運動は阻止され、第2軸線は第1軸線に直角であり、第3軸線は第1軸線と第2軸線とに直角である、請求項9に記載された発動機組み立て体。
- 前記発動機が、モータ出力部の回転を生じさせる圧電素子を含む、請求項9に記載された発動機組み立て体。
- 前記モータが1対の対向するジョー部材を含み、該ジョー部材がモータ出力部に係合し、かつ前記圧電素子がジョー部材を互に対し運動させる、請求項11に記載された発動機組み立て体。
- 前記測定システムが第1構成素子を含み、該構成素子が、ステージに固定され、かつステージと共に運動する、請求項9に記載された発動機組み立て体。
- 対象物を運動させるか又は位置決めする方法において、該方法が、
第1軸線に沿って更に第1軸線回りで運動させられるモータ出力部を含むモータを得る段階と、
モータ出力部をステージにより対象物と接続する段階と、
第1軸線に沿ったステージの運動をステージ案内により案内し且つ第1軸線に直角な第2軸線回りのステージの運動を防止する段階とを含む、対象物を運動させるか又は位置決めする方法。 - 前記案内する段階が、第1軸線に沿ったステージの運動は許容し、第1軸線、第2軸線、第3軸線を中心とする運動と、第2軸線、第3軸線に沿った運動は阻止する作業を含み、第3軸線は第1軸線と第2軸線とに直角である、請求項14に記載された方法。
- 更に、ステージの運動に関する情報を測定システムにより得る段階を含む、請求項14に記載された方法。
- 前記情報を得る段階が、測定システムの第1構成素子をステージに接続することで、第1構成素子がステージと共に運動するようにする段階を含む、請求項16に記載された方法。
- カップリング組み立て体は、更に、ステージをモータ出力部に対して付勢する弾性部材を備える、請求項1に記載の発動機組み立て体。
- モータ出力部は、ステージの第1軸線回りでの運動を防止する一方の端に軸受を備え、弾性部材はステージを軸受に対して付勢する、請求項18に記載の発動機組み立て体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US46487503P | 2003-04-22 | 2003-04-22 | |
PCT/US2004/012228 WO2004094102A1 (en) | 2003-04-22 | 2004-04-21 | Linear output, closed loop mover assembly |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007525932A JP2007525932A (ja) | 2007-09-06 |
JP4644662B2 true JP4644662B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=33310969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006513173A Expired - Fee Related JP4644662B2 (ja) | 2003-04-22 | 2004-04-21 | 直線出力部、閉ループ発動機組み立て体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7323804B2 (ja) |
EP (1) | EP1624994A1 (ja) |
JP (1) | JP4644662B2 (ja) |
WO (1) | WO2004094102A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7423364B2 (en) * | 2003-07-11 | 2008-09-09 | Bookham Technology Plc | Sealed mover assembly |
SE529714C2 (sv) * | 2006-03-03 | 2007-11-06 | Scania Cv Ab | Anordning för manövrering av växellåda |
US9878576B2 (en) * | 2013-03-15 | 2018-01-30 | X-Sim Llc | Segmented wheel and method and system for controlling a segmented wheel |
US9425711B2 (en) * | 2014-04-15 | 2016-08-23 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
CN105720858B (zh) * | 2016-04-18 | 2017-08-04 | 南京理工大学 | 一种摩擦力精确可调的冲击式压电驱动装置 |
CN111537198B (zh) * | 2020-04-09 | 2021-04-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种星敏感器镜头干涉检测系统 |
CN112276639A (zh) * | 2020-10-22 | 2021-01-29 | 山东大学深圳研究院 | 一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5410206A (en) * | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3709621A (en) * | 1971-06-16 | 1973-01-09 | Cincinnati Milacron Heald | Machine tool |
US4560263A (en) * | 1982-12-03 | 1985-12-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Drive system for a vibration wave motor for lens control |
JPH01268463A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 超音波モータ |
JPH09285158A (ja) * | 1996-04-18 | 1997-10-31 | Minolta Co Ltd | 電気−機械変換素子を使用した駆動装置 |
US5053685A (en) * | 1990-01-31 | 1991-10-01 | Kensington Laboratories, Inc. | High precision linear actuator |
DE4023311A1 (de) * | 1990-07-21 | 1992-01-23 | Omicron Vakuumphysik | Verstellvorrichtung fuer mikrobewegungen |
US5357423A (en) * | 1993-02-22 | 1994-10-18 | Kulicke And Soffa Investments, Inc. | Apparatus and method for automatically adjusting power output of an ultrasonic generator |
US5394049A (en) * | 1993-04-06 | 1995-02-28 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws cross references to co-pending applications |
US5616980A (en) * | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
DE69429744T2 (de) * | 1993-07-09 | 2002-08-14 | Nanomotion Ltd | Keramischer Motor |
JPH07274552A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-20 | Nikon Corp | リニアモータ |
US5645260A (en) * | 1995-05-15 | 1997-07-08 | The Aerospace Corporation | Active piezo-electric vibration isolation and directional bracket |
AU3640601A (en) * | 1999-11-03 | 2001-05-14 | New Focus, Inc. | Control for piezoelectric actuator |
JP2001268951A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
JP4154851B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2008-09-24 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 駆動装置 |
JP3820916B2 (ja) * | 2001-05-29 | 2006-09-13 | 三菱電機株式会社 | 車両用交流発電機 |
US6611080B2 (en) * | 2001-06-04 | 2003-08-26 | Nanyang Technological University | Linear piezoelectric motor with self locking means |
US6911763B2 (en) * | 2003-05-30 | 2005-06-28 | New Focus, Inc., A Delaware Corporation | Closed loop mover assembly with measurement system |
US6940209B2 (en) * | 2003-09-08 | 2005-09-06 | New Scale Technologies | Ultrasonic lead screw motor |
US7170214B2 (en) * | 2003-09-08 | 2007-01-30 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
-
2004
- 2004-04-21 WO PCT/US2004/012228 patent/WO2004094102A1/en active Application Filing
- 2004-04-21 US US10/829,413 patent/US7323804B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-21 JP JP2006513173A patent/JP4644662B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-21 EP EP04750390A patent/EP1624994A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5410206A (en) * | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004094102A1 (en) | 2004-11-04 |
US7323804B2 (en) | 2008-01-29 |
JP2007525932A (ja) | 2007-09-06 |
EP1624994A1 (en) | 2006-02-15 |
US20040212279A1 (en) | 2004-10-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5221365B2 (ja) | 超音波リードスクリューモーターを含む機構 | |
KR101258309B1 (ko) | 초음파 리드 스크류 모터를 포함하는 기구 | |
US7339306B2 (en) | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor | |
KR100388348B1 (ko) | 전기기계식위치결정기 | |
JP2008505288A (ja) | ウォーム式歯車移動機組立体 | |
US7271523B2 (en) | Closed loop mover assembly with measurement system | |
JP4644662B2 (ja) | 直線出力部、閉ループ発動機組み立て体 | |
JP4896020B2 (ja) | 超音波リードスクリューモータを含む機構 | |
US7423364B2 (en) | Sealed mover assembly | |
JP2004153999A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
CN110557046A (zh) | 旋转直动转换装置 | |
JP4345287B2 (ja) | 駆動装置、レンズユニット、および、カメラ | |
US7122989B2 (en) | Multiple speed mover assembly | |
JP3816601B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP3204793B2 (ja) | 内視鏡装置 | |
JPH10108481A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2019139904A (ja) | 位置決め装置および電子顕微鏡 | |
JP2018036370A (ja) | 並進駆動装置および電子機器 | |
JP2003131110A (ja) | 画像観察装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100129 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |