JP2008505288A

JP2008505288A - ウォーム式歯車移動機組立体

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Publication number: JP2008505288A
Application number: JP2007519338A
Authority: JP
Inventors: アーノン、デーヴィッド、エフ．
Original assignee: ブックハムテクノロジーピーエルシー
Priority date: 2004-06-29
Filing date: 2005-06-25
Publication date: 2008-02-21
Also published as: WO2006004678A3; US20050284249A1; WO2006004678A2

Abstract

目的物（１２）を移動させ、又は位置決めする移動機組立体（１６）は、移動機出力部（３２）、歯車（２３８）、及び目的物（１２）に連結される組立体出力部（２８）を含む。移動機出力部（３２）は回転させられる。歯車（２３８）は、移動機出力部（３２）の回転が結果として歯車（２３８）の回転になるように、移動機出力部（３２）と係合する。組立体出力部（２８）は、歯車（２３８）の回転が結果として組立体出力部（２８）の軸（２８Ａ）に沿った移動になるように、歯車（２３８）に連結される。移動機組立体（１６）は、組立体出力部（２８）の回転を抑制し、軸（２８Ａ）に沿った組立体出力部（２８）の移動を可能にする回転抑制器（３０）を含むことができる。この移動機出力部（３２）は、ウォーム軸（２３６Ａ）周りのウォーム（２３６）の回転が結果として歯車（２３８）の、ウォーム軸（２３６Ａ）と異なる歯車軸（２３８Ａ）周りの回転になるように歯車（２３８）と係合するウォーム（２３６）を含むことができる。

Description

マイクロモータは目的物の位置及び／又は形状に対し微調整行うために使用される。マイクロモータ組立体の１つの型式は、ねじ又はナットを回す歯車ヘッドを有する電動式のマイクロモータを含む。

残念なことにいくつかの設計では、従来技術のマイクロモータは比較的大きく、運転長寿命を有さず、及び／又は比較的大きな移動ステップ寸法を有している。

本発明は目的物を移動させるあるいは位置決めする移動機組立体に向けられている。一実施例では、移動機組立体は、移動機出力部、歯車、及び目的物に連結される組立体出力部を有する。移動機出力部は移動させられる。歯車は、移動機出力部の移動が結果として歯車の回転になるように移動機出力部と係合している。組立体出力部は、歯車の回転が結果として組立体出力部の軸に沿った移動になるように歯車と連結されている。

一実施例では、移動機組立体は、組立体出力部の回転を抑制し、組立体出力部の軸に沿った移動を可能にする回転抑制器を含む。

移動機出力部は、ウォーム軸周りのウォームの回転が結果として、ウォーム軸と異なる歯車軸周りの歯車の回転になるように歯車と係合するウォームを含むことができる。更に、歯車軸受組立体が歯車軸周りの歯車の回転を可能にすることができる。この実施例では、組立体出力部は、歯車の回転が結果として、歯車軸と同軸線の出力軸に沿った組立体出力部の移動になるように、歯車に連結することができる。

一実施例では、歯車は歯車開口部を含み、組立体出力部は歯車開口部内に配置されている。この実施例では、歯車は歯車内ねじ表面を含むことができ、組立体出力部は、歯車内ねじ表面と係合する出力部外ねじ表面を含むことができる。

その構造及びその動作の両方についてのこの発明の新規な特徴、並びにこの発明それ自体は、添付の説明と関連して行われ、同様な参照番号は同様な部品を示す添付の図面から最も良く理解されるであろう。

図１は、目的物１２の位置及び／又は形状に対し微調整を行う、本発明の特徴を有する精密装置１０を示す。一実施例では、精密装置１０は、装置フレーム１４、移動機組立体１６及び移動機組立体１６に電流を導き、装置１０の動作を制御する制御システム１８を含む。図は、Ｘ軸、Ｘ軸に直交するＹ軸、及びＸ及びＹ軸に直交するＺ軸を示す方向付けシステムを含む。これらの軸は第１、第２及び第３の軸とも呼ばれることもできることに注目されたい。一般に、Ｘ、Ｙ及びＺ軸に沿った平行移動、及びＸ、Ｙ及びＺ軸周りの回転を含む６つの自由度がある。

装置１０の構成部品の設計及び装置１０の型式は変更することができる。例えば、装置１０は、レーザ、干渉計、ミラー、レンズ、望遠鏡、フィルタ、エミッタ又は検出器を含む技術的又は科学的機器を製造するのに使用することができる。いくらか別の言い方をすれば、移動機組立体１６は、レーザ、干渉計、ミラー、レンズ、望遠鏡を含む技術的又は科学的機器の製造と一緒に使用することができる。例として、目的物１２は、レーザ、干渉計、ミラー、レンズ、望遠鏡、フィルタ、エミッタ又は検出器の一部分又は全てであることができる。

装置フレーム１４は剛体であり、装置１０の他の構成部品を支持する。

移動機組立体１６は目的物１２に連結される。移動機組立体１６は、比較的少ない質量、小さなパッケージ寸法、高負荷能力、広い動作温度範囲、長運転寿命、及び／又は低電力消費量を有する。一実施例では、移動機組立体１６は、約２５ｍｍのパッケージ寸法を有し、例えば、約５０ナノメートルの比較的小さなステップ寸法で調整を行うことができ、約１２．７ミリメートル（０．５インチ）の移動距離を有する。代替の実施例では、移動機組立体は、より大きな又はより小さなパッケージ寸法、５０ナノメートルより大きな又は小さなステップ寸法を有することができ、及び／又は移動距離の範囲は１２．７ミリメートル（０．５インチ）より大きく又は小さくすることができる。

図１に示すような一実施例では、移動機組立体１６は、移動機２０、測定システム２２、組立体フレーム２４、歯車組立体２６、組立体出力部２８及び（想像線で示される）回転抑制器３０を含む。これらの構成部品の設計及び向きは移動機組立体１６の要求に適するように変更することができる。更に、１つ又は複数のこれらの構成部品は任意選択であることができる。例えば、一実施例では、移動機組立体１６は測定システム２２を含まない。

移動機２０の設計は、移動機組立体１６の設計要求に適するように変更することができる。一実施例では、移動機２０は、移動する、例えば、横方向に動かずに回転する移動機出力部３２を含む。あるいは、例えば、移動機組立体１６は、移動機出力部３２が回転し且つ軸方向に移動するように設計することもできる。更に別法として、移動機組立体１６は、移動機出力部３２が回転せずに軸方向に移動するように設計することができる。

図１に示す実施例では、移動機２０は移動機出力部３２を回転させるモータ３４も含む。一実施例では、例えば、モータ３４は回転式のモータである。適切な回転式モータは、Ｂｕｒｌｉｎｇａｍｅ，ＣａｌｉｆｏｒｎｉａにあるＭａｘｏｎによって売られている。別法として、モータ３４はステッピング・モータであることができる。適切なステッピング・モータは、Ｉｒｗｉｎ，ＰＡ．にあるＰａｒｋｅｒＨａｎｎｉｆｉｎによって売られている。更に別の型式の電動式のマイクロモータを使用することができる。別のモータ３４は、Ｓｔｒａｔｆｏｒｄ，ＣｏｎｎｅｃｔｉｃｕｔにあるＴｈｅｒｍｏＯｒｉｅｌ又はＩｒｖｉｎｅ，ＣａｌｉｆｏｒｎｉａにあるＮｅｗｐｏｒｔＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから購入することができる。更に別法として、例えば、モータ３４は、ＳａｎＪｏｓｅ，Ｃａｌｉｆ．のＮｅｗＦｏｃｕｓ，Ｉｎｃ．から入手可能な、商標名「ＮｅｗＦｏｃｕｓＰｉｃｏｍｏｔｏｒ」の下で売られているようなものなどの別の型式のアクチュエータであることができる。更に別の適切なアクチュエータには、Ｅｎｅｒｇｅｎから入手可能なものなどの磁歪アクチュエータ及び圧電アクチュエータが含まれる。一実施例では、モータ３４は移動機出力部３２に約１Ｎｍｍのトルクを発生させる。この実施例で、移動機組立体１６は目的物１２に約４．５３６ｋｇ（１０ｌｂｆ）の軸力を発生させる。

一実施例では、測定システム２２は移動機組立体１６の閉ループ制御用の位置フィードバックを供給する。この測定システム２２の設計は変更することができる。例えば、測定システム２２は、移動機組立体１６の一部分の位置を監視する１つ又は複数のセンサを含み、この情報を制御システム１８に供給することができる。例えば、測定システム２２は、移動機出力部３２の回転を監視するエンコーダ、例えば、ロータリ・エンコーダであることができる。追加として又は代替として、測定システム２２は、目的物１２の位置又は形状も監視し、その情報を制御システム１８に供給する１つ又は複数のセンサ（図示せず）を含むことができる。適切な測定システム２２用の構成部品は、ドイツにあるＨｅｉｄｅｎｈａｉｎから、又はＮａｔｉｃｋ，ＭＡ．にあるＭｉｃｒｏＥＳｙｓｔｅｍｓから得ることができる。

更に別法として、移動機組立体１６は、測定システム２２なしで設計することができる。この設計では、移動機組立体１６は開ループで動作する。

組立体フレーム２４は、移動機組立体１６の１つ又は複数の構成部品を保持し及び／又は取り囲む。図１では、組立体フレーム２４は、剛体の、全体的に長方形のフレーム形状である。組立体フレーム２４は、装置フレーム１４に固定して取り付けられる。

制御システム１８は、目的物１２又は移動機組立体１６の一部分の位置に関する情報を受け取る。一実施例では、制御システム１８は、目的物１２の位置及び／又は形状に対し微調整を行うためにモータ３４に駆動信号を導く。制御システム１８は、１つ又は複数のプロセッサ及び記憶システムを含むことができる。図１では、制御システム１８は移動機組立体１６から離れて配置されている。別法として、制御システム１８を移動機組立体１６内に組み込むことができる。

図２Ａは、図１の移動機組立体１６の一部分、すなわち、移動機出力部３２、歯車組立体２６、組立体出力部２８、及び回転抑制器３０の簡略化した平面図である。

移動機出力部３２は、歯車組立体２６と係合している。図２Ｂは、移動機出力部３２及び歯車組立体２６の一部分の斜視図である。図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、この実施例では、移動機出力部３２は全体的に円筒状形状の軸であり、ウォーム２３６、例えば、外ねじ区域を含む。一実施例では、ウォーム２３６は比較的細かいねじピッチを有する。更に一実施例では、各ねじは、全体的に三角形状の断面形状を有する。例として、代替の非限定的実施例として、このウォーム２３６は２５．４ｍｍ（１インチ）当たり少なくとも約２０、３０、４０、５０、６０、７０又は８０のねじピッチを有する。外ねじ区域のピッチは上記で特定したピッチより大きく又は小さくできることに注目すべきである。この実施例では、ウォーム２３６は、ウォーム軸２３６Ａ周り、例えば、Ｙ軸周りに回転する。一実施例では、ウォーム２３６Ａは、移動機出力部３２の一部分内に一体的に形成される。

歯車組立体２６は、リング歯車２３８及び歯車軸受組立体２４０を含む。一実施例では、リング歯車２３８は、いくらか円盤形状であり、ウォーム２３６に対応し、対合し、一致し、且つ係合する歯車外ねじ表面２４２を含む。一実施例では、歯車外ねじ表面２４２は比較的細かいねじピッチを有する。例えば、代替の非限定的実施例として、歯車外ねじ表面２４２は２５．４ｍｍ（１インチ）当たり少なくとも約２０、３０、４０、５０、６０、７０又は８０のねじのねじピッチを有する。歯車外ねじ表面２４２のピッチは上記で特定したねじピッチより大きく又は小さくできることに注目すべきである。

歯車２３８は、ウォーム軸２３６Ａ周りのウォーム２３６の回転が結果として歯車軸２３８Ａ、例えば、Ｘ軸周りの歯車２３８の回転になるように、ウォーム２３６と係合する。一実施例では、リング歯車２３８は、ウォーム２３６と接線方向で螺合する。この実施例では、歯車軸２３８Ａは、ウォーム軸２３６Ａと平行ではない。より具体的には、この実施例では、歯車軸２３８Ａはウォーム軸２３６Ａを横切っている。

一実施例では、歯車２３８の歯車直径はウォーム２３６のウォーム直径より大きい。一実施例では、歯車直径は約６．３５ｍｍ（１／４インチ）である。歯車直径はこの量より大きく又は小さくできること、或いは歯車直径はウォーム直径より小さくできることに注目すべきである。

一実施例では、歯車２３８は、移動機出力部３２の比較的大きな回転を歯車２３８の比較的小さな回転に、最終的に組立体出力部２８の比較的小さな移動に変換するようにウォーム２３６と相互作用する。この設計では、ウォーム２３６の完全な１回転は結果として歯車２３８の部分的な回転にしかならない。減速の量は、ウォーム２３６のねじピッチと歯車直径の関数である。

更に、歯車２３８は、組立体出力部２８を受けるように寸法設定され形状化された歯車開口部２４４を含むことができる。一実施例では、歯車開口部２４４は歯車軸２３８Ａと同軸である。更に、この実施例では、歯車開口部２４４は歯車内ねじ表面２４６を含む。例えば、代替の非限定的実施例では、歯車内ねじ表面２４６は、２５．４ｍｍ（１インチ）当たり少なくとも約２０、３０、４０、５０、６０、７０又は８０のねじピッチを有する。歯車内ねじ表面２４６のピッチは上記で特定したねじピッチより大きく又は小さくできることに注目すべきである。

図２Ｃは、図２Ａの線２Ｃ−２Ｃ上に取られた切欠図である。図２Ａ及び図２Ｃを参照すると、歯車軸受組立体２４０が歯車２３８の歯車軸２３８Ａ周りの回転を可能にし、且つ歯車２３８の歯車軸２３８Ａに沿った移動を防止する。一実施例では、歯車軸受組立体２４０は、歯車２３８に固定される内輪、（図１に示す）組立体フレーム２４に固定される外輪、及びこの内外輪を結合する複数の球面のボールを含むローラ形式の軸受である。別法として例えば、この歯車軸受組立体は、多数の軸受を含むことができ、及び／又はこの軸受はブッシング又は別の型式の軸受を含むことができる。

組立体出力部２８は、歯車２３８の回転が結果として組立体出力部２８の出力軸２８Ａに沿った、例えばＸ軸に沿った移動になるように歯車２３８に連結される。一実施例では、出力軸２８Ａは歯車軸２３８Ａと同軸である。

一実施例では、組立体出力部２８は、円筒形の軸形状であり、歯車内ねじ表面２４６に対応し、対合し、且つ係合する歯車外ねじ表面２４８を含む。例えば、代替の非限定的実施例では、歯車外ねじ表面２４８は２５．４ｍｍ（１インチ）当たり少なくとも約２０、３０、４０、５０、６０、７０又は８０のねじピッチを有する。出力部外ねじ表面２４８のピッチは上記で特定したねじピッチより大きく又は小さくできることに注目すべきである。

一実施例では、組立体出力部２８の遠位端は、遠位軸端のところの開口部内に嵌合するボール２５０を含むことができる。この設計では、組立体出力部２８は丸くした頂部を有する。ボール２５０は、組立体出力部２８の直線移動を目的物１２に伝達するように、（図１に示す）目的物１２と係合する。別の実施例では、遠位端は、必要に応じ実質的に平らであることができ、又は別の形状を有することができる。一実施例では、組立体出力部２８はステンレス鋼又は他の硬い材料から作られる。

更に、組立体出力部２８は、回転抑制器３０の一部分を受けるための長手方向に延びるスロット２５２を含むことができる。一実施例では、スロット２５２は全体的に長方形の形状であり、組立体出力部２８の少なくとも一部分に沿って延びる。

回転抑制器３０は、出力軸２８Ａ周りの組立体出力部２８の歯車２３８と一緒の回転を抑制し、出力軸２８Ａに沿った、歯車２３８に対して横への組立体出力部２８の移動を可能にする。一実施例では、回転抑制器３０は、（図１に示す）組立体フレーム２４に固定して取り付けられた第１の端部及びスロット２５２内に延びる第２の端部を有するビームである。

別法として、例えば、回転抑制器３０は、組立体フレーム２４を組立体出力部２８に連結し、組立体出力部２８の直線的移動を可能にする直線軸受を含むことができる。

本明細書で提供される設計では、ウォーム軸２３６Ａ周りのウォーム２３６Ａの回転は、結果として歯車軸２３８Ａ周りの歯車２３８の回転、及び出力軸２８Ａに直線的に沿った組立体出力部２８の移動になる。

図３は、移動機組立体３１６を含む装置３１０の別の実施例の一部分の斜視図である。この実施例では、移動機組立体３１６は、上述した移動機組立体１６にいくらか似ている。しかしながら、この実施例では、移動機組立体３１６はモータ３３４に加えて手動で移動機組立体３３２を回転させるのに使用できるハンドル３５４を含む。別法として、この移動機組立体３１６は、モータ３３４なしで設計することができる。

図４Ａ及び図４Ｂは、図１の装置１０に使用することができる移動機組立体４１６の別の実施例を示す。図４Ｃ及び図４Ｄは、移動機組立体４１６の別の横断面図である。この実施例では、移動機組立体４１６は、上記で説明した対応する構成部品といくらか似ている移動機４２０、組立体フレーム４２４、歯車組立体４２６、及び組立体出力部４２８を含む。より具体的にはこの実施例では、移動機４２０が移動機出力部４３２を移動させる。移動機出力部４３２は歯車４３８と係合し、歯車軸４３８Ａ周りの歯車４３８の回転を引き起こす。歯車４３８は、組立体出力部４２８と係合し、一方回転抑制器４３０が組立体出力部４２８の回転を抑制する。この設計では、組立体出力部４２８は、歯車軸２３８Ａに沿って横方向に移動する。

しかしながら、この実施例では、歯車軸受組立体４４０及び回転抑制器４３０はわずかに異なる。より具体的には、この実施例では、歯車軸受組立体４４０は、歯車４３８の回転を可能にし、歯車軸４３８Ａに沿った歯車４３８の移動を抑制し、且つ歯車４３８の半径方向移動を可能にする。この実施例では、歯車軸受組立体４４０は、歯車４３８の両側に配置される対向する１対のスラスト軸受を含む。

更にこの実施例では、移動機組立体４１６は、組立体出力部４２８の歯車軸受軸４３８Ａに沿った移動を案内し、組立体出力部４２８及び歯車４３８の半径方向移動を抑制する出力案内部４５６を含む。この実施例では、出力案内部４５６は組立体フレーム４２４に固定され、且つこの出力案内部４５６は組立体出力部４２８の移動を案内するブッシングである。更に、この実施例では、組立体出力部４２８の歯車４３８近くの部分のみ、出力部外ねじ表面（図示せず）を含む。

更にこの実施例では、回転抑制器４３０は、組立体出力部４２８を組立体フレーム４２４に結合し、歯車軸４３８Ａ周りの組立体出力部４２８の回転を抑制し、且つ歯車軸４３８Ａに沿った組立体出力部４２８の移動を可能にする弾性組立体４６０を含む。

図４Ｅは回転抑制器４３０の斜視図を示し、図４Ｆは回転抑制器４３０の分解斜視図を示す。この実施例では、回転抑制器４３０は、（ｉ）両端部を有する弾性組立体４６０、（ｉｉ）１対のフレーム留め具４６２、例えば、弾性組立体４６０の一端を（図４Ｃ〜図４Ｄに示す）組立体フレーム４２４に固定する１対のボルト、（ｉｉｉ）出力部留め具４６４、例えば、弾性組立体４６０のもう１つの端部を（図４Ｃ〜図４Ｄに示す）組立体出力部４２８に固定するボルトを含む。

この実施例では、弾性組立体４６０は、第１のビーム４６６、第２のビーム４６８、及びビーム４６６、４６８を一緒に固定するビーム取付具４７０を含む。この実施例では、各ビーム４６６、４６８は全体的に長方形の形状であり、（ｉ）第１の端部４７２Ａ、（ｉｉ）第１の端部４７２Ａとは反対側の第２の端部４７２Ｂ、（ｉｉｉ）前面縁部４７２Ｃ、及び（ｉｖ）前面縁部４７２Ｃとは反対側の後面縁部４７２Ｄ、（ｖ）長方形の形状の第１のスロット４７２Ｅ、及び（ｖｉｉ）長方形の形状の第２のスロット４７２Ｆを含む。更に、この実施例では、（ｉ）第１のビーム４６６に対して、第１のスロット４７２Ｅが前面縁部４７２Ｃから後面縁部４７２Ｄに向かって部分的に延び、第２のスロット４７２Ｆが後面縁部４７２Ｄから前面縁部４７２Ｅに向かって部分的に延び、且つ（ｉｉ）第２のビーム４６８に対して、第１のスロット４７２Ｅが後面縁部４７２Ｄから前面縁部４７２Ｃに向かって部分的に延び、第２のスロット４７２Ｆが前面縁部４７２Ｅから後面縁部４７２Ｄに向かって部分的に延びる。各ビーム４６６、４６８の結果としての構造は、全体的に長方形の形状の左側区域４７４Ａ、全体的に長方形の形状の右側区域４７４Ｂ、及び左及び右区域４７４Ａ、４７４Ｂを一緒に接続するいくらか「Ｓ」字形の接続部区域４７４Ｃを含む。

一実施例では、ビーム取付具４７０は、各ビーム４６６、４６８の左側区域４７４Ａを一緒に、及び／又は各ビーム４６６、４６８の右側区域４７４Ｂを一緒に固定する。一実施例では、ビーム取付具４７０は、接着剤、半田又は溶接であることができる。

ビーム４６６、４６８が一緒に固定されるとき、（ｉ）第１のビーム４６６の第１のスロット４７２Ｅの一部分が第２のビーム４６８の第１のスロット４７２Ｅの一部分の上に配置され、且つ（ｉｉ）第１のビーム４６６の第２のスロット４７２Ｆの一部分が第２のビーム４６８の第２のスロット４７２Ｆの一部分の上に配置される。

本明細書で示され且つ詳細に開示された具体的な移動機組立体１６は、目的を完全に実現し、且つ本明細書で前に述べた利点を提供することができるが、それは本発明の現行の好ましい実施例を単に示すものに過ぎず、添付の特許請求の範囲に記載される以外の、本明細書で示された構造又は設計の詳細に対し、いかなる限定も意図していないことを理解されたい。

本発明の特徴を有する移動機組立体を使用する装置の簡略化した、斜視図である。図１の移動機組立体の一部分の簡略化した、平面図である。図２Ａの移動機組立体の一部分の斜視図である。図２Ａの線２Ｃ−２Ｃ上で取られた切欠図である。本発明の特徴を有する装置の別の実施例の簡略化した、斜視図である。本発明の特徴を有する移動機組立体の更に別の実施例の別の斜視図である。本発明の特徴を有する移動機組立体の更に別の実施例の別の斜視図である。図４Ａ及び図４Ｂの移動機組立体の別の横断面図である。図４Ａ及び図４Ｂの移動機組立体の別の横断面図である。回転抑制器の別の実施例の斜視図である。図４Ｅの回転抑制器の分解斜視図である。

Claims

移動させられる移動機出力部と、
前記移動機出力部の移動が結果として歯車の回転になるように、前記移動機出力部と係合する歯を含む歯車と、
前記歯車の回転が結果として組立体出力部の軸に沿った移動になるように前記歯車と連結され、前記組立体出力部が前記目的物と連結されている、組立体出力部と
を有する、目的物の位置又は形状を調整する移動機組立体。
前記組立体出力部の回転を抑制し、前記軸に沿った前記組立体出力部の移動を可能にする回転抑制器を更に有する、請求項１に記載の移動機組立体。
ウォームのウォーム軸周りの移動が結果として、前記歯車の前記ウォーム軸と異なる前記軸周りの回転になるように前記歯車と係合するウォームを前記移動機出力部が含む、請求項１に記載の移動機組立体。
前記ウォームが２５．４ｍｍ（１インチ）当たり約２０と８０の間のねじピッチを有する、請求項３に記載の移動機組立体。
前記歯車が歯車開口部を有し、前記組立体出力部が前記歯車開口部内に配置されている、請求項１に記載の移動機組立体。
前記歯車が歯車内ねじ表面を含み、前記組立体出力部が前記歯車内ねじ表面と係合する出力部外ねじ表面を含む、請求項５に記載の移動機組立体。
前記歯車の回転を可能にする歯車軸受組立体を更に有する、請求項１に記載の移動機組立体。
前記移動機出力部を回転させるモータを更に有する、請求項１に記載の移動機組立体。
前記移動機出力部の前記移動を監視する測定システムを更に有する、請求項１に記載の移動機組立体。
目的物及び請求項１に記載の移動機組立体を含む精密装置。
ウォーム軸周りに回転させられるウォームと、
前記ウォームの回転が結果として前記歯車の、前記ウォーム軸にほぼ直交する歯車軸周りの回転になるように、前記ウォームと係合する歯車と、
前記歯車に連結され、前記歯車の回転が結果として前記歯車軸と同軸の出力軸に沿った組立体出力部の移動になり、前記組立体出力部が前記目的物に連結されている組立体出力部と
を有する、目的物の位置又は形状を調整する移動機組立体。
前記組立体出力部の回転を抑制し、前記組立体出力部の前記出力軸に沿った移動を可能にする回転抑制器を更に備える、請求項１１に記載の移動機組立体。
前記ウォームが２５．４ｍｍ（１インチ）当たり約２０と８０の間のねじピッチを有する、請求項１１に記載の移動機組立体。
前記歯車が歯車開口部を有し、前記組立体出力部が前記歯車開口部内に配置されている、請求項１１に記載の移動機組立体。
前記歯車が歯車内ねじ表面を含み、前記組立体出力部が前記歯車内ねじ表面と係合する出力部外ねじ表面を含む、請求項１４に記載の移動機組立体。
前記歯車の回転を可能にする歯車軸受組立体を更に有する、請求項１１に記載の移動機組立体。
前記移動機出力部を回転させるモータを更に有する、請求項１１に記載の移動機組立体。
目的物及び請求項１１に記載の移動機組立体を含む精密装置。
ウォームと、
前記ウォームをウォーム軸周りに回転させるモータと、
前記ウォームの回転が結果として前記歯車の、前記ウォーム軸にほぼ直交する歯車軸周りの回転になるように前記ウォームと係合する歯車であって、前記歯車が前記歯車軸と同軸である歯車内ねじ表面を含む歯車と、
前記歯車の前記歯車軸周りの回転を可能にし、前記歯車の前記歯車軸に沿った移動を抑制する歯車軸受組立体と、
前記歯車内ねじ表面と係合する出力部外ねじ表面を有する組立体出力部と、
前記組立体出力部の前記歯車軸周りの回転を抑制する回転抑制器と
を有する、目的物の位置又は形状を調整する移動機組立体。
前記ウォームが２５．４ｍｍ（１インチ）当たり約２０と８０の間のねじピッチを有する、請求項１９に記載の移動機組立体。
前記移動機出力部の前記移動を監視する測定システムを更に有する、請求項１９に記載の移動機組立体。
目的物及び請求項１９に記載の移動機組立体を含む精密装置。
移動機出力部を移動させるステップと、
前記移動機出力部の移動が結果として歯車の回転になるように、前記移動機出力部を前記歯車の歯と係合させるステップと、
前記歯車の回転が結果として、目的物と連結されている組立体出力部の軸に沿った移動になるように、前記組立体出力部を前記歯車に連結するステップと
を有する、目的物を移動させ、又は位置決めするための方法。
前記軸に沿った前記組立体出力部の移動を可能にする回転抑制器によって前記組立体出力部の回転を抑制するステップを更に有する、請求項２３に記載の方法。
前記組立体出力部を前記歯車の歯車開口部内に配置するステップを更に有する、請求項２３に記載の方法。
ウォームを設けるステップと、
前記ウォームをモータでウォーム軸周りに回転させるステップと、
前記ウォームの回転が結果として前記歯車の、前記ウォーム軸に直交する歯車軸周りの回転になるように、前記歯車軸と同軸である歯車内ねじ表面を含む歯車と前記ウォームを係合させるステップと、
前記歯車を前記歯車軸周りに回転可能にし、且つ前記歯車の前記歯車軸に沿った移動を抑制する歯車軸受組立体によって前記歯車を支持するステップと、
前記歯車内ねじ表面と係合する出力部外ねじ表面を有する組立体出力部を設けるステップと、
回転抑制器によって前記組立体出力部の前記歯車軸周りの回転を抑制するステップと
を有する、目的物を移動させ、又は位置決めするための方法。
組立体フレームに対する、軸に沿った組立体出力部の移動を抑制し、且つ前記組立体フレームに対する、前記軸に沿った前記組立体出力部の移動を可能にする回転抑制器であって、前記回転抑制器が、前記組立体フレームに固定して取り付けられる第１の端部及び前記組立体出力部に固定して取り付けられる第２の端部を有する弾性組立体を備え、前記弾性組立体が、第１のビーム、第２のビーム及び前記第１のビームの一部分を前記第２のビームの一部分に固定するビーム取付具を含む、回転抑制器。
各ビームが第１のスロットを含み、前記第１のビームの前記第１のスロットの一部分が前記第２のビームの前記第１のスロットの一部分の上に配置される、請求項２７に記載の回転抑制器。
各ビームが第２のスロットを含み、前記第１のビームの前記第２のスロットの一部分が前記第２のビームの前記第２のスロットの一部分の上に配置されている、請求項２８に記載の回転抑制器。
組立体フレームと、
前記組立体フレームに対して移動させられるウォームと、
前記ウォームの移動が結果として歯車の歯車軸周りの回転になるように前記ウォームと係合する歯車と、
前記歯車に連結される組立体出力部であって、前記歯車の回転が結果として目的物と連結されている前記組立体出力部の前記軸に沿った移動になる組立体出力部と、
前記組立体出力部を前記組立体フレームに連結する請求項２７に記載の回転抑制器であって、前記回転抑制器が前記組立体出力部の前記軸に沿った移動を可能にし、前記組立体出力部の前記軸周りの回転を抑制する回転抑制器と
を有する、目的物の位置又は形状を調整する移動機組立体。