KR100388348B1 - 전기기계식위치결정기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 원자 스케일 위치결정 정밀도를 가지며 또한 센티미터까지의 변위범위를 가지고서 물체를 위치결정하는 관성구동기로서 형성된 전기기계식 위치결정기에 관한 것이다. 위치결정기는 슬라이더에 전기적으로 제어가능한 관성구동 운동을 전달하기 위한 적어도 하나의 바람직한 튜브형상 압전 액추에이터를 포함한다. 본 발명의 대상은 상대적으로 높은 중량의 적어도 하나의 부분(매스유니트)과 적어도 하나의 굽힘변형가능한 부분(굽힘유니트)으로 구성되는 슬라이더인데, 굽힘유니트는 굽힘가능한 부분의 굽힘에 의해 마찰력을 조절가능하게 해주고 매스유니트는 위치결정기의 고부하용량을 제공한다. 이들 두 개의 부분을 조합함에 의하여 무거운 물체를 위치결정하는 것과 공구를 구동시키는 데 필요한 힘을 발휘하는 것이 가능하다.

Description

전기기계식 위치결정기 {Electromechanical Positioning Unit}

특히 위치결정기의 간결한 형태는 DE 38 22 504 A1, WO-A1-94/06160, 그리고 Review Sci. Instr. 63(1) (Jan. 1992, pages 263/264)에 설명된 바와 같은 단축 관성구동기이다. 이들 문헌에 따르면 한 개 또는 몇 개의 압전 액추에이터는 슬라이딩 표면을 빠르게 또는 느리게 움직인다. 특히 이 튜브형상 슬라이딩 표면은 슬라이더를 대칭적으로 둘러싼다.

DE 38 22 504 A1에서 물체를 지지하여 이동시키는 몇 개의 슬라이더를 가지는 마이크로 매니퓰레이터가 설명되었다. 물체를 직접 지지하는 지지헤드를 가지는 슬라이더는 튜브형상 슬라이딩 표면 내부에서 압전기식으로 움직이게 된다. 그러나 원통형-볼트 형상을 가지며 어떤 굽힘가능한 요소도 가지지 않는 이들 슬라이더의 마찰력은 조정가능하지 않다.

WO-A1-94/06160("저질량 지지수단")에 설명된 위치결정기의 슬라이더는 와이어 형상이고, 그 마찰력은 굽혀질 수 있는 모양에 의해 조정가능하지만 작은 변화량의 굽힘으로 제한된다. 이것은 단지 작은 굽힘범위만이 적당한 마찰력을 생성하는데 허용된다는 것을 의미한다. 이 형태의 슬라이더는 단지 마찰력이 매우 작은 때에만 관성구동을 허용한다. 따라서 팁, 예를 들어 주사 터널링 현미경의 팁은 움직일 수 있지만 무거운 물체는 움직일 수 없다. 이 슬라이더는 극히 작은 힘만을 발휘할 수 있을 뿐인데, 왜냐하면 이들 힘이 마찰력의 세기로 제한되기 때문이다.

게다가 WO-A1-94/06160에서, 슬라이더에 발휘될 수 있는 힘들은 압전 액추에이터의 동력 용량에 의해 제한된다. 부착으로부터 미끄럼으로의 변이는 적어도 하나의 압전 액추에이터로부터 슬라이딩 표면으로 보내지는 임펄스의 형상에, 또한 슬라이더의 질량에 강하게 의존한다. 그것은 또한 관련된 다양한 물질의 마찰계수에 의존한다. 압전 액추에이터는 적용된 전압이 100 Volt를 넘으면 감극되고 그이후에는 더 이상 움직일 수 없어서 관성구동기로의 동력의 전달을 제한한다.

"Review Sci. Instr." 63(1), Jan. 1992, pages 263/264에서, 축선을 따라 분할된 원통의 두 개의 반쪽으로 만들어진 슬라이더가 설명되어 있고, 두 개의 원통 반쪽 모두는 마찰력에 의해 튜브 모양 압전 액추에이터내에 유지된다. 이러한 목적을 위해 스프링이 두 개의 반쪽 사이에 도입되어, 튜브에서 2개의 반쪽이 떨어져 나가는 것을 방지하나, 튜브의 축선을 따라 압전력에 의해 두 개의 반쪽이 이동하되는 것은 허용한다. 이것으로부터 슬라이더의 두 개의 반쪽이 튜브의 축선을 따라 압전력에 의해 움직일 수 있도록 기계적으로 스프링을 조절하는 것은 극히 어렵다는 것이 알려져 있다. 실린더의 두 개의 반쪽과 조절하기 어려운 스프링을 가지는 슬라이더의 기계적 구조는 너무나 복잡해서 압전 액추에이터의 직경은 실제로 19mm 내지 20mm보다 작을 수 없다. 전체구조의 커다른 부피는 걷는 발소리의 음파와 같은 외부로부터의 기계적인 교란에 대해 예민하게 되어서 특별한 진동 방지 시스템없이는 원자정밀도를 가지는 위치결정을 일반적으로 불가능하게 한다.

위치결정기의 실제적인 적용은 구동장치가 슬라이더의 노화, 먼지, 부식, 스프링 상수의 변화 등으로부터 기인하는 마찰력의 변화에 대해 허용오차를 가지도록 한다. 이 허용오차는 Review Sci. Instr. 63(1)에서의 장치로는 주어지지 않는다. 이 문헌에서 중력에 대항하는 슬라이더의 운동은 50 Volt를 넘는 전압으로 "압전 세라믹"을 구동함에 의해서만 가능할 뿐이다. 중력보다 큰 힘에 대항하는 작동은 가능하지 않으며, 특히 이 장치는 슬라이더없이 단독으로는 아무것도 들어올릴 수 없다.

상기된 Review Sci. Instrum. 63(1)에 의하면, 슬라이더-매스는 스프링의 도움으로 마찰튜브벽에 대항하여 가압되는 두 개의 원통 반쪽으로 구성된다. 만약 작동시 두 개의 매스부분이 "마이크로"-프랙티스에서 거의 회피되어질 수 없는 마찰튜브벽에 대한 다양한 마찰을 가진다면, 두 개의 매스부분은 비동기화된다. 이것에 의해 두 개의 매스부분은 마찰튜브내에서 기울어져 고착되어 박힐 수 있다. 그래서 종래 장치의 실질적인 단점은 슬라이더가 항상 두 개의 원통 반쪽과 그것을 위한 두 개의 매스유니트로 구성되어야만 한다는 것이고, 그 두 개의 매스유니트는 마찰튜브의 내벽에 대항하여 이동방향에 가로질러 가압된다.

본 발명은 청구항 제 1 항의 전제부에 따르는 전기기계식 위치결정기에 관한 것이다. 특히 본 발명은 가동 슬라이더를 가지는 적어도 하나의 튜브형상 압전 액추에이터를 구비한 관성구동기로서 형성된 위치결정기에 관한 것이다. 이 액추에이터는 그것의 운동을 전기적으로 제어하기 위해 가변전압에 액추에이터를 연결하기 위한 전극을 가진다. 슬라이더는 튜브형상 슬라이딩 표면을 따라서 압전운동의 방향으로 압전 액추에이터의 내부에서 이동되어진다.

관성구동의 원리에 근거한 압전 액추에이터에 의해 구동되며, 나노미터 정밀도를 가지는 이런 종류의 위치결정기는 원자 스케일의 해상도를 가진 위치결정기, 해석기구(예를 들면 주사터널링 현미경), 그리고 마이크로 및 나노 기술에 속하는 기구로서 사용된다. 이들 관성구동기에서 슬라이딩 표면에 대한 슬라이더의 변위는 슬라이더의 관성력이 마찰력을 초과하여 슬라이더가 슬라이딩 표면의 운동을 추종하지 못하도록 하는 슬라이딩 표면의 높은 가속에 의하여 성취된다.

도 1은 슬라이더와 슬라이더에 속하는 슬라이딩 표면을 도시한 도면,

도 2는 도 1에 있어서 변화된 슬라이더를 도시한 도면,

도 3은 특수한 표면을 가지는 슬라이더를 도시한 도면,

도 4 및 도 5는 와이어 형상 굽힘유니트의 다양한 형태를 도시한 도면,

도 6은 매스유니트에 형성된 굽힘유니트를 도시한 도면,

도 7은 물체를 포함하는 매스유니트를 도시한 도면,

도 8은 위치결정 테이블을 도시한 도면,

도 9는 z-위치결정기를 가지는 도 8에 도시된 위치결정 테이블로 조합된 xy-테이블을 도시한 도면,

도 10은 세 개의 직교방향에서 작동하는 가요힌지에 의해 연결된 세 개의 위치결정기의 조합을 도시한 도면, 그리고

도 11은 회전용으로 조합된 위치결정기를 도시한 도면.

본 발명의 제1의 과제는 상기 형태의 슬라이더의 결점을 제거하여, 구동 임펄스당 피드에서 그 허용오차내에서 쉽게 조절가능하게 되는 관성구동기를 개발하여서, 무거운 하중을 이동시키고 물체에 높은 힘을 작용시키거나 또는 전달하게 하고 그리고 일반 실험실에서 통상의 기계적인 장애에 대하여 보호장치없이 나노미터(nm) 정밀도를 가지고서 센티미터(cm) 운동을 이행할 수 있게 하는 것이다. 결과적으로 관성구동기에 에너지를 공급함에 있어서의 한계로부터 기인하는 위치결정기의 동력용량한계가 극복된다. 본 발명에 따른 해결책은 청구항 제 1 항에 주어진다. 본 발명에 기초하는 개량과 또다른 구조는 나머지 청구항에 주어진다.

본 발명의 슬라이더는 하나의 부분으로 구성되며, 이것은 슬라이더를 형성하는 모든 매스 유니트와 굽힘 유니트들이 하나의 합성체로 통합되어 있다는 뜻이다.그러나 개별의 매스유니트와 개별의 굽힙유니트가 분리되어서 또한 독립적으로 제작될 수 있다. 하나의 몸체로 모두 함께 그것들을 생산하는 것이 바람직하다.

적어도 하나의 굽힘유니트의 도움으로 슬라이딩 표면상에서 슬라이더의 압력은 소정 장력을 성취하도록 굽힘유니트를 굽힘으로써 조절될 수 있다. 이로써 마찰력의 세기는 넓은 범위에서 변화할 수 있게 된다.

본 발명의 슬라이더는 적어도 한 개의 굽힘 변형이 가능한 굽힘유니트와 그리고 적어도 하나의 무거운 매스유니트를 포함하는 하나의 부분으로 구성된다. 이론상으로는 굽힘유니트는 매스유니트에 대해 상대적으로 굽힘가능하게 만들어질 수만 있다면 무거운 것이 될 수도 있으며, 또한 이론상으로는 매스유니트는 그것의 중량에도 불구하고 굽힘유니트에 대해 상대적으로 무거운 것일 수 있다면 굽힘가능한 것일 수도 있다. 공지된 바와 같이 극히 무거우면서 동시에 극히 유연한 고체는 가능하지 않다.

상기된 바와 같이 관성구동기내에 동력을 공급하는 데에는 제한이 있다. 이 문제는 (상당한) 동력소비에 대한 제한에도 불구하고 강력한 압전구동기를 도출하는 본 발명의 슬라이더에 통합된 매스유니트로 해결된다. 본 발명은 원리적으로 압전 액추에이터의 효율을 현저하게 향상시킨다. 적절한 전기적 임펄스는 압전운동에 동기적으로 슬라이더의 무거운 중량을 가속할 수 있으며, 또한 압전운동의 급속한 변화는 매우 강한 마찰력에도 불구하고 그 관성에 의해 무거운 중량이 미끄러지도록 강제한다.

높은 마찰력과 연관된 높은 관성 매스는 여러 장점을 도출한다.

a. 본 발명의 슬라이더로써 무거운 물체를 움직일 수 있다.

b. 높은 마찰력으로 조절되는 본 발명의 슬라이더는 큰 힘을 발휘한다.

c. 본 발명의 위치결정기는 그 견고함에 의해 슬라이더의 굽힘유니트의 초기굽힘의 넓은 범위에서 작동하며, 이것은 슬라이더의 조절이 슬라이더의 마찰력에서의 변화로 작용하는 작동시의 변화(먼지, 습도, 부식 등)에 대해 큰 허용오차를 제공하고 영향을 크게 받지 않는다는 것을 의미한다.

d. 본 발명의 슬라이더의 이동을 위해, 많은 종래 관성기구와 대조적으로 압전 액추에이터에 적용되는 10 Volt 크기의 작은 전압으로 충분한 것이어서 어떤 높은 전압이 작동에 필요하지 않아 조작하기가 상당히 수월하게 된다.

e. 본 발명의 또다른 장점은 슬라이더의 굽힘유니트를 조절하여 슬라이더와 슬라이딩 표면 사이의 접촉력을 설정함으로써 슬라이더와 압전 액추에이터 사이에 적용된 임펄스당 상대운동의 변위를 조절하는 것이 가능하다는 것이다. 이로써 특히 상대운동의 변위는 압전 액추에이터의 범위보다 작게 만들어질 수 있어서, mm 내지 cm의 스케일로 어떤 위치도 원자정밀도를 가지고서 도달하게 해준다.

f. 본 발명의 위치결정기의 견고함에 의해 슬라이더는 초당 밀리미터까지의 속도를 가지고 균등하고 반복가능하게 이동한다.

상기된 것에 대하여 슬라이딩 표면과 슬라이더 사이의 마찰력의 세기는 또한 접촉면의 크기와 상태에 의존한다. 이 파라미터는 제조시에 선택되어질 수 있어서, 일정하게 유지되고 슬라이더의 굽힘 유니트가 조절될 수 있는 범위를 고정한다. 적어도 하나의 매스유니트가 매스유니트와 슬라이딩 표면 사이의 접촉면적의크기가 선택될 수 있도록 형성된 표면을 가지는 본체로 구성된다면, 그리고/또는 매스유니트가 상이한 물질로 구성되고 구멍을 가질 수 있다면, 이것은 달성될 수 있다.

슬라이더의 굽힘유니트에 대한 이 요구조건은 PCT/EP 93/02414에 제안된 바와 같이 얇은 탄성 와이어에 의해 충족될 수 있다. 굽힘유니트는 또한 적어도 한 위치에서 굽힘성이 야기되어 가외의 굽힘유니트를 형성할 때까지 매스유니트를 가늘게 함으로써 형성될 수 있다. 이 구조는 단일체에서 제조가 가능하여 상이한 물질 사이에 이음부를 피할 수 있다는 장점을 가진다.

본 발명의 또다른 사상에 따라, 슬라이더와 함께 이동되는 물체가 슬라이더에 고정될 수 있다. 필요하다면 이 물체는 슬라이더와 동일한 정밀도를 가지고 위치결정되어질 수 있다.

만약 압전 엑추에이터가 공간에 고정되는 것이 아니라, 본 발명의 또다른 사상에 따라 슬라이더가 적어도 한 끝에서 큰 무거운 물체에 고정됨에 의해 공간에 고정된다면, 상대운동은 큰 무거운 물체에 대한 압전 액추에이터의 이동을 유도한다. 따라서 특히 xy-테이블, xyz-스탠드, 3각대, 경사테이블, 또는 회전요소와 같이 공간내에서 여러 방향에서 위치결정되는 복잡한 위치결정 구조체가 가능하다.

본 발명의 슬라이더의 상기 설명된 큰 힘의 비축덕분에 복잡한 위치결정은 몇 개의 이들 위치결정기의 조합에 의하여, 그리고 특히 xy-테이블, xyz-테이블, 3각대, 경사테이블, 또는 회전요소와 같이 그 슬라이더에 물체가 고정됨에 의하여 공간의 몇 개의 방향에서 수행되어질 수 있다.

본 발명은 원자 스케일 위치결정 정밀도를 가지고, 또한 센티미터까지의 변위 범위를 가지고 물체를 위치결정하기 위한 관성구동기로서 형성된 전기기계 위치결정기에 관한 것이다.

이 위치결정기는 튜브형상 슬라이딩 표면을 따르는 압전움직임의 방향으로 상기 압전 액추에이터내에서 움직이는 슬라이더에 전기적으로 제어할 수 있는 관성구동 움직임을 전달하기 위해 가변저항에 압전 액추에이터를 연결하기 위한 전극을 가지는 적어도 하나의 튜브형상 압전 액추에이터를 포함한다. 슬라이더와 압전 액추에이터 사이의 상대적인 움직임은 슬라이더가 슬라이딩 표면의 상대적으로 빠른 움직임을 따를 수는 없으나 슬라이딩 표면의 상대적으로 느린 움직임을 따를 수는 있다는 사실에 기인한다. 본 발명의 목적은 적어도 하나의 보다 높은 중량의 장치(매스유니트)와 적어도 하나의 굽힘변형가능한 장치(굽힘유니트)로 구성되는 슬라이더로써, 상기 굽힘유니트가 마찰력의 세기를 조절하도록 하고 또한 상기 매스유니트가 위치결정기의 높은 부하용량을 제공하는 것이다. 이 조합으로 무거운 부하가 위치결정되어질 수 있으며, 또한 기구에 필요한 힘이 발휘되도록 한다.

본 발명의 좀더 상세한 설명이 지금 도면에 의하여 예시되어진다.

본 발명에 따르는 슬라이더의 한 형태가 도 1에 도시되어 있다. 슬라이딩 표면(1)은 전체적으로 5로 표시된 슬라이더를 포함하고 있고, 이 슬라이더는 이 특정 경우에 매스유니트(2a, 2b, 2c 등)와 몇 개의 굽힘변형가능 유니트(3a, 3b, 3c 등)로 구성된다. 유니트의 갯수는 그 원리에 있어 중요하지 않으며, 도 2에 도시된 바와 같이 각각 한 개씩의 유니트(2, 3)만으로도 충분하다. 이것은 슬라이더내에 전기줄, 센서, 유리섬유, 또는 호우스 같은 물체를 통합해서 본 발명의 슬라이더와 함께 그것들을 이동하게끔 할 수 있는 슬라이더의 다양한 형태를 허용한다.

슬라이딩 표면(1)과 슬라이더(5) 사이에서 마찰력의 세기는 다른 수단 이외에도 슬라이더의 제조시 슬라이더 표면(7)의 크기와 상태에 의해 결정되어질 수 있다. 이것은 도 3에 예시된 바와 같이 매스유니트(2)의 적어도 하나의 표면(7)을 형성하여 슬라이더 표면(7)과 슬라이딩 표면(1) 사이의 접촉면적의 크기를 결정함으로써 달성된다.

본 발명에 따른 슬라이더의 다른 특정 형태들이 도 4와 도 5에 도시되어 있다. 굽힘유니트(3a, 3b 등)는 가는 탄성 와이어로 구성되고, 매스유니트의 한쪽 끝에 연결된 끈(도 4)처럼 보이거나 또는 두 개의 매스유니트 사이에 연결부재를 형성(도 5)할 수 있다. 여기서 와이어의 갯수는 역시 중요하지 않으며, 단지 하나의 와이어만으로 본 발명의 원리를 설명하는 데 충분하다. 도 6에 도시된 바와 같이 굽힘유니트(3)는 적어도 하나의 위치에서 가요성있게 되어 굽힘유니트성을 나타낼 때까지 매스유니트(2)를 가늘게 함에 의해 또한 생성될 수 있다. 이 원리는 슬라이더상의 몇 개의 장소에 적용될 수 있다.

도시된 모든 예에서, 매스유니트는 적용 목적에 따라 다양한 재료로 이루어질 수 있고, 그리고/또는 축선상의 구멍을 가질 수 있다. 도 7은 물체(4)가 하나의 매스유니트(2a)의 내부에 고정되어 있는 예를 도시한다. 이것은 로드가 될 수도 있고, xy-위치결정기의 한 부분으로 작용할 수도 있고, 또는 물질을 스크래칭하거나 프린트 회로기판 등의 회선을 잘라내기 위한 파이크가 될 수도 있다.

복잡한 기구를 형성하는 몇 개의 본 발명에 따른 위치결정기의 조합은 도 8 내지 10에 도시되어 있다. 도 8에는 상기 xy-테이블의 하나의 층이 도시되어 있다. 두 개의 위치결정기(10a, 10b)는 같은 레벨에 평행하게 고정되어 있다. 각각의 슬라이더는 움직이는 물체인 로드(11a, 11b)를 포함한다. 각각의 로드는 그 위치결정기(10) 외부의 먼 범위까지 그 슬라이더를 통해 뻗어 있다. 로드의 끝에서 두 평판(12a, 12b)은 고정되고, 그 평판들은 슬라이더가 동기적으로 움직일 때 슬라이더의 운동방향을 따라 동일하게 움직인다. 따라서 본 발명에 의하면, 나노미터 정밀도를 가지고서 mm 내지 cm의 변위범위를 가지는 위치결정 테이블이 얻어진다. 이로 인해 예를 들면 100그램의 하중체가 초당 1mm의 속도로 이동되어질 수 있다.

본 발명의 위치결정기의 조합은 주사 프로브 측정장치용으로 그리고 도 9에 도시된 바와 같은 기구로 사용될 수 있다. xy-테이블(21)은 각각 본 발명에 따르는 위치결정기 4개를 포함하고 서로 90도 회전되어 놓인 두 개의 테이블(도 8에 도시)로 구성된다. z-컴포넌트는 본 발명에 따르는 제5의 위치결정기로 구성된다. 그것의 슬라이더는 물체(11)를 지지하는데, 그 물체는 스크래칭, 용접, 또는 본딩 각각을 위한 팁, 또는 전기 전류, 자기장, 빛, 화학제품, 힘 등에 대한 센서, 호우스, 또는 유리 섬유가 될 수 있다. 본 발명에 따르는 세 개의 위치결정기가 굽힘만을 허용하고 스크래칭, 토싱, 버클링을 허용하지 않는 도 10에 도시되어 있는 바와 같은 가요성 연결부재로 조합된다면, 그 물체(11)는 세 개의 차원에서 위치결정될 수 있다.

회전은 도 11에 도시된 바와 같이 적어도 두 개의 본 발명에 따르는 위치결정기(10a, 10b)를 조합함에 의해 수행되어질 수 있다. 슬라이더-암(11a, 11b)의 단일축 운동은 큰 각변위하에서 하나 또는 두 개의 턴테이블의 두 개의 지점에 전달된다. 두 개의 지점의 각변위는 위치결정기 모두가 회전운동에 힘을 전달할 수 업게 되는 것을 방지한다. 기계적인 전달은 증기 기관에 사용되는 공지의 편심 원리를 따를 수 있다.

상기 도시된 적용예중의 어느 것도 PCT/EP 93/02414와 DE 38 22 504 A1, 또는 Review Sci. Instr. 63(1)에 설명된 바와 같은 단일축 관성 구동기의 종래 슬라이더를 가지고는 실현할 수 없다. 단지 본 발명에 따르는 위치결정기의 특성만이 필요한 견고함을 제공한다.

Claims (8)

1. 나노미터 수준의 위치결정정밀도와 mm 내지 cm 변위범위를 가지고서 가요성 슬라이더(5)를 위치결정시키는 관성구동기로서, 상기 슬라이더(5)는 튜브형상 압전 액추에이터내에서 튜브형상 마찰면(1)을 따라 마찰 접촉하며 이동가능하게 배치되고, 상기 액추에이터는 가변 전압에 연결하기 위한 전극을 가지고 있고 상기 전극의 도움으로 슬라이더(5)가 전기적으로 제어가능하게 이동될 수 있도록 되어 있는, 전기기계식 위치결정기에 있어서, 굽힘유니트(3)와 비교해서 가요성이 없고 보다 높은 질량의 적어도 하나의 무거운 유니트(2)-매스유니트-는 적어도 하나의 굽힘변형 가능한 굽힘유니트(3)를 포함하는 슬라이더(5)로 통합되는 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
2. 제 1 항에 있어서, 슬라이딩 표면(1)에 대해 슬라이더(5)를 고정시키는 마찰력의 세기가 관성구동기의 기능의 관점에서 적어도 하나의 굽힘유니트(3)에 의해 조절되어지는 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 슬라이딩 표면(1)과 접촉하는 면적의 크기가 표면(7)의 형태에 의해 선택될 수 있고, 그리고 매스유니트가 상이한 물질로 구성되고 및/또는 구멍을 가지는 방법으로 표면이 형성되는 몸체로 적어도 하나의 매스유니트(2)가 이루어진 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 적어도 하나의 가요성 굽힘유니트(3)가 가느다란 가요성 와이어로 구성되는 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 적어도 하나의 가요성 굽힘유니트(3)가 적어도 하나의 매스유니트를 가늘게 함에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 물체(4)가 적어도 하나의 슬라이더(5)에 또는 내측에 고정되어서, 슬라이더와 함께 이동되는 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 슬라이더(5)가 적어도 한 끝상에서 크고 무거운 물체에 고정되어지고, 상대적인 운동이 큰 물체에 대한 압전 액추에이터의 이동을 유도하는 것을 특징으로 하는 전기기계식 위치결정기.
8. 특히 xy-테이블, xyz-스테이지, 3각대, 경사테이블, 또는 회전요소와 같은 위치결정 디바이스에 있어서, 제 1 항 또는 제 2 항에 따르는 여러개의 전기기계식 위치결정기가 조합되어서 이들 조합된 유니트들에 고정된 물체가 공간에서 정확하게 소정된 위치에 압전기적으로 가져와질 수 있는 것을 특징으로 하는 위치결정 디바이스.

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