TW302574B - - Google Patents

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^02574 ΑΊ Β7 五、發明説明 ( / ) 1 1 I 本 發 明 關 於 Φ 請 專 利 範 圍 第 1 項 引 文 的 —* 種 定 機 定 位 1 1 1 單 元 〇 它 特 別 關 於 一 種 慣 性 驅 動 器 形 式 的 定 位 單 元 具 有 1 I 請 1 | 至 少 —- 壓 電 動 作 器 ( 宜 為 管 形 ) 壓 電 動 作 器 具 有 可 動 的 先 閔 1 I 轉 子 〇 該 動 作 器 具 有 電 極 Μ 接 到 可 變 電 壓 藉 該 電 壓 使 讀 背 1 面 I 轉 子 可 用 電 控 方 式 移 動 0 如 有 必 要 轉 子 可 在 此 壓 電 動 作 < I 器 上 或 在 其 中 沿 壓 電 運 動 的 方 向 沿 一 摩 擦 表 面 ( 宜 為 管 形 事 項 1 I 1 产 ) 運 動 〇 填 具 本 裝 這 種 Π m ( 毫 Mil. 微 米 ) 準 度 的 定 位 單 元 ( 它 係 利 用 壓 I 1 I 電 動 作 器 根 據 慣 性 驅 動 器 原 理 而 動 作 ) 係 用 來 作 定 位 器 ， 1 1 分 析 儀 器 [ 例 如 掃 瞄 探 針 顯 微 鏡 ( R a St e r S 0 d e α Ώ ik Γ 0 s k op 1 1 ) 及 在 微 米 级 及 Π m 級 技 術 的 工 具 ) 作 到 原 子 级 的 解 1 訂 析 度 ( Au f 1 0 S u η g) C > 在 這 種 慣 性 驅 動 器 的 情 形 轉 子 相 1 | 對 於 摩 擦 表 面 的 移 動 係 在 該 摩 擦 表 面 作 強 力 加 速 情 形 下 1 1 f 使 轉 子 慣 性 力 大 於 附 著 ( 靜 ) 摩 擦 力 使 轉 子 不 再 随 摩 1 | 擦 表 面 運 動 0 I - 線 —- 種 特 別 緊 密 的 定 位 單 元 形 式 係 單 軸 式 慣 性 驅 動 器 > 1 如 德 專 利 D E 3 8 2 2 5 0 4 A 1 所 述 者 及 在 國 1 1 際 專 利 / 歐 洲 專 利 P C Τ / Ε Ρ 9 3 / 0 2 4 1 4 中 以 1 I 及 在 Re v i e w Sc i . I n s t Γ . 63 (1) (1 9 9 2年6月 2 I 6 3 / 2 6 4 頁 ) 所 發 表 者 〇 依 這 些 文 獻 係 利 用 一 涸 或 1 • I 多 涸 壓 電 動 作 器 把 一 摩 擦 表 面 迅 速 及 慢 慢 移 動 〇 此 摩 擦 表 1 1 面 呈 有 lib 均 勻 地 ( 尤 其 呈 管 狀 ) 圍 繞 著 轉 子 〇 1 I 在 德 專 利 D E 3 8 - 2 3- 2 5 0 4 A 1 提 到 種 1 1 1 1 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 29?公釐） _________B7 五、發明説明（> ) 微操縱器，它具有多涸轉子，這些轉子同樣地要支持各物 體並將之移動。轉子要能隨一些放置頭（它們接到轉子上 *直接容纳該物髓）用壓電方式在一管形摩擦表面中作調 整。但這些轉子的附著摩擦力（這些轉子呈習知方式具實 心圓茼壓模式形狀，且不具可撓彎的元件）不能調整。 在PCT/EP 93/024 14的定位單元中所 提的轉子（” los-raass support means”）具有iW金饜絲 的形狀’且可藉這種可撓彎的形式在小小範圃内調整其摩 擦附著力’換言之，只能在狹小的彎曲範圍中把有效之摩 擦附著力作調整。這種轉子形式只有在摩擦附著力很小時 ，才能做慣性驅動運動。因此在習知技術中，一测量峰， 亦即一掃猫穿透顯微鏡（Rastertunnelmikroskop)的尖峰 並不能將較重的物體移動。因為這種力量受附著摩擦力強 度限制，因此用這種轉子只能施極小的力量。 此外，依PCT/EP 93/02414所要施到 轉子上的力量也受到壓電動作器的功率限度的限制。從附 著到滑動的過渡狀態——除了由所使用之表面所決定的各 種不同滑動係數外--主要取決於該脈波（它經至少一壓 電動作器傳到摩擦表面）的強度及轉子的質量。由於壓電 動作器在施高電壓（從約100多伏特起）會發生去極化 且不再能作擴張運動，因此供入慣性驅動器的能量有一上 限。 在，’ Review Sci. instr.” 63 (1) , 1 9 9 2 年 1 月 本纸伕尺度適用中國國家標準（CN’S ) A4規格（210X297公釐） ----.--：--1¾衣------ΪΤ------# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本页) A7 B7 五、發明説明 ) 1 1 I i 2 6 3 / 2 6 4 頁 提 到 一 種 轉 子 它 由 一 縱 分 的 圓 茼 桿 1 1 1 的 兩 半 構 成 其 中 該 圓 茼 形 兩 半 要 利 用 摩 擦 力 保 持 在 一 個 1 I 請 1 I 管 形 設 計 的 壓 電 動 作 器 内 0 為 此 巨 的 在 二 圓 筒 半 部 之 間 先 閱 1 I 放 入 —. 涸 彈 簧 其 彈 力 要 正 好 大 到 使 二 個 圓 茼 半 部 不 會 從 婧 背 1 I 管 掉 出 來 然 而 可 利 用 壓 電 力 量 沿 管 的 縱 向 移 動 〇 因 此 多 之 ；± | 意 在 此 習 知 技 術 要 將 彈 簧 用 機 械 方 式 調 整 成 使 轉 子 的 二 半 部 事 項 1 I 再 1 1产 正 好 藉 壓 電 力 量 沿 管 的 縱 向 運 動 乃 是 極 端 困 難 者 0 這 種 填 1 本 裝 轉 子 的 m 械 構 造 ( 它 具 有 二 個 圓 茼 半 部 及 位 於 其 間 很 難 調 I 1 I 整 的 機 械 彈 簧 ) 很 複 雜 因 此 實 際 上 壓 電 動 作 器 的 内 部 寬 1 1 度 ( 1 i c h t e e i t e η) 極乎不超過1 9〜2 On Ί Γ η : >由於整 1 1 涸 裝 置 的 這 種 尺 寸 使 得 它 對 於 外 界 的 機 械 干 擾 ( 如 腳 步 1 訂 聲 ) 很 敏 感 因 此 要 將 物 體 定 位 做 到 原 子 级 的 準 度 一 般 ( 1 I 亦 即 不 用 特 別 之 吸 震 系 统 ) 不 可 能 〇 1 1 但 要 做 定 位 單 元 之 實 際 用 途 其 前 題 為 驅 動 器 對 於 1 | 摩 擦 附 著 力 變 化 之 誤 差 能 容 許 這 種 摩 擦 附 著 力 的 變 化 » 1 線 舉 例 而 係 由 老 化 灰 塵 轉 子 腐 蝕 彈 簧 常 數 改 變 等 1 所 引 起 0 這 種 誤 差 容 許 度 在 該 文 獻 Re vi e w Sc i · I n s tr 6 3 1 1 (1)的轉子並不能提供 >在此文獻中 轉子相對於重力的運 1 I 動 只 有 在 ” 壓 電 陶 瓷 ，， 用 大 於 5 0 伏 特 的 高 壓 操 作 才 會 I 發 明 0 因 此 比 重 力 更 大 的 力 量 就 不 能 使 用 〇 1 本 發 明 的 巨 的 在 於 將 上 述 形 式 的 轉 子 的 缺 點 消 除 9 1 1 並 因 此 使 一 種 單 軸 慣 性 驅 動 器 的 每 個 驅 動 脈 波 的 推 進 可 Μ 1 I 用 可 輕 鬆 達 到 的 容 許 度 作 調 整 5- 可 使 較 大 的 負 荷 物 移 動 i 1 1 1 1 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） 302574 A7 _B7 玉、發明説明（f ) 且可把大力量作用到物體上或傳到其上，且對於一般的機 械性干擾不需作防護，換言之，以一般的工夫，以nm级 的準度做公分（c m )级的蓮動。最後一點，對於定位器 ，也要克服功率限制的問題（這種限制是由於供入慣性驅 動器中的能1的上限所造成者）。依本發明達成之道係見 於申請專利範圍第1項，本發明的改良及較佳的進一步特 點見於其餘附龎項。 本發明的轉子為一件式，換言之，搆成此轉子的質量 及彎曲單元最後組合成一體。但涸別的質量單元及個別的 彎曲單元可以分開並互不相干地分別製造。最好由單一體 製成。 利用至少該可撓曲的單元之一，可將滾子壓迫到摩擦 表面上的壓力利用預夾緊的彎曲部作迅速調整。如此，附 著摩擦力的強度可在很大的值域中作改變。 本發明的一件式轉子包含至少一個主要可撓性彎形的 鸾曲單元及至少一個重的質量單元。理論上，這種彎曲單 元，雖然它設計成比質量單元更有撓曲性，但可以很重； 或者霣量單元在理論上*雖然比彎曲單元重|但也可Μ有 撓曲性。但在習知的固體，質量與可撓性的極端值是不能 同時共存的。 如上述，在壓電動作器*要供應能量到慣性驅動器中 ，有一個上限。對於這種問題，依本發明係利用一體整合 到轉子中的霣量單元對付，因此，雖然（有效）能量接收 -6- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公« ) ----.--；--------ir------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明 ( ) 1 1 I 有 一 上 限 但 可 使 壓 電 驅 動 器 的 作 用 的 功 率 很 強 0 因 此 利 1 1 1 用 本 發 明 可 使 壓 電 動 作 器 的 效 率 一 — 在 原 理 上 一 — 大 大 改 1 1 請 1 1 善 0 因 此 當 適 當 選 擇 電 脈 動 形 式 可 將 高 轉 子 質 量 與 廳 電 先 1 | 1 運 動 同 步 加 速 此 運 動 由 於 慣 性 大 因 此 如 果 附 著 摩 擦 力 背 利 用 可 撓 性 彎 曲 單 元 作 很 大 的 調 整 則 在 壓 電 蓮 動 迅 速 改 冬 I 變 時 仍 會 過 渡 變 到 滑 動 運 動 〇 事 項 1 | 再 1 ，一 這 種 大 的 慣 性 質 量 及 可 作 大 幅 調 整 的 附 著 摩 擦 力 一 般 填 Ϊ 個 本 裝 有 好 幾 優 點 I 1 1 ( a ) 利 用 本 發 明 的 轉 子 亦 可 運 送 較 大 質 量 的 物 體 0 1 1 ( b ) 可 用 本 發 明 的 定 位 器 施 加 的 力 量 當 附 著 摩 擦 力 可 1 1 大 幅 調 整 時 就 很 大 〇 1 訂 ( c ) 利 用 這 種 強 度 本 發 明 的 定 位 器 在 轉 子 之 可 撓 彎 曲 1 | 單 元 的 很 大 的 彎 曲 範 圍 中 作 用 換 之 轉 子 的 調 1 1 整 對 誤 差 有 極 大 容 許 度 且 對 操 作 時 的 改 變 ( 污 染 1 I > 濕 氣 腐 蝕 等 ) 不 受 影 響 ( 這 些 因 素 的 作 用 有 如 1 線 改 變 轉 子 的 附 著 力 ) 〇 1 ( d ) 對 於 本 發 明 的 轉 子 的 運 動 把 在 土 1 〇 伏 特 量 级 的 1 1 小 電 壓 加 到 壓 電 動 作 器 已 足 因 此 不 同 於 許 多 傳 統 1 I 慣 性 驅 動 器 它 不 須 用 高 電 壓 操 作 因 此 使 其 操 作 I 容 易 很 多 0 1 ( e ) 本 發 明 另 一 優 點 為 可 以 把 經 由 轉 子 的 可 撓 彎 曲 單 1 1 元 施 到 摩 擦 表 面 的 壓 力 調 整 而 將 轉 子 及 壓 電 動 作 1 1 器 之 間 每 施 電 脈 波 形 7- 時 的 相 對 運 動 的 距 離 作 調 整 1 1 1 1 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 Ox 297公釐） A7 B7 五、發明説明 ) 1 1 I 0 因 此 特 別 是 相 對 運 動 的 距 離 可 保 持 比 壓 電 動 作 1 1 器 的 調 整 範 圍 小 因 此 即 使 在 m m 到 C m 範 圍 的 1 I 請 1 I 大 調 整 範 圍 各 位 置 之 準 度 可 達 原 子 级 準 確 度 0 先 閱 1 1 ( f ) 利 用 本 發 明 定 位 器 的 強 度 該 轉 子 Μ 均 勻 且 可 再 現 讀 背 1 I 的 方 式 以 m m / 每 秒 的 量 级 的 速 度 移 動 〇 冬 I 意 摩 擦 表 面 與 轉 子 間 的 摩 擦 強 度 除 了 與 上 述 機 構 有 關 举 項 1 I 再 ，一 外 亦 決 定 於 轉 子 接 觸 面 的 大 小 及 性 質 0 這 種 參 數 可 在 製 填 \ % 本 裝 成 時 選 定 並 随 後 保 持 恆 定 它 確 定 轉 子 之 可 撓 彎 曲 性 的 页 1 I 調 整 範 圍 0 如 果 至 少 質 量 軍 元 之 一 由 一 種 具 某 棰 成 形 表 面 1 1 的 物 體 構 成 使 得 靠 在 摩 擦 表 面 上 的 面 積 大 小 可 由 摩 擦 表 1 1 面 選 定 及 / 或 該 質 量 單 元 由 不 同 材 料 構 成 且 含 有 孔 則 1 訂 可 達 到 這 種 恆 定 性 質 0 1 1 對 於 轉 子 可 撓 彎 曲 性 的 要 件 有 —* 種 彈 性 细 金 靥 絲 可 1 1 以 達 成 ( 如 P C T / E P 9 3 / 〇 2 4 1 4 所 述 者 ) 〇 1 | 同 樣 地 一 種 可 撓 性 彎 曲 單 元 亦 可 如 下 方 式 造 成 一 質 量 線 單 元 至 少 在 一 位 置 變 薄 使 得 在 此 位 置 的 可 彎 性 相 當 於 一 I 種 特 別 的 可 撓 彎 曲 性 0 這 種 構 造 有 一 绶 點 即 可 以 — 體 成 1 型 且 不 同 材 料 間 的 缝 隙 位 置 可 VX 消 除 0 1 | 依 本 發 明 另 — 特 色 在 轉 子 上 或 内 可 固 定 一 物 體 它 I 龌 轉 子 一 齊 運 送 〇 如 有 必 要 該 物 體 可 用 與 轉 子 相 同 的 定 1 位 準 度 移 動 0 1 1 如 果 不 是 把 定 位 動 作 器 部 分 的 空 間 位 置 固 定 死 而 係' 1 1 依 本 發 明 另 構 想 有 轉 子 固 定 8 - 位 其 方 式 係 把 轉 子 至 少 1 1 1 1 本.纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（7 ) 端固定在一大而重的物體上，則此相對運動使壓電動作器 相對於該大物體運動。這點使得複雜的構造也可依本發明 在多個空間方向定位。 由於本發明的轉子有上述的很大的力量保留’因此把 數個這種定單元組合，及把物體固定在其轉子上，可在多 涸空間方向造成複雜定位，尤其是呈X y抬，X y z架’ 三腳架傾斜抬或旋轉元件形式。 本發明闞於一種電機定位單元*呈慣性驅動器方式’ 用於將物髏定位，定位距離在達cm範園，定位準確度達 原子级準確度。此定位單元含有至少一個宜呈管形的歷電 動作器，它具有電極，以接到可麥電壓，K產生可電控的 慣性運動，作用到一轉子上，該轉子宜在此壓電動作器上 或之内可沿壓電運動方向沿一宜圼環形的摩擦表面運動。 此轉子與壓電動作器間的相對運動產生的方法，係使轉子 不跟随摩擦表面做快速運動，而跟隨該摩擦表面做慢速相 對運動。本發明之禰的為一種轉子，它由至少一個高質量 單元（質量單元）及至少一可撓曲變形的單元（彎曲覃元 )構成，因此摩擦附著力的強度可由轉子的可撓彎曲性調 整•且轉子的質量單元與定位單元的高負荷性有RS °利用 這種組合，用這種定位單元，亦可將較重的物體定位’並 產生做工具使用時所需施的力量。 茲配合實施例的示意圖說明本發明的细節： 第一圖係一轉子及一相關摩擦表面； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X29·/公釐） (請先M讀背面之注意事項再填寫本f ) 装 線 A7 B7 五、發明説明（牙） 第二圖係與第一圖不同之一轉子； 第三圖係具特別表面的一轉子； 第四及第五圖係不同形狀之金屬絲形彎曲單元； 第六圖係由一質量單元之本體加工出之彎曲單元； 第七圖係一質量單元及位於其内的物體； 第八圖係具有要定位之物的移動抬； 第九圖係一 X y抬，它是第八圖之移動抬與相關z定 位器的組合； 第十圖係三個撓性可鼙及直角互相配合的定位的組合 } 第十一圖係用於做轉動或旋轉蓮動之組合定位器。 本發明轉子的一種設計見於第一圖。摩擦表面（1) 包含轉子〔全體以（5)表示〕，該轉子在此特例中由數 個質量軍元（2a) 、 (2b) 、 （2c)等及數個可擦 曲變形的彎曲單元（3a) 、 (3b)等構成。在此，單 元的數目原則上並不一定；.如第二圖示•各一單元（2) (3 )即是。如此，設計上有很大的可用自由空間，俾將 物體|如電線、感測器、玻璃纖維或軟管之類的物品整合 到轉子（5)中，這些物品可再Μ本發明的定位準度Μ動 0 摩擦表面（1)及轉子（5)間的摩擦力也可在製成 轉子時由轉子表面（7)的大小及性質決定，為此，如第 三圖所示，至少質量單元（2)中有一個在表面（7)上 -1 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本f ) ;裝 訂 線 A7 B7 五、發明説明（1 ) 形成，使靠在摩擦表面（1 )上的面積可由這種表面形狀 選定。 本發明轉子的其他特別之設計見於第四圖及第五圖。 在此，可撓彎曲單元（3a) 、 （3b)等由彈性细金鼷 絲構成，例如在一端的鞭狀部（GeiBeln)(第四圖）或在 二質量單元間的連接（見第五圖）。又，此處金饜絲的數 目並不一定；一條金屬絲對本發明作用原理已足夠。如第 六圖所示，該可撓彎曲單元（3)亦可在一位置（6)變 细，使此位置可Μ作撓性彎曲並構成可撓彎曲單元。又， 此原理可多方使用。 在所有上述例子中*質量單元可各依使用目的而定由 不同材料構成*且/或含有軸向孔。因此，第七圖的例子 中，在質量單元（2a)之一中固定著一物體（4)。它 可為一桿，且用於做一 X y定位抬的一部分，或者是一種 針（S p i e B )，随材料刮除，例如用於把導電路線分開。 第八〜十圖顯示把數個本發明的定位器組合成複雜的 儀器。第八圖中顯示上述的X y枱。此處，二個本發明的 定位器（10a) (10b)在一平面中平行，其轉子各 有一桿，圼要移動的物體（1 la) (1 lb)形式。各 桿穿過其轉子，一直到各定位器（10)外面為止。在此 二桿末端固定著二個板（12a) (12b)，它們在二 定位器同步運動時，同樣地沿轉子的運動方向運動。因此 依本發明得到一種移動抬•它的n m级準確度，而運動距 -1 1 - 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） {請先閲讀背面之注意事項再填寫本页) .裝 訂 線 A7 _____B7_ _ 五、發明説明（e° ) 雛在mm到cm範圍。在此，舉例而言•可將大於約1 〇 0克的負荷Μ高達1 mm/每秒以上的速度移動。 第九圖所示的本發明定位装置的組合可做掃瞄探棒測 量儀器及工具用。此xy抬（2 1)由二個互相轉子90 度的移動抬（20)構成（第八圖），因此共由四涸本發 明的定位器構成。z元件由一第五個本發明之定位器（1 0)構成。其轉子帶有物體（1 1)，舉例而言為一刮除 的尖部焊接或结合的突起*或一電流、磁場、光、化學品 、力量等的感測器，或一軟管或一玻璃纖維。 如果如第十圖所示，把三個本發明的定位器（1 〇 a )(10b) (l〇c) Μ彈性方式經連接部互相組合（ 此强性連接部可«曲，但不能拉伸，鍛壓，或扭曲）則可 將一物體（1 1 )在空間作三度空間的定位。 如第十一圖所示，旋轉運動可利用至少二個本發明的 定位器（10a)與（l〇b)的組合實胨。這二種轉子 臂（l〇a) (l〇b)的單聃運動傳到一涸或二個轉盤 的二個偏轉很大角度的位置。這種角度偏轉力量死角（在 此此角中二個定位器都不能把力量溥動成旋轉運動）。把 線性運動作櫬械式轉換的作用，可利用習知方式用凸輪原 理達成，例如蒸汽火車頭的軸驅動器。 上述之任何實施例在傳通之單軸驅動器的轉子；如在 PCT/EP 93/02414 及 DE 3 8 2 2 5 0 4 A1或在刊物Review Sci Instr. 63 (1)中都未提到 -1 2 - 本紙張尺度itif]中㈣家標準（CNS ) A4規格（210>< 297公4 ) ----.--^---^------1T------^ (请先s讀背面之注意事項再填寫本页) A7 B7 五、發明説明（t丨） 度 強 之 需 所 到 達 能 才 質 性 的 器 位 定 的 明 發 本 有 只 0 施 實 或 (請先閱讀背面之注意事項再填芎本頁) 裝 訂 線 -'"tlj? -F 匕31' 本紙伕尺度適用中國國家標準（CN'S ) A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. A BCD 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 六、申請專利範圍 1 •—種電機定位單元•用於Μ達nm定位準確度及 達cm範圍的定位距離把一轉子（5)定位，該定位單元 包含至少一個宜圼管形的壓電動作器，它具有相對於一摩 擦表面運動的轉子，並有電極Μ接到可變電壓，藉之使轉 子Κ可電控的方式運動，其特徴在： 該轉子（5)大致由至少一個主要為可撓變性的彎曲 單元（3)及至少一個較該可撓單元不可撓性且較重的質 量單元（2) —體成形構成。 2 ·如申請專利範圍第1項之定位單元，其中： 該將轉子（5 )相對於摩擦表面（1 ) S定化的摩擦 附著力的強度可經至少一可撓彎曲單元（3)沿一慣性驅 動器的作用方向作調整。 3 ·如申請專利範圍第1或第2項之定位單元，其中 至少該質量單元（2)之一由一本體構成，其表面的 形狀，使靠在摩擦表面（1)上的面積大小可藉此表面形 狀（7)選定，且該質量單元可由不同材料構成，且/或 含有孔。 4 ·如申請專利範圍第1或第2項之定位單元•其中 至少可撓彎曲單元（3)之一由一種彈性细金屬絲構 成。 5 ·如申請專利範圍第1或第2項之定位單元，其中 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) ....................{ ^................ΤΓ * · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ABCD 六、申請專利範圍 至少該可撓彎曲單元（3)之一由至少質量單元之一 的相關的拉ί申部構成。 6 ·如申請專利範圍第1或第2項之定位單元，其中 在至少轉子（5)之一的表面或上面至少固定一物體 (4)，它随轉子一同運送。 7 ·如申請專利範圍第1或第2項之定位單元，其中 該轉子（5)至少一端固定在一大而重的物體上，故 相對蓮動使得壓電動作器相對於該大物體運動。 8 ·如申請專利範圍第1或第2項之定位單元，其中 數個這種定位單元組合，且固定在這些組合的單元上 的物體Μ壓電方式帶到預定空間位置，尤其是呈X y抬， X y z架，三腳架，傾斜架或旋轉元件方式。 ....................^ 裝................·玎 鵪 « (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公寶)