JP2001268951A - 駆動装置 - Google Patents

駆動装置

Info

Publication number
JP2001268951A
JP2001268951A JP2000081544A JP2000081544A JP2001268951A JP 2001268951 A JP2001268951 A JP 2001268951A JP 2000081544 A JP2000081544 A JP 2000081544A JP 2000081544 A JP2000081544 A JP 2000081544A JP 2001268951 A JP2001268951 A JP 2001268951A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
driving
piezoelectric
drive
voltage
electromechanical transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000081544A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001268951A5 (ja
Inventor
Hiroyuki Okada
Yasuhiro Okamoto
Ryuichi Yoshida
龍一 吉田
泰弘 岡本
浩幸 岡田
Original Assignee
Minolta Co Ltd
ミノルタ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd, ミノルタ株式会社 filed Critical Minolta Co Ltd
Priority to JP2000081544A priority Critical patent/JP2001268951A/ja
Publication of JP2001268951A publication Critical patent/JP2001268951A/ja
Publication of JP2001268951A5 publication Critical patent/JP2001268951A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/06Drive circuits; Control arrangements or methods
    • H02N2/065Large signal circuits, e.g. final stages
    • H02N2/067Large signal circuits, e.g. final stages generating drive pulses
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B3/00Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
    • G03B3/10Power-operated focusing
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/025Inertial sliding motors
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053Driving means for the movement of one or more optical element
    • G03B2205/0061Driving means for the movement of one or more optical element using piezoelectric actuators

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コスト化と小型化とを効果的に実現する。 【解決手段】 一方端に支持部材24が固着され、他方
端に駆動部材28が固着された圧電素子26に、矩形波
からなるものであって駆動周波数fdが支持部材24及
び駆動部材28の固着された状態での圧電素子26の共
振周波数frに対し、0.3×fr<fd<1.2×f
rの関係を有する駆動電圧を印加する。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動装置に関し、
特にはXY移動ステージ、カメラの撮影レンズ、オーバ
ヘッドプロジェクタの投影レンズ、双眼鏡のレンズ等の
駆動に適した駆動装置に関する。

【0002】

【従来の技術】従来、撮影レンズ等が取りつけられた係
合部材を棒状の駆動部材に所定の摩擦力を有するように
結合させると共に、その駆動部材の一方端に圧電素子を
固着して構成されたインパクト型圧電アクチュエータか
らなる駆動装置が知られている。例えば、図18は、カ
メラの撮影レンズ位置を調節するための駆動装置の概略
構成を示す図である。

【0003】この図における駆動装置100は、電気機
械変換素子である圧電素子101と、圧電素子101に
より駆動される棒状の駆動部材102と、駆動部材10
2に所定の摩擦力で結合された係合部材103と、圧電
素子101に駆動電圧を印加する駆動回路104とを備
えている。

【0004】圧電素子101は、駆動回路104から印
加される駆動電圧に応じて伸縮するものであり、その伸
縮方向における一方端が支持部材105に固着されると
共に、その他方端が駆動部材102の軸方向における一
方端に固着されたものである。係合部材103は、所定
箇所に駆動対象物である撮影レンズLが固着され、駆動
部材102上を軸方向に沿って移動可能とされている。

【0005】駆動回路104は、図19に示すように、
波形発生器107とパワーアンプ108とで構成され、
波形発生器107で得た0〜5Vの鋸歯波形を有する駆
動電圧をパワーアンプ108に入力し、このパワーアン
プ108から0〜10Vの鋸歯波形を有する駆動電圧を
出力するようにしたものである。

【0006】このように構成された駆動装置100で
は、駆動回路104から緩慢な立ち上がり部と急峻な立
ち下がり部とを有する図20(a)に示すような波形
(繰出波形)の駆動電圧が圧電素子101に繰り返し印
加されると、圧電素子101の伸縮により係合部材10
3は繰出方向(圧電素子101から離反する方向)であ
る矢印a方向に移動する。すなわち、駆動電圧の緩慢な
立ち上がり部では圧電素子101が緩やかに伸長するこ
とになるため、係合部材103は駆動部材102と共に
繰出方向に移動する一方、急峻な立ち下がり部では圧電
素子101が急激に縮小することになるため、駆動部材
102が戻り方向に移動しても係合部材103は駆動部
材102上をスリップして略同位置に留まることにな
る。このため、図20(a)に示すような波形の駆動電
圧が圧電素子101に繰り返し印加されると、係合部材
103は矢印a方向に間欠的に移動する。

【0007】また、駆動回路104から急峻な立ち上が
り部と緩慢な立ち下がり部とを有する図20(b)に示
すような波形(戻り波形)の駆動電圧が圧電素子101
に繰り返し印加されると、圧電素子101の伸縮により
被駆動部材103は戻り方向(圧電素子101に接近す
る方向)である矢印aとは反対方向に移動する。すなわ
ち、駆動電圧の急峻な立ち上がり部では圧電素子101
が急激に伸長することになるため、駆動部材102が繰
出方向に移動しても係合部材103は駆動部材102上
をスリップして略同位置に留まることになる一方、緩慢
な立ち下がり部では圧電素子101が緩やかに縮小する
ことになるため、係合部材103は駆動部材102と共
に戻り方向に移動することになる。このため、図20
(b)に示すような波形の駆動電圧が圧電素子101に
繰り返し印加されると、係合部材103は矢印aとは反
対方向に間欠的に移動する。このように、圧電素子10
1に図20(a)と図20(b)に示す波形の駆動電圧
が印加されることにより、撮影レンズLが繰出方向と戻
り方向とに移動可能となる。

【0008】なお、駆動回路104は、例えば図21に
示すように構成されたものであってもよい。この図に示
す駆動回路104は、緩速充電回路及び急速放電回路か
らなる第1の駆動回路109と、急速充電回路及び緩速
放電回路からなる第2の駆動回路110とから構成さ
れ、デジタル回路で生成した0〜5Vの所定の制御信号
により各駆動回路109,110を駆動制御するように
したものである。

【0009】すなわち、第1の駆動回路109は、電源
電圧Vsに対して2つのスイッチ111,112と定電
流源113とを定電流源113が2つのスイッチ11
1,112の間にくるようにして直列接続することによ
り構成され、第2の駆動回路110は、電源電圧Vsに
対して2つのスイッチ114,115と定電流源116
とを定電流源116が2つのスイッチ114,115の
間にくるようにして直列接続することにより構成された
ものである。圧電素子101は、第1の駆動回路109
におけるスイッチ素子112の両端と、第2の駆動回路
110におけるスイッチ素子115及び定電流源116
の直列回路の両端とに接続される。

【0010】この図21に示す駆動回路104では、第
1の駆動回路109のスイッチ111を閉じることによ
り緩速充電回路が形成され、その後にスイッチ111を
開いてスイッチ112を閉じることにより急速放電回路
が形成される。このスイッチ操作が制御信号により繰り
返し実行されることにより、図20(a)に示すような
繰出波形の駆動電圧が圧電素子101に繰り返し印加さ
れることになる。

【0011】また、第2の駆動回路110のスイッチ1
14を閉じることにより急速充電回路が形成され、その
後にスイッチ113を開いてスイッチ115を閉じるこ
とにより緩速放電回路が形成される。このスイッチ操作
が制御信号により繰り返し実行されることにより、図2
0(b)に示すような戻り波形の駆動電圧が圧電素子1
01に繰り返し印加されることになる。これにより、係
合部材103が上記と同様に繰出方向と戻り方向とに移
動する結果、撮影レンズLが繰出方向と戻り方向とに移
動可能となる。

【0012】

【発明が解決しようとする課題】ところで、カメラの撮
影レンズ等の光学系の駆動源としてインパクト形圧電ア
クチュエータからなる駆動装置を適用する場合、その駆
動装置はできる限り低コスト化され、かつ小型化されて
いることが望ましい。しかしながら、上記従来の駆動装
置100では、図19に示す駆動回路104の場合、鋸
歯波形の信号を生成する回路が複雑になることから低コ
スト化と小型化とに制約を受けるという問題があった。
また、図21に示す駆動回路104の場合でも、定電流
源113,116の回路構成が複雑になることから低コ
スト化と小型化とに制約を受けるという問題があった。

【0013】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、低コスト化と小型化とを効果的に実現す
ることができる駆動装置を提供することを目的とする。

【0014】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、駆動電圧が印加されることにより伸縮す
る電気機械変換素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向
における一方端に固着された支持部材と、前記電気機械
変換素子の伸縮方向における他方端に固着された駆動部
材と、該駆動部材に所定の摩擦力で係合された係合部材
と、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路とから構
成され、前記電気機械変換素子を異なる速度で伸縮させ
ることで前記支持部材と前記係合部材とを相対移動させ
る駆動装置において、前記駆動回路は、前記支持部材及
び駆動部材の固着された状態での電気機械変換素子の共
振周波数に対し、前記電気機械変換素子を異なる速度で
伸縮させる所定の関係の駆動周波数を有する矩形波から
なる駆動電圧を生成し、この駆動電圧を前記電気機械変
換素子に印加するようにしたものである(請求項1)。

【0015】この構成によれば、電気機械変換素子に印
加される駆動電圧が矩形波からなるものであっても電気
機械変換素子の伸縮による変位波形が鋸歯形状となるた
め、電気機械変換素子の伸長と縮小とが異なる速度で行
われるようになる結果、支持部材と係合部材とを相対移
動させることができるようになる。このように、本発明
では、電気機械変換素子に印加される駆動電圧が矩形波
からなるものでよいため、駆動回路の構成を簡素化する
ことができ、駆動装置の低コスト化と小型化とを促進す
ることができる。なお、前記駆動周波数fdは前記支持
部材及び駆動部材の固着された状態での電気機械変換素
子の共振周波数frに対し、fd>0.3×frの関係
を有するものにするとよく、又は、fd<1.2×fr
の関係を有するものにするとよい(請求項2,3)。

【0016】また、前記駆動電圧は、そのデューティ比
Dが、0.05<D<0.45の関係にあるものにする
とよい(請求項4)。この構成によれば、電気機械変換
素子の伸縮による変位波形が緩慢な立ち上がり部と急峻
な立ち下がり部とを有する鋸歯形状となる結果、係合部
材が繰出方向に移動することになる。このため、係合部
材に固着されている撮影レンズ等の駆動対象物を電気機
械変換素子から離反する繰出方向に移動させることがで
きる。

【0017】また、前記駆動電圧は、そのデューティ比
Dが、0.55<D<0.95の関係にあるものにする
とよい(請求項5)。この構成によれば、電気機械変換
素子の伸縮による変位波形が急峻な立ち上がり部と緩慢
な立ち下がり部とを有する鋸歯形状となる結果、係合部
材が戻り方向に移動することになる。このため、係合部
材に固着されている撮影レンズ等の駆動対象物を電気機
械変換素子に接近する戻り方向に移動させることができ
る。

【0018】

【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態に係
るインパクト型圧電アクチュエータからなる駆動装置の
基本構成を概略的に示すブロック図である。この図にお
いて、駆動装置10は、駆動部12と、駆動部12を駆
動する駆動回路14と、駆動部12に取り付けられてい
る係合部材の位置を検出する部材センサ16と、駆動部
12の基端に配設された基端センサ18と、駆動部12
の先端に配設された先端センサ20と、全体の動作を制
御する制御部22とを備えている。

【0019】なお、従来のインパクト型圧電アクチュエ
ータからなる駆動装置は、圧電素子に鋸歯形状の波形を
有する駆動電圧を印加することにより駆動可能とされて
いたが、本発明は、種々の実験の繰り返しと思索の末に
生成の容易な矩形状の波形を有する駆動電圧であっても
その駆動周波数が系における圧電素子の共振周波数に対
して特定の関係を有する場合には圧電素子がその伸縮時
に鋸歯形状に変位することになり、これにより駆動装置
が駆動可能になる(すなわち、後述する支持部材24と
係合部材30とが相対移動する)ことを見い出したこと
に基づくものである。

【0020】図2は、駆動部12の構成例を示す斜視図
である。この図において、駆動部12は、素子固定式構
造のものであり、支持部材24、圧電素子26、駆動部
材28及び係合部材30から構成されている。

【0021】支持部材24は、圧電素子26及び駆動部
材28を保持するものであり、円柱体の軸方向両端部2
41,242と略中央に位置する仕切壁243とを残し
て内部を刳り貫くことにより形成された第1の収容空間
244及び第2の収容空間245を有している。この第
1の収容空間244には、圧電素子26がその分極方向
である伸縮方向を支持部材24の軸方向と一致させた状
態で収容されている。また、第2の収容空間245に
は、駆動部材28と係合部材30の一部とが収容されて
いる。

【0022】圧電素子26は、例えば、所定の厚みを有
する複数枚の圧電基板を各圧電基板間に図略の電極を介
して積層することにより構成したものであって、その伸
縮方向(積層方向)である長手方向の一方端面が第1の
収容空間244の一方端部241側端面に固着されてい
る。支持部材24の他方端部242及び仕切壁243に
は中心位置に丸孔が穿設されると共に、この両丸孔を貫
通して断面円形状の棒状の駆動部材28が第2収容空間
245に軸方向に沿って移動可能に収容されている。

【0023】駆動部材28の第1の収容空間244内に
突出した端部は圧電素子26の他方端面に固着され、駆
動部材28の第2の収容空間245の外部に突出した端
部は板ばね32により所定のばね圧で圧電素子26側に
付勢されている。この板ばね32による駆動部材28へ
の付勢は、圧電素子26の伸縮動作に基づく駆動部材2
8の軸方向変位を安定化させるためである。

【0024】係合部材30は、駆動部材28の軸方向の
両側に取付部301を有する基部302と、両取付部3
01の間に装着される挟込み部材303とを備えてお
り、基部302が駆動部材28に遊嵌されると共に、挟
込み部材303が両取付部301に取り付けられた板ば
ね304により下方に押圧されて駆動部材28に接触す
ることで係合部材30が所定の摩擦力で駆動部材28に
結合され、係合部材30に対してその摩擦力よりも大き
な駆動力が作用したときに駆動部材28の軸方向に沿っ
て移動可能とされている。なお、係合部材30には駆動
対象物である撮影レンズL(図1)が取り付けられる。

【0025】図3は、駆動回路14の構成例を示す図で
ある。この図において、駆動回路14は、矩形波からな
る駆動電圧を連続して出力すると共に、その駆動電圧を
圧電素子26に印加することにより圧電素子26の伸縮
時の変位波形を鋸歯形状にするものであり、デジタル回
路からなる波形発生器141とパワーアンプ142とか
ら構成されている。この波形発生器141は、例えば0
〜5Vの矩形波からなる駆動電圧を生成してパワーアン
プ142に供給し、パワーアンプ142は、波形発生器
141から供給される駆動電圧を例えば0〜10Vの矩
形波からなる駆動電圧に増幅して圧電素子26に印加す
る。

【0026】図4は、駆動回路14から出力されて圧電
素子26に印加される駆動電圧であって、圧電素子26
の伸縮時の変位波形を鋸歯形状にすることにより支持部
材24と係合部材30とを相対移動させることのできる
パルス波形の一例を示すものである。すなわち、同図
(a)は、係合部材30を繰出方向(圧電素子26から
離反する方向)である矢印a方向(図1)に移動させる
ための駆動電圧のパルス波形であり、その駆動電圧の駆
動周波数fdが支持部材24及び駆動部材28が固着さ
れた状態での圧電素子26の共振周波数fr(例えば、
50KHz)の0.7倍(fd=0.7×fr)となる
ように設定され、デューティ比D(D=B/A)が0.
3になるように設定されたものである。

【0027】また、同図(b)は、係合部材30が戻り
方向(圧電素子26に接近する方向)である矢印a(図
1)とは逆方向に移動させるための駆動電圧のパルス波
形であり、その駆動電圧の駆動周波数fdが支持部材2
4及び駆動部材28が固着された状態での圧電素子26
の共振周波数frの0.7倍(fd=0.7×fr)と
なるように設定され、デューティ比D(D=B/A)が
0.7になるように設定されたものである。

【0028】駆動電圧の駆動周波数fd及びデューティ
比Dを上記のように設定しているのは、支持部材24及
び駆動部材28が固着されている状態での圧電素子26
の共振周波数frに対する駆動電圧の周波数fdの比
(fd/fr)と係合部材30の移動速度とが図5の特
性図に示すような関係を有していること、及び、矩形波
からなる駆動電圧のデューティ比Dと係合部材30の移
動方向(繰出方向及び戻り方向)とが図6の特性図に示
すような関係を有していることに基づくものである。

【0029】この図5に示す特性図は、支持部材24及
び駆動部材28が固着されている状態での圧電素子26
の共振周波数frを異ならせたり、形態(構造)を異な
らせたりした4種類(第1乃至第4)の駆動装置10を
構成し、これら各駆動装置10について圧電素子26の
共振周波数frに対する駆動電圧の周波数fdの比(f
d/fr)と係合部材30の移動速度との対応関係を計
測したものである。

【0030】なお、この特性図は、矩形波からなる駆動
電圧のデューティ比Dが0.3の場合(後述するように
係合部材30が繰出方向に移動する場合)のものである
が、そのデューティ比Dが0.7の場合(後述するよう
に係合部材30が戻り方向に移動する場合)は勿論のこ
と、そのデューティ比Dが0.05〜0.95の範囲内
にある場合に略同様の関係を有することが確認されてい
る。

【0031】この図5に示す特性図からも明らかなよう
に、fd/frの値が0.3乃至1.5の範囲内にある
場合には、一部領域で移動速度の落ち込みがあるとはい
うものの係合部材30が実質的に移動可能となる一方、
fd/frの値が0.3に満たない場合及び1.5を超
える場合には係合部材30が移動不能となる。従って、
圧電素子26の共振周波数frに対する駆動電圧の周波
数fdは、図4に示すものだけではなく必要に応じて
0.3×fr<fd<1.5×frの範囲内で適宜設定
することができる。なお、fd/frの値が0.6乃至
1.2の範囲内にある場合には、第1乃至第4のすべて
の駆動装置10について十分動作可能となる。

【0032】また、図6に示す特性図は、矩形波からな
る駆動電圧のデューティ比Dと係合部材30の移動方向
(繰出方向及び戻り方向)との対応関係を計測したもの
である。この図から明らかなように、デューティ比Dが
0.05乃至0.45の範囲内(0.05<D<0.4
5)にあるときには、係合部材30は繰出方向に移動
し、デューティ比Dが0.55乃至0.95の範囲内
(0.55<D<0.95)にあるときには、係合部材
30は戻り方向に移動する。従って、デューティ比D
は、図4に示すものだけではなく必要に応じて0.05
<D<0.45又は0.55<D<0.95の範囲内で
適宜設定することができる。

【0033】なお、支持部材24及び駆動部材28が固
着された状態での圧電素子26の共振周波数frは、次
の数式により求めたものである。

【0034】

【数1】

【0035】この数1におけるfroは圧電素子26の
両電極間におけるフリー共振周波数(圧電素子26自体
の電極間方向における共振周波数)、mpは圧電素子2
6の質量、mfは駆動部材28の質量をそれぞれ表わし
ている。なお、支持部材24の質量は、共振系における
圧電素子26の共振周波数frに関係するが、支持部材
24の質量は圧電素子26及び駆動部材28の各質量m
p,mfを加算したものに比べて十分大きな値を有して
おり、共振周波数frに与える影響は小さいので演算パ
ラメータとして考慮する必要はない。また、係合部材3
0は、圧電素子26の共振時には駆動部材28に対して
滑りを生じて実質的に共振系の要素として考慮する必要
はないので、上記数1の演算パラメータとしては含まれ
ていない。

【0036】図7は、圧電素子26に印加される駆動回
路14からの駆動電圧のパルス波形と、圧電素子26の
伸縮による変位との対応関係を示す図で、同図(a)は
図4(a)に示す駆動電圧が印加された場合であり、同
図(b)は図4(b)に示す駆動電圧が印加された場合
をそれぞれ示している。なお、圧電素子26の伸縮によ
る変位波形は、レーザードップラー振動計により測定し
たものを概略的に示したものである。

【0037】このように、圧電素子26に図4(a)に
示す駆動電圧が印加された場合は圧電素子26の変位波
形が緩慢な立ち上がり部Aと急峻な立ち下がり部Bとを
有する鋸歯形状となり、圧電素子26に図4(b)に示
す駆動電圧が印加された場合は圧電素子26の変位波形
が急峻な立ち上がり部Cと緩慢な立ち下がり部Dとを有
する鋸歯形状となっていることが確認された。

【0038】すなわち、圧電素子26の変位が図7
(a)に示すような緩慢な立ち上がり部Aを有する波形
を呈するとき(すなわち、圧電素子26が緩やかに伸長
するとき)は、係合部材30が駆動部材28と共に繰出
方向に移動し、圧電素子26の変位が図7(a)に示す
ような急峻な立下り部Bを有する波形を呈するとき(す
なわち、圧電素子26が急激に縮小するとき)は、駆動
部材28が戻り方向に移動しても係合部材30は駆動部
材28上をスリップして略同位置に留まることになる。
このため、図7(a)に示す駆動電圧が圧電素子26に
繰り返し印加されることで、係合部材30は繰出方向に
間欠的に移動することになる。

【0039】また、圧電素子26の変位が図7(b)に
示すような急峻な立ち上がり部Cを有する波形を呈する
とき(すなわち、圧電素子26が急激に伸長するとき)
は、駆動部材28が繰出方向に移動しても係合部材30
は駆動部材28上をスリップして略同位置に留まること
になり、圧電素子26の変位が図7(b)に示すような
緩慢な立下り部Dを有する波形を呈するとき(すなわ
ち、圧電素子26が緩やかに縮小するとき)は、係合部
材30が駆動部材28と共に戻り方向に移動することに
なる。このため、図7(b)に示す駆動電圧が圧電素子
26に繰り返し印加されることで、係合部材30は戻り
方向に間欠的に移動することになる。

【0040】このように、例えば図4(a),(b)に
示す駆動電圧が圧電素子26に印加された場合、圧電素
子26の変位波形が鋸歯形状となるのは次のような理由
による。つまり、矩形波は基本波である正弦波と複数次
の高調波とからなるものであるが、駆動電圧の駆動周波
数fdが圧電素子26の共振周波数frに対して0.3
倍よりも大きく1.5倍よりも小さいとき(0.3×f
r<fd<1.5×fr)、系における圧電素子26の
共振周波数frの影響を受けて矩形波を形成している高
調波成分のうち3次以上の高次の高調波のゲインが大き
く減衰し、圧電素子26に印加される駆動電圧が実質的
に基本波と2次高調波とからなる波形(鋸歯形状の波
形)を有するものとなるからである。

【0041】すなわち、図8に示すような矩形波の駆動
電圧(例えば、駆動周波数fdが圧電素子26の共振周
波数frに対して0.3倍よりも大きく1.5倍よりも
小さいもの)の1パルス分の成分は、フーリエ変換する
ことにより図9に示すような基本波f1に対してf2,
f3,…,fnの複数次の高調波を有するものとして表
わすことができる。一方、支持部材24及び駆動部材2
8が固着された状態での圧電素子26の共振特性は、図
10に示すように、図9の3次高調波f3以上の周波数
領域ではゲインが大きく減衰したものとなる。

【0042】このため、圧電素子26に図8に示す矩形
波の駆動電圧を印加すると、圧電素子26の変位波形
(振動波形)は3次以上の高調波f3,…,fn成分が
大きく減衰されたものとなり、図11に示すように実質
的に基本波f1及び第2高調波f2成分のみを有するも
のとなる。この図11に示す成分を有する圧電素子26
の変位波形はフーリエ逆変換することにより求めること
ができ、図12に示すような鋸歯形状を呈するものとな
る。

【0043】また、駆動電圧のデューティ比のある値を
境にして係合部材30の移動方向が繰出方向と戻り方向
間で反転するのは、そのデューティ比に対応して基本波
に対する2次高調波の位相がずれ、基本波と2次高調波
とからなる鋸歯波形における立ち上がり部と立ち下がり
部の各傾斜が変化することになるからである。すなわ
ち、デューティ比Dが0.05<D<0.45の範囲内
にあるときには、2次高調波の位相のずれが大きくなっ
て緩慢な立ち上がり部と急峻な立ち下がり部を有する鋸
歯波形となることから係合部材30は繰出方向に移動
し、デューティ比Dが0.55<D<0.95の範囲内
にあるときには、2次高調波の位相のずれが小さくなっ
て急峻な立ち上がり部と緩慢な立ち下がり部を有する鋸
歯波形となることから係合部材30は繰出方向に移動す
る。

【0044】因みに、図13(a)に示すように、駆動
電圧の駆動周波数fdが圧電素子26の共振周波数fr
の0.1倍(fd=0.1×fr)となるように設定
し、駆動電圧のデューティ比が0.3になるように設定
した場合、圧電素子26の変位は矩形波における立ち上
がり部の後の平坦部と立ち下がり部の後の平坦部にリン
ギングが生じるのみで鋸歯波形とはならず、係合部材3
0は停止したままであった。また、図13(b)に示す
ように、駆動電圧の駆動周波数fdが圧電素子26の共
振周波数frの0.1倍(fd=0.1×fr)となる
ように設定し、駆動電圧のデューティ比が0.7になる
ように設定した場合、圧電素子26の変位は図13
(a)の場合と同様に矩形波における立ち上がり部の後
の平坦部と立ち下がり部の後の平坦部にリンギングが生
じるのみで鋸歯波形とはならず、係合部材30は停止し
たままであった。

【0045】図14は、駆動回路14の別の構成例を示
す図である。この図に示す駆動回路14’は、電源電圧
Vsに対して2つのスイッチ34,36が直列に接続さ
れ、圧電素子26がスイッチ36に対して並列に接続さ
れて構成されたものである。図15は、図14に示す駆
動回路14’の具体的回路構成を示す図で、スイッチ3
4がPチャネルのMOSトランジスタTr1と、このM
OSトランジスタTr1をON/OFF制御するバイポ
ーラトランジスタTr2とを含んで構成される一方、ス
イッチ36がNチャネルのMOSトランジスタTr3を
含んで構成されたもので、デジタル回路により生成され
た0〜5Vの制御信号をX端子及びY端子から加えるこ
とにより各スイッチ34,36を動作させるようにした
ものである。

【0046】この駆動回路14’では、図16に示すよ
うに、スイッチ34が短時間だけ閉じられると(すなわ
ち、MOSトランジスタTr1がONされると)、その
間にスイッチ34を介して圧電素子26に電源電圧Vs
の電荷が急速に充電される一方、スイッチ34が開かれ
て(すなわち、MOSトランジスタTr1がOFFされ
て)一定時間が経過した後にスイッチ36が短時間だけ
閉じられると(すなわち、MOSトランジスタTr3が
ONされると)、圧電素子26に充電されていた電荷が
急激に放電される。

【0047】すなわち、圧電素子26は、スイッチ34
がONされてからスイッチ36がOFFされるまでの間
に矩形波からなる駆動電圧が印加されたのと実質的に同
様の状態となる。このため、図16に示すように、スイ
ッチ34が一定の周期AでON/OFFされ、スイッチ
36がスイッチ34に対して一定の遅れ時間B又はB’
でON/OFFされることで、圧電素子26の両端は実
質的に矩形波からなる駆動電圧が所定の周期で繰り返し
印加された状態となる。

【0048】この場合、駆動電圧(圧電素子26の両端
電圧)のデューティ比D(D=B/A)が0.05より
も大きく0.45よりも小さな範囲内(0.05<D<
0.45)にあるときには駆動パルスは係合部材30が
圧電素子26から離反する方向に移動する繰出波形とな
り、駆動電圧のデューティ比Dが0.55よりも大きく
0.95よりも小さな範囲内(0.55<D<0.9
5)にあるときには駆動パルスは係合部材30が圧電素
子26に接近する方向に移動する戻り波形となる。この
ように駆動回路14’を構成した場合でも、図3に示す
駆動回路14の場合と同様に圧電素子26を駆動するこ
とができる。

【0049】なお、駆動部12は、図2に示すような素
子固定式構造のものではなく、例えば、図17に示すよ
うな自走式構造のものであっても上記の駆動回路14,
14’により駆動することができる。図17(a)は自
走式構造の駆動部12の分解斜視図であり、図17
(b)はその正面図である。

【0050】すなわち、この図17に示す駆動部12’
は、位置固定される係合部材(ベース部材)40と移動
部材42とから構成されている。係合部材40は、基板
44と、基板44の略中央位置に所定の間隔をおいて対
向配置され、板ばね等の弾性部材46,48により取り
付けられた一対の狭持部材50,52と、基板44の左
右両端部に取り付けられた一対のガイド部材54,56
とを備えている。各ガイド部材54,56の外側面に
は、回転自在の複数のボール部材58,60が取り付け
られている。

【0051】移動部材42は、駆動体63と、この駆動
体63に一体に取り付けられた移動体65とから構成さ
れている。駆動体63は、支持部材67、圧電素子69
及び駆動部材71から構成されている。支持部材67
は、圧電素子69及び駆動部材71を保持するものであ
り、直方体の軸方向両端部671,672及び略中央の
仕切壁673を残して刳り貫くことにより形成された第
1の収容空間674及び第2の収容空間675を有して
いる。この第1の収容空間674には、圧電素子69が
その伸縮方向を支持部材67の軸方向と一致させて収容
されている。また、第2の収容空間675には、駆動部
材71が軸方向に移動可能に収容されている。

【0052】圧電素子69は、図2に示す圧電素子26
と同様に構成されたものであり、その伸縮方向(積層方
向)である長手方向の一方端面が第1の収容空間674
の一方端部671側端面に固着されている。駆動部材7
1は、支持部材67の左右両側に膨出する膨出部711
が中央部に一体形成され、この膨出部711が第2の収
容空間675に位置すると共に、仕切壁673に形成さ
れた貫通孔を介して第1の収容空間674内に突出した
端部は圧電素子69の他方端面に固着され、支持部材6
7の他方端部672に形成された貫通孔を介して第2の
収容空間675の外部に突出した端部は自由端とされて
いる。

【0053】移動体65は、平板部651と、平板部6
51の左右両側に下方に伸びる側壁部652,653が
形成されると共に、各側壁部652,653の内側に摺
動部材654,655が形成されたもので、移動部材4
2における支持部材67の上面にねじ部材656により
固定されている。

【0054】このように構成された移動部材42は、駆
動部材71の膨出部711が係合部材40の一対の挟持
部材50,52間に移動可能に挟持されることで係合部
材40に組み付けられることになる。すなわち、係合部
材40が図2の係合部材30に対応するものであり、こ
の係合部材40が駆動部材71に対して所定の摩擦力で
結合され、駆動部12’が構成されることになる。

【0055】この駆動部12’では、駆動回路14,1
4’から例えば図4(a)に示す波形を有する駆動電圧
が印加されて圧電素子69が緩やかに伸長すると、駆動
部材71が静止した状態で支持部材67が係合部材40
の一方側に移動し、その後に圧電素子69が急激に縮小
すると、支持部材67が静止した状態で駆動部材71が
狭持部材50,52による摩擦力に打ち勝って係合部材
40の一方側に移動する。この繰り返し動作により支持
部材67が移動体65と共に、係合部材40の一方側に
間欠的に移動することになる。

【0056】また、駆動回路14,14’から例えば図
4(b)に示す波形を有する駆動電圧が印加されて圧電
素子69が急激に伸長すると、支持部材67が静止した
状態で駆動部材71が狭持部材50,52による摩擦力
に打ち勝って係合部材40の他方側に移動し、その後に
圧電素子69が緩やかに縮小すると駆動部材71が静止
した状態で支持部材67が係合部材40の他方側に移動
する。この繰り返し動作により支持部材67が移動体6
5と共に、係合部材40の他方側に間欠的に移動するこ
とになる。

【0057】図1に戻り、部材センサ16は、係合部材
30の移動可能範囲内に配設されたものであり、MRE
(Magneto Resistive Effect)素子やPSD(Position
Sensitive Device)素子等の適宜のセンサにより構成
されている。また、基端センサ18及び先端センサ20
は、フォトインタラプタ等の適宜のセンサにより構成さ
れている。これにより、係合部材30の位置が部材セン
サ16により検出されることで係合部材30の所定位置
への移動制御が可能となる一方、係合部材30の位置が
基端センサ18及び先端センサ20により検出されるこ
とで係合部材30のそれ以上の移動が禁止される。ま
た、制御部22は、演算処理を行うCPU、処理プログ
ラム及びデータが記憶されたROM及びデータを一時的
に記憶するRAMから構成されており、部材センサ1
6、基端センサ18及び先端センサ20から入力される
信号に基づいて駆動回路14,14’を駆動制御する。

【0058】以上のように、本発明の実施形態に係る駆
動装置10は、駆動回路14,14’が矩形波からなる
駆動電圧を圧電素子26,69に印加するものであっ
て、この駆動電圧の駆動周波数が支持部材24,67及
び駆動部材28,71の固着された状態での圧電素子2
6,69の共振周波数に対し圧電素子26,69の伸縮
による変位波形を鋸歯形状にする所定の関係を有するも
のであるので、圧電素子26,69に印加される駆動電
圧が矩形波からなるものであっても圧電素子26,69
の伸長と縮小とを異なる速度で行わせることができるよ
うになる結果、支持部材24,67と係合部材30,4
0との相対移動が可能となる。このため、駆動回路の構
成を簡素化することができ、駆動装置10の低コスト化
と小型化とを促進することができる。

【0059】なお、本発明は、上記実施形態のものに限
定されるものではなく、種々の変形態様を採用すること
ができる。例えば、上記実施形態では、駆動回路14,
14’は、駆動電圧を圧電素子26,69の一方向にの
み印加するようにしたものであるが、同一の駆動電圧を
圧電素子26,69の両方向に交互に印加するようにす
ることもできる。このようにすると、圧電素子26,6
9に実質的に2倍の駆動電圧を印加したものとなり、支
持部材24,67と係合部材30,40との相対移動速
度を速くすることができる。

【0060】また、駆動回路14,14’から出力され
る駆動電圧は略矩形波となっていればよく、圧電素子2
6,69の変位波形も略鋸歯形状となればよい。また、
上述したように、駆動電圧の駆動周波数fdは支持部材
24,67及び駆動部材26,71の固着された状態で
の圧電素子26,69の共振周波数frに対し、0.3
×fr<fd<1.5×frの関係を有する場合に支持
部材24,67と係合部材30,40とを相対移動させ
ることができるが、実用上は0.6×fr<fd<1.
2×frの関係にあることが好ましい。

【0061】また、駆動電圧の駆動周波数fdの圧電素
子26,69の共振周波数frに対する上記数値は必ず
しも絶対的なものではなく、駆動装置10の構成等に対
応して若干の変動が生じ得るものである。従って、駆動
電圧の駆動周波数fdは、圧電素子26,69の共振周
波数frに対し、圧電素子26,69の伸縮による変位
波形が鋸歯形状となる適宜の値に設定するようにすれば
よい。

【0062】

【発明の効果】以上説明したように、請求項1乃至3の
発明によれば、駆動回路は、支持部材及び駆動部材の固
着された状態での電気機械変換素子の共振周波数に対
し、電気機械変換素子を異なる速度で伸縮させる所定の
関係の駆動周波数を有する矩形波からなる駆動電圧を生
成し、この駆動電圧を電気機械変換素子に印加するもの
であるので、駆動回路の構成を簡素化することができ、
駆動装置の低コスト化と小型化とを促進することができ
る。この場合、駆動周波数fdは駆動部材及び支持部材
の固着された状態での電気機械変換素子の共振周波数f
rに対し、fd>0.3×fr又はfd<1.2×fr
の関係を有するものにするとよい。

【0063】また、請求項4の発明によれば、駆動電圧
は、そのデューティ比Dが、0.05<D<0.45の
関係にあるので、電気機械変換素子の伸縮による変位が
緩慢な立ち上がり部と急峻な立ち下がり部とを有する鋸
歯形状となる結果、係合部材を繰出方向に移動させるこ
とができるようになる。

【0064】また、請求項5の発明によれば、駆動電圧
は、そのデューティ比Dが、0.55<D<0.95の
関係にあるものであるので、電気機械変換素子の伸縮に
よる変位が急峻な立ち上がり部と緩慢な立ち下がり部と
を有する鋸歯形状となる結果、係合部材を戻り方向に移
動させることができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図1】本発明の一実施形態に係る駆動装置の全体構成
を概略的に示す図である。

【図2】図1に示す駆動装置の駆動部の構成例を示す斜
視図である。

【図3】図1に示す駆動装置の駆動回路の構成例を示す
ブロック図である。

【図4】図3に示す駆動回路から出力される駆動パルス
の波形を示す図で、(a)はデューティ比が0.3にな
るように設定されたもの、(b)はデューティ比が0.
7になるように設定されたものである。

【図5】図1に示す駆動装置におけるfd/frと係合
部材の移動速度との関係を示す図である。

【図6】図1に示す駆動装置における駆動電圧のデュー
ティ比と係合部材の移動速度との関係を示す図である。

【図7】図1に示す駆動装置における圧電素子に印加さ
れる駆動電圧と、圧電素子の伸縮による変位波形との関
係を示す図で、(a)は駆動電圧のデューティ比が0.
3になるように設定された場合のもの、(b)は駆動電
圧のデューティ比が0.7になるように設定された場合
のものである。

【図8】圧電素子に印加する矩形波からなる駆動電圧を
示す図である。

【図9】図8に示す駆動電圧をフーリエ変換することに
より求めた基本波及び高調波成分を示す図である。

【図10】支持部材及び駆動部材が固着された状態での
圧電素子の共振特性を示す図である。

【図11】図10に示す共振特性を有する圧電素子に図
8に示す駆動電圧を印加した場合の基本波及び高調波成
分を示す図である。

【図12】図11に示す基本波及び高調波成分をフーリ
エ逆変換することにより求めた圧電素子の変位波形を示
す図である。

【図13】本発明の範囲外の駆動周波数を有する駆動電
圧と圧電素子の伸縮による変位波形との関係を示す図
で、(a)は駆動電圧のデューティ比が0.3になるよ
うに設定したもの、(b)は駆動電圧のデューティ比が
0.7になるように設定したものである。

【図14】図1に示す駆動装置の駆動回路の別の構成例
を示すブロック図である。

【図15】図14に示す駆動回路の具体的回路構成を示
す図である。

【図16】図14及び図15に示す駆動回路の動作説明
をするためのタイミングチャートである。

【図17】図1に示す駆動装置の駆動部の別の構成例を
示す図で、(a)は分解斜視図、(b)は正面図であ
る。

【図18】従来例の駆動装置の構成を概略的に示す図で
ある。

【図19】図18に示す駆動装置の駆動回路の構成例を
示すブロック図である。

【図20】図19に示す駆動回路の出力波形を示す図
で、(a)は繰出波形、(b)は戻り波形である。

【図21】図18に示す駆動装置の駆動回路の別の構成
例を示すブロック図である。

【符号の説明】

10 圧電アクチュエータ(駆動装置) 12,12’ 駆動部 14,14’ 駆動回路 24,67 支持部材 26,69 圧電素子(電気機械変換素子) 28,71 駆動部材 30,40 係合部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 浩幸 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビル ミノルタ株式会社内 Fターム(参考) 5H680 AA00 AA08 AA19 BB01 BB13 BC01 BC10 DD01 DD23 DD27 DD37 DD53 DD59 DD67 DD73 DD83 DD95 EE22 FF03 FF21 FF26 FF32 GG41

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 駆動電圧が印加されることにより伸縮す
    る電気機械変換素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向
    における一方端に固着された支持部材と、前記電気機械
    変換素子の伸縮方向における他方端に固着された駆動部
    材と、該駆動部材に所定の摩擦力で係合された係合部材
    と、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路とから構
    成され、前記電気機械変換素子を異なる速度で伸縮させ
    ることで前記支持部材と前記係合部材とを相対移動させ
    る駆動装置において、 前記駆動回路は、前記支持部材及び駆動部材の固着され
    た状態での電気機械変換素子の共振周波数に対し、前記
    電気機械変換素子を異なる速度で伸縮させる所定の関係
    の駆動周波数を有する矩形波からなる駆動電圧を生成
    し、この駆動電圧を前記電気機械変換素子に印加するも
    のであることを特徴とする駆動装置。
  2. 【請求項2】 前記駆動周波数fdは前記支持部材及び
    駆動部材の固着された状態での電気機械変換素子の共振
    周波数frに対し、fd>0.3×frの関係を有する
    ものであることを特徴とする請求項1記載の駆動装置。
  3. 【請求項3】 前記駆動周波数fdは前記支持部材及び
    駆動部材の固着された状態での電気機械変換素子の共振
    周波数frに対し、fd<1.2×frの関係を有する
    ものであることを特徴とする請求項1又は2記載の駆動
    装置。
  4. 【請求項4】 前記駆動電圧は、そのデューティ比D
    が、0.05<D<0.45の関係にある矩形波からな
    るものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
    かに記載の駆動装置。
  5. 【請求項5】 前記駆動電圧は、そのデューティ比D
    が、0.55<D<0.95の関係にある矩形波からな
    るものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
    かに記載の駆動装置。
JP2000081544A 2000-03-23 2000-03-23 駆動装置 Pending JP2001268951A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000081544A JP2001268951A (ja) 2000-03-23 2000-03-23 駆動装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000081544A JP2001268951A (ja) 2000-03-23 2000-03-23 駆動装置
US09/789,504 US6512321B2 (en) 2000-03-23 2001-02-22 Driving apparatus and method of using same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001268951A true JP2001268951A (ja) 2001-09-28
JP2001268951A5 JP2001268951A5 (ja) 2006-08-31

Family

ID=18598463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000081544A Pending JP2001268951A (ja) 2000-03-23 2000-03-23 駆動装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6512321B2 (ja)
JP (1) JP2001268951A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6803699B2 (en) 2002-08-21 2004-10-12 Minolta Co., Ltd. Drive mechanism employing electromechanical transducer and drive method therefor
WO2008096554A1 (ja) 2007-02-09 2008-08-14 Konica Minolta Opto, Inc. 駆動装置
JP2008199774A (ja) * 2007-02-13 2008-08-28 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置、駆動装置の状態検出方法および駆動装置の制御方法
JP2008211920A (ja) * 2007-02-27 2008-09-11 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
JP2009225654A (ja) * 2008-03-18 2009-10-01 Silicon Touch Technology Inc 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法
US7663291B2 (en) 2004-05-10 2010-02-16 Konica Minolta Holdings, Inc. Drive unit and information recording device
WO2011055504A1 (ja) 2009-11-04 2011-05-12 コニカミノルタオプト株式会社 駆動機構およびそれを用いた撮像装置
WO2011055503A1 (ja) 2009-11-04 2011-05-12 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置およびその製造方法ならびにその調整治具
US8345363B2 (en) 2009-02-27 2013-01-01 Hitachi Maxell, Ltd. Drive device, lens part, and camera module
JP2014064412A (ja) * 2012-09-21 2014-04-10 Tdk Corp 駆動装置
WO2016139856A1 (ja) * 2015-03-02 2016-09-09 ソニー株式会社 圧電アクチュエーター装置及びその制御方法

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050127789A1 (en) * 2001-03-08 2005-06-16 Magnussen Bjoern B. Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
US6690101B2 (en) * 2000-03-23 2004-02-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Vibratory motors and methods of making and using same
JP4144171B2 (ja) * 2000-09-14 2008-09-03 コニカミノルタホールディングス株式会社 電気−機械変換素子を用いた駆動装置
JP2002218773A (ja) * 2001-01-22 2002-08-02 Minolta Co Ltd 駆動装置
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
MXPA04007674A (es) * 2002-02-06 2004-12-06 Elliptec Resonant Actuator Ag PIEZOELECTRIC MOTOR CONTROL.
US7368853B2 (en) * 2002-04-22 2008-05-06 Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
JP3727903B2 (ja) * 2002-05-13 2005-12-21 オリンパス株式会社 カメラ
US7492408B2 (en) * 2002-05-17 2009-02-17 Olympus Corporation Electronic imaging apparatus with anti-dust function
JP3832396B2 (ja) * 2002-07-17 2006-10-11 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 駆動装置、位置制御装置およびカメラ
US7323804B2 (en) * 2003-04-22 2008-01-29 Bookham Technology Plc Linear output, closed loop mover assembly
JP2005006394A (ja) * 2003-06-11 2005-01-06 Minolta Co Ltd 圧電素子を用いたアクチュエータの駆動回路
JP2005287167A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
JP4561164B2 (ja) * 2004-04-23 2010-10-13 コニカミノルタホールディングス株式会社 駆動装置および駆動方法
JP3906850B2 (ja) * 2004-04-28 2007-04-18 コニカミノルタホールディングス株式会社 駆動装置
FI117412B (fi) * 2004-06-11 2006-09-29 Nokia Corp Ohjauspiiri pietsosähköiselle moottorille
JP4626281B2 (ja) * 2004-12-01 2011-02-02 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置および駆動方法
JP2006262685A (ja) * 2005-02-18 2006-09-28 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置および駆動方法
JP4936511B2 (ja) * 2005-03-31 2012-05-23 富士フイルム株式会社 駆動装置、撮影装置及び携帯電話
JP4931425B2 (ja) * 2005-03-31 2012-05-16 富士フイルム株式会社 駆動装置
JP2006311789A (ja) 2005-03-31 2006-11-09 Fujinon Corp 駆動装置、撮像装置及び携帯電話
JP4733457B2 (ja) * 2005-07-28 2011-07-27 パナソニック株式会社 駆動装置
JP5124920B2 (ja) * 2005-08-16 2013-01-23 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 駆動装置
KR101138397B1 (ko) * 2005-09-27 2012-04-26 삼성전자주식회사 압전 액츄에이터, 이의 구동 장치 및 방법
JP4931182B2 (ja) * 2005-09-30 2012-05-16 富士フイルム株式会社 駆動装置
US20070136988A1 (en) * 2005-12-05 2007-06-21 Bullock Mark A Hinge
US20070176514A1 (en) * 2006-01-27 2007-08-02 Taiwan Advanced Materials Technologies Corp. Electromechanical actuator structure
JP4894308B2 (ja) * 2006-03-13 2012-03-14 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置
JP2007274746A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujinon Corp 駆動装置
US7941051B2 (en) * 2006-07-21 2011-05-10 Konica Minolta Opto, Inc. Laser optical device and control method of actuator
JP2008245467A (ja) * 2007-03-28 2008-10-09 Fujinon Corp 駆動装置
JP5218257B2 (ja) * 2009-04-30 2013-06-26 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 駆動装置
WO2010144456A1 (en) * 2009-06-09 2010-12-16 Analog Devices, Inc. Integrated slope control driving mechanism for gradually delivering energy to a capacitive load
JP2011027567A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Konica Minolta Opto Inc 振動型駆動装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5589723A (en) * 1994-03-29 1996-12-31 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer
US5587846A (en) * 1994-07-15 1996-12-24 Minolta Co., Ltd. Lens moving apparatus
US6140750A (en) * 1997-04-14 2000-10-31 Minolta Co., Ltd. Actuator using electromechanical transducer and apparatus employing the actuator
JP3689783B2 (ja) * 1997-11-21 2005-08-31 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 フィードバック周期を一定に維持する方法、並びにそのように制御される駆動制御装置および光学装置
US6249093B1 (en) * 1998-06-08 2001-06-19 Minolta Co., Ltd. Drive mechanism employing electromechanical transducer, photographing lens with the drive mechanism, and its drive circuit
JP2000014176A (ja) * 1998-06-17 2000-01-14 Minolta Co Ltd 駆動装置
JP2000050660A (ja) * 1998-08-03 2000-02-18 Minolta Co Ltd アクチュエータ駆動回路及びアクチュエータ駆動装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6803699B2 (en) 2002-08-21 2004-10-12 Minolta Co., Ltd. Drive mechanism employing electromechanical transducer and drive method therefor
US7663291B2 (en) 2004-05-10 2010-02-16 Konica Minolta Holdings, Inc. Drive unit and information recording device
WO2008096554A1 (ja) 2007-02-09 2008-08-14 Konica Minolta Opto, Inc. 駆動装置
US7969063B2 (en) 2007-02-09 2011-06-28 Konica Minolta Opto, Inc. Driver
JP2008199774A (ja) * 2007-02-13 2008-08-28 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置、駆動装置の状態検出方法および駆動装置の制御方法
JP2008211920A (ja) * 2007-02-27 2008-09-11 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
JP2009225654A (ja) * 2008-03-18 2009-10-01 Silicon Touch Technology Inc 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法
US8345363B2 (en) 2009-02-27 2013-01-01 Hitachi Maxell, Ltd. Drive device, lens part, and camera module
WO2011055504A1 (ja) 2009-11-04 2011-05-12 コニカミノルタオプト株式会社 駆動機構およびそれを用いた撮像装置
WO2011055503A1 (ja) 2009-11-04 2011-05-12 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置およびその製造方法ならびにその調整治具
JP2014064412A (ja) * 2012-09-21 2014-04-10 Tdk Corp 駆動装置
WO2016139856A1 (ja) * 2015-03-02 2016-09-09 ソニー株式会社 圧電アクチュエーター装置及びその制御方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6512321B2 (en) 2003-01-28
US20010026112A1 (en) 2001-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103056098B (zh) 压电设备、灰尘去除装置及成像装置
US6111336A (en) Driving apparatus using transducer
US7667371B2 (en) Electronic device and circuit for providing tactile feedback
US6392827B1 (en) Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism
US7157830B2 (en) Near-resonance wide-range operating electromechanical motor
EP1721382B1 (en) Small piezoelectric or electrostrictive linear motor
JP3759508B2 (ja) アクチュエータ及びアクチュエータ駆動方法並びにアクチュエータシステム
JP3125675B2 (ja) 容量型センサインターフェース回路
US5629577A (en) Miniature linear motion actuator
US7408288B2 (en) Driving apparatus
EP0292989A2 (en) Apparatus and method for effecting fine movement by impact force produced by piezoelectric or electrostrictive element
KR100512823B1 (ko) 정전 액튜에이터 및 그 구동 방법
KR970022628A (ko) 진동 구조물 및 그것의 고유 진동수 제어 방법
JP3906850B2 (ja) 駆動装置
US6815871B2 (en) Drive mechanism and drive method employing circuit for generating saw-tooth waveform voltage
US20050122558A1 (en) Addressing method of movable elements in a spatial light modulator (slm)
CN102270941B (zh) 振动型致动器的控制装置和振动型致动器的控制方法
KR20070017615A (ko) 고정자 및 이를 이용한 세라믹스 튜브형 초음파 모터
JP2010097216A (ja) レンズ駆動ユニット及びこれを備えるカメラモジュール
JP4931425B2 (ja) 駆動装置
EP1720049B1 (en) Driving mechanism
JP3646154B2 (ja) 駆動装置
EP2117057B1 (en) Inertial drive actuator
CN101286712B (zh) 驱动装置
KR20140137722A (ko) 진동발생장치

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20050613

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050921

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060712

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070918

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071001

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080212