JPH10108481A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】組立性が良く、圧電素子の発生力が効率良く移
動体に伝わり、組立によって性能のばらつきが生じない
品質の安定した圧電アクチュエータの提供を目的として
いる。 【解決手段】本発明は、圧電素子２と、この圧電素子２
に固定される移動体３と、移動体３が摺動可能に摩擦係
合する静止部材４とからなる圧電アクチュエータ１にお
いて、移動体３を圧電素子２に対して嵌合固定したもの
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電（電歪を含
む）素子の伸縮を利用した衝撃力で移動体を駆動する小
型の圧電アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、圧電素子の伸縮を利用した衝撃力
で移動体を駆動させる圧電アクチュエータが数多く知ら
れている。例えば、特願平７−２３８６６８号では、移
動体と、移動体に接着固定される圧電素子と、移動体に
摺動可能に摩擦係合する係合部材（静止部材）とを備え
た圧電アクチュエータが開示されている。この圧電アク
チュエータは、給電によって圧電素子を伸縮させ、その
伸縮による衝撃力で移動体を係合部材に対して移動させ
ることにより、移動体の移動量を出力として取り出すこ
とができるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
願平７−２３８６６８号のごとき従来例では、圧電素子
と移動体との接着において、圧電素子の移動体に対する
位置決め性が悪いという欠点がある。例えば、圧電素子
の端面を移動体の接着面に対して単に突き当てた状態で
接着固定している。

【０００４】このため、圧電素子が傾いて接着された
り、位置がずれて接着される可能性があり、圧電素子の
発生する力が効率良く移動体に伝わらない可能性があっ
た。その結果、圧電アクチュエータの性能にバラツキが
生じる可能性があった。

【０００５】本発明は上記事情に着目してなされたもの
であり、その目的とするところは、組立性が良く、圧電
素子の発生力が効率良く移動体に伝わり、組立によって
性能のばらつきが生じない品質の安定した圧電アクチュ
エータを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、圧電素子と、この圧電素子に固定される
移動体と、移動体が摺動可能に摩擦係合する静止部材と
からなる圧電アクチュエータにおいて、前記移動体を前
記圧電素子に対して嵌合固定したものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施形態について説明する。本発明の第１の実施形態が
図１ないし図３に示されている。図１に示すように、本
実施形態に係る圧電アクチュエータ１は、圧電素子２
と、圧電素子２の先端側に固定された移動体３と、移動
体３をその内側に嵌挿して移動体３と摺動可能に摩擦係
合する円筒状の静止部材４とから構成されている。

【０００８】圧電素子２は、積層圧電素子であり、その
積層面に内部電極（図示せず）を有し、その外側面に外
部電極（図示せず）を有している。無論、圧電素子２
は、積層圧電素子に限らず、その他の電歪素子であって
も構わない。例えば、超磁歪素子等が好適である。

【０００９】圧電素子２には、圧電素子２に電力を供給
するリード線５が半田付けされている。これによって、
圧電素子２は、リード線５により印加される電圧により
伸縮することができる。なお、リード線５を半田付けす
る位置は、図示のように圧電素子２の基端側位置に限ら
ず、例えば移動体３が固定される圧電素子２の先端側位
置であっても構わない。あるいは、リード線５の図示す
る取付け位置から移動体３に対して９０度位相をずらし
た位置に、リード線５を圧電素子２に半田付けしても良
い。無論、半田付けに限らず導電性の接着材でリード線
５を固定しても構わない。

【００１０】圧電素子２の先端には出力軸部６が一体に
形成されている。圧電アクチュエータ１は、この出力軸
部６を様々な動作装置に連結することにより、後述する
ように圧電素子２の伸縮に伴う移動体３の移動によって
生起される出力を前記動作装置に伝達して動作装置を動
作させることができる。具体的には、出力軸部６を例え
ば内視鏡光学系のズームレンズに結合すれば、圧電アク
チュエータ１の動作に伴い拡大観察が可能となる。その
他、フォーカスレンズ、ミラー、固体撮像素子などの光
学素子の駆動のために、これら光学素子に出力軸部６が
結合される。

【００１１】また、出力軸部６は、リード線５によって
印加される電圧で伸縮しないようになっている。具体的
には、圧電素子２の前記内部電極を絶縁するために圧電
素子２に一体に設けられているセラミックを出力軸部６
として用いている。しかしながら、これに限らず、例え
ば圧電素子２を構成している圧電体（図示せず）であっ
て外部電極が設けられていない圧電体を出力軸部６とし
て用いても良い。

【００１２】また、出力軸部６は、圧電素子２の伸縮方
向と平行で且つその中心軸が圧電素子２の長手方向の中
心軸と一致するように、延びている。出力軸部６の断面
形状は、図示のように円形状であっても良いが、これに
限らず、例えば四角形や三角等の多角形形状であっても
構わない。また、これらの組み合わせ形状であっても良
い。

【００１３】移動体３は、心出し部材７とバネ部材８と
から構成されている。バネ部材８は、圧電素子２（具体
的には圧電素子２の出力軸部６）が固定される圧電素子
固定部１０と、圧電素子固定部１０から延びる少なくと
も２つの梁部９，９とからなる。圧電素子固定部１０
は、出力軸部６と嵌合する第１の固定穴１２を有してい
る。各梁部９，９の端部には、静止部材４の内面と摺動
可能に摩擦係合する摺動部１１が設けられている。

【００１４】なお、バネ部材８の材質としては、リン青
銅、ベリリウム銅、バネ用ステンレススチール、チタン
合金（ＳＥＡと呼ばれる超弾性金属等）等のバネ材が好
適である。

【００１５】また、バネ部材８には表面処理が施されて
いる。この場合、表面処理としてはメッキや焼き入れ等
が好適である。表面処理としてメッキを行なう場合に
は、電解ニッケルメッキ、無電解ニッケルメッキ、複合
メッキ等が好適である。複合メッキでは、そのメッキの
中に四ふっ化エチレン樹脂を含有しているものや、セラ
ミックを含有しているものが良い。また、メッキを行な
う部分は、バネ部材８の全部であっても良いが、その一
部であっても良い。バネ部材８の一部にメッキを行なう
場合、そのメッキ箇所は、摺動部１１、梁部９、圧電素
子固定部１０のうちの少なくともいずれか１つであるこ
とが望ましい。

【００１６】バネ部材８を構成する梁部９の幅は、圧電
素子固定部１０から摺動部１１にわたって直線的に徐々
に狭くなるように設定されている。すなわち、図１の
（ａ）に示すように、圧電素子固定部１０側における梁
部９の幅ａと摺動部１１側における梁部９の幅ｂとの関
係はａ＞ｂであり、この間の幅が直線的に徐々に狭くな
っている。

【００１７】一方、移動体３を構成する心出し部材７
は、その中心に、出力軸部６と嵌合する第２の固定穴１
３を有している。また、心出し部材７は、静止部材４と
嵌合して静止部材４の内面に沿って摺動できるような形
状と寸法に設定されている。この場合、心出し部材７の
摺動抵抗は、梁部９の端部に設けられた摺動部１１の摩
擦抵抗よりも遥かに小さく設定されている。

【００１８】心出し部材７は、例えば表面処理が施され
たアルミニウムやエンジニアプラスチック等の摺動性の
良い材質によって形成されていることが望ましい。前記
表面処理としては、アルマイト処理が好適であり、特
に、四フッ化エチレン樹脂を含有したアルマイト処理や
セラミックを含有したアルマイト処理等が好適である。
また、前記エンジニアプラスチックとしては、四フッ化
エチレン樹脂や、ポリアセタール等が好適である。

【００１９】静止部材４は、図１では円筒状に形成され
ているが、この円筒状に限らず、圧電アクチュエータ１
が適用される状況に応じて適宜必要な形状に形成され
る。また、これに伴って、静止部材４の断面形状も環状
に限らない。すなわち、例えば図２に示すように、静止
部材４は、心出し部材７と梁部９，９の摺動部１１とを
その内側で摺動させることができるように、その断面形
状がコの字型をなしていても良い。なお、静止部材４の
内面は、少なくとも摺動部１１が摺動する範囲が滑らか
に形成されている。

【００２０】以上のように構成された各構成要素２，
３，４から圧電アクチュエータ１を組み立てる場合に
は、圧電素子２の出力軸部６を、移動体３のバネ部材８
の第１の固定穴１２と心出し部材７の第２の固定穴１３
とに嵌合させて接着固定し、続いて、静止部材４に移動
体３を嵌挿すれば良い。あるいは、静止部材４に移動体
３を嵌挿し、その状態で、出力軸部６を固定穴１２，１
３に嵌合して接着固定しても良い。

【００２１】次に、上記構成の圧電アクチュエータ１の
動作について説明する。前述したように静止部材４内に
移動体３を組み付けた状態において、バネ部材８の梁部
９，９は、片持ち梁状をなして、そのバネ力で静止部材
４の内面と摩擦係合する。この場合の摩擦力は、梁部
９，９の撓み量によって調整される。また、この場合、
静止部材４内における移動体３の姿勢は、静止部材４の
内面と摩擦係合する心出し部材７の摺動面（外周面）と
梁部９，９の摺動部１１とによって保たれる。

【００２２】このような状態で、図３の（ａ）に示すよ
うな電圧波形の信号を圧電素子２に印加すると、圧電素
子２が伸縮して、その伸縮に伴う大きな衝撃力が一定方
向に作用する。この際、圧電素子２それ自身の質量に起
因する慣性力が静止部材４と移動体３との摩擦係合力よ
りも大きくなると、移動体３が移動する。例えば、図３
の（ａ）の電圧波形の山部Ａでは、圧電素子２が縮んだ
状態から伸びようとし、その際に発生する慣性力が摩擦
力より大きくなった時点で、移動体３が推力を得て図１
の（ｂ）中の左方向に移動する。また、図３の（ａ）の
電圧波形の谷部Ｂでは、圧電素子２が伸びきった状態か
ら縮もうとするが、その際の慣性力は摩擦力よりも小さ
いため、移動体３は推力を得られずにその場に留まる。
したがって、このような原理によって、移動体３を図１
の（ｂ）中の右方向に移動させる場合には、図３の
（ｂ）に示すような電圧波形の信号を圧電素子２に印加
すれば良い。

【００２３】以上説明したように、本実施形態の圧電ア
クチュエータ１は、圧電素子２と一体に設けられた出力
軸部６が移動体３の固定穴１２，１３に嵌合されて接着
固定されるため、圧電素子２が圧電アクチュエータ１の
進退方向に対して傾いたり位置がずれた状態で接着され
るといったことがない。したがって、圧電素子２の移動
体３に対する位置決め性が向上し、組立による性能のば
らつきがなくなり、圧電アクチュエータ１の品質が安定
する。また、圧電素子２の移動体３に対する位置決め性
が向上することから、圧電アクチュエータ１の組立性も
向上する。さらに、圧電素子２の移動体３に対する倒れ
がなくなるため、圧電素子２の発生力が効率良く移動体
３に伝わり、圧電アクチュエータ１の性能が向上する。

【００２４】また、本実施形態の圧電アクチュエータ１
は、移動体３の梁部９の幅が、圧電素子固定部１０から
摺動部１１にわたって直線的に徐々に狭くなるように設
定されているため、梁部９の剛性が低くなる。したがっ
て、梁部９の撓み量を容易に大きくして所望の摩擦力を
得ることができる。また、梁部９の剛性が低いことか
ら、撓み量の変化に伴う摩擦力の変化が小さくなり、摩
擦力の細かい調整を撓み量の変化によって容易に行うこ
とが可能となる。また、撓み量の変化に伴う摩擦力の変
化が小さいことから、移動体３がある程度摩耗した場合
でも、摩擦力はほぼ一定に保たれ、圧電アクチュエータ
１の性能は安定した状態で保持される。さらに、梁部９
の幅を圧電素子固定部１０から摺動部１１にわたって徐
々に細くしたことに伴い、移動体３の重量は、梁部９の
幅を全長にわたって変えなかった場合と比較して、軽量
化される。したがって、慣性力で移動する移動体３の移
動量が大きくなり、圧電アクチュエータ１の性能が向上
する。

【００２５】本発明の第２の実施形態が図４および図５
に示されている。本実施形態に係る圧電アクチュエータ
１ａは、その梁部９ａの形状が第１の実施形態に係る圧
電アクチュエータ１と異なるだけであり、その他の部分
は第１の実施形態に係る圧電アクチュエータ１と同一で
ある。したがって、同一の構成部分については同一の符
号を付してその説明を省略する。

【００２６】図示のように、圧電アクチュエータ１ａの
梁部９ａは、その幅が、圧電素子固定部１０から摺動部
１１にわたって曲線的に徐々に狭くなるように設定され
ている。梁部９の幅が直線的に減少する第１の実施形態
との比較のため、図５には、第１の実施形態に係る圧電
アクチュエータ１の梁部９の輪郭が点線で示されてい
る。

【００２７】このような構成によれば、第１の実施形態
と同一の効果を奏するとともに、梁部９ａの幅が曲線的
に細くなっているため、第１の実施形態よりも移動体３
の軽量化が図れ、圧電アクチュエータの性能がさらに向
上する。また、梁部９ａの撓み量を第１の実施形態より
もさらに大きくすることができるため、摩擦力の調整が
容易になり、圧電アクチュエータの性能が安定する。

【００２８】本発明の第３の実施形態が図６に示されて
いる。本実施形態に係る圧電アクチュエータ１ｂは、そ
の梁部９ｂの形状が第１の実施形態に係る圧電アクチュ
エータ１と異なるだけであり、その他の部分は第１の実
施形態に係る圧電アクチュエータ１と同一である。した
がって、同一の構成部分については同一の符号を付して
その説明を省略する。

【００２９】図示のように、圧電アクチュエータ１ｂの
梁部９ｂの幅は、第１の実施形態の場合と同様に、圧電
素子固定部１０から摺動部１１にわたって直線的に徐々
に狭くなるように設定されている。無論、第２の実施形
態のように、梁部９ｂの幅を曲線的に徐々に狭くなるよ
うに設定しても構わない。また、梁部９ｂには、その一
部がくり抜かれることによって形成されたスリット１４
が設けられている。この場合、スリット１４の幅は、梁
部９ｂに集中する応力が梁部９ｂの最大応力を越えない
限りにおいて、 梁部９ｂの幅と同様に減少するもので
あっても構わない。また、スリット１４の形状は、円形
状や多角形状等、どのような形であっても構わない。さ
らに、１つの梁部９ｂに設けられるスリット１４の数
は、１つに限らず、梁部９ｂに集中する応力が梁部９ｂ
の最大応力を越えない限りにおいて、複数であっても良
い。

【００３０】このような構成によれば、第１の実施形態
と同一の効果を奏するとともに、梁部９ｂにスリット１
４が設けられているため、第１または第２の実施形態よ
りも移動体３の軽量化が図れ、圧電アクチュエータの性
能がさらに向上する。また、梁部９ａの撓み量を第１ま
たは第２の実施形態よりもさらに大きくすることができ
るため、摩擦力の調整が容易になり、圧電アクチュエー
タの性能が安定する。

【００３１】本発明の第４の実施形態が図７に示されて
いる。図示のように、本実施形態に係る圧電アクチュエ
ータ１ｃは、圧電素子２と、圧電素子２の先端側に固定
された移動体３と、移動体３をその内側に嵌挿して移動
体３と摺動可能に摩擦係合する円筒状の静止部材４とか
ら構成されている。

【００３２】圧電素子２は、積層圧電素子であり、その
積層面に内部電極（図示せず）を有し、その外側面に外
部電極（図示せず）を有している。無論、圧電素子２
は、積層圧電素子に限らず、その他の電歪素子であって
も構わない。例えば、超磁歪素子等が好適である。

【００３３】圧電素子２には、圧電素子２に電力を供給
するリード線５が半田付けされている。これによって、
圧電素子２は、リード線５により印加される電圧により
伸縮することができる。なお、リード線５を半田付けす
る位置は、図示のように圧電素子２の基端側位置に限ら
ず、例えば移動体３が固定される圧電素子２の先端側位
置であっても構わない。あるいは、リード線５の図示す
る取付け位置から移動体３に対して９０度位相をずらし
た位置に、リード線５を圧電素子２に半田付けしても良
い。

【００３４】圧電素子２の先端には固定部１７が設けら
れている。固定部１７の先端には凸部１６が一体に突設
されている。固定部１７、特に凸部１６は、リード線５
によって印加される電圧で伸縮しないようになってい
る。具体的には、圧電素子２の前記内部電極を絶縁する
ために圧電素子２に一体に設けられているセラミックを
固定部１７（凸部１６）として用いている。しかしなが
ら、これに限らず、例えば圧電素子２を構成している圧
電体（図示せず）であって外部電極が設けられていない
圧電体を固定部１７（凸部１６）として用いても良い。

【００３５】また、凸部１６は、圧電素子２の伸縮方向
と平行で且つその中心軸が圧電素子２の長手方向の中心
軸と一致するように、延びている。凸部１６の断面形状
は、図示のように円形状であっても良いが、これに限ら
ず、例えば四角形や三角等の多角形形状であっても構わ
ない。 また、これらの組み合わせ形状であっても良
い。

【００３６】移動体３はバネ部材８から構成されてい
る。バネ部材８は、圧電素子２（具体的には圧電素子２
の固定部１７の凸部１６）が固定される圧電素子固定部
１０と、圧電素子固定部１０から延びる少なくとも２つ
の梁部９ｃ，９ｃとからなる。圧電素子固定部１０は、
凸部１６と嵌合する固定穴１２を有している。各梁部９
ｃ，９ｃの端部には、静止部材４の内面と摺動可能に摩
擦係合する摺動部１１が設けられている。

【００３７】梁部９ｃはその一部が切り抜かれ、切り抜
かれた部分が前方に折り返されるようにして延在されて
いる。そして、この前方に折り返されて延在する部分が
出力軸部１５を構成している。圧電アクチュエータ１ｃ
は、この出力軸部１５を様々な動作装置に連結すること
により、圧電素子２の伸縮に伴う移動体３の移動によっ
て生起される出力を前記動作装置に伝達して動作装置を
動作させることができる。なお、出力軸部１５が抜き取
られた梁部９ｃの部位はスリット１４を形成している。

【００３８】また、梁部９ｃの幅は、第１の実施形態と
同様、圧電素子固定部１０から摺動部１１にわたって直
線的に徐々に狭くなるように設定されている。また、バ
ネ部材８の材質、バネ部材８に施される表面処理、静止
部材４の形状等は、第１の実施形態と同様である。

【００３９】以上のように構成された各構成要素２，
３，４から圧電アクチュエータ１ｃを組み立てる場合に
は、圧電素子２の凸部１６を、移動体３のバネ部材８の
固定穴１２に嵌合させて接着固定し、続いて、静止部材
４に移動体３を嵌挿すれば良い。

【００４０】以上説明したように、本実施形態の圧電ア
クチュエータ１ｃは、圧電素子２と一体に設けられた凸
部１６が移動体３の固定穴１２に嵌合されて接着固定さ
れるため、圧電素子２が圧電アクチュエータ１ｃの進退
方向に対して傾いたり位置がずれた状態で接着されると
いったことがない。したがって、圧電素子２の移動体３
に対する位置決め性が向上し、組立による性能のばらつ
きがなくなり、圧電アクチュエータ１ｃの品質が安定す
る。また、圧電素子２の移動体３に対する位置決め性が
向上することから、圧電アクチュエータ１ｃの組立性も
向上する。さらに、圧電素子２の移動体３に対する倒れ
がなくなるため、圧電素子２の発生力が効率良く移動体
３に伝わり、圧電アクチュエータ１ｃの性能が向上す
る。

【００４１】また、本実施形態の圧電アクチュエータ１
ｃは、移動体３の梁部９の幅が、圧電素子固定部１０か
ら摺動部１１にわたって直線的に徐々に狭くなるように
設定されているため、第１の実施形態と同一の効果を奏
する。

【００４２】さらに、本実施形態の圧電アクチュエータ
１ｃは、出力軸部１５が移動体３と一体に構成されてい
るため、材料の無駄がなく、製造コストを低く抑えるこ
とができる。

【００４３】本発明の第５の実施形態が図８に示されて
いる。図示のように、本実施形態に係る圧電アクチュエ
ータ１ｄは、圧電素子２と、圧電素子２の先端側に固定
された移動体３と、移動体３をその内側に嵌挿して移動
体３と摺動可能に摩擦係合する円筒状の静止部材４とか
ら構成されている。

【００４４】圧電素子２は、第１の実施形態と同一のも
のであるが、その先端に凸部１６が一体に突設されてい
る。凸部１６は、圧電素子２の伸縮方向と平行で且つそ
の中心軸が圧電素子２および静止部材４の長手方向の中
心軸と一致するように、延びている。

【００４５】移動体３は、心出し部材７とバネ部材８と
から構成されている。バネ部材８は、圧電素子２（具体
的には圧電素子２の凸部１６）が固定される圧電素子固
定部１０と、圧電素子固定部１０から延びる少なくとも
２つの梁部９ｄ，９ｄとからなる。圧電素子固定部１０
は、凸部１６と嵌合する固定穴２３を有している。ま
た、圧電素子固定部１０の基端面には、圧電素子２が嵌
合する凹部２２が形成されている。この場合、凹部２２
の幅は、圧電素子２の端部の幅とほぼ同一か、それより
僅かに大きく設定してある。

【００４６】各梁部９ｄ，９ｄの端部には、静止部材４
の内面と摺動可能に摩擦係合する摺動部１１が設けられ
ている。バネ部材８を構成する梁部９ｄの厚さは、圧電
素子固定部１０から摺動部１１にわたって徐々に薄くな
っている。また、梁部９ｄの幅は、全長にわたって均一
であるが、第１ないし第４の実施形態に示すような状態
であっても構わない。

【００４７】一方、移動体３を構成する心出し部材７
は、その基端面の中心に、圧電素子２の凸部１６と嵌合
する凹部２７を有している。また、心出し部材７は、静
止部材４と嵌合して静止部材４の内面に沿って摺動でき
るような形状と寸法に設定されている。この場合、心出
し部材７の摺動抵抗は、梁部９ｄの端部に設けられた摺
動部１１の摩擦抵抗よりも遥かに小さく設定されてい
る。なお、心出し部材７の材料および表面処理は第１の
実施形態と同一である。

【００４８】心出し部材７の先端には出力軸部１９が突
設されている。圧電アクチュエータ１ｄは、この出力軸
部１９を様々な動作装置に連結することにより、後述す
るように圧電素子２の伸縮に伴う移動体３の移動によっ
て生起される出力を前記動作装置に伝達して動作装置を
動作させることができる。なお、出力軸部１９は、リー
ド線５によって印加される電圧で伸縮しないようになっ
ている。また、出力軸部１９の中心軸は静止部材４の中
心軸と一致している。

【００４９】以上のように構成された各構成要素２，
３，４から圧電アクチュエータ１ｄを組み立てる場合に
は、圧電素子２の凸部１６をバネ部材８の固定穴２３と
心出し部材７の凹部２７とに嵌合させて接着固定すると
ともに圧電素子２の端部を圧電素子固定部１０の凹部２
２に嵌合させ、続いて、静止部材４に移動体３を嵌挿す
れば良い。

【００５０】以上説明したように、本実施形態の圧電ア
クチュエータ１ｄは、圧電素子２の凸部１６をバネ部材
８の固定穴２３と心出し部材７の凹部２７とに嵌合させ
て接着固定するだけでなく、同時に、圧電素子２の端部
も圧電素子固定部１０の凹部２２に嵌合するため、圧電
素子２の移動体３に対する位置決め性が格段に向上し、
組立による性能のばらつきがなくなり、圧電アクチュエ
ータ１ｄの品質が安定する。また、圧電素子２の移動体
３に対する位置決め性が格段に向上することから、圧電
アクチュエータ１ｄの組立性も格段に向上する。特に、
圧電素子２の端部が圧電素子固定部１０の凹部２２に嵌
合することにより、バネ部材８に対して圧電素子２１が
ねじられて接着されることがないため、位置決め性が向
上し、組立性が良くなるとともに、圧電素子２１が梁部
９ｄと干渉することがなくなり、電気的なショートによ
る動作不良を回避できる。

【００５１】また、本実施形態の圧電アクチュエータ１
ｄは、バネ部材８が心出し部材７と圧電素子２との間に
挟み込まれる状態で接着固定されるため、心出し部材７
と圧電素子２とに対するバネ部材８の接着強度が増す。
したがって、圧電アクチュエータ１ｄの耐性が向上す
る。

【００５２】また、本実施形態の圧電アクチュエータ１
ｄは、移動体３（出力軸部１９）の中心軸と圧電素子２
１の中心軸とが一致するように接着固定されるため、圧
電素子２１の発生力が効率よく出力軸部１９に伝わる。

【００５３】また、本実施形態の圧電アクチュエータ１
ｄは、移動体３の梁部９ｄの厚みが、圧電素子固定部１
０から摺動部１１にわたって徐々に薄くなるように設定
されているため、梁部９ｄの剛性が低くなる。したがっ
て、梁部９ｄの撓み量を容易に大きくして所望の摩擦力
を得ることができる。また、梁部９ｄの剛性が低いこと
から、撓み量の変化に伴う摩擦力の変化が小さくなり、
摩擦力の細かい調整を撓み量の変化によって容易に行う
ことが可能となる。また、撓み量の変化に伴う摩擦力の
変化が小さいことから、移動体３がある程度摩耗した場
合でも、摩擦力はほぼ一定に保たれ、 圧電アクチュエ
ータ１ｄの性能は安定した状態で保持される。さらに、
梁部９の厚みを圧電素子固定部１０から摺動部１１にわ
たって徐々に薄くしたことに伴い、移動体３の重量は、
梁部９ｄの厚みを全長にわたって変えなかった場合と比
較して、軽量化される。したがって、慣性力で移動する
移動体３の移動量が大きくなり、圧電アクチュエータ１
ｄの性能が向上する。

【００５４】本発明の第６の実施形態が図９に示されて
いる。本実施形態に係る圧電アクチュエータ１ｅは、圧
電素子２の基端部に慣性体２８を設けた点が第５の実施
形態と異なるだけであり、その他の部分は第５の実施形
態に係る圧電アクチュエータ１ｄと同一である。

【００５５】このような構成では、圧電素子２１の端部
に設けられた慣性体２８によって、圧電素子２１の伸縮
に伴なって発生する慣性力が増大し、第５の実施形態よ
りも圧電アクチュエータの出力性能が向上する。

【００５６】本発明の第７の実施形態が図１０に示され
ている。図示のように、本実施形態の圧電アクチュエー
タ１ｆは、移動体３と、圧電素子２と、移動体３と摺動
可能に摩擦係合する静止部材４とからなる。図１０で
は、簡単のため、静止部材４が省略されている。なお、
静止部材４は、第１ないし第６の実施形態と同一のもの
である。

【００５７】移動体３はバネ部材８からなる。バネ部材
８は、圧電素子２（具体的には後述する圧電素子２の出
力軸部３５）が固定される圧電素子固定部１０と、圧電
素子固定部１０から延びる少なくとも２つの梁部９ｆ，
９ｆとからなる。圧電素子固定部１０には、その側縁部
から切り欠かれた嵌合溝３２が形成されている。各梁部
９ｆ，９ｆの端部には、静止部材４の内面と摺動可能に
摩擦係合する摺動部１１が設けられている。

【００５８】圧電素子２は、第１の実施形態と同一のも
のであるが、その先端に、圧電アクチュエータ１ｆで駆
動される光学素子やＸＹステージ（図示せず）と結合さ
れる出力軸３５が一体に形成されている。出力軸３５に
は、その側縁部から切り欠かれた嵌合溝３６が形成され
ている。出力軸３５の断面形状は、図示のように四角形
でも良いが、三角形等の他の多角形形状や円であっても
構わない。また、圧電素子２の基端には慣性体２８が設
けられている。なお、この慣性体２８は設けられていな
くても構わない。

【００５９】このような構成では、出力軸３５の嵌合溝
３６と圧電素子固定部１０の嵌合溝３２とを対向するよ
うに位置させ、嵌合溝３６の奥端と嵌合溝３２の奥端と
を突き合わせるように出力軸３５と圧電素子固定部１０
とを嵌合させれば、圧電素子２を移動体３に対して位置
決め固定できる。なお、嵌合溝３６の奥端と嵌合溝３２
の奥端とを突き合わせて出力軸３５と圧電素子固定部１
０とを嵌合させた際には、移動体３の中心軸と圧電素子
２の中心軸とが静止部材４（図示せず）の中心軸と一致
するようになっている。

【００６０】以上説明したように、本実施形態に係る圧
電アクチュエータ１ｆは、嵌合溝３６の奥端と嵌合溝３
２の奥端とを突き合わせて出力軸３５と圧電素子固定部
１０とを嵌合させることにより、 圧電素子２を移動体
３に対して位置決め固定できる。 したがって、移動体
３と圧電素子２との位置決め性が向上し、組立易くな
る。また、出力軸３５が圧電素子２と一体に設けられて
いるため、部品点数が少なくて済み、製造コストの低減
を図ることができる。

【００６１】本発明の第８の実施形態が図１１に示され
ている。本実施形態に係る圧電アクチュエータ３９は、
圧電素子４０と、圧電素子４０に設けられた移動体４１
と、移動体４１と摺動可能に摩擦係合する静止部材４２
とから構成されている。

【００６２】圧電素子４０の先端部の上下面にはそれぞ
れ、第１の嵌合部４３を介して、移動体４１，４１が固
定されている。第１の嵌合部４３は、具体的には、圧電
素子４０側に形成された凹状溝と、移動体４１，４１側
に形成され前記凹状溝と係合する凸部とからなり、圧電
素子４０に対して移動体４１，４１を上下方向に離脱さ
せないようになっている。無論、第１の嵌合部４３は、
圧電素子４０に対して移動体４１，４１を上下方向に離
脱させない形態であれば、図示の形状に限らない。ま
た、圧電素子４０の先端には、第２の嵌合部４４を介し
て、出力シャフト４５が固定されている。この出力シャ
フト４５は基台４７の一方に設けられた心出し部材５１
内を摺動することができる。なお、圧電素子４０には電
力供給用のリード線が取付けられている。

【００６３】移動体４１には、後述する静止部材４２の
摺動部材４８が挿通されて摩擦係合する摺動穴４６が設
けられている。この摺動穴４６の詳細が図１１の（ｃ）
に示されている。

【００６４】静止部材４２は、一対の基台４７，４７
と、基台４７，４７間に架設された一対の摺動部材４
８，４８とからなる。各摺動部材４８は、各移動体４１
の摺動穴４６を貫通している。摺動部材４８は、その両
端が基台４７，４７に固定されている。２つの摺動部材
４８，４８の基台４７，４７への取付間隔は、２つの移
動体４１，４１に設けられた摺動穴４６，４６同士の間
隔よりも僅かに広く設定してある。摺動部材４８の張力
は、摺動部材４８の片側または両側で調整可能となって
いる。例えば、図１１の（ｂ）に示すように、摺動部材
４８を一方の基台４７のブロック４９に固定し、ネジ５
０でブロック４９を引張ることによって摺動部材４８の
張力を変化させるようにする。

【００６５】摺動部材４８の材質は、金属や、プラスチ
ック等が好適である。金属としては、バネ用ステンレス
スチールや、ピアノ線、超弾性金属等が挙げられる。プ
ラスチックとしては、ケブラー等が良い。摺動部材４８
の形状は、例えば線状やテープ状である。線状の場合
は、線単体や、より線等が挙げられる。

【００６６】このような構成では、基台４７に固定され
た摺動部材４８，４８同士の間隔と移動体４１に形成さ
れた摺動穴４６，４６同士の間隔とが異なるため、摺動
部材４８が圧電アクチュエータ３９の進退方向に対して
非並行に張られ、図１１の（ｃ）に示すように摺動部材
４８に与えられた張力Ｔによって垂直抗力Ｎが生じ、こ
れによって移動体４１と摺動部材４８とが摩擦係合す
る。また、この場合、ネジ５０を回転させることによ
り、摺動部材４８が固定されたブロック４９を進退させ
れば、摺動部材４８の張力を調整できる。なお、圧電ア
クチュエータ３９の動作については第１の実施形態と同
じであるため、その説明を省略する。

【００６７】以上説明したように、本実施形態の圧電ア
クチュエータ３９は、基台４７に固定された摺動部材４
８，４８同士の間隔と移動体４１に形成された摺動穴４
６，４６同士の間隔とが異なるため、摺動部材４８が圧
電アクチュエータ３９の進退方向に対して非並行に張ら
れ、摺動部材４８に与えられた張力Ｔが容易に摩擦力と
して変換される。したがって、移動体４１と摺動部材４
８との摩擦係合力の調整が簡単となる。特に、上記構成
では、ネジ５０によって摩擦係合力の調整が容易となる
ため、圧電アクチュエータ３９の性能が安定する。

【００６８】また、移動体４１と圧電素子４０とが第１
の嵌合部４３によって連結され、圧電素子４０と出力シ
ャフト４５とが第２の嵌合部４４によって連結されるた
め、部材間の位置決めが容易となり、圧電アクチュエー
タ３９の組立性が向上する。

【００６９】本発明の第９の実施形態が図１２に示され
ている。本実施形態に係る圧電アクチュエータ５２は、
圧電素子５３と、圧電素子５３に固定された移動体５４
と、移動体５４と摺動可能に摩擦係合する静止部材５５
とから構成される。

【００７０】圧電素子５３には電力供給用のリード線
（図示せず）が固定されている。圧電素子５３に固定さ
れた移動体５４は、摺動穴５８を有する第１の移動体部
５４ａと、静止部材５５を構成する基台５９の底面とあ
る面積を持って摺動可能に摩擦係合する第２の移動体部
５４ｂとからなる。

【００７１】静止部材５５は、基台５９と摺動部材６０
とから構成される。摺動部材６０は、第１の移動体部５
４ａと摺動穴５８を介して摺動可能に摩擦係合してい
る。また、摺動部材６０の両端は、基台５９の両側の垂
直壁に対して、摺動部材６０の張力が調整できるような
状態で固定されている。なお、摺動部材６０の張力を調
整するための手段は、第８の実施形態と同一であるた
め、その説明を省略する。

【００７２】また、第２の移動体部５４ｂの摺動面から
摺動部材６０の基台５９への取り付け位置までの高さ
は、第２の移動体部５４ｂの摺動面から第１の移動体部
５４ａの摺動穴５８までの高さよりも低く設定してあ
る。

【００７３】このような構成では、第２の移動体部５４
ｂの摺動面から摺動部材６０の基台５９への取り付け位
置までの高さが、第２の移動体部５４ｂの摺動面から第
１の移動体部５４ａの摺動穴５８までの高さよりも低く
設定してあるため、摺動部材６０が圧電アクチュエータ
５２の進退方向に対して非平行となり、摺動部材６０に
かかる張力によって、第１の移動体部５４ａが摺動部材
６０と摩擦係合し、第２の移動体部５４ｂが基台５９の
底面と摩擦係合する。

【００７４】圧電アクチュエータ３９は、第１の実施形
態で述べた原理にしたがって動作するが、この場合、圧
電アクチュエータ５２の駆動に必要な摩擦力は、第１の
移動部５４ａと摺動部材６０との間のみで生じさせても
良く、また、第２の移動体部５４ｂと基台５９との間の
みで生じさせても構わない。

【００７５】以上説明したように、本実施形態の圧電ア
クチュエータ５２では、基台５９に固定された摺動部材
６０と第１の移動体部５４ａの摺動穴５８との位置関係
が僅かにずれているため、摺動部材６０が圧電アクチュ
エータ５２の進退方向と非平行になり、摺動部材６０の
張力が移動体５４と静止部材５５との摩擦力に容易に変
換される。つまり、摺動部材６０の張力で容易に摩擦力
が調整できる。

【００７６】また、第８の実施形態と比較して、摺動部
材６０が一つで済むため、構成が簡単になる。さらに、
第２の移動体部５４ｂが基台５９と面で接触しているた
め、圧電アクチュエータ５２の動作が安定する。

【００７７】本発明の第１０の実施形態が図１３に示さ
れている。本実施形態に係る圧電アクチュエータ６１
は、第９の実施形態における圧電アクチュエータ５２の
変形例であり、圧電アクチュエータ５２と異なる点のみ
説明し、他は同一符号を付してその説明を省略する。

【００７８】図示のように、静止部材５５を構成する基
台５９の摺動面（底面）５９ａは、この摺動面５９ａか
ら第１の移動体部５４ａの摺動穴５８までの距離が常に
一定となるように、その高さが調節されている。したが
って、摺動部材６０にかかる張力がある程度一定に保た
れる。そのため、本実施形態では、第９の実施形態と同
様の効果を奏することができるとともに、圧電アクチュ
エータ６１の位置にかかわらず、摺動部材６０の張力が
ほぼ一定に保たれるため、摩擦力も一定に保たれ、摩擦
力の安定した圧電アクチュエータ６１を提供できる。

【００７９】以上説明してきた技術内容によれば、以下
に示すような各種の構成が得られる。 １．圧電素子と、この圧電素子に固定される移動体と、
移動体と摩擦係合する静止部材とからなる圧電アクチュ
エータにおいて、前記移動体と前記圧電素子との間に嵌
合部を設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。

【００８０】２．前記圧電アクチュエータに出力軸を設
け、この出力軸を前記圧電素子と一体に設けたことを特
徴とする第１項に記載の圧電アクチュエータ。 ３．前記嵌合部は、圧電アクチュエータの進退方向で圧
電素子と移動体とが嵌合するように、圧電素子と移動体
との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記
載の圧電アクチュエータ。

【００８１】４．前記嵌合部が凸部と凹部とからなり、
前記凸部が圧電素子側に設けられ、前記凹部が移動体側
に設けられていることを特徴とする第３項に記載の圧電
アクチュエータ。 ５．前記嵌合部の凸部が出力軸を兼ねていることを特徴
とする第４項に記載の圧電アクチュエータ。

【００８２】６．前記嵌合部は、圧電アクチュエータの
進退方向に対して垂直な方向で圧電素子と移動体とが嵌
合するように、圧電素子と移動体との間に設けられてい
ることを特徴とする第１項に記載の圧電アクチュエー
タ。 ７．前記嵌合部が凸部と凹部とからなり、前記凸部が移
動体側に設けられ、前記凹部が圧電素子側に設けられて
いることを特徴とする第６項に記載の圧電アクチュエー
タ。

【００８３】８．出力軸と圧電素子とが一体に形成され
ていることを特徴とする第６項に記載の圧電アクチュエ
ータ。 ９．移動体に出力軸が設けられ、前記出力軸に圧電素子
が固定され、出力軸に移動体が固定され、出力軸と圧電
素子との間に嵌合部が設けられていることを特徴とする
第１項に記載の圧電アクチュエータ。

【００８４】１０．圧電素子と、前記圧電素子の端部に
固定される移動体と、前記移動体と摩擦係合する静止部
材と、圧電素子の他端に設けられた慣性体とを有する圧
電アクチュエータにおいて、圧電素子と移動体及びまた
は慣性体との間に嵌合部が設けられていることを特徴と
する圧電アクチュエータ。

【００８５】１１．圧電素子と、圧電素子の端部に設け
られる移動体と、移動体と摺動可能に摩擦係合する静止
部材とからなる圧電アクチュエータにおいて、前記移動
体は、その一部が静止部材と摩擦係合する少なくとも２
つの脚部を有し、前記脚部の断面形状がその長手方向に
沿って変化していることを特徴とする圧電アクチュエー
タ。

【００８６】１２．前記移動体は、圧電素子が固定され
る圧電素子固定部と、圧電素子固定部から延びる脚部と
からなり、前記脚部は、静止部材に摺動可能に摩擦係合
する摺動部と、摺動部を圧電素子固定部に連結する梁部
とからなり、梁部の断面形状がその長手方向に沿って変
化していることを特徴とする第１１項に記載の圧電アク
チュエータ。

【００８７】１３．前記圧電素子固定部と前記脚部とが
一体に形成され、圧電素子固定部と脚部の断面形状は、
圧電素子固定部が圧電素子と係合し且つ脚部が圧電素子
と干渉しないように、その長手方向に沿って変化してい
ることを特徴とする第１２項に記載の圧電アクチュエー
タ。

【００８８】１４．前記摺動部は、静止部材に対して均
一に摺動するように、その断面形状が変化していること
を特徴とする請求項１２に記載の圧電アクチュエータ。 １５．前記梁部の断面積は、圧電素子固定部側から摺動
部に向かって徐々に減少していることを特徴とする第１
４項に記載の圧電アクチュエータ。

【００８９】１６．前記梁部の厚みは、圧電素子固定部
側から摺動部に向かって徐々に減少していることを特徴
とする第１５項に記載の圧電アクチュエータ。 １７．前記梁部の幅は、圧電素子固定部から摺動部に向
かって徐々に減少していることを特徴とする第１５項に
記載の圧電アクチュエータ。

【００９０】１８．圧電素子と、圧電素子の端部に固定
される移動体と、移動体と摩擦係合する静止部材と、圧
電素子の他端に設けられた慣性体とからなり、前記移動
体が静止部材と一部で摩擦係合する少なくとも２つの脚
部を有する圧電アクチュエータにおいて、前記脚部の断
面形状がその長手方向に沿って変化していることを特徴
とする圧電アクチュエータ。

【００９１】１９．圧電素子と、圧電素子の端部に設け
られる移動体と、圧電素子の他端に設けられるベース
と、移動体と摺動可能に摩擦係合する静止部材とからな
り、静止部材がベースに対し移動可能に構成され、移動
体が静止部材と一部で摩擦係合する少なくとも２つの脚
部を有する圧電アクチュエータにおいて、移動体の脚部
の断面形状がその長手方向に沿って変化していることを
特徴とする圧電アクチュエータ。

【００９２】２０．圧電素子と、圧電素子に設けられた
移動体と、移動体と摺動可能に摩擦係合する少なくとも
１つの静止部材とからなり、圧電素子の伸縮方向に対し
て静止部材の少なくとも１つを非平行に設けたことを特
徴とする圧電アクチュエータ。

【００９３】２１．前記静止部材は、圧電アクチュエー
タの進退方向に沿って配置され、圧電アクチュエータの
ほぼ進退方向に沿って張力がかけられていることを特徴
とする第２０項に記載の圧電アクチュエータ。 ２２．前記静止部材は、静止部材の張力を調整するため
の調整機構を備えていることを特徴とする第２１項に記
載の圧電アクチュエータ。

【００９４】２３．前記調整機構にネジを用いたことを
特徴とする第２２項に記載の圧電アクチュエータ。 ２４．前記静止部材に回転防止機構を設けたことを特徴
とする第２０項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９５】２５．前記静止部材に線状部材を用いたこ
とを特徴とする第２０項に記載の圧電アクチュエータ。 ２６．前記線状部材が金属であることを特徴とする第２
５項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９６】２７．前記線状部材がプラスチックである
ことを特徴とする第２５項に記載の圧電アクチュエー
タ。 ２８．前記線状部材がケブラーであることを特徴とする
第２５項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９７】２９．前記線状部材がワイヤであることを
特徴とする第２５項に記載の圧電アクチュエータ。 ３０．前記線状部材がステンレススチールであることを
特徴とする第２５項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９８】３１．前記線状部材が超弾性金属であるこ
とを特徴とする第２５項に記載の圧電アクチュエータ。 ３２．前記静止部材にテープ状部材を用いたことを特徴
とする第２０項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９９】３３．前記テープ状部材が金属であること
を特徴とする第３２項に記載の圧電アクチュエータ。 ３４．前記テープ状部材が超弾性金属であることを特徴
とする第３２項に記載の圧電アクチュエータ。

【０１００】３５．前記テープ状部材がステンレススチ
ールであることを特徴とする第３２項に記載の圧電アク
チュエータ。 ３６．前記移動体にアクチュエータの出力を取り出す軸
を設け、静止部材の端部に前記出力軸と摺動可能に心出
し部材を設けたことを特徴とする第２０項に記載の圧電
アクチュエータ。

【０１０１】例えば特願平７−２３８６６８号では、移
動体の梁の幅や厚みが均一であるため、応力が梁の付け
根に集中し、応力によって梁のバネ性が劣化する可能性
がある。また、バネ力を得るのに、梁に剛性があるた
め、梁の撓み量が少なく、バネ力をその撓みで調整する
ことが難しかった。また、移動体の重量が大きいため、
アクチュエータの出力が制限される可能性があった。

【０１０２】また、例えば特願平４−１８００５５号で
は、長期にわたりアクチュエータを駆動すると、摩耗や
バネのへたりによって、摩擦力の値が変化し、アクチュ
エータの性能が劣化する可能性があった。また、所望の
摩擦力を得るための調整が難しくアクチュエータの性能
がばらつく可能性があった。

【０１０３】しかし、こうした問題は、前記第１１項〜
第３６項の構成により解決される。すなわち、第１１項
〜第３６項の構成によれば、圧電アクチュエータの摩擦
力の調整が容易となり、また、摩擦力が安定する。した
がって、品質の安定した圧電アクチュエータを提供する
ことができる。

【０１０４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の圧電アク
チュエータは、組立性が良く、圧電素子の発生力が効率
良く移動体に伝わり、組立によって性能のばらつきが生
じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の第１の実施形態に係る圧電ア
クチュエータの斜視図、（ｂ）は（ａ）の圧電アクチュ
エータの側断面図である。

【図２】（ａ）は図１の変形例に係る圧電アクチュエー
タの正面図、（ｂ）は（ａ）の圧電アクチュエータの側
断面図である。

【図３】図１または図２の圧電アクチュエータの圧電素
子に印加される電圧の波形図である。

【図４】本発明の第２の実施形態に係る圧電アクチュエ
ータの斜視図である。

【図５】図５の圧電アクチュエータの平面図である。

【図６】本発明の第３の実施形態に係る圧電アクチュエ
ータの斜視図である。

【図７】（ａ）は本発明の第４の実施形態に係る圧電ア
クチュエータの斜視図、（ｂ）は（ａ）の圧電アクチュ
エータの側断面図である。

【図８】（ａ）は本発明の第５の実施形態に係る圧電ア
クチュエータの斜視図、（ｂ）は（ａ）の圧電アクチュ
エータの側断面図である。

【図９】（ａ）は本発明の第６の実施形態に係る圧電ア
クチュエータの斜視図、（ｂ）は（ａ）の圧電アクチュ
エータの側断面図である。

【図１０】本発明の第７の実施形態に係る圧電アクチュ
エータの斜視図である。

【図１１】（ａ）は本発明の第８の実施形態に係る圧電
アクチュエータの斜視図、（ｂ）は（ａ）の圧電アクチ
ュエータの側断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ部拡大図であ
る。

【図１２】本発明の第９の実施形態に係る圧電アクチュ
エータの側断面図である。

【図１３】本発明の第１０の実施形態に係る圧電アクチ
ュエータの側断面図である。

【符号の説明】

１（１ａ〜１ｆ），３９，５２，６１…圧電アクチュエ
ータ ２，４０，５３…圧電素子 ３，４１，５４…移動体 ４，４２，５５…静止部材

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年１２月２４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２２】このような状態で、図３の（ａ）に示すよ
うな電圧波形の信号を圧電素子２に印加すると、圧電素
子２が伸縮して、その伸縮に伴う大きな衝撃力が一定方
向に作用する。この際、圧電素子２それ自身の質量に起
因する慣性力が静止部材４と移動体３との摩擦係合力よ
りも大きくなると、移動体３が移動する。例えば、図３
の（ａ）の電圧波形の谷部Ａでは、圧電素子２が縮んだ
状態から伸びようとし、その際に発生する慣性力が摩擦
力より大きくなった時点で、移動体３が推力を得て図１
の（ｂ）中の左方向に移動する。また、図３の（ａ）の
電圧波形の山部Ｂでは、圧電素子２が伸びきった状態か
ら縮もうとするが、その際の慣性力は摩擦力よりも小さ
いため、移動体３は推力を得られずにその場に留まる。
したがって、このような原理によって、移動体３を図１
の（ｂ）中の右方向に移動させる場合には、図３の
（ｂ）に示すような電圧波形の信号を圧電素子２に印加
すれば良い。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子と、この圧電素子に固定される
   移動体と、移動体と摩擦係合する静止部材とからなる圧
   電アクチュエータにおいて、 前記移動体を前記圧電素子に対して嵌合固定することを
   特徴とする圧電アクチュエータ。