JP4153857B2 - 鏡面仕上げ装置 - Google Patents
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Description
図4に示すように、鏡面仕上げ装置に洗浄冷却媒体42の液供給装置が付設されている。前工程(図示せず)で、例えばシリコン単結晶の円柱を薄い円盤状にスライスしたワーク10が、回転テーブル20上に載置され、真空吸着により保持され、矢印J方向に毎分約10〜150回転で回転している。
これは、軟質砥粒と被加工物との接触点に生ずるメカノケミカル現象(すなわち加えられた機械エネルギーにより誘起される化学反応)を利用して、極微小単位の鏡面仕上げを行うものである。しかし、メカノケミカル現象においては、化学反応を弱められる原因になる水濡れを嫌う性質がある。
1.「洗浄」による切粉の除去
2.「冷却」によるワークおよびワーク付設物等の過熱変質を回避
3.「潤滑」による凝着磨耗による面荒れを防止
すなわち、水濡れを嫌う性質の乾式メカノケミカル鏡面仕上げ装置であっても、研削加工に伴って発生する切粉等をワークの周辺から除去して清浄に維持し、かつ摩擦熱が蓄積して過熱しないように洗浄冷却しながら乾式メカノケミカル鏡面仕上げ加工ができるようにした鏡面仕上げ装置を提供する。
なお、従来例でいう化学的作用のあるメカノケミカル砥石30は研削手段の一例に過ぎない。
すなわち、洗浄冷却媒体としての液または気液混合体を噴射する前記洗浄冷却手段によれば、水を主体とする液体が、化学的作用をする箇所へ浸入しないように、化学的作用をする箇所の乾燥または準乾燥状態を維持することができる。
さらに、液噴射方向を研削部位にかからないように設定する等、他の装置を用いなくとも、研削部位を濡らさない手段をとることが容易に可能となる。
(イ)水晶 :Fe3O4
(ロ)Si :BaCo3 ,CaCO3
(ハ)Si3N4 :Cr2O3
(ニ)Fe2O3 :Fe3O4
(ホ)AlO3 :SiO2 ,Fe2O3 ,Fe3O4
(ヘ)Si3N4 :CaCO3 ,MgO ,SiO2 ,Fe2O3 ,Fe3O4
(ト)ガラス :CeO2
(チ)SiC :Cr2O3 ,Al2O3
(リ)AlN :Cr2O3
(ヌ)ZrO2 :SiO2 ,CeO2
さらに、液噴射方向を研削部位にかからないように設定する等、他の装置を用いなくとも、研削部位を濡らさないで維持することが容易に可能となる。
従って本発明の鏡面仕上げ装置は、サファイヤ等の宝石類の研磨にも適する。ただし、その機構設計に関する説明は省略する。
また、「噴霧制御手段3」は請求項3でいう液噴射制御手段である。
なお、実施例として、アイオン(株)のベルイーターY(R)またはアイオン(株)のウェットロン(R)を使用した。
なお、このPVAでなる砥粒結合体は一例に過ぎず、砥粒結合体の材料は他の吸水性を持つものでもよい。
図3は図示せぬCMP装置等に用いられるシリカ入りウレタンパッドの研削面における断面模式図である。
その従来例の装置において、本発明の技術思想を加味すれば、化学的作用を阻害しないように、ミスト42または純水は必要最小限の分量に止めることで、当然に給送部40は、小型軽量にして設備費用と運転費用を軽減できる。
従って、メカノケミカル砥石30にメカノケミカル現象による、化学反応を起こすのに最適な温度を維持しながら、被研削面11の洗浄冷却も効率良くできる。
また、実施形態では環状(カップ状)砥石の外周側から水をかけているが、逆に環状砥石の内周側から水をかける構成でもよい。
2 噴霧ノズル
3 噴霧制御手段
5 流体カーテン制御手段
7 流体カーテン
8 砥粒
10 ワーク
11 被研削面
21 防水隔壁
23 空気
30 メカノケミカル砥石
31 砥石面
33 シリカ粒子
35 気孔
42 洗浄冷却媒体としてのミスト
Claims (5)
- 回転テーブル上に載置されたワークの被研削面に部分的に覆い被さるように摺接可能な研削手段と、
前記研削手段を濡らさないようにして乾燥または準乾燥状態を維持し、前記ワークの研削手段と摺接していない部位を清浄に維持し冷却するために、前記研削手段による研削加工中に洗浄冷却媒体として液または気液混合体を噴射する洗浄冷却手段と、を有する鏡面仕上げ装置であって、
前記研削手段は、化学的作用のあるメカノケミカル現象を伴う鏡面仕上げ工具を備え、
前記洗浄冷却手段は、
前記液または気液混合体の噴射を制御する液噴射制御手段を有し、
前記噴射された液または気液混合体に対して前記研削手段の化学的作用をする箇所を遮蔽できる構成として、流量が制御された流体のカーテンを展開する流体カーテン展開手段、または前記鏡面仕上げ工具の近傍に周設し当該鏡面仕上げ工具との隙間に送風して前記液または気液混合体を排除するブロア管を備えた防水隔壁を用いたことを特徴とする鏡面仕上げ装置。 - 前記流体カーテン展開手段または前記ブロア管に送風する流体として、空気または窒素およびこれらに酸素、二酸化炭素を付加したものを用いたことを特徴とする請求項1に記載の鏡面仕上げ装置。
- 前記研削手段の材料として、酸化物の砥粒を用いたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の鏡面仕上げ装置。
- 前記研削手段として、砥石、固定砥粒パッド、研磨テープ、または研磨シートの少なくとも一種類を用いたことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の鏡面仕上げ装置。
- 前記防水隔壁は、吸水樹脂である発砲ウレタンや発砲ポリビニルアルコールからなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の鏡面仕上げ装置。
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