JP4121658B2 - 有機絶縁樹脂層の加工方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機絶縁樹脂層の加工方法に関し、特に、半導体パッケージ部材用の配線板、半導体実装部材用の配線板、および磁気ディスク装置における磁気ヘッドサスペンション用の配線板を作製するための、配線用基材に設けられた有機絶縁樹脂層の加工方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
LSI技術の進展に伴い、近年、電子装置の高実装密度化の進展が著しく、これに対応した実装技術の開発が盛んに行われている。
このような中、これらに用いられる配線板で、ポリイミド樹脂等の絶縁樹脂層からなる有機絶縁樹脂層を配線板の一部として、所定形状に形成したものも用いられるようになってきた。
【0003】
従来、電子部材に使用される有機絶縁樹脂層の加工方法については、ポリイミドのようなイミド系耐熱性樹脂では、濃厚アルカリ水溶液やヒドラジン等の有機アルカリ溶液によりケミカルエッチングするケミカルエッチング加工方法、イミド系樹脂やエポキシ系樹脂では、炭酸ガス、エキシマ、YAGレーザー等を用いて加工するレーザ加工方法、あるいは反応性のガスを用いたプラズマエッチングによるプラズマエッチング加工方法が知られており、これらの方法は、TAB(Tape Automated Bonding)やプリント基板の製造等、種々の用途に用いられている。
上記イミド系樹脂のケミカルエッチング加工方法はよく知られ、広く用いられているが、樹脂の種類によっては基本骨格の違いからエッチングしにくいものもある。この方法の場合、エッチング液を構成するヒドラジン等の有機アルカリ化含物は人体に有害であり取り扱いが困難であるという問題もある。
また、上記レーザー加工方法による樹脂加工は、一度の加工エリアがレーザー径の範囲内であるため、一般に大面積の一括加工はできない。
プラズマエッチング加工方法による樹脂加工例としては、半導体製造の分野でLSIのパッシベーション膜用ポリイミドの加工等が挙げられる。
上記プラズマエッチング法は、大面積の一括加工が可能な上、有機絶縁樹脂の基本骨格の種類によらずエッチングすることができる利点があり、ヒドラジンなどの人体に有害な薬品を使用しない為、作業安全性の面でも優れている。
【0004】
このため、電子部材の有機絶縁樹脂層の加工方法としては、プラズマエッチング加工方法が、近年の電子装置の高実装密度化の進展に伴い、益々重要視されるようになってきた。
プラズマエッチング加工方法においては、通常、イオンとラジカルの相互作用によりエッチングが進行するが、プラズマにより発生するイオンとラジカル種のうち、イオンは処理基板に対して電気的に垂直方向に加速されるため、イオンによるエッチングは垂直方向へ異方的に進行するが、有機物のエッチング速度は遅い。
これに対し、ラジカル及び未反応分子は拡散により処理基板表面に到達するため、ラジカル及び未反応分子によるエッチングは、等方的にエッチングが進行し、エッチング速度が早い。
また、プラズマエッチングによる有機絶縁樹脂層の加工方法においては、一般に、CF4 などのFとCの比率が大きく堆積性の低いガスと酸素との混合ガスが用いられている。
フッ化炭化水素のように、FとCの比率が小さいガスは重合堆積物が生じ易く、また、HがHFとしてFを引き抜くため、堆積が促進されることが知られているが、しばしばこのような堆積物が表面に付着することによってエッチングが抑制されることがあり、FとCの比率が大きく、より多くのラジカル(F*)が供給可能であるCF4 がエッチング目的に、特に好んで使用されているものである。
【0005】
そして、プラズマエッチング加工方法による樹脂加工に、パターンを形成するためのマスクとして感光性レジストが用いられることがある。
感光性レジストとして、ノボラック系の液状レジストやアクリル系のドライフィルムレジスト等が、一般に、使用されているが、柔軟性やコストの面ではアクリル系のドライフィルムレジストが優れている。
この場合、感光性レジストは有機樹脂でもあり、加工する樹脂のエッチングの際、感光性レジスト自体もエッチングされるため、感光性レジストの厚さやレジストパターン幅は、予めエッチングされることを見込み決められている。
即ち、耐エッチングマスクとして感光性レジストを用いた場合、レジストパターンを幅方向にエッチングしながら、目的する樹脂加工を行うこととなるが、
前述の通り、プラズマエッチング加工方法においては、ラジカル及び未反応分子によるエッチングは、等方的にエッチングが進行し、且つ、エッチング速度が早いため、加工する樹脂のレジストパターン幅方向のエッチング制御は難しく、またばらつきも大きく、問題となっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このため、プラズマエッチング加工方法による樹脂加工を行う際に感光性レジストを耐エッチングマスクとして用いる場合において、加工する樹脂のレジストパターン幅方向のエッチング制御を簡単にできる方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、プラズマエッチング加工方法による樹脂加工を行う際に感光性レジストを耐エッチングマスクとして用いる場合において、耐エッチングマスクである、レジストパターンの幅の制御を確実に行うことができる方法を提供しようとするものである。
これにより、精度の良い樹脂加工を行おうとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の有機絶縁樹脂層の加工方法は、所定形状のレジスト層を耐エッチングマスクとして、反応性ガスを用いたプラズマエッチングにて、有機絶縁樹脂層を加工する方法であって、アクリル系のレジストを用い、フォトリソ法で、前記所定形状のレジスト層を形成するもので、アルカリ現像処理にて、あるいは現像処理後に中性アルカリ金属塩水溶液中で含浸処理を行い、少なくとも前記所定形状のレジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸させた後に、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスにてプラズマエッチングを行うことを特徴とするものである。
そして、上記において、レジスト層の表面部のカルボキシル基のHの80%以上を、NaあるいはK等のアルカリ金属に置換した後に、プラズマエッチングを行うことを特徴とするものである。
そしてまた、上記のアクリル系のレジストが、アルカリ現像型ドライフィルムレジストであることを特徴とするものである。
【0008】
また、上記において、有機絶縁樹脂層がイミド系の樹脂からなることを特徴とするものである。
また、上記において、有機絶縁樹脂層が配線板を作製するための配線用基材に設けられたものであることを特徴とするものである。
有機絶縁樹脂層の材質としては、エポキシ系樹脂、イミド系耐熱樹脂、ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ABS系樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコーン系樹脂等、熱可塑、熱硬化性樹脂を問わず適用できる。
また、有機絶縁樹脂層の形態としては、東レ・デュポン社製のカプトンのようなフィルム単体のものや、宇部興産社製のユピセルの様な金属とポリイミドの積層材料における絶縁樹脂層、あるいは金属箔等の担体にポリアミック酸のワニスをフィルム状に塗布した後、熱キュアしてイミド化して形成した絶縁樹脂層等を挙げることができる。
尚、フォトリソ法とは、フォトリソグラフィー法の略で、ここでは、所定の電離放射線に感光性のレジストを用い、前記電離放射線をレジストの所定領域のみ露光して、現像処理を施し、レジストをパターニングする方法を言っている。
【0009】
【作用】
本発明の有機絶縁樹脂層の加工方法は、このような構成にすることにより、所定形状のレジスト層を耐エッチングマスクとして、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスを用いたプラズマエッチングにて、有機絶縁樹脂層を加工する方法で、有機絶縁樹脂層を加工する際に、耐エッチングマスクである、レジスト層幅の制御を確実に行うことができる方法の提供を可能とするものである。
具体的には、所定形状のレジスト層を耐エッチングマスクとして、反応性ガスを用いたプラズマエッチングにて、有機絶縁樹脂層を加工する方法であって、アクリル系のレジストを用い、フォトリソ法で、前記所定形状のレジスト層を形成するもので、アルカリ現像処理にて、あるいは現像処理後に中性アルカリ金属塩水溶液中で含浸処理を行い、少なくとも前記所定形状のレジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸させた後に、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスにてプラズマエッチングを行うことにより、これを達成している。
詳しくは、このようにしてプラズマエッチングを行うことにより、プラズマエッチングを行い有機絶縁樹脂層を加工する際に、レジスト側壁にハロゲン化アルカリ金属を含む、プラズマ耐性の高い堆積物を生成することとができ、これにより、レジスト層の側壁近傍に、前記ハロゲン化アルカリ金属を含むプラズマ耐性の高い堆積物を配設することができ、反応性ガスによるレジスト層側壁方向への、エッチングによる広がりを抑制する。
【0010】
特に、レジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸する含浸処理が、少なくとも、レジスト層の表面部のカルボキシル基のHの80%以上を、NaあるいはK等のアルカリ金属に置換するものである場合、レジスト層の側壁方向への広がりを抑制する効果は大きい。
【0011】
アクリル系のレジストが、アルカリ現像型ドライフィルムレジストであることにより、作業性の良いものとしている。
有機絶縁樹脂層がイミド系の樹脂からなる場合にも適用できる。
【0012】
特に、配線板を作製するための配線用基材に設けられた有機絶縁樹脂層に適応した場合には、配線板の形態、製造方法の自由度を大きくできる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の有機絶縁樹脂層の加工方法の形態の例を挙げ、図1に基づいて説明する。
図1は本発明の有機絶縁樹脂層の加工方法の実施の形態の第1の例および第2の例の工程断面図である。
図1中、10は配線用基材、11はステンレス板材、12は有機絶縁樹脂層、13は(アクリル系の)レジスト、13Aはレジスト層、13Bは開口部(露出部とも言う)、14、14A、14Bはレジスト層、15はアルカリ金属含浸部、16は堆積物である。
【0014】
先ず、実施の形態の第1の例を説明する。
本例は、ステンレス板材11の一面上に有機絶縁樹脂層11からなるフィルムを積層した配線板用基材10の、有機絶縁樹脂層11上に所定形状の開口部13Bを有するレジスト層13Aを耐エッチングマスクとして形成し、反応性ガスを用いたプラズマエッチングにて、有機絶縁樹脂層11を加工する方法である。
そして、レジスト層13Aは、アクリル系のレジストを用い、フォトリソ法で、所定形状に形成されるもので、レジスト層13A形成のための現像処理後に中性アルカリ金属塩水溶液中で含浸処理を行い、少なくとも前記所定形状の開口部を有するレジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸させた(図1(c)の状態)後に、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスにてプラズマエッチングを行うものである。
【0015】
先ず、ステンレス材11の一面上に有機絶縁樹脂層12を設けた配線板用基材10を用意し、配線板用基材10の有機絶縁樹脂層12上に、アクリル系のアルカリ可溶型のドライフィルムレジストをラミネートして、有機絶縁樹脂層12を覆うようにアクリル系のレジスト13を形成した後、所定の絵柄を有するフォトマスクを用い、レジスト13が感光する所定の電離放射線22にて、レジスト13の所定領域のみ露光する。(図1(a))
【0016】
絶縁樹脂層11としては、エポキシ系樹脂、イミド系耐熱樹脂、ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ABS系樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコーン系樹脂等、熱可塑、熱硬化性樹脂を問わず用いることができる。
絶縁樹脂層11の厚みは0.1〜100μmまで対応でき、特に1〜50μmの厚みの絶縁樹脂層の加工に好適である。
アクリル系のレジスト13の厚みとしては、有機絶縁樹脂層12とアクリル系のレジスト12のブラズマエッチングレートの比に応じて1〜200μmの範囲で設定することができるが、15〜150μmの厚みが好適である。
レジスト13を形成するためのドライフィルムレジストのラミネート方法としては、ホットロールラミネート、真空加圧ラミネート等を適宜採用することができる。
【0017】
次いで、現像処理を行った(図1(b))後、NaClあるいはNa2 SO4 などの中性アルカリ金属塩水溶液中で含浸処理を行い、レジスト層14の表面部のカルボキシル基のHの所定量以上をナトリウムあるいはカリウム等のアルカリ金属に置換しておく。(図1(c))
置換しておく量としては、レジスト層14の表面部のカルボキシル基のHの50%以上が必要で、レジスト層の表面部のカルボキシル基のHの80%以上が好ましい。
この場合の、現像液としては、極く少量のナトリウムやカリウムを含むアルカリ現像で、あるいはナトリウムやカリウム等のアルカリ金属を含まないアミン系の有機アルカリ現像液で、現像により、レジスト層13Aの表面部のカルボキシル基のHが所定量以上ナトリウムあるいはカリウム等のアルカリ金属に置換できない現像液である。
【0018】
次いで、減圧された真空容器内に、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスを入れながら、露出した有機絶縁樹脂層12をプラズマエツチングを開始すると、レジスト層14のその側壁を含む表面部に、耐エッチング性のハロゲン化アルカリ金属を含む、プラズマ耐性の高い堆積物を生成し、レジスト側壁方向のレジスト自体のエッチングの進行が妨げられ、レジスト層14(あるいはレジスト層13)の幅はプラズマエッチングにおいても確保できる。(図1(d))
有機絶縁樹脂層12は、所定幅をもつレジスト層14Aによりマスキングされながら、そのプラズマエッチングがなされる。
レジスト層の下側にまで、有機絶縁樹脂層12のエッチングは進行するが、レジスト層の下側表面にもプラズマ耐性の高い堆積物を生成するため、レジスト層14の形状(レジスト層13Aの形状でもある)は、ほぼそのまま確保された状態でエッチングは進行する。(図1(e))
プラズマエッチングは、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスを一定の比率で流し、陰極と陽極問に交流電力の加電によりプラズマを発生させ、被プラズマエッチング物を陰極近傍の陰極暗部領域に設置することにより行われる。
ハロゲン化炭化水素としては、CHF3 、CH2 F2 、CH2 Cl2 等を用いることができる。
また、酸素ガス、ハロゲン化炭化水素ガスの雰囲気圧力は、常温で0.1〜100Pa、好ましくは3〜70Paとされる。
酸素ガス、ハロゲン化炭化水素ガスの導入量は、標準状態において1〜80sccm、好ましくは、10〜50sccmとされる。
プラズマ放電の処理電力は、通常0.1〜10W/cm2 、好ましくは、0.7〜1W/cm2 とされる。
処理電力には、交流を使用することが好ましく、周波数は20kHz〜2GHが適用できるが、実用上は、工業割り当て周波数の13.56MHzである。
【0019】
有機絶縁樹脂層12のプラズマエッチングを終了後、レジスト層14Bを剥離し、所定の洗浄処理を施す。(図1(f))
剥離液としては水酸化ナトリウムや水酸化カリウム等のアルカリ水溶液を用いることができる。
濃度は0.1〜10%、好ましくは1〜5%である。
温度は、常温〜80℃、好ましくは30〜60℃である。
【0020】
このようにして、有機絶縁樹脂層12の所定の部分のみ貫通加工することができるが、配線板用基材10の形態については、これに限定されない。
例えば、図1(a)の10として、有機絶縁樹脂層12の所定領域に配線層を設けたものでも良い。
【0021】
次に、実施の形態の第2の例を図1に基づいて簡単に説明する。
第2の例は、第1の例における、所定形状のレジスト層13Aを形成する現像処理と、レジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸させる含浸処理とを現像処理時に一度に行うもので、その他については、第1の例と同じである。
即ち、図1(a)の露光後に、現像処理により図1(c)の状態にする。
この場合、現像処理を行う際の現像液中に、レジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸させるに必要なナトリウム、カリウム等のアルカり金属を含んでいる。
図1(c)以降の処理については、第1の例と同様で、ここでは説明を省略する。
【0022】
【発明の効果】
上記のように、本発明は、所定形状の開口部を有するレジスト層を耐エッチングマスクとして、ハロゲン化炭化水素ガスと酸素との混合ガスを用いたプラズマエッチングにて、有機絶縁樹脂層を加工する方法で、プラズマエッチング時に、現像後のレジスト層の幅を確保しながら、有機絶縁樹脂層を加工する方法の提供を可能とした。
これにより、有機絶縁樹脂層を加工において、その幅方向のエッチング量の制御をし易いものとした。
さらに、本発明は、プラズマエッチング用レジストとして安価で柔軟性のあるアクリル系ドライフィルムレジストを使用し、且つ、一般的にドライエッチング反応性の高いハロゲン化炭化水素ガスと酸素との混合ガスとを用いているため、ドライエッチングにおける有機絶縁樹脂層のエッチングレートは高く、その適用の範囲は広く、生産性の面でも有利である。
特に、本発明が配線板の製造に適用された場合には、配線板の形態、製造方法の自由度を大きくでき、且つ、その生産性、歩留まりの向上に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の有機絶縁樹脂層の加工方法の実施の形態の例の工程断面図
【符号の説明】
10 配線用基材
11 ステンレス板材
12 有機絶縁樹脂層
13 (アクリル系の)レジスト
13A レジスト層
13B 開口部(露出部とも言う)
14、14A、14B レジスト層
15 アルカリ金属含浸部
16 堆積物
Claims (5)
- 所定形状のレジスト層を耐エッチングマスクとして、反応性ガスを用いたプラズマエッチングにて、有機絶縁樹脂層を加工する方法であって、アクリル系のレジストを用い、フォトリソ法で、前記所定形状のレジスト層を形成するもので、アルカリ現像処理にて、あるいは現像処理後に中性アルカリ金属塩水溶液中で含浸処理を行い、少なくとも前記所定形状のレジスト層の表面部にアルカリ金属を充分に含浸させた後に、ハロゲン化炭化水素と酸素(02 )との混合ガスからなる反応性ガスにてプラズマエッチングを行うことを特徴とする有機絶縁樹脂層の加工方法。
- レジスト層の表面部のカルボキシル基のHの80%以上を、NaあるいはK等のアルカリ金属に置換した後に、プラズマエッチングを行うことを特徴とする請求項1記載の有機絶縁樹脂層の加工方法。
- 請求項1ないし2記載のアクリル系のレジストが、アルカリ現像型ドライフィルムレジストであることを特徴とする有機絶縁樹脂層の加工方法。
- 請求項1ないし3において、有機絶縁樹脂層がイミド系の樹脂からなることを特徴とする有機絶縁樹脂層の加工方法。
- 請求項1ないし3において、有機絶縁樹脂層が配線板を作製するための配線用基材に設けられたものであることを特徴とする有機絶縁樹脂層の加工方法。
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