JP4118859B2 - バルブレスマイクロ空気供給装置 - Google Patents

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Description

本発明はマイクロ空気供給装置に関し、より詳しくは、バルブ構造を持つことなく、能動的に一定量の空気を所定空間に供給できるマイクロ空気供給装置に関する。
一般的に、マイクロ空気供給装置は、小型の電子機器や部品に一定量の空気を供給するために使用される。最近、このような小型の空気供給装置は、例えば、ノートブック、PDA、モバイルフォンのような携帯用電子装置の使用の一般化に伴い、このような携帯用電子装置に使用される部品、特に燃料電池においてその必要性が台頭されている。この他にも、コンピュータチップの特定部品に少量の空気を供給したり、空気を循環し冷却させる場合にもマイクロ空気供給装置を必要とする。
例えば、小型の空気供給装置が使用される従来のモバイルフォンやPDAのような携帯用電子機器に利用される小型の燃料電池は、使用燃料の種類、運転温度、触媒及び電解質により、燐酸型燃料電池(Phosphoric Acid Fuel Cell、PAFC)、アルカリ型燃料電池(Alkaline Fuel Cell、AFC)、高分子電解質型燃料電池(Proton Exchange Membrane Fuel Cell、PCMFC)、溶融炭酸塩型燃料電池(Molten Carbonate Fuel Cell、MCFC)、固体酸化物型燃料電池(Solid Oxide Fuel Cell、SOFC)及び直接メタノール燃料電池(Direct Methanol Fuel Cells、DMFC)などに区分される。
直接メタノール燃料電池の空気供給装置を例として説明する。直接メタノール燃料電池の場合、MEA(membrane and electrode assembly)で化学反応を起こすために、メタノール燃料と酸素を使用して電気を生産する。
化学反応を詳細に説明すれば次の通りである。直接メタノール燃料電池は、図1に示すように、メンブレン(高分子電解質膜;membrane)15、その両側に位置するアノード16及びカソード17を備える。アノード16ではメタノールと水が反応して水素イオンと電子を生成し、その反応式は次の反応式1通りである。
[反応式1]
CHOH + HO = CO + 6H++ 6e-
カソード17では、アノード16で生成された水素イオンがメンブレンを通して移動し、水素イオンと電子が酸素と結合して水を生成し、その反応式は次の反応式2の通りである。
[反応式2]
1.5 O + 6H+ + 6e- = 3 H
燃料電池における総化学反応は次の反応式3の通りである。
[反応式3]
CHOH + 1.5 O= CO + 2HO、 E0= 1.18V
上述したように、直接メタノール燃料電池は、全体化学反応で生成されたエネルギーを電気エネルギーに転換して電子装置に供給する。
このような化学反応において、一般的に、反応物の一つである酸素は外部大気から直接供給されることができ、このようなメタノール燃料電池は、空気供給方式により自然対流方式及び能動供給方式がある。能動供給方式としては特許文献1に開示された発明のように、所定空気や流量を供給するために、チェックバルブタイプのポンプやMEMSタイプのポンプのような流量供給装置が使用されることができる。
しかしながら、大部分の場合、その大きさの制限により、空気を供給するために自然対流方式を採択している。このとき、MEAに空気を供給するために大気と直接連結しているオリフィス構造が形成される。
図2は自然対流方式の空気供給装置を示す図であって、特許文献2にはこのような自然対流方式の空気供給装置が開示される。
図2に示すように、外部空気は本体30に形成された複数個のオリフィス25を介して前記MEA(20)に直接伝達される。
しかしながら、前記構造の小型の空気供給装置は次のような問題点がある。
第一に、モバイルフォンやPDAのような多様な電気装置において、一般的に、ユーザが前記装置の使用のために手で前記装置を握る場合、空気供給装置に形成された空気流路であるオリフィス25やキャビティが手で覆われることになる。従って、円滑な空気の流れが形成されず、手から発生する油気を含んだ分泌物のため、前記オリフィス25自体が閉鎖される可能性もある。
第二に、前記MEAにおける反応は発熱反応なので、MEA表面における温度は外部大気の温度に比べて相対的に高くなる。従って、外部空気は前記オリフィス25を介して自然的に流入するのに多少障害を受けることになる。
第三に、必要な空気流量を選択的に利用できない。即ち、多くの携帯用電気装置の場合、各々の使用モードによって異なる電力を必要とする。従って、各々の使用モードによる各々の空気流量が必要であるが、従来技術はこのような空気流量を必要に応じて制御できない。そして、自然対流の場合は、実際に空気伝達率又は流入空気流量が非常に小さいため、結果的に高電力を生産することができない。
US2003-0031908 US6,497,975
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的は、必要に応じて能動的に空気を供給し、空気供給装置の構造及び性能が改善されたバルブレスマイクロ空気供給装置を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明によるマイクロ空気供給装置は、外部空気を吸引して噴射する噴射ユニット;前記噴射ユニットから噴射された空気を排出する排出オリフィスが形成されたカバー部;及び、前記噴射ユニットと結合するベースユニット;を含む。このように単純な構造で空気供給(伝達)を実現するために、バルブ構造を採択しないことにより、前記空気供給装置の安全性が高くなり、必要に応じて高い空気伝達を実現できる。
そして、前記噴射ユニットは、噴射オリフィス及び吸引オリフィスを備える複数個のオリフィスが形成された噴射プレートと、前記噴射プレートと前記ベースユニットとの間であって前記噴射プレートの下方に設置され、開放面が前記噴射プレートにより覆われた箱体と、前記箱体の側面に前記箱体を間に挟んで設置された一対のガスケットと、を有し、前記噴射オリフィスは、前記噴射プレートの中央に形成され、かつ前記箱体に対応して設けられ、前記吸引オリフィスは、前記箱体から所定間隔をおいて離隔されて前記噴射プレートに形成され、前記噴射オリフィスを介して、前記箱体に前記外部空気が流入するとともに前記箱体から外部空気が噴出される。
噴射プレートの中央に形成された噴射オリフィスから空気を排出し、所定間隔離隔された吸引オリフィスから空気を流入することで、小型ポンプを実現できる。
また、前記吸引オリフィスは前記噴射オリフィスを中心として対称をなすと、より吸引オリフィスから噴射オリフィスを介した空気の流入をスムーズにすることができる。
前記排出オリフィスの直径は前記噴射オリフィスの直径より2倍以上大きいのが好ましい。つまり、噴射オリフィスの直径が排出オリフィスの直径より小さいので、空気が噴射される効果を発生する。
そして、前記吸引オリフィスの直径は、前記排出オリフィスの直径以下で形成され、前記噴射オリフィスの直径以上で形成されるのが望ましく、また、前記排出オリフィスと前記噴射オリフィスとの間の高さは、前記噴射オリフィスの直径より3倍大きく形成されるのが好ましい。
また、前記箱体は上面及び下面に開口部が形成されていて、内部にキャビティを有する枠体状のリザーバボディを有することができる。キャビティに空気を流入して蓄え、蓄えた空気をキャビティから噴射オリフィスを介して流出させることで、排出オリフィスからマイクロ空気供給装置外部に空気を排出することができる。
このとき、前記箱体は、その下方に設置され、前記リザーバボディの前記下面開口部を密閉させるメンブレンをさらに含むことができ、前記メンブレンの下方の前記ベースユニットと向き合う位置にマグネチックシートが形成されるのが好ましい。
そして、前記マグネチックシートはゴム材質からなることができ、前記ガスケットは前記ベースユニットと前記噴射プレートとの間に設置されるのが好ましい。
また、前記ガスケットの厚さは、空気が吸引できるように、前記リザーバボディの厚さより大きいのが望ましく、前記ベースユニットは、前記ガスケットと結合されるベースプレート;及び、前記マグネチックシートと隣接する位置に形成され、電気の供給により磁気力を形成する円形コイル;を含むのが好ましい。
このとき、前記ガスケットと結合する部分の前記ベースプレートの厚さは、空気が流入できるように、前記ベースプレートの中央部分の厚さより厚く形成されることができ、前記カバー部は内部にカバーキャビティが形成されて前記排出オリフィスと連通するのが好ましい。
そして、前記カバーキャビティは、吸引される空気をガイドするように多角形で形成されることができ、前記カバーキャビティは前記排出オリフィスに連通する上部の幅が前記噴射ユニットと結合される下部の幅より小さいのが好ましい。
また、前記カバー部、前記噴射ユニットの前記噴射プレート、前記ガスケット及び前記ベースプレートは、締結ユニットにより結合されるのが望ましく、前記締結ユニットはボルトとナットであるのが好ましい。
本発明によれば、単純な構造で空気供給(伝達)を実現するために、バルブ構造を省略する。よって、前記空気供給装置の安全性が高くなり、必要に応じて高い空気伝達を実現できる。
また、電流または周波数の変化により、前記噴射オリフィスに排出される速度が調節される。よって、本発明は能動伝達を具現でき、前記空気供給装置を採択した製品の小型化が可能になった。
以下、図面に基づき、本発明の好ましい実施例によるマイクロ空気供給装置を説明する。説明の便宜上、マイクロ空気供給装置が携帯用燃料電池に適用された例を中心として説明する。
図3は、本発明によるマイクロ空気供給装置の要部分解斜視図であり、図4は、本発明によるマイクロ空気供給装置の断面図であり、図5は、本発明によるマイクロ空気供給装置のカバー部の断面図であり、図6は、本発明によるマイクロ空気供給装置の噴射プレートの断面図である。
本発明によるマイクロ空気供給装置40は、大きく、噴射ユニット60、カバー部50及びベースユニット100を含む。前記噴射ユニット60は、外部空気を吸引して所定空間に空気を噴射または圧出させるポンプの役割をし、噴射プレート70、リザーバボディ80、複数のガスケット90を含む。
前記噴射プレート70には複数個のオリフィス73、75が形成され、前記複数個のオリフィスは前記噴射プレート70の中央に形成された噴射オリフィス75及び吸引オリフィス73を含む。前記吸引オリフィス73は、前記噴射オリフィス75から一定間隔をおいて離隔されて前記噴射プレート70に形成される。このとき、前記吸引オリフィス73は二つ以上で形成されることができる。そして、複数個の前記吸引オリフィス73は前記噴射オリフィス75を中心として対称をなす。このような吸引オリフィス73を介して外部空気が空気供給装置40に流入される。
このとき、前記カバー部50の排出オリフィス55の直径(D1)は前記噴射オリフィス75の直径(D2)より2倍以上大きく形成され、また、前記吸引オリフィス73の直径(D3)は、前記排出オリフィス55の直径(D1)以下で形成され、前記噴射オリフィス75の直径(D2)以上で形成される。
また、前記排出オリフィス55と前記噴射オリフィス75との間の高さ(H)は、前記噴射オリフィス75の直径(D2)より3倍大きく形成される(図4参照)。
そして、図4に示すように、前記リザーバボディ80は前記噴射プレート70と前記ベースユニット100との間の前記噴射プレート70の下方に設置される。また、前記リザーバボディ80の内部には上下空間の開放されたキャビティ85が形成される。
前記キャビティ85は、前記吸引オリフィス73を介して流入した空気が前記噴射オリフィス75を介して排出されて一時保存される空間を形成することができ、このように一時保存された空気は、前記キャビティ85の内部圧力の変化により、前記噴射オリフィス75を介して前記カバー部50のカバーキャビティ57に排出される。
そして、前記リザーバボディ80は、その下方に設置され、前記キャビティの下部空間を密閉させるメンブレン87と、前記メンブレン87の下方に設置されたマグネチックシート89とを含む。前記マグネチックシート89は永久的なゴム材質で形成される。
そして、前記噴射ユニット60の前記ガスケット90は前記ベースユニット100と前記噴射プレート70との間であって、リザーバボディ80の側面に前記リザーバボディ80を間に挟んで一対をなして設置される。前記ガスケット90の厚さ(T2)は、空気が吸引できるように、前記リザーバボディ80の厚さ(T1)より大きく形成される。
前記ベースユニット100はベースプレート101及び円形コイル105を含む。
前記ベースプレート101は前記ガスケット90と結合され、空気が流入できるように前記ガスケット90と対応する部分の厚さが前記ベースプレート101の中央部より大きく形成される。
前記円形コイル105は、前記ベースプレート101の中央の前記噴射ユニット60の前記マグネチックシート89と対応する位置に形成され、電気の供給により磁気力を形成する。また、前記円形コイル105には電気回路(図示せず)を設置して周期的に電源が印加される。
前記カバー部50は内部にカバーキャビティ57が形成され、前記排出オリフィス55と連通し、前記カバーキャビティ57は吸引空気をガイドするように多角形で形成される。このとき、前記カバーキャビティ57は、前記排出オリフィス55に連通する上部の幅(W1)が前記噴射ユニット60と結合される下部の幅(W2)より小さく形成される。
そして、全体的に、前記カバー部50、前記噴射ユニット60の前記噴射プレート70、前記ガスケット90及び前記ベースプレート101は、締結ユニット(図示せず)により結合される。一般的に、前記締結ユニットはボルトとナットで形成される。このとき、締結ユニットは当業者の必要に応じて前記カバー部50、噴射プレート70、ガスケット90及びベースプレート101が結合されるように多様に構成されることができる。
以下、図3乃至図7を参照して、本発明によるマイクロ空気供給装置40の作動を説明する。図7は、本発明によるマイクロ空気供給装置の作動を示す図である。
まず、電気回路(図示せず)において、前記円形コイルに電源が印加されれば、右ネジの法則によって前記ベースプレート101の上方または下方に磁場が形成される。
このような磁場は磁石のN-S極性を帯びることにより、前記メンブレンの下方に設置されたマグネチックシート89と反応する。
このとき、前記マグネチックシート89は特定のN極又はS極で構成され、前記マグネチックシートがN極の場合、前記磁場のN-S極性と反応して前記ベースプレート101を基準として上方または下方に力が発生する。前記マグネチックシート89がS極の場合も同様な効果を発生する。
このように発生した磁気力は、前記マグネチックシート89付きのメンブレン87を前記キャビティ85の内部に圧縮したり、キャビティ85の外部に膨脹する。結果的に、前記メンブレン87は周期的に振動することになる。こうした周期的な振動は印加された電気回路の周期に対応して発生し、このようなメンブレン87の振動のため、前記キャビティ85の内部には圧力の変化が発生する。
即ち、前記キャビティ85における圧力の変化は、周囲空気が前記噴射オリフィス75を介して前記キャビティ85に流入または排出されるようにする。また、前記噴射オリフィス75の直径(D2)は前記空気供給装置40の前記メンブレン87の振幅に影響を受け、仮りに、このような振幅が大きいほど前記噴射オリフィス75の直径(D2)は大きく設計する。
そして、前記キャビティ85への流入は、前記キャビティ85の圧力が相対的に周囲圧力より低い場合、周囲空気が前記吸引オリフィス73を介して前記カバーキャビティ57に集まり、このとき、流入空気の相当量は前記噴射オリフィス75の内部のキャビティ85に集まる。ここで、吸引オリフィス73は、噴射オリフィス75を中心として対称をなすように噴射オリフィス75から一定間隔をおいて離隔されて噴射プレート70に形成されているため、噴射オリフィス75から流入される空気は吸引オリフィス73から流入されている。また、空気の流入がし易いように、吸引オリフィス73の直径(D3)は、噴射オリフィス75の直径(D2)より大きく形成され、吸引オリフィス73が複数形成されると好ましい。このようにして前記キャビティ85に集まる空気は、前記キャビティ85内に一時保存される。
このとき、周期的な電気回路の変化により、初期設定の電気印加状態と反対方向の電源が印加されれば、前記キャビティ85の内部圧力は周囲圧力より上昇するようになる。
従って、周囲圧力より高いキャビティ85に保存された空気は、キャビティ内の圧力上昇により前記噴射オリフィス75を介して前記カバーキャビティ57に排出され、さらに、前記排出オリフィス55を介して所定空間に排出される。ここで、キャビティ85から排出される空気は、キャビティ85内の圧力上昇により排出されるため指向性を有しており、また、カバーキャビティ57が吸引空気をガイドするように多角形で形成されていることにより、指向性を有して排出オリフィス55を介して所定空間に排出される。このとき、前記噴射オリフィス75の直径(D2)が前記排出オリフィス55の直径(D1)より小さいので、空気が噴射される効果を発生する。また、図7に示すように、噴射オリフィス75から排出される空気は、指向性を有するともに広がりを有して排出オリフィス55の方向へ噴射される。
図8は、マイクロ空気供給装置の吸引オリフィスが複数個の場合の空気流量を示す図である。図8を参照してこのような空気が吸引及び噴射される流量を全体的に比較してみれば、一サイクル、即ち、空気が吸引・排出されるサイクルで、前記噴射オリフィス75を介して流入及び排出される空気量は同一である。また、一サイクルにおいて、前記吸引オリフィス73に流入する流量は119.124mL/min、前記排出オリフィス55を介して外部に排出する流量は119.124mL/ minとなる。
参考として、前記図8において、流量0mL/minを基準として図中上側のプラス値は前記空気供給装置に流入する流量であり、図中流量0mL/minより下側のマイナス値は前記空気供給装置から所定空間に排出する流量である。より詳細には、図8は、吸引オリフィス73、噴射オリフィス75及び排出オリフィス55における、1サイクルでの時間毎の流量変化を示している。それぞれの平均流量が破線で表されている。ここで、噴射オリフィス75での正味の流量は、0であり、吸引オリフィス73から空気供給装置40に流入する流量は+119.124mL/minであり、排出オリフィス55を介して外部に排出される流量は−119.124mL/ minである。これらのデータは、吸引オリフィス73から流入された空気が空気供給装置40を介して、排出オリフィス55から指向性を持って目的物に対して送出されることを実証しています。そのようにして、キャビティ85及びカバーキャビティ57は、一時貯蔵糟としての役割を果たす。
つまり、一サイクルで外部空気は前記吸引オリフィス73を介して前記空気供給装置40に流入され、結局、前記排出オリフィス55を介して排出される。このとき、前記空気供給装置40内に流入及び排出される空気量は同一であるが、前記吸引オリフィス73を介して前記空気供給装置40に流入する空気量は全体的にプラス値がより大きくなるので、前記空気供給装置は小型ポンプの基本的な役割をすることになる。
そして、但し、前記キャビティ85は一時貯蔵糟の役割をし、本発明は従来の自然対流方式の空気供給装置と比較して、前記排出オリフィス55を介して排出される空気量がより大きくなる。
従って、従来の発明とは異なり、本発明によるマイクロ空気供給装置は、小型ポンプの基本的な役割をし、バルブが不要になる。結局、バルブレス小型ポンプになる。
また、電気回路で供給される電源の電流または周波数の変化により、前記噴射オリフィス75への排出速度を調節して、本発明は能動伝達を具現できる。
図9は前記空気供給装置40の噴射ユニット60の構造の他の実施例である。図9を参照すれば、前記噴射ユニット60の前記噴射プレート70には、前記噴射オリフィス75の周囲に一つの吸引オリフィス73が形成され、以外の構成は上述した空気供給装置40と同様である。
一つの吸引オリフィス73を備えた空気供給装置40の流量は、図10を参照して説明すれば、図10のように空気が吸引・排出するサイクルで、前記噴射オリフィス75を介して流入及び排出される空気量は同一であり、前記吸引オリフィス73に流入する流量は67.89mL/min、前記排出オリフィス55を介して外部に排出する流量は67.89 mL/minとなる。
これは、但し、前記空気供給装置40の全体供給及び排出流量のみに差があることを意味し、前記吸引オリフィス73に流入する量は全体的にプラス値になるので、結局、吸引・排出サイクルが持続する間、継続的に一定量の空気を吸引することになる。
従って、図10のように、前記空気供給装置はバルブレスマイクロ(小型)ポンプの役割をし、これにより、所定空間に必要な空気を供給できる。
このような前記空気供給装置を適用した実施例を、図11を参照して説明する。
前記空気供給装置40は空気伝達ユニット150の一側に複数個が設置されることができる。前記空気伝達ユニット150は一般のモバイルフォンやPDAのような電気装置の燃料電池の外観で構成されることができる。しかしながら、これは適用例を説明するためのもので、その他の空気供給装置の外観で構成されることもできる。
ここで、前記空気供給装置40が前記空気伝達ユニット150の一側に形成されるので、ユーザが前記空気伝達ユニット150を含んだ燃料電池を手で握る場合、前記空気供給装置40の前記吸引オリフィス73が覆われることを防止できる。
図11のように、前記空気供給装置40では所定空気を周期的に前記空気伝達ユニット150内に排出する。このように排出した空気は、前記空気伝達ユニット150の本体155の下方に形成された第1オリフィス160を介して例えばMEA145表面に伝達され、前記MEA145表面で化学反応により発生する反応熱は前記流入空気を通して混合されるので、前記MEA表面の一定部分を冷却する効果が発生する。
そして、MEA145で化学反応により発生する二酸化炭素のような副産物は、第2オリフィス165を介して放出される。
このとき、前記第2オリフィス165の直径は前記空気供給装置40の噴射オリフィス75の直径(D2)とほぼ同一に形成される。
ここでは、一実施例として、前記空気供給装置40で排出される空気がMEA145表面である場合を主に説明したが、必要に応じてコンピュータのCPUや半導体チップのような小型部品の熱発生が多い所でも、空気冷却または空気供給のための装置として使用することができる。
また、実際に前記空気供給装置を形成するために円形コイルの磁場を利用してポンプまたは空気供給をする構成は、当業者の立場で他の圧電素子(piezoelectric)や静電気(electrostatic)装置のような装置を構成して具現できる。
以上で説明したように、本発明によれば、単純な構造で空気供給(伝達)を実現するために、バルブ構造を採択しないことにより、前記空気供給装置の安全性が高くなり、必要に応じて高い空気伝達を実現できる。
また、電流または周波数の変化により、前記噴射オリフィスへの排出速度が調節され、本発明は能動伝達を具現でき、前記空気供給装置を採択した製品の小型化が可能になる。以上、本発明を説明するための好ましい実施例と関連して図示し説明したが、本発明はこれに限らず、本発明の特許請求の範囲の思想から逸脱しない範囲内で態様に変更・実施できる。
直接メタノール燃料電池の概略図である。 自然対流方式の空気供給装置を示す図である。 本発明によるマイクロ空気供給装置の要部分解斜視図である。 本発明によるマイクロ空気供給装置の断面図である。 本発明によるマイクロ空気供給装置のカバー部の断面図である。 本発明によるマイクロ空気供給装置の噴射プレートの断面図である。 本発明によるマイクロ空気供給装置の作動を示す図である。 マイクロ空気供給装置の吸引オリフィスが複数個の場合の空気流量を示す図である。 マイクロ空気供給装置の吸引オリフィスが一つの場合の断面図である。 マイクロ空気供給装置の吸引オリフィスが一つの場合の空気流量を示す図である。 本発明によるマイクロ空気供給装置を適用した空気供給ユニットを示す図である。
符号の説明
40 空気供給装置
50 カバー部
55 排出オリフィス
60 噴射ユニット
70 噴射プレート
80 リザーバボディ
85 キャビティ
90 ガスケット
100 ベースユニット
101 ベースプレート
105 円形コイル

Claims (20)

  1. 外部空気を吸引して噴射する噴射ユニットと、
    前記噴射ユニットから噴射された空気を排出される排出オリフィスが形成されたカバー部と、
    前記噴射ユニットと結合されるベースユニットと、
    を含み、
    前記噴射ユニットは、
    噴射オリフィス及び吸引オリフィスを備える複数個のオリフィスが形成された噴射プレートと、
    前記噴射プレートと前記ベースユニットとの間であって前記噴射プレートの下方に設置され、開放面が前記噴射プレートにより覆われた箱体と、
    前記箱体の側面に前記箱体を間に挟んで設置された一対のガスケットと、を有し、
    前記噴射オリフィスは、前記噴射プレートの中央部分に形成され、かつ前記箱体に対応して設けられ、
    前記吸引オリフィスは、前記箱体から所定間隔をおいて離隔されて前記噴射プレートに形成され、
    前記噴射オリフィスを介して、前記箱体に前記外部空気が流入するとともに前記箱体から前記外部空気が噴出される、ことを特徴とするマイクロ空気供給装置。
  2. 前記吸引オリフィスは前記噴射オリフィスを中心として対称をなすことを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  3. 前記排出オリフィスの直径は前記噴射オリフィスの直径より2倍以上大きいことを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  4. 前記吸引オリフィスの直径は、前記排出オリフィスの直径以下で形成され、前記噴射オリフィスの直径以上で形成されることを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  5. 前記排出オリフィスと前記噴射オリフィスとの間の高さは、前記噴射オリフィスの直径より3倍大きく形成されることを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  6. 前記箱体は、上面及び下面に開口部が形成されていて内部にキャビティを有する枠体状のリザーバボディを有することを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  7. 前記箱体は、その下方に設置され、前記リザーバボディ前記下面開口部を密閉させるメンブレンをさらに含むことを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  8. 前記メンブレンの下方の前記ベースユニットと向き合う位置に、マグネチックシートが形成されることを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  9. 前記マグネチックシートはゴム材質であることを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  10. 前記ガスケットは前記ベースユニットと前記噴射プレートとの間に設置されることを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  11. 前記ガスケットの厚さは空気が吸引できるように前記リザーバボディの厚さより大きいことを特徴とする請求項10に記載のマイクロ空気供給装置。
  12. 前記ベースユニットは、
    前記ガスケットと結合されるベースプレート;及び、
    前記マグネチックシートとの隣接位置に形成され、電気の供給により磁気力を形成する円形コイル;を含むことを特徴とする請求項11に記載のマイクロ空気供給装置。
  13. 前記ガスケットと結合する部分の前記ベースプレートの厚さは、空気が流入できるように、前記ベースプレートの中央部分の厚さより厚く形成されることを特徴とする請求項12に記載のマイクロ空気供給装置。
  14. 前記カバー部は、その内部にカバーキャビティが形成され、前記排出オリフィスと連通することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ空気供給装置。
  15. 前記カバーキャビティは、吸引される空気をガイドするように多角形で形成されることを特徴とする請求項14に記載のマイクロ空気供給装置。
  16. 前記カバーキャビティは、前記排出オリフィスに連通する上部の幅が前記噴射ユニットと結合される下部の幅より小さいことを特徴とする請求項15に記載のマイクロ空気供給装置。
  17. 前記カバー部、前記噴射ユニットの前記噴射プレート、前記ガスケット及び前記ベースプレートは、締結ユニットにより結合されることを特徴とする請求項に記載のマイクロ空気供給装置。
  18. 前記締結ユニットはボルトとナットであることを特徴とする請求項17に記載のマイクロ空気供給装置。
  19. 前記ベースユニットは、
    前記ガスケットと結合されるベースプレート;及び、
    マグネチックシートと隣接する位置に形成され、電気の供給により磁気力を形成する円形コイル;を含むことを特徴とする請求項18に記載のマイクロ空気供給装置。
  20. 前記ガスケットと結合する部分の前記ベースプレートの厚さは、空気が流入できるように、前記ベースプレートの中央部分の厚さより厚く形成されることを特徴とする請求項19に記載のマイクロ空気供給装置。
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