SE508435C2 - Förträngningspump av membranpumptyp - Google Patents

Förträngningspump av membranpumptyp

Info

Publication number
SE508435C2
SE508435C2 SE9300604A SE9300604A SE508435C2 SE 508435 C2 SE508435 C2 SE 508435C2 SE 9300604 A SE9300604 A SE 9300604A SE 9300604 A SE9300604 A SE 9300604A SE 508435 C2 SE508435 C2 SE 508435C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
pump
diaphragm
nozzle
outlet
volume
Prior art date
Application number
SE9300604A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9300604L (sv
SE9300604D0 (sv
Inventor
Erik Stemme
Goeran Stemme
Original Assignee
Erik Stemme
Goeran Stemme
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Erik Stemme, Goeran Stemme filed Critical Erik Stemme
Priority to SE9300604A priority Critical patent/SE508435C2/sv
Publication of SE9300604D0 publication Critical patent/SE9300604D0/sv
Priority to EP19940908551 priority patent/EP0760905B1/en
Priority to PCT/SE1994/000142 priority patent/WO1994019609A1/en
Priority to DE69420744T priority patent/DE69420744T2/de
Priority to JP51889594A priority patent/JP3536860B2/ja
Publication of SE9300604L publication Critical patent/SE9300604L/sv
Priority to US08/834,538 priority patent/US6203291B1/en
Publication of SE508435C2 publication Critical patent/SE508435C2/sv

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/1077Flow resistance valves, e.g. without moving parts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/206Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
    • Y10T137/2224Structure of body of device

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)

Description

50 10 15 20 25 30 35 8 435 Som exempel på sådana nackdelar kan nämnas alltför höga tryckfall över backventilerna och risk för förslitnings- och 2 Utmattnifl9SSkad°f På ventilernas rörliga, strömningsförhind- rande element, vilket kan medföra reducerad livslängd och minskad tillförlitlighet hos pumpen. När det gäller pumpning av speciellt känsliga fluider, främst vätskor, finns också risken att de rörliga ventilelementen kan skada fluiden eller påverka dess egenskaper ogynnsamt. gpgfiingingens ändamål För ovannämnda tillämpningar och speciella användningsområden föreligger alltså ett uttalat behov av pumpar som helt saknar rörliga delar, såsom backventiler, eller endast har extremt få sådana rörliga delar.
Det primära ändamålet med föreliggande uppfinning är därför att åstadkomma en förträngningspump av det inledningsvis angivna slaget, vilken kan utföras helt utan ventiler i fluidinloppet och/eller fluidutloppet.
Pumpen skall vara en fluidpump som kan användas och optimeras för pumpning av såväl vätskor som gaser. Den skall också kunna användas för pumpning av fluider innehållande fluid- burna partiklar, t.ex. vätskor som innehåller fasta partik- lar. e ö e se för u 'nnin en Ovannämnda ändamål uppnås enligt uppfinningen därigenom att fluidinloppet och fluidutloppet vardera innefattar ett orörligt nmnstyckselemnt, vil- ket utgör en dysa i sin ena genomströmningsriktning och en diffusor i sin ncmsatta, andra gencnströningsriktning, varvid tryckfallet över elemen- tet âr större i dysriktningen än i diffusorriktningen för ett och sanna volymflöde, och att munstyckselementen är så inriktade att de bildar dif- fusorer sett i riktningen för pumpens nettovolymflöde från fluidinloppet till fluidutloppet.
Det för den nya typen av förträngningspump speciellt utmär- kande är alltså att munstyckselement med "fast" geometri 10 15 20 25 30 35 a 508 435 används i stället för den eller de backventiler som återfinns vid förut kända typer av exempelvis membranpumpar.
Vidareutvecklade och föredragna utföringsformer av förträng- ningspumpen enligt krav 1 kan också uppvisa de särdrag som framgår av de osjälvständiga kraven 2-9.
För pumpen enligt uppfinningen gäller helt allmänt att vägg- partiet, som genom sin rörelse och/eller formändring åstad- kommer varieringen av pumpkammarvolymen, lämpligen kan vara elastiskt i sig (d.v.s. självt kan svara för sin fjädring), men det är också fullt möjligt att i stället använda ett plastiskt deformerbart väggparti vartill är kopplat en fjäder eller fjädrande anordning, som då svarar för väggpartiets återföring (återgångsrörelse). Väggpartiet skulle till och med kunna vara ändytan av en fram- och återgående stel kolv.
En pump enligt uppfinningen kan tillverkas av metall, poly- mermaterial, kisel eller annat lämpligt material.
I praktiken är det lämpligt att såväl fluidinloppet som fluidutloppet bildas av var sitt munstyckselement av det angivna slaget. Såväl munstyckselementet vid fluidinloppet som munstyckselementet vid fluidutloppet är företrädesvis så anordnat att dess diffusorriktning överensstämmer med flödes- riktningen för det pulserande volymflödet från fluidinloppet till fluidutloppet.
Helt allmänt kan sägas att uppfinningens förträngningspump erhåller sin flödesriktande verkan genom att den valda typen av munstyckselement uppvisar lägre tryckförluster när ele- mentet fungerar som diffusor än när det fungerar såsom dysa.
I detta sammanhang kan påpekas att med diffusor avses ett strömningspåverkande don eller organ som omvandlar kinetisk energi hos en strömmande fluid till tryckenergi hos fluiden.
En dysa är i sin tur ett don eller ett organ som under ut- nyttjande av en tryckdifferens (över dysan) omvandlar tryck- energi hos den strömmande fluiden till kinetisk energi. 10 15 20 25 30 35 508 435 4 Under förträngningspumpens insugningsfas (då pumpkammarvoly- men ökar) fungerar alltså det uppfinningsmässiga munstycks- elementet på pumpens inloppssida såsom diffusor med lägre flödesmotstånd än det på pumpens utloppssida såsom dysa samtidigt fungerande uppfinningsmässiga munstyckselementet.
Härav följer att en större fluidvolym insuges i pumpkammaren via inloppsdiffusorn än via utloppsdysan under nämnda insug- ningsfas. Under pumpens därpå följande förträngningsfas (“pumpfas") kommer munstyckselementet på inloppssidan i stället att fungera såsom dysa med högre flödesmotstånd än det såsom diffusor samtidigt fungerande munstyckselementet på pumpens utloppssida. Detta medför att en större fluidvolym tvingas ut ur pumpkammaren via utloppsdiffusorn än via in- loppsdysan under sistnämnda förträngnings- eller pumpfas.
Resultatet under en hel period (arbetscykel för pumpen) blir därigenom att en nettovolym har förflyttats genom pumpen, d.v.s. pumpats, från inloppssidan till utloppssidan, trots att de båda munstyckselementen i och för sig tillåter fluid- flöde i sina båda möjliga genomströmningsriktningar.
Munstyckselementen vid pumpkammarens inlopp och utlopp bör företrädesvis vara så inriktade att elementens diffusorrikt- ningar överensstämmer med flödesriktningen för det pulserande volymflödet, från fluidinloppet till fluidutloppet. Pumpkam- marens elastiskt deformerbara väggparti utgörs lämpligen av ett eller flera flexibla membran vars rörelse och formändring åstadkommes medelst lämpliga drivorgan som bibringar membra- net/membranen en oscillerande rörelse som får den i pumpkam- maren inneslutna fluidvolymen att pulsera. Ett sådant driv- organ kan exempelvis utgöra del av en drivenhet som arbetar med på piezoelektrisk, elektrostatisk, elektromagnetisk eller elektrodynamisk väg åstadkommen drivning. Det är också möj- ligt att använda termiskt exciterade membran.
Själva pumphuset med tillhörande munstyckselement kan utföras så att de utgör integrerade delar av ett odelat konstruk- tionsstycke. Förträngningspumpen enligt uppfinningen kan 10 15 20 25 30 35 s 508 435 också tillverkas genom ett mikrobearbetningsförfarande; pumpkonstruktionen kan exempelvis vara tillverkad av kisel.
En pump enligt uppfinningen kan lämpligen tillverkas med hjälp av mikrobearbetningsmetoder, i synnerhet om pumpen ges ett planart utförande där munstyckselement och kavitet ligger i ett och samma plan. Munstyckselementen bör då vara plana, d.v.s. ha ett rektangulärt tvärsnitt.
Med mikrobearbetningsmetoder avses huvudsakligen de tekniker som används vid framställning av mikroelektronikkomponenter.
Detta tillverkningskoncept består i att utifrån ett bassubst- rat (vanligtvis av monokristallint kisel) tillsammans med planar, litografiskt definierad, tunnfilmsteknologi massfram- ställa små identiskt lika komponenter med avancerade funktio- ner. I mikrobearbetningsbegreppet inrymmes även olika spe- cialprocesser som exempelvis anisotrop kiseletsning av mono- kristallint kisel.
Som exempel på lämpliga billiga massframställningsmetoder kan också nämnas olika slag av förfaranden för formgjutning av munstyckselement och kavitet. Tänkbara lämpliga material är olika typer av polymermaterial, såsom plaster och elaster.
Förträngningspumpen enligt uppfinningen kan - i likhet med konventionella membranpumpar - förses med tryckutjämnande buffertkamrar såväl vid pumpens trycksida som vid dess sug- sida. Med sådana buffertkamrar kan tryckpulserna hos det pulserande flödet reduceras i betydande utsträckning.
De ovan angivna ändamålen uppnås effektivt med en förträng- ningspump enligt uppfinningen i första hand därför att den nya pumpkonstruktionen inte behöver ha några rörliga delar varigenom pumpen kan göras enkel och robust och därmed säker- ställa hög tillförlitlighet. Pumpen enligt uppfinningen kan optimeras för pumpning av antingen gas eller vätska, och densamma kan få innehålla fluidburna partiklar utan att detta äventyrar pumpens funktion eller tillförlitlighet. 10 15 20 25 30 35 508 435 6 En förträngningspump enligt föreliggande uppfinning kan utan tvekan komma till användning inom ett flertal tillämpnings- områden. Som exempel på tänkbara sådana kan nämnas användande av pumpen såsom bränslepump eller bränsleinsprutare vid vissa typer av förbränningsmotorer. Speciellt vid tillämpningar som kräver en pump med hög tillförlitlighet och ringa storlek kan en pump enligt uppfinningen vara mycket lämplig. Som ett exempel på en sådan användning kan nämnas inplanterbara pumpar för exempelvis insulindosering. Även fluidhantering i analysinstrument för den kemiska industrin och medicinska tillämpningar kan med fördel ske med en pump enligt uppfin- ningen.
Kort beskrivning av ritningsfigurerna Uppfinningen kommer nu att förklaras ytterligare nedan och exemplifieras under hänvisning till några på de bifogade ritningarna visade utföringsexempel.
Därvid visar: fig. la och fig. lb insugningsfasen respektive pumpfasen för ett schematiskt visat principutförande av en pump enligt uppfinningen, sedd i vertikalsnitt; fig. 2a och fig. 2b visar tvärsnitt genom en konventionell, backventilförsedd membranpump i dess insugningsfas respektive pumpfas; fig. 3a och fig. 3b visar i längdsnitt ett munstyckselement enligt uppfinningen när detsamma genomströmmas i sin diffu- sorriktning respektive dysariktning; fig. 4 visar i diametralt tvärsnitt en första utföringsform av en pump enligt uppfinningen; fig. 5 visar i tvärsnitt och perspektivisk framställning en annan utföringsform av en pump enligt uppfinningen; fig. 6 visar i tvärsnitt en tredje utföringsform av en pump enligt uppfinningen; fig. 7 visar, i större skala, det munstyckselement som är anordnat på inloppssidan (inom cirkeln S) av den i fig. 6 visade pumpen; och 10 15 20 25 35 7 sus 435 fig. 8 visar slutligen schematiskt och i perspektiv en planart utförd pump vars munstyckselement uppvisar rektangu- lära tvärsnitt.
Beskrivning av utföringsexempel I fig. la, lb visas schematiskt ett tvärsnitt genom en såsom membranpump utförd förträngningspump enligt uppfinningen.
Pumpen omfattar ett pumphus 2 med en invändig pumpkammare 4 vilken har varierbar volym och vilkens begränsningsväggar omfattar ett elastiskt deformerbart väggparti 6 som i det visade utförandet är ett flexibelt membran. Membranväggpar- tiets 6 omväxlande utböjning (fig. la) och intryckning (fig. lb) medför variering av pumpkammarvolymen och åstadkommer därigenom pumpens förträngningsverkan. På pumpens sugsida finns ett fluidinlopp 8 och på pumpens trycksida finns ett motsvarande fluidutlopp 10. Såväl fluidinloppet 8 som fluid- utloppet 10 omfattar ett munstyckselement 12 som är så ut- format och dimensionerat att det för samma volymflöde upp- visar större tryckfall i den ena genomströmningsriktningen (dysariktningen) än i den motsatta, andra genomströmnings- riktningen (diffusorriktningen). Munstyckselementen 12 vid pumpens inloppssida (sugsida) och utloppssida (trycksida) skiljer sig således endast i så måtto att de är omvänt an- slutna till pumpkammaren 4. I fig. la visas pumpen under sin insugningsfas då membranväggpartiet 6 utböjes i riktningen A med ty åtföljande ökning av pumpkammarens 4 volym. I fig. lb visas pumpen under sin pumpfas eller förträngningsfas när väggpartiet 6 intryckes i riktningen B med ty åtföljande minskning av kammarens 4 volym. In- och utflödet av den pumpade fluiden vid pumpens inlopp och utlopp har åskådlig- gjorts med fyllda pilar Qi och Qo under insugningsfasen (fig. la) respektive pumpfasen (fig. lb). Under insugningsfasen åstadkommer munstyckselementet 12 vid inloppet 8 en diffusor- verkan samtidigt som munstyckselementet 12 vid utloppet 10 åstadkommer en dysaverkan. Under pumpfasen åstadkommer mun- styckselementet 12 vid inloppet en dysaverkan medan mun- styckselementet 12 vid utloppet åstadkommer en diffusorver- kan. Under en komplett pumpcykel (insugningsfas + pumpfas) 10 15 20 25 30 35 508 435 8 åstadkommer pumpen alltså ett nettoflöde från inloppet 8 till utloppet 10.
I fig. 2a och 2b visas för jämförelses skull en konventionell membranpump 14 med passiva klaff-backventiler 16, 18 i inlop- pet 8' respektive utloppet 10'. Dessa backventiler är passivt arbetande klaffventiler som omställes mellan öppet och stängt läge enbart av den pumpade fluidens rörelse och tryck, om man bortser från tyngdkraftens inverkan på ventilklaffarna. Under insugningsfasen (fig. 2a) när kammarens 4 volym ökar är ventilen 16 öppen och ventilen 18 stängd. Under pumpfasen (fig. 2b) då kammarens 4 volym minskar är backventilen 16 stängd och backventilen 18 öppen.
I fig. 3a och 3b visas ett exempel på ett munstyckselement 12 enligt uppfinningen när detsamma genomströmmas i sin diffu- sorriktning (fig. 3a) respektive dysariktning (fig. 3b).
Munstyckselementet 12 är som synes utfört såsom en rotations- symmetrisk kropp 20 med central genomströmningspassage 22.
Genomströmningspassagen 22 sträcker sig från ett inlopps- område 24 till ett utloppsområde 26. I fig. 3a utgör passagen 22 ett diffusorområde, medan passagen 22 i fig. 3b utgör ett dysaområde. I det sistnämnda fallet utgörs inloppsområdet av den koniska mynningen 28 till passagen 22, medan utloppsområ- det utgörs av passagens andra ändområde 30, d.v.s. den om- kastade situationen jämfört med den i fig. 3a visade.
Hänvisning sker nu till fig. 4 som visar en membranpump enligt uppfinningen. Pumphuset 2 utgörs i detta fall av en cirkulär skiva eller platta med en grund, cirkulär urtagning 32 som bildar pumpkammaren 4 i huset 2. Vid botten av urtag- ningen 32 finns dels en huset 2 genomgående inloppsöppning 34, dels en huset genomgående utloppsöppning 36. Vid under- sidan 38 av huset 2 är fastlimmade munstyckselement 12 mitt för inloppsöppningen 34 respektive utloppsöppningen 36. De båda munstyckselementen 12 utgör alltså pumpens fluidinlopp 8 och fluidutlopp 10. Vid ovansidan 40 av huset 2 är pumpkamma- ren 4 tillsluten medelst pumpens deformerbara väggparti 6, som är ett på pumphuset 2 fäst flexibelt membran. Mitt över 10 15 20 30 35 9 sus 435 pumpkammaren 4 är på membranets 6 utsida fäst en piezoelekt- risk kristallskiva 42 som utgör det drivorgan varmed membra- net 6 kan bibringas en oscillerande rörelse, som får den i pumpkammaren 4 inneslutna fluidvolymen att pulsera. Skivan eller drivorganet 42 utgör i detta fall del av en i övrigt inte närmare visad drivenhet som arbetar med på piezoelekt- risk väg alstrad drivning av väggpartiet 6. I princip för- sättes väggpartiet eller membranet 6 i svängning genom att en alternerande elektrisk spänning pålägges över den på membra- net exempelvis fastlimmade piezoelektriska kristallskivan 42.
Den för pumpens drivning lämpliga exciteringsfrekvensen för den piezoelektriska skivan 42 blir beroende av om den pumpade fluiden är en gas eller vätska. Vid en provad pumpprototyp visade sig en exciteringsfrekvens av storleksordningen 6 kHz vara lämplig för pumpning av luft, medan frekvensen 200 Hz visade sig vara lämplig för pumpning av vatten.
I fig. 5 visas en något annorlunda utföringsform av en för- trängningspump enligt uppfinningen. Den principiella skillna- den mellan utförandena enligt fig. 4 och fig. 5 hänför sig till placeringen och inriktningen av munstyckselementen 12 som bildar pumpens fluidinlopp 8 och fluidutlopp 10. Vid utförandet i fig. 5 ansluter munstyckselementen 12 radiellt och diametralt motstående till pumphuset 2. Elementens 12 centrala genomströmningspassager 22 står i detta fall i förbindelse med pumpkammaren 4 via radiella öppningar 44 och 46 vid pumpens inlopp 8 respektive utlopp 12.
I fig. 6 visas slutligen ett ytterligare utförande av en membranpump enligt uppfinningen. Pumpens hus 2 är i detta fall utfört såsom en cirkulär tryckdosa omfattande en övre del 48 och en undre del 50 med plana ändväggar 52 respektive 54 och cylindriska mantelväggar 56 respektive 58. Mantelväg- garna 56 och 58 ansluter från motsatta sidor till det ra- diellt yttersta kantpartiet av en membranvägg 60 av magne- tiskt material, vilken tillsammans med ändväggen 54 och mantelväggen 58 begränsar pumpkammaren 4 inom pumpens undre del 50. Inom pumpens övre del 48 finns en kammare 62 som inrymmer en elektromagnetisk drivenhet 64 varmed membran- 10 15 20 25 30 35 sus 435 m väggen 60 kan bibringas den oscillerande rörelse som krävs för pumpens drivning. Pumpens båda munstyckselement 12 är i detta fall monterade på i princip samma sätt som vid det i fig. 4 visade utförandet.
I fig. 7 visas i större skala det inom cirkeln S i fig. 6 visade fluidinloppet 8. Munstyckselementets 12 genomström- ningspassage 22 är i detta fall en svagt konisk kanal med "toppvinkeln" 26 = 5,4°.
Avslutningsvis skall framhållas att det finns två huvudtyper av diffusorgeometrier, nämligen konisk och planväggig, som kan användas för en pump enligt uppfinningen.
En konisk diffusor har ett ökande cirkulärt tvärsnitt, medan en plan diffusor har ett rektangulärt tvärsnitt med fyra plana väggar, varav två är parallella. De båda diffusor- typerna uppvisar ungefär samma diffusorkapacitet. Valet av diffusortyp för pumpen enligt uppfinningen är därför i prak- tiken närmast beroende på valet av tillverkningsförfarande.
I fig. 8 visas en för mikrobearbetningsförfaranden speciellt lämpad, planart utförd pump där munstyckselementen 12 är integrerade i ett och samma konstruktionsstycke som också utgör det pumpkammaren 4 på fyra sidor omgivande pumphuset 2.
Pumpkammaren 4 begränsas givetvis också av en övre respektive undre sidovägg, men i fig. 8 visas för enkelhets skull endast den övre sídoväggen som är betecknad 66, och som i figuren visas avlyft från pumphuset 2. En av dessa sidoväggar utgör pumpens rörliga/deformerbara väggparti.
Slutligen bör framhållas att uppfinningen självfallet inom ramen för nedanstående patentkrav kan ges många varierande utföranden som i olika hänseenden skiljer sig från de utfö- ringsformer som beskrivits ovan under hänvisning till rit- ningsfigurerna.

Claims (7)

10 15 20 25 30 08 435 H 5 Patentkrav
1. Förträngriingspump med ett pumphus (2) innehållande en pumpkamrnare (4) med varierbar volym, vilken pumpkannnares begränsningsväggar innefattar åtminstone ett rörligt och/eller deformerbart väggparti (6; 60) såsom ett flexibelt membran vars rörelse och formändring medför variering av pumpkammarvolymen och därigenom åstadkommer för- trängningsverkan, och vilken pumpkammare (4) är försedd med ett fluidinlopp (8) på pum- av att pens sugsida och ett fluidutlopp (10) på dess trycksida, k ä n n e t e c k n a d fluidinloppet (8) och fluidutloppet (10) vardera innefattar ett orörligt munstyckselement 7 (12), vilket utgör en dysa i sin ena genomströmningsriktning och en diffusor i sin motsatta, andra genomströrruiingsriktriing, varvid tryckfallet över elementet (12) är större i dysrikt- ningen än i diffusorriktriingen för ett och samma volymflöde, och att munstyckselementen (12) är så inriktade att de bildar diffusorer sett i riktningen för pumpens nettovolymflöde från fluidinloppet (8) till fluidutloppet (10).
2. Pump enligt krav Il, k ä n n e t e c k n a d av att munstyckselementen (12) uppvisar en rundad utformning av sina ingångsorriråden.
3. Pump enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a d av att pumpkammarens (4) elastiskt deformerbara väggparti (6; 60) utgöres av ett eller flera flexibla membran, varvid till respektive membran är anslutet ett diivorgan (42) varmed membranet kan bibringas en oscillerande rörelse som får den i pumpkarnmaren (4) inneslutna fluidvolymen att pulsera.
4. Pump enligt krav 3, k ä n n e t e c k n a d av att drivorganet (42) utgör del av en drivenhet (64) varvid den av drivenheten (64) åstadkomna svängningsfrekvensen för mem- branets (60) oscillerande rörelse är vald att ge mekanisk svängningsresonans som är beroende av dels mekanisk fjädring i det oscillerande membranet (60) samt eventuella till membranet kopplade fjädrande element, dels den pumpade fluidens massa i respektive munstyckselement (12) med tillhörande tilledningar.
5. Pump enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att åtminstone del av pumphuset (2) och tillhörande munstyckselement (12) utgör integrerade delar av ett och samma konstruktionsstycke.
6. Pump enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att den utgör en medelst ett mikrobearbetningsförfarande tillverkad pumpkonstruktion av kisel.
7. Pump enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att på purnpens tryck- och/eller sugsida är inkopplad(e) i och för sig förut kända tryckutjärnnande buffertkain- rar, som tjänar till att reducera tryckpulsema hos det pulserande flödet.
SE9300604A 1993-02-23 1993-02-23 Förträngningspump av membranpumptyp SE508435C2 (sv)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9300604A SE508435C2 (sv) 1993-02-23 1993-02-23 Förträngningspump av membranpumptyp
EP19940908551 EP0760905B1 (en) 1993-02-23 1994-02-21 Displacement pump of diaphragm type
PCT/SE1994/000142 WO1994019609A1 (en) 1993-02-23 1994-02-21 Displacement pump of diaphragm type
DE69420744T DE69420744T2 (de) 1993-02-23 1994-02-21 Verdrängungspumpe des membrantyps
JP51889594A JP3536860B2 (ja) 1993-02-23 1994-02-21 容積可変型ポンプ
US08/834,538 US6203291B1 (en) 1993-02-23 1997-04-04 Displacement pump of the diaphragm type having fixed geometry flow control means

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9300604A SE508435C2 (sv) 1993-02-23 1993-02-23 Förträngningspump av membranpumptyp

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9300604D0 SE9300604D0 (sv) 1993-02-23
SE9300604L SE9300604L (sv) 1994-08-24
SE508435C2 true SE508435C2 (sv) 1998-10-05

Family

ID=20388999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9300604A SE508435C2 (sv) 1993-02-23 1993-02-23 Förträngningspump av membranpumptyp

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6203291B1 (sv)
EP (1) EP0760905B1 (sv)
JP (1) JP3536860B2 (sv)
DE (1) DE69420744T2 (sv)
SE (1) SE508435C2 (sv)
WO (1) WO1994019609A1 (sv)

Families Citing this family (118)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4422743A1 (de) * 1994-06-29 1996-01-04 Torsten Gerlach Mikropumpe
US5876187A (en) * 1995-03-09 1999-03-02 University Of Washington Micropumps with fixed valves
US6227809B1 (en) 1995-03-09 2001-05-08 University Of Washington Method for making micropumps
DE19648694C1 (de) * 1996-11-25 1998-04-30 Vermes Mikrotechnik Gmbh Bidirektionale dynamische Mikropumpe
DE59707378D1 (de) * 1996-12-11 2002-07-04 Gesim Ges Fuer Silizium Mikros Mikroejektionspumpe
US6682500B2 (en) * 1998-01-29 2004-01-27 David Soltanpour Synthetic muscle based diaphragm pump apparatuses
US6589198B1 (en) * 1998-01-29 2003-07-08 David Soltanpour Implantable micro-pump assembly
GB9808836D0 (en) * 1998-04-27 1998-06-24 Amersham Pharm Biotech Uk Ltd Microfabricated apparatus for cell based assays
GB9809943D0 (en) * 1998-05-08 1998-07-08 Amersham Pharm Biotech Ab Microfluidic device
SE514735C2 (sv) * 1998-12-11 2001-04-09 Ericsson Telefon Ab L M Anordning för ökande av värmeavgivning
US7261859B2 (en) * 1998-12-30 2007-08-28 Gyros Ab Microanalysis device
JP2000314381A (ja) * 1999-03-03 2000-11-14 Ngk Insulators Ltd ポンプ
SE9901100D0 (sv) 1999-03-24 1999-03-24 Amersham Pharm Biotech Ab Surface and tis manufacture and uses
US6432721B1 (en) 1999-10-29 2002-08-13 Honeywell International Inc. Meso sniffer: a device and method for active gas sampling using alternating flow
SE9904802D0 (sv) * 1999-12-23 1999-12-23 Amersham Pharm Biotech Ab Microfluidic surfaces
SE0000300D0 (sv) 2000-01-30 2000-01-30 Amersham Pharm Biotech Ab Microfluidic assembly, covering method for the manufacture of the assembly and the use of the assembly
SE0001790D0 (sv) * 2000-05-12 2000-05-12 Aamic Ab Hydrophobic barrier
CA2420948A1 (en) * 2000-08-31 2002-03-07 Jason R. Mondro Micro-fluidic pump
WO2002029106A2 (en) * 2000-10-03 2002-04-11 California Institute Of Technology Microfluidic devices and methods of use
SE0004296D0 (sv) * 2000-11-23 2000-11-23 Gyros Ab Device and method for the controlled heating in micro channel systems
DE10065855A1 (de) 2000-12-22 2002-07-04 Bsh Bosch Siemens Hausgeraete Dosiervorrichtung zur Förderung geringer Stoffmengen
US6699018B2 (en) * 2001-04-06 2004-03-02 Ngk Insulators, Ltd. Cell driving type micropump member and method for manufacturing the same
US6653625B2 (en) * 2001-03-19 2003-11-25 Gyros Ab Microfluidic system (MS)
US6623256B2 (en) 2001-02-21 2003-09-23 Seiko Epson Corporation Pump with inertance value of the entrance passage being smaller than an inertance value of the exit passage
US7429354B2 (en) 2001-03-19 2008-09-30 Gyros Patent Ab Structural units that define fluidic functions
JP4323806B2 (ja) 2001-03-19 2009-09-02 ユィロス・パテント・アクチボラグ 反応可変要素の特徴付け
US6752601B2 (en) * 2001-04-06 2004-06-22 Ngk Insulators, Ltd. Micropump
US20060001727A1 (en) * 2001-04-19 2006-01-05 Haas William S Controllable thermal warming device
US20050007406A1 (en) * 2001-04-19 2005-01-13 Haas William S. Controllable thermal warming devices
US7022950B2 (en) * 2001-04-19 2006-04-04 Haas William S Thermal warming devices
TW561223B (en) * 2001-04-24 2003-11-11 Matsushita Electric Works Ltd Pump and its producing method
JP2005508675A (ja) * 2001-08-08 2005-04-07 ケヴィン アール. オートン, 電気導電的な体重減少のための装置および方法
US6919058B2 (en) 2001-08-28 2005-07-19 Gyros Ab Retaining microfluidic microcavity and other microfluidic structures
EP1295647A1 (en) * 2001-09-24 2003-03-26 The Technology Partnership Public Limited Company Nozzles in perforate membranes and their manufacture
US20050214442A1 (en) * 2001-11-27 2005-09-29 Anders Larsson Surface and its manufacture and uses
US7238255B2 (en) * 2001-12-31 2007-07-03 Gyros Patent Ab Microfluidic device and its manufacture
US7221783B2 (en) * 2001-12-31 2007-05-22 Gyros Patent Ab Method and arrangement for reducing noise
JP4221184B2 (ja) * 2002-02-19 2009-02-12 日本碍子株式会社 マイクロ化学チップ
SE520340C2 (sv) * 2002-03-14 2003-06-24 Billy Nilson Ambulatorisk membranpump
SG106067A1 (en) * 2002-03-27 2004-09-30 Inst Of High Performance Compu Valveless micropump
EP1490292A1 (en) * 2002-03-31 2004-12-29 Gyros AB Efficient mmicrofluidic devices
US6955738B2 (en) * 2002-04-09 2005-10-18 Gyros Ab Microfluidic devices with new inner surfaces
US6877528B2 (en) * 2002-04-17 2005-04-12 Cytonome, Inc. Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel
US6976590B2 (en) 2002-06-24 2005-12-20 Cytonome, Inc. Method and apparatus for sorting particles
US6808075B2 (en) 2002-04-17 2004-10-26 Cytonome, Inc. Method and apparatus for sorting particles
US9943847B2 (en) 2002-04-17 2018-04-17 Cytonome/St, Llc Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel
US20050277195A1 (en) * 2002-04-30 2005-12-15 Gyros Ab Integrated microfluidic device (ea)
EP1509760A1 (en) * 2002-05-31 2005-03-02 Gyros AB Detector arrangement based on surface plasmon resonance
JP4396095B2 (ja) 2002-06-03 2010-01-13 セイコーエプソン株式会社 ポンプ
JP4378937B2 (ja) * 2002-06-03 2009-12-09 セイコーエプソン株式会社 ポンプ
US7011507B2 (en) * 2002-06-04 2006-03-14 Seiko Epson Corporation Positive displacement pump with a combined inertance value of the inlet flow path smaller than that of the outlet flow path
US6827559B2 (en) * 2002-07-01 2004-12-07 Ventaira Pharmaceuticals, Inc. Piezoelectric micropump with diaphragm and valves
JP2004042231A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Minolta Co Ltd マイクロチップ
US7048519B2 (en) * 2003-04-14 2006-05-23 Agilent Technologies, Inc. Closed-loop piezoelectric pump
US20050042770A1 (en) * 2003-05-23 2005-02-24 Gyros Ab Fluidic functions based on non-wettable surfaces
EP1515043B1 (en) * 2003-09-12 2006-11-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Diaphram pump for cooling air
US7776272B2 (en) * 2003-10-03 2010-08-17 Gyros Patent Ab Liquid router
KR100519970B1 (ko) * 2003-10-07 2005-10-13 삼성전자주식회사 밸브리스 마이크로 공기공급장치
WO2005060593A2 (en) 2003-12-10 2005-07-07 Purdue Research Foundation Micropump for electronics cooling
CN1306165C (zh) * 2004-01-16 2007-03-21 北京工业大学 一种往复式可连续变锥角无阀泵
US20090010819A1 (en) * 2004-01-17 2009-01-08 Gyros Patent Ab Versatile flow path
US8592219B2 (en) * 2005-01-17 2013-11-26 Gyros Patent Ab Protecting agent
JP4645159B2 (ja) * 2004-11-02 2011-03-09 コニカミノルタホールディングス株式会社 マイクロポンプ
US9260693B2 (en) 2004-12-03 2016-02-16 Cytonome/St, Llc Actuation of parallel microfluidic arrays
EP1849005A1 (en) * 2005-01-17 2007-10-31 Gyros Patent Ab A method for detecting an at least bivalent analyte using two affinity reactants
US20060207752A1 (en) * 2005-03-15 2006-09-21 Inventec Corporation Micro liquid cooling device
CN100434728C (zh) * 2005-04-07 2008-11-19 北京大学 微型扩散泵及其制备方法
GB0508194D0 (en) * 2005-04-22 2005-06-01 The Technology Partnership Plc Pump
US7645177B2 (en) * 2005-05-07 2010-01-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electroluminescent panel with inkjet-printed electrode regions
US20060269427A1 (en) * 2005-05-26 2006-11-30 Drummond Robert E Jr Miniaturized diaphragm pump with non-resilient seals
US8210830B2 (en) * 2005-07-27 2012-07-03 Kyushu Institute Of Technology Valveless micropump
US8308452B2 (en) * 2005-09-09 2012-11-13 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Dual chamber valveless MEMS micropump
US20070085449A1 (en) * 2005-10-13 2007-04-19 Nanyang Technological University Electro-active valveless pump
CN100356061C (zh) * 2006-02-14 2007-12-19 南京航空航天大学 肋条式微型无阀泵
CN100540896C (zh) * 2006-08-11 2009-09-16 中国科学院电子学研究所 一种新型自吸微型泵
GB2446247B (en) * 2007-11-27 2008-12-17 Robert Joseph Wagener Homeostatic insulin pump
US20090232681A1 (en) * 2008-03-13 2009-09-17 Korea Institute Of Machinery & Materials Ultrasonic piezoelectric pump
GB0804739D0 (en) 2008-03-14 2008-04-16 The Technology Partnership Plc Pump
DE102008041542A1 (de) * 2008-08-26 2010-03-04 Robert Bosch Gmbh Mikropumpe
TWI392639B (zh) * 2008-10-31 2013-04-11 Univ Nat Pingtung Sci & Tech 電磁式微幫浦
WO2010093383A1 (en) * 2009-02-12 2010-08-19 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Magnetically driven micropump
KR101065387B1 (ko) * 2009-03-19 2011-09-16 삼성에스디아이 주식회사 연료 전지 시스템 및 연료 전지 시스템의 구동 방법
CN102459900A (zh) 2009-06-03 2012-05-16 技术合伙公司 流体盘形泵
US8821134B2 (en) 2009-06-03 2014-09-02 The Technology Partnership Plc Fluid disc pump
JP5623515B2 (ja) * 2009-06-03 2014-11-12 ザ テクノロジー パートナーシップ ピーエルシーThetechnology Partnership Plc ディスク状キャビティを備えるポンプ
US8297947B2 (en) 2009-06-03 2012-10-30 The Technology Partnership Plc Fluid disc pump
TWI564483B (zh) * 2009-12-30 2017-01-01 國立臺灣大學 無閥薄膜式微幫浦
US8646479B2 (en) 2010-02-03 2014-02-11 Kci Licensing, Inc. Singulation of valves
US8371829B2 (en) 2010-02-03 2013-02-12 Kci Licensing, Inc. Fluid disc pump with square-wave driver
JP5438075B2 (ja) * 2010-08-25 2014-03-12 ポステック アカデミー−インダストリー ファンデーション マイクロポンプの作動方法
TWI448414B (zh) * 2010-12-31 2014-08-11 Univ Nat Taiwan 微型幫浦
GB201202346D0 (en) 2012-02-10 2012-03-28 The Technology Partnership Plc Disc pump with advanced actuator
AU2013230494B2 (en) 2012-03-07 2016-11-24 Solventum Intellectual Properties Company Disc pump with advanced actuator
CN102691647B (zh) * 2012-05-02 2015-07-08 江苏大学 一种轴对称椭圆管无阀压电泵
US20140166134A1 (en) * 2012-12-14 2014-06-19 Intermolecular, Inc. Pump with Reduced Number of Moving Parts
CN103573593B (zh) * 2013-11-01 2015-11-11 刘勇 压电柔性隔膜泵
GB201322103D0 (en) 2013-12-13 2014-01-29 The Technology Partnership Plc Fluid pump
US9855186B2 (en) 2014-05-14 2018-01-02 Aytu Women's Health, Llc Devices and methods for promoting female sexual wellness and satisfaction
CN107580509B (zh) * 2015-05-18 2021-06-15 史密夫及内修公开有限公司 负压伤口治疗设备和方法
EP3334472B1 (en) 2015-08-13 2023-11-22 Smith&Nephew, Inc. Systems and methods for applying reduced pressure therapy
US10634130B2 (en) * 2016-09-07 2020-04-28 Sung Won Moon Compact voice coil driven high flow fluid pumps and methods
CA3053299A1 (en) 2017-02-15 2018-08-23 Smith & Nephew Pte. Limited Negative pressure wound therapy apparatuses and methods for using the same
EP3687592B1 (en) 2017-09-29 2025-09-03 T.J. Smith & Nephew, Limited Negative pressure wound therapy apparatus with removable panels
GB201813282D0 (en) 2018-08-15 2018-09-26 Smith & Nephew System for medical device activation and opertion
GB201804347D0 (en) 2018-03-19 2018-05-02 Smith & Nephew Inc Securing control of settings of negative pressure wound therapy apparatuses and methods for using the same
GB201806988D0 (en) 2018-04-30 2018-06-13 Quintanar Felix Clarence Power source charging for negative pressure wound therapy apparatus
WO2019211731A1 (en) 2018-04-30 2019-11-07 Smith & Nephew Pte. Limited Systems and methods for controlling dual mode negative pressure wound therapy apparatus
CN112384310A (zh) * 2018-05-02 2021-02-19 超级触觉资讯处理有限公司 用于改进的声传输效率的挡板结构体
GB201808438D0 (en) 2018-05-23 2018-07-11 Smith & Nephew Systems and methods for determining blockages in a negative pressure wound therapy system
TWI678016B (zh) * 2018-11-22 2019-11-21 國家中山科學研究院 電池模組及其液態冷卻裝置
GB201914283D0 (en) 2019-10-03 2019-11-20 Smith & Nephew Apparatuses and methods for negative pressure wound therapy
CN111828290B (zh) * 2020-07-20 2022-04-19 广州大学 一种无阀压电泵
GB2583880A (en) 2020-07-31 2020-11-11 Ttp Ventus Ltd Actuator for a resonant acoustic pump
JP2024015457A (ja) * 2020-12-08 2024-02-02 ソニーグループ株式会社 流体制御装置、及び電子機器
CN112943585A (zh) * 2021-01-27 2021-06-11 江苏海洋大学 一种最速降线形流管结构及具有其的无阀压电泵
CN117460922A (zh) * 2021-06-18 2024-01-26 三菱电机株式会社 流路切换装置和设置有该流路切换装置的制冷循环装置
JP2023183637A (ja) 2022-06-16 2023-12-28 ローム株式会社 マイクロポンプ
US20240125315A1 (en) * 2022-10-14 2024-04-18 ALine, Inc Microfluidic pump

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH280618A (de) * 1949-12-14 1952-01-31 Sigg Hans Vibrationspumpe.
US3657930A (en) * 1969-06-24 1972-04-25 Bendix Corp Piezoelectric crystal operated pump to supply fluid pressure to hydrostatically support inner bearings of a gyroscope
SE378029B (sv) * 1973-04-25 1975-08-11 Original Odhner Ab
DE2410072A1 (de) 1974-03-02 1975-09-11 Bosch Gmbh Robert Elektromagnetische pumpe
US3972656A (en) * 1974-12-16 1976-08-03 Acf Industries, Incorporated Fuel pump having pulsating chambers
SU846786A1 (ru) 1978-12-25 1981-07-15 Каунасский Политехнический Институтим. Ahtahaca Снечкуса Диафрагменный насос
JPS59136265A (ja) * 1983-01-25 1984-08-04 Sharp Corp 液体供給装置
AT378998B (de) * 1983-11-24 1985-10-25 Springer Ingrid Ventillose elektromagnetische fluessigkeitspumpe
US4581624A (en) * 1984-03-01 1986-04-08 Allied Corporation Microminiature semiconductor valve
US4822250A (en) * 1986-03-24 1989-04-18 Hitachi, Ltd. Apparatus for transferring small amount of fluid
SE467220B (sv) * 1987-04-10 1992-06-15 Graenges Aluminium Ab Anordning foer pumpning av vaetskor med hjaelp av organ foer cyklisk variation av trycket i pumprummet
EP0304466B1 (en) * 1987-03-09 1990-11-07 Gränges Aluminium Aktiebolag Device for liquid pumping
US4911616A (en) * 1988-01-19 1990-03-27 Laumann Jr Carl W Micro miniature implantable pump
US4826131A (en) * 1988-08-22 1989-05-02 Ford Motor Company Electrically controllable valve etched from silicon substrates
KR910012538A (ko) * 1989-12-27 1991-08-08 야마무라 가쯔미 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
EP0465229B1 (en) * 1990-07-02 1994-12-28 Seiko Epson Corporation Micropump and process for manufacturing a micropump
DE4220226A1 (de) * 1992-06-20 1993-12-23 Bosch Gmbh Robert Magnetostrikiver Wandler
US5876187A (en) * 1995-03-09 1999-03-02 University Of Washington Micropumps with fixed valves

Also Published As

Publication number Publication date
JP3536860B2 (ja) 2004-06-14
EP0760905B1 (en) 1999-09-15
JPH08506874A (ja) 1996-07-23
DE69420744D1 (de) 1999-10-21
DE69420744T2 (de) 2000-06-29
EP0760905A1 (en) 1997-03-12
SE9300604L (sv) 1994-08-24
SE9300604D0 (sv) 1993-02-23
WO1994019609A1 (en) 1994-09-01
US6203291B1 (en) 2001-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE508435C2 (sv) Förträngningspump av membranpumptyp
Feng et al. Piezoelectrically actuated dome-shaped diaphragm micropump
Woias Micropumps: summarizing the first two decades
Olsson Valve-less diffuser micropumps
Forster et al. Design, fabrication and testing of fixed-valve micro-pumps
US9523358B2 (en) Magnetically driven micropump
Zhang et al. Advances in valveless piezoelectric pump with cone-shaped tubes
Ren et al. Elastic string check valves can efficiently heighten the piezoelectric pump’s working frequency
He et al. A novel valveless piezoelectric micropump with a bluff-body based on Coanda effect
Yang et al. A valveless piezoelectric micropump with a Coanda jet element
Le Van et al. Simulation and experimental study of a synthetic jet valveless pump
Nguyen et al. Numerical simulation of pulse-width-modulated micropumps with diffuser/nozzle elements
US8210830B2 (en) Valveless micropump
Lee et al. A study of PZT valveless micropump with asymmetric obstacles
Johari et al. Piezoelectric micropump with nanoliter per minute flow for drug delivery systems
Fan et al. Development of a piezoelectric pump with unfixed valve
Kim et al. Experimental and numerical studies on the performance of a polydimethylsiloxane valveless micropump
Dereshgi Design of novel micro-pumps for mechatronic applications
Ma et al. Miniature tubular centrifugal piezoelectric pump utilizing wobbling motion
Hwang et al. Experimental investigation on the design of nozzle/diffuser for micropumps
Girija Sravani et al. Design and Performance Analysis of Micropump for Drug Delivery Using Normal and Stacked Ring Type Piezoelectric Actuator
Bhattacharjee Design and Fabrication of a Microfluidic System with Nozzle/Diffuser Micropump and Viscosity
Devarajan et al. Design of valve less micropump using preliminary characteristics from fluid flow
Jeong et al. Performance characteristics of a membrane driven variable flow rate micro-pump
Manzaneque et al. Xinyi Wang

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed