JPH08506874A - ダイアフラム型容積型ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 容積を変化させるポンプチャンバー（４）を含むポンプハウジング（２）を備えた変位ポンプ、その限定壁は可動部分、またはダイアフラム（６）を含み、その運動及び／または変形はポンプチャンバー容積を変化させる。そのポンプチャンバーはポンプの吸入側に流体入口（８）と、その圧力側に流体出口（１０）とを備えている。流体入口（８）と流体出口（１０）の両方、またはそれらの何れか一方だけは、同じ流れに対して、一方の流れ方向（ノズル方向）での構成要素上の圧力降下はその反対の流れ方向（拡散方向）におけるよりも大きくなる圧縮構成要素（１２）を含む。駆動手段（４２）はダイアフラム（６）に結合される、それによりダイアフラムは振動させられるので、ポンプチャンバー（４）内の流体容積が脈打たされて、ポンプを通じて流体の正味流れを生成することが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】 ダイアフラム型容積型ポンプ 本発明は、添付された請求の範囲１の前文で説明されるタイプの変位（容積型 ）ポンプに関する。従来技術 この一般型の変位ポンプは通常ダイアフラムポンプと呼ばれる。そのようなポ ンプは、可変容積のポンプチャンバー（ポンプキャビティ）を含むポンプハウジ ングを有する。ポンプチャンバーは、例えば柔軟性ダイアフラムの形の、少なく とも一枚の伸縮的に変形可能な壁部分を含む壁で限定され、それは適当な種類の アクチュエーターにより振動運動が与えられる。ポンプの吸入側には、ポンプチ ャンバーへの流体入口があり、そしてその圧力側には、ポンプチャンバーからの 流体出口がある。その入口と出口を流れる流体はチェック弁により制御される。 これらのチェック弁は、多数の異なるタイプのものであっても良い。例えば、チ ェック弁は、流れ防止構成要素がボール、または蝶番付きフラップであるところ で使用できる。チェック弁は、吸入段階中（ポンプチャンバーの容積が増加して いる時）に流体入口のチェック弁が開き、そして流体出口のチェック弁が閉じる のに対して、ポンピング段階中（ポンプチャンバーの容積が減少している時）に 流体入口弁が閉じて、流体出口弁が開くように流体入口と流体出口とに配置され る。柔軟性ダイアフラムの運動と形状変化はポンプチャンバーの容積を変化させ るので、変位効果を創 り出す、それはチェック弁のおかげで、流体入口から流体出口への正味流れに、 故にポンプの圧力側（流体出口側）における脈流に変換される。 ポンプ流体の流れの方向と圧力とにより受動的に制御されるチェック弁を有す るポンプは、但し、そのようなポンプを使用する一定の用途、または分野におい て特に不都合となる一定の特性を有する。 そのような不都合の一例は、チェック弁上での非常に大きな圧力降下や、弁の 可動、流れ防止構成要素に対する摩耗や疲労損傷の危険性であり、それはポンプ の寿命や信頼性を低下させることとなる。主に液体を、特に敏感な流体をポンピ ングすることに対しては、可動弁構成要素がその流体を使用不能としたり、また はその特性に悪影響を及ぼすというおそれもある。発明の目的 上記用途や特別の利用分野に対して、チェック弁などの可動部品を完全に欠く か、または極端にそのような可動部を小数しか持たないポンプに対する明白な要 請がある。 故に、本発明の主な目的は、流体入口と流体出口、またはその何れかに全く弁 を用いること無く製造できる序論により説明されたタイプの変位ポンプを提供す ることである。 そのポンプは、液体と気体の両方をポンピングするために使用、且つ最適化で きる流体ポンプであるべきである。それはまた、例えば固体粒子を含有する液体 などの流動性粒子を含有する流体をポンピングするために使用可能でなければな らない。本発明の説明 上記目的は、流体入口と流体出口の少なくとも一方が、同流れに対して、一方 の流れ方向、ノズル方向における構成要素上での圧力降下がその反対の他方の流 れ方向、拡散方向におけるよりも大きくなる圧縮構成要素を含むという事実によ る本発明に従って達成される。 特に、新しいタイプの変位ポンプのための特徴は、「固定」形状を有する圧縮 構成要素が、例えば既知タイプの膜ポンプに使用されるチェック弁の代りに使用 されることである。 請求の範囲１による変位ポンプの更なる展開と好適形態は、請求の範囲２−９ で開示された特徴をも示すことが出来る。 本発明によるポンプに対して、壁部分の運動と形状の変化を通じてポンプチャ ンバーの容積を変化させる、その壁部分は一般に、それ自身が適当に弾力的であ る（即ち、それ自体スプリング作用を引き起こす）が、スプリング、またはスプ リング装置を結合した可塑的に変形可能な壁部分を代りに使用することもまた可 能であり、それはその壁部分をその源位置に戻す。その壁部分は、往復運動する 堅牢性ピストンの端面であっても良い。本発明によるポンプは金属、重合体材料 、シリコン、または他の適当な材料からも製造可能である。 実際には、流体入口と流体出口の両方が説明されたタイプの個々の圧縮構成要 素から製造されることが適切である。流体入口の圧縮構成要素と流体出口の圧縮 構成要素との両方は、それらの拡散方向が流体入口から流体出口に流れるパルス 容積流の流れの方向と一致するように望ましくは配置される。 一般に、本発明の変位ポンプは、構成要素がノズルとして 機能する時よりも拡散部として機能する時により低い圧力損失となるという事実 による流れ指向効果が与えられると言われる。この点について、用語、拡散部は 流れている流体の運動エネルギーを流体内の圧力エネルギーに変換する流れに影 響を及ぼす構成要素、または手段を指すことが指摘される。ノズルは、同様に、 圧力差（ノズル上での）を利用すると同時に、流れる流体の圧力エネルギーを運 動エネルギーに変換する構成要素、または手段である。 変位ポンプの吸入段階中（ポンプチャンバー容積が増加する時）、ポンプの吸 入側の発明的圧縮構成要素は、ポンプの出口側のノズルと同時に機能して、発明 的圧縮構成要素よりも低い流体抵抗を有する拡散部として機能する。 同吸入段階中、出口ノズルを経るよりも入口拡散部を経る方がより大きな流体 容積がポンプチャンバー内に吸い込まれる。ポンプの次の変位段階中（「ポンピ ング段階」）、入口側の圧縮構成要素は、拡散部と同時に機能するポンプの出口 側の圧縮構成要素よりも高い流体抵抗を有するノズルとして代りに機能する。こ れは、前述の変位、またはポンピング段階中に入口ノズルを経るよりも出口拡散 部を経る方がより大きな容積の流体がポンプチャンバーから強制的に押し出され ることを意味する。従って、完了周期中（ポンプの運転サイクル）の結果は、両 方の圧縮構成要素が両方の可能な流れ方向への流体流をそれら自身により可能に するという事実にも関わらず、正味容積がポンプを通じて移動されている、即ち 入口側から出口側にポンプで送り出されていることとなる。ポンプチャンバーの 入口と出口における圧縮構成要素は、構 成要素の拡散部の方向が流体入口と流体出口からの脈流の流れ方向と一致するよ うに望ましくは指向されるべきである。ポンプチャンバーの伸縮性変形可能壁部 分は、適当に二つ以上の柔軟性膜から成る、その運動と形状変化は、振動運動を その膜に与えて、ポンプ内に閉じ込められた流体容積を脈打たせる適当な駆動手 段により達成される。そのような駆動手段は、例えば圧電、静電、電磁、または 電気力駆動ユニットの一部であっても良い。熱励起膜を使用することも可能であ る。 対応付けられた圧縮構成要素を有するポンプハウジングそれ自身は、それらの 構成要素が一体物の完全な部品を構成できるように製作される。発明による変位 ポンプは、微細加工処理によっても製造可能である；ポンプ構造は、例えば、シ リコンから製造できる。 発明によるポンプは、特に、もしポンプが圧縮構成要素と供に平面状に製造さ れ、そしてそのキャビティが同一平面内にある場合には、微細加工方の支援によ り適切に製造できる。それで、その圧縮構成要素は平らとなるべきである、即ち 長方形横断面を有する。 微細加工方法とは本来、マイクロ・エレクトロニクス構成要素の製造で使用さ れるこれらの技術を指す。この製造概念は、平板的に限定された、プレーナー法 による、基板（通常単結晶シリコン）からの、大量生産、薄膜技術、先進機能を 備えた小さな同一構成要素に関わる。用語の微細加工とは、例えば、単結晶シリ コンの異方性シリコン・エッチングなどの種々の特殊加工をも包含する。 適当に安い大量生産方法の例は、圧縮構成要素とキャビティとを鋳造するため の種々のタイプのプロセスを含む。可能な材料は、可塑性や伸縮性の材料などの 異なるタイプの重合体材料である。 本発明による変位ポンプは、従来の膜ポンプのように、ポンプの圧力側とその 吸入側の両方に、圧力等価バッファ・チャンバーを備えることが出来る。そのよ うなバッファ・チャンバーで、脈打った流れの圧力パルスはかなりの程度にまで 低減できる。 上述の目的は、まず新ポンプ構造が可動部分を必要としないので、ポンプが単 純に、且つ堅牢に製造でき、依って高信頼性を保証するという事実による本発明 に従う変位ポンプで効果的に達成できる。発明によるそのポンプは、気体、また は液体の何れでもポンピングするために最適化でき、且つポンプの機能、または 信頼性を減じることなく流動性粒子を包含することが出来る。 本発明による変位ポンプは、明かに、多数の分野で使用できる。例えば、この ポンプは、あるタイプの内燃エンジン内の燃料ポンプ、または燃料インジェクタ ーとして使用できる。特に、高信頼性で小型のポンプを必要とする用途において 、本発明によるポンプには最適である。例えばそのような使用の一例は、インシ ュリンを服用させるのための移植可能ポンプである。化学工業や医療用途のため の分析的装置での流体の取扱もまた、本発明によるポンプで行われる。図面の簡単な説明 本発明は以下で詳細に説明され、そして添付の図で示され る多数の例を参考にして例証される。 図１ａと１ｂは垂直断面で見られるように本発明によるポンプの概略的に示さ れた形態の吸入とポンピングとの段階を示す； 図２ａと２ｂは従来型のチェック弁を備えた膜ポンプの吸入段階とポンピング 段階を通しての横断面を示す； 図３ａと３ｂは各々拡散部とノズルの方向への貫流と供に本発明による圧縮構 成要素の縦断面を示す； 図４は本発明によるポンプの第一形態の対立的横断面を示す； 図５は本発明によるポンプの他の形態の横断面と斜視図とで示す； 図６は本発明によるポンプの第三形態の横断面を示す； 図７は、図６で示されたポンプの入口側（円Ｓの範囲内）に配置された圧縮構 成要素を、拡大図で示す； 図８は、最後に、長方形横断面の圧縮構成要素を有するプレーナーポンプの概 略的斜視図を示す。実施例の説明 図１ａと１ｂは、膜ポンプの形での本発明による変位ポンプを通しての横断面 を概略的に示す。そのポンプは内部ポンプチャンバー４を有するポンプハウジン グ２を含み、その容積は可変であり、そしてそれの限定する壁は、示された形態 においては柔軟性ダイアフラムである、伸縮性変形可能壁部分６を含む。ダイア フラム壁部分６は交互に外側（図１ａ）と内側（図１ｂ）に移動するので、ポン プチャンバーの容積を変化させて、ポンプの変位効果を達成することが出来る。 ポンプの吸入側には、流体入口８があり、そしてポンプの圧力側には、対応する 流体出口１０がある。流体入口８と流体出口１０の両方は、同一の流れに対して 、反対の貫流方向（拡散方向）におけるよりも一方の貫流方向（ノズル方向）に おけるほうが圧力降下が大きくなるように設計、製作される圧縮構成要素１２を 含む。従って、ポンプの入口（吸入）と出口（圧力）側の圧縮構成要素１２は、 それらがポンプチャンバー４に逆に接続される相違しかしない。図１ａにおいて 、吸入段階中のポンプが示され、ダイアフラム壁部分６が方向Ａに拡張されると 、ポンプチャンバー４の容積が増す。図１ｂにおいて、ポンピング、または変位 段階中のポンプが示され、壁部分８が内部方向Ｂに向って移動されると、チャン バー４の容積が減る。吸入段階（図１ａ）中とポンピング段階（図１ｂ）中での ポンプの入口と出口におけるポンプ流体の流入と流出とが、矢印φｉとφｏとで 例示される。吸入段階中、入口８の圧縮構成要素（狭搾要素）１２は、出口１０ の圧縮構成要素１２がノズル効果を提供すると同時に拡散効果を提供する。ポン ピング段階中、入口の圧縮構成要素１２はノズル効果を提供すると同時に、出口 の圧縮構成要素１２は拡散効果を提供する。従って、完全なポンプサイクル中（ 吸入段階＋ポンピング段階）、ポンプは入口８から出口１０への正味流れを生成 する。 図２ａと２ｂは、比較のため、入口８’と出口１０’とに受動フラップ・チェ ック弁１６、１８を備えた従来型の膜ポンプ１４を示す。これらのチェック弁は 、弁フラップ上の重力を無視するならば、ポンプ流体の運動と圧力とにより単独 で開閉位置間で移動される受動的に機能するフラップ弁である。吸入段階中（図 ２ａ）、チャンバー４の容積が増加すると、弁１６が開いて、弁１８が閉じる。 ポンピング段階中（図２ｂ）、チャンバー４の容積が減少すると、チェック弁１ ６が閉じて、チェック弁１８が開く。 図３ａと３ｂは、拡散方向（図３ａ）とノズル方向（図３ｂ）の各々に貫流す る流れがある時の本発明による圧縮構成要素１２の例を示す。その圧縮構成要素 １２は中心貫流路２２を有する回転的対称体として形成される。その貫流路２２ は入口エリア２４から出口エリア２６まで延長する。図３ａにおいて、流路２２ は拡散エリアであると同時に、図３ｂの流路２２はノズルエリアをも構成する。 後者の場合、入口エリアは、流路２２への円錐形入口２８から成り、そして出口 エリアは他端エリア３０から成る、即ち図３ａで示されたものと逆の状況と成る 。 図４において、本発明による膜ポンプが示される。ポンプハウジング２は、こ の場合、ハウジング２内にポンプチャンバー４を形成する浅い円形キャビティ３ ２を備えた円形ディスク、またはプレートから成る。キャビティ３２の底部には 、最初に、入口開口部３４、そして第二に、出口開口部３６がある。従って、二 つの圧縮構成要素１２はポンプの流体入口８と流体出口１０とを構成する。ポン プチャンバー４は、ポンプハウジング２に固定された柔軟性ダイアフラムである ポンプの変形可能壁部分６によりハウジング２の頂上部４０で密封される。ポン プチャンバー４上に、圧電水晶ディスク４２がそのダイアフラム６の外側に固定 され、そしてそのダイア フラム６に振動運動を与えるための駆動手段となるので、ポンプチャンバー４内 に閉じ込められた流体容積を振動させることが出来る。ディスク、または駆動手 段４２は、この場合には駆動ユニットの一部（ここでは詳述されない）であり、 それは圧電的に壁部分６を駆動する。原則的に、壁部分、または膜６は、例えば そのダイアフラムに接着された圧電水晶ディスク４２上に交流電圧を適用するこ とにより振動状態にされる。圧電ディスク４２によりポンプを駆動するのに適当 な励起周波数は、ポンプ流体が気体か、液体かどうかに依存する。試験されたポ ンプの原型において、６ＫＨｚ程度の励起周波数が空気をポンピングするのに適 当であると判明したが、２００Ｈｚの周波数が水をポンピングするのには適当で あると判明した。 図５は本発明による変位ポンプの幾分異なる形態を示す。図４と５に示される 形態との間の基本的な相違は、ポンプの流体入口８と流体出口１０とを形成する 圧縮構成要素１２の位置と向きにある。図５による形態においては、その圧縮構 成要素１２はポンプチャンバー２から完全に正反対方向に放射状に突き出る。構 成要素１２の中心貫流路２２は、この場合にはポンプの入口８と出口１２におけ る放射状開口部４４と４６を経てポンプチャンバー４と導通している。 最後に、図６は本発明による膜ポンプの追加的形態を示す。ポンプハウジング ２は、この場合には各々平らな端部壁５２と５４と、そして各々円筒状側面壁５ ６と５８とを有する上方部分４８と下方部分５０から構成される円形圧力ボック スの形である。側面壁５６と５８は磁気材料のダイアフラム壁 ６０の周辺エッジ部分に反対側から接合され、それは、端部壁５４と側面壁５８ と供にポンプの下方部分５０の範囲内のポンプチャンバー４を限定する。ポンプ の上方部分４８の範囲内には、電磁駆動ユニット６４を収納するチャンバー６２ が有り、それによりダイアフラム壁６０にはポンプを駆動するのに必要とされる 振動運動を与えることが出来る。ポンプの二つの圧縮構成要素１２は、この場合 には原則的に図４に示された形態と同じ方法で搭載される。 図７は図６の円形Ｓの範囲内の流体入口８の拡大図を示す。圧縮構成要素１２ の貫流路２２は、この場合には「ポイント角」２θ＝5.4度を有する僅かに円錐 形の導管である。 最後に、二つの主要なタイプの拡散形状ある、即ち本発明によるポンプに使用 できる円錐形と平面壁とがあることが指摘されるべきである。 円錐形拡散部は増加する円形横断面を有するが、平面拡散部は、二面が平行な 四つの平面壁を有する長方形横断面を有する。二つの拡散部のタイプはほぼ同拡 散容量を有する。故に、本発明によるポンプのための拡散タイプの選択は、本質 的に製造プロセスの種類に依存する。 図８は微細加工プロセスに特に適したプレーナーポンプを示す、ここで圧縮構 成要素１２は四方からポンプチャンバー４を包囲するポンプハウジング２をも構 成する単一の構造物に統合化される。ポンプチャンバー４は、勿論上部と下部の 壁により制限されるが、図１においては、単純化のために上部壁６６のみが示さ れ、そしてこの図では、それはポンプハウジング２から持ち上げられて示される 。これらの壁の１つ は、ポンプの可動／変形可能壁部分である。 最後に、次の特許請求の範囲で定義されるような発明は、勿論図面を参考にし て上述された形態と種々の面において異なる多くの異なる形態で実施可能である ことは指摘されるべきである。

【手続補正書】特許法第１８４条の７第１項 【提出日】１９９４年７月７日 【補正内容】 請求の範囲 １．可変容積のポンプチャンバーを含むポンプハウジング（２）を備えた容積 型ポンプであって、前記ポンプチャンバーを形成する壁は柔軟性ダイアフラムな どの少なくとも一つ以上の可動及び／または変形可能な壁部分（６；６０）から 構成され、前記ダイアフラムの運動と形状変化はポンプチャンバーの容積を変化 させ、それにより変位作用を呈し、前記ポンプチャンバー（４）はポンプの吸入 側に流体入口（８）と、その加圧側に流体出口（１０）とを備えている容積型ポ ンプにおいて、流体入口（８）と流体出口（１０）の少なくとも一つは狭搾要素 （１２）を含み、これは一方の流路方向でノズルを構成し、そして反対の他方の 流路方向で拡散部を構成し、このような狭搾要素（１２）での圧力降下は一つの 同じ流体に対してその拡散方向よりもそのノズル方向において大きく、そして更 に、上記流体入口（８）と流体出口（１０）の各々における狭搾要素（１２）は 、上記ポンプの流体入口（８）から流体出口（１０）へのポンプの正味容積流の 方向から見て拡散部を構成するような向きにされたことを特徴とする容積型ポン プ。 ２．流体出口（１０）と流体入口（８）との各々は上記型式の狭搾要素（１２ ）を含み、流体入口（８）の狭搾要素はその拡散方向がポンプチャンバー（４） に向けられるように配置された拡散部を構成するが、流体出口（１０）の狭搾要 素（１２）はその拡散方向がポンプチャンバー（４）から外側に向けられるよう に配置された拡散部を構成し、これによ り両方の狭搾要素の拡散方向は流体入口（８）から流体出口（１０）への正味容 積流の流れ方向と一致させることが出来ることを特徴とする請求の範囲第１項に 記載のポンプ。 ３．狭搾要素（１２）はこれらの入口領域において丸く形成されていることを 特徴とする請求の範囲第１、２項のいずれかに記載のポンプ。 ４．ポンプチャンバー（４）の伸縮性変形可能壁部分（６；６０）は一枚以上 のダイアフラムと各々のダイアフラムに組合せた駆動手段（４２）とから成り、 これによりダイアフラムはポンプチャンバー（４）内に閉じ込められた流体を脈 打たせる振動運動を与えることが出来ることを特徴とする請求の範囲第１−３項 のいずれかに記載のポンプ。 ５．駆動手段（４２）は駆動ユニット（６４）の一部であり、該駆動ユニット （６４）により与えられたダイアフラム振動運動の周波数は、一方では、振動ダ イアフラム（６０）の機械的弾性とそのダイアフラムに結合された何等かの弾性 構成要素に依存し、そして他方では、各々の狭搾要素１２とこれに対応した導管 内のポンプ流体の質量に依存する機械的共振を呈するように選択されることを特 徴とする前記請求の範囲第４項に記載のポンプ。 ６．少なくともポンプハウジング（２）の一部とこれに組合された狭搾要素（ １２）とは単一構造物の一体化部品を構成することを特徴とする前記請求の範囲 のいずれかに記載のポンプ。 ７．微細加工プロセスにより製作されたシリコンの少なくとも一つ以上のポン プ構造から成ることを特徴とする前記請 求の範囲のいずれかに記載のポンプ。 ８．それ自体既知の、圧力等化バッファ・チャンバーはポンプの圧力側及び／ または吸入側に結合されて、脈流の圧力パルスを低減するように働くことを特徴 とする前記請求の範囲のいずれかに記載のポンプ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．可変容積のポンプチャンバーを含むポンプハウジング（２）を備えた変位 ポンプ、前記ポンプチャンバーの限定壁は柔軟性ダイアフラムなどの少なくとも 一つ以上の可動及び／または変形可能壁部分（６；６０）から構成される、前記 ダイアフラムの運動と形状変化はポンプチャンバーの容積を変化させる、それに より変位効果を提供する、前記ポンプチャンバー（４）はポンプの吸入側に流体 入口（８）と、その圧力側に流体出口（１０）とを備えている、前記変位ポンプ において、流体入口（８）と流体出口（１０）の少なくとも一つは圧縮構成要素 （１２）を含み、それは、同じ流れに対して、一方の流れ方向、ノズル方向での 構成要素上での圧力降下はその反対の他の流れ方向、拡散方向におけるものより も大きいことを特徴とする。 ２．圧縮構成要素（１２）は構成要素の拡散方向が流体入口（８）から流体出 口（１０）への脈流の流れ方向と一致するように流体入口（８）、または流体出 口（１０）に配置されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンプ。 ３．流体入口（８）と流体出口（１０）の各々は説明されたタイプの個々の圧 縮構成要素（１２）を含む，流体入口（８）における圧縮構成要素はその拡散方 向がポンプチャンバー（４）に向けられるように配置される一方、流体出口（１ ０）における圧縮構成要素（１２）はその拡散方向がポンプチャンバー（４）か ら外側に向けられるように配置される、それにより両方の圧縮構成要素の拡散方 向は流体入口（８）から流体出 口（１０）への脈流の流れ方向と一致することを特徴とする請求の範囲第１、２ 項のいずれかに記載のポンプ。 ４．圧縮構成要素（１２）はそれらの入口領域において丸く形成されているこ とを特徴とする請求の範囲第１−３項のいずれかに記載のポンプ。 ５．ポンプチャンバー（４）の伸縮性変形可能壁部分（６；６０）は一枚以上 のダイアフラム、各々のダイアフラムに対応付けた駆動手段（４２）とから成る 、それによりダイアフラムにポンプチャンバー（４）内に閉じ込められた流体容 積を脈打たせる振動運動を与えることが出来ることを特徴とする請求の範囲第１ −４項のいずれかに記載のポンプ。 ６．駆動手段（４２）は駆動ユニット（６４）の一部である、駆動ユニット（ ６４）により与えられたダイアフラム振動運動の周波数は、一方で、振動ダイア フラム（６０）の機械的弾性とそのダイアフラムに結合された何等かの弾性構成 要素に、そして他方で、各々の圧縮構成要素１２とそれと対応した導管内のポン プ流体の質量とに依存する機械的共振を提供するように選択されることを特徴と する請求の範囲第５項に記載のポンプ。 ７．少なくともポンプハウジング（２）の一部と対応付けられた圧縮構成要素 （１２）とは単一構造物の完全部品を構成することを特徴とする前記請求の範囲 のいずれかに記載のポンプ。 ８．それは微細加工プロセスにより製作されたシリコンの少なくとも一つ以上 のポンプ構造から成ることを特徴とする前記請求の範囲のいずれかに記載のポン プ。 ９．それ自体既知の、圧力等価バッファ・チャンバーはポンプの圧力側及び／ または吸入側に結合されて、脈流の圧力パルスを低減するように作用することを 特徴とする前記請求の範囲のいずれかに記載のポンプ。