JP4112244B2 - 半導体集積回路素子の設計システム、プログラム、記録媒体、及び、半導体集積回路素子の設計方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路素子の設計システム、コンピュータを設計システムとして機能させるプログラム、プログラムを記録した記録媒体、及び半導体集積回路素子の設計方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体集積回路の微細化に伴い、半導体集積回路素子のノイズ対策が重要となってきている。その手法としては、集積回路の電源回路(電源配線と接地配線)において、デカップリングコンデンサを挿入して電源回路の電位を安定させ、集積回路の安定動作や特性の向上を図るものが挙げられる。
特に、アナログ回路とデジタル回路とが混載された集積回路では、アナログ回路における電源配線(アナログ回路用電源配線)と接地配線との間にコンデンサを挿入することが有効である。
【0003】
ところで、半導体集積回路素子を設計するにあたっては、まず、チップレイアウトを決定する。具体的には、図1のフローチャートに示すように、ステップS101でまず入出力ブロックを配置する。その後、集積回路素子が達成すべき機能や特性を与えるアナログ信号回路ブロック、CPUコアなどの機能ブロックの配置を決める(ステップS102)。次いで、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間の配線の配置を決める(ステップS103)。アナログ信号を伝える配線は、ノイズの影響やインピーダンス整合を考慮する必要があるためであり、この部分を設計者の手作業で行う場合もある。その後、ステップS104で機能ブロック間にNAND、NOR、INV、FFなどの論理回路からなるユニットセルを配置し、さらにステップ105で、ユニットセル同士間、入出力ブロック−機能ブロック間、機能ブロック同士間、機能ブロック−ユニットセル間などの配線を決定する。かくして、ICチップのレイアウトパターンの配置・配線が完了する。
上述のコンデンサを挿入する場合には、チップレイアウトの決定後、あるいは上述のレイアウト作業の途中に、空きスペースにコンデンサを手作業で挿入して形成し、コンデンサと電源配線も手作業で結線することが多い。具体的には、例えば図1に示すように、ステップS106で、入出力ブロックと機能ブロックとの隙間、機能ブロック同士の隙間など入出力ブロックや機能ブロックに属さない空きスペースにコンデンサを形成し、さらにこのコンデンサと電源配線とを接続して(ステップS107)、ICチップのレイアウトパターンを完成させることが行われる。
一方、チップレイアウトは近年自動化が進み、特に大規模集積回路においては、自動レイアウトツールを用いることが多い。このように自動レイアウトツールを用いた場合には、図1のフローチャートに示すように、レイアウトの完了後にコンデンサの配置を行わざるを得ない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、設計段階では、入出力ブロックと機能ブロックの配置を優先するため、コンデンサを形成することのできる空きスペースの形状や大きさは、まちまちであり、それに合わせて手作業でコンデンサを設計し配置するのは面倒で、設計のコストアップとなっていた。特に、レイアウト完了後に手作業でコンデンサを配置することにすると、制限が多く、空きスペースに適切にコンデンサを配置してより大きな容量を確保するには、作業時間が掛かる。しかるに、設計開発期間の短縮化要請によって十分な作業時間の確保は次第に困難になりつつある。さらに、配置の仕方などに熟練を要するため、作業者の習熟度合いによっても得られるコンデンサの静電容量が変わることが多く、大きな静電容量を持つコンデンサを適切に形成するのが困難な場合がある。
本発明は上記のような問題点を解決するためになされたもので、デカップリングコンデンサを有する半導体集積回路素子を容易に設計できる設計システム、コンピュータをこの設計システムとして機能させるプログラム、このプログラムを記録した記録媒体、及び、デカップリングコンデンサを有する半導体集積回路素子の設計を容易に行うことのできる設計方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
しかして、請求項1に記載の解決手段は、入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置手段と、アナログ信号回路ブロックを含むすべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置手段と、第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、少なくとも上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置手段と、上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定するアナログ配線配置手段と、上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくともの1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置手段と、を備える半導体集積回路素子の設計システムである。
【0006】
本発明の半導体集積回路素子の設計システムでは、入出力ブロック配置手段で入出力ブロックの配置を決定し、機能ブロック配置手段でアナログ信号回路ブロックを含む機能ブロックの配置を決定する。また、単位容量セル配置手段で複数の単位容量セルブロックを空き領域のうち入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に配置する。さらに、アナログ配線配置手段で入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定する。さらに、ビア導体配置手段で第1電源配線から延びる第1ビア導体及び第2電源配線から延びる第2ビア導体の配置を決定する。
つまり、この設計システムによれば、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックを含む機能ブロックとを配置し、さらに入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に複数の単位容量セルブロックを配置するので、素子領域に複数の単位容量セルで構成されるデカップリングコンデンサの配置場所を容易に確保することができる。また、ビア導体配置手段で第1ビア導体及び第2ビア導体の配置を決定するので、複数の単位容量セルが、したがってデカップリングコンデンサが、第1電源配線及び第2電源配線に接続するように容易に設計することができる。かくして、デカップリングコンデンサを有する半導体集積回路素子を容易に設計できる設計システムとすることができる。また、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に単位容量セルブロックによるデカップリングコンデンサを配置するので、設計された半導体集積回路素子では、特にアナログ信号回路ブロックの安定動作を図ることができる。また、単位容量セルブロックを用いるので、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙などの形状に適合するデカップリングコンデンサを容易に構成することができる。
【0007】
なお、機能ブロックとしては、1つのまとまった機能を発揮するブロックであれば良い。例えば、D/Aコンバータ回路やA/Dコンバータ回路その他のアナログ信号処理をするためのアナログ信号回路ブロック、ダイナミックRAMやスタティックRAMなどのメモリ素子を集積したメモリブロック、CPUを構成するCPUコア(CPUブロック)などが挙げられる。
また、第1電源電位及び第2電源電位には、一方が電源電位、他方が接地電位とされている場合も含まれる。
【0008】
さらに、単位容量セルの接続配線パターンとしては、隣接する単位容量セルの第1電極同士が接続できると共に、第2電極同士が接続できるパターンとすれば良い。例えば、単位容量セルとして、矩形状とし、各辺の端部まで第1電極に接続する第1接続配線と第2電極に接続する第2接続配線とを引き出し、かつ、対向する辺同士(例えば、右辺と左辺、上辺と下辺)では、第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としたものが挙げられる。このものでは、縦横格子状に単位容量セルを配置することで、隣り合う単位容量セル同士の第1接続配線同士、及び第2接続配線同士が当接して互いに接続することができる。また、このものでは、複数の第1接続配線及び第1電極のうちの少なくとも1個所で第1電源電位に接続すれば、すべての第1電極を第1電源電位とすることができる。同様に、複数の第2接続配線及び第2電極のうちの少なくとも1個所で第2電源電位に接続すれば、すべての第2電極を第2電源電位とすることができる。従って、第1,第2電源電位との接続位置の選択が容易になる。
なお、単位容量セルは、矩形状だけでなく三角形状、六角形状など第1,第2接続配線の取り出し方を考慮することで、適宜の形状とすることができる。また、2種以上の形状の単位容量セルを組み合わせることもできる。
【0009】
また、請求項2に記載の他の解決手段は、入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置手段と、すべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置手段と、第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの間隙または上記機能ブロック同士の間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置手段と、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの配線及び上記機能ブロック同士の配線の配置を決定する配線配置手段と、上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとも1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置手段と、を備える半導体集積回路素子の設計システムである。
【0010】
本発明の半導体集積回路素子の設計システムでは、入出力ブロック配置手段で入出力ブロックの配置を決定し、機能ブロック配置手段でアナログ信号回路ブロックを含む機能ブロックの配置を決定する。また、単位容量セル配置手段で複数の単位容量セルブロックを空き領域のうち入出力ブロックと機能ブロックとの間隙に配置する。さらに、配線配置手段で入出力ブロックと機能ブロックとの配線の配置を決定する。さらに、ビア導体配置手段で第1電源配線から延びる第1ビア導体及び第2電源配線から延びる第2ビア導体の配置を決定する。
つまり、この設計システムによれば、入出力ブロックと機能ブロックとを配置し、さらに入出力ブロックと機能ブロックとの間隙や機能ブロック同士の間隙に複数の単位容量セルブロックを配置するので、素子領域に複数の単位容量セルで構成されるデカップリングコンデンサの配置場所を容易に確保することができる。また、ビア導体配置手段で第1ビア導体及び第2ビア導体の配置を決定するので、複数の単位容量セルが、したがってデカップリングコンデンサが、第1電源配線及び第2電源配線に接続するように容易に設計することができる。かくして、デカップリングコンデンサを有する半導体集積回路素子を容易に設計できる設計システムとすることができる。また、単位容量セルブロックを用いるので、入出力ブロックと機能ブロックとの間隙などの形状に適合するデカップリングコンデンサを容易に構成することができる。
【0011】
さらに、請求項1または請求項2に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、前記機能ブロック配置手段は、前記機能ブロックを仮配置する仮配置手段と、前記複数の単位容量セルブロックを配置する容量挿入領域を抽出する抽出手段と、上記容量挿入領域に上記単位容量セルブロックを配置した場合に得られる合成容量値を算出する合成容量算出手段と、上記合成容量値を所定の要求容量値と比較し、上記合成容量値が上記要求容量値よりも小さいときに上記仮配置手段に戻り、上記合成容量値が上記要求容量値以上のときに上記仮配置の位置を上記機能ブロックの配置に決定する比較手段と、を含み、前記単位容量セル配置手段は、上記容量挿入領域に前記単位容量セルブロックを配置する半導体集積回路素子の設計システムとすると良い。
【0012】
本発明の半導体集積回路素子の設計システムでは、機能ブロック配置手段において、仮配置手段で機能ブロックを仮配置し、抽出手段で容量挿入領域を抽出し、合成容量算出手段で得られる合成容量値を算出し、比較手段で合成容量値を要求容量値と比較し、合成容量値が要求容量値に満たないときは仮配置手段に戻し、合成容量値が要求容量値以上の場合に仮決定されていた機能ブロックの配置を決定する。また、単位容量セル配置手段は、容量挿入領域に単位容量セルブロックを配置する。つまり、この設計システムによれば、要求容量値以上の合成容量値が確保できる容量挿入領域となるように機能ブロックが配置され、このような容量挿入領域に単位容量セルブロックが配置される。
このため、要求される要求容量値以上の合成容量値を持つデカップリングコンデンサが配置された半導体集積回路素子を、容易に設計することができる設計システムとなる。
【0013】
さらに、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、前記単位容量セルは、MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成する半導体集積回路素子の設計システムとすると良い。
【0014】
本発明の半導体集積回路素子の設計システムでは、単位容量セルはMOSトランジスタの構造を利用して単位キャパシタを構成する。誘電体層を堆積等で形成する場合に比して、MOSトランジスタでは、誘電体層としてのゲート酸化膜をごく薄く(1〜10nm程度に)することができる。このため、ドレイン、ソース及びバックゲートを短絡すると、これらとゲートとの間で、静電容量の大きな単位キャパシタを構成することができる。しかも、MOSトランジスタは、確立された設計技術や製造技術で実現できるので、設計システムでの利用が容易であるから、半導体集積回路素子の設計が容易になる。
【0015】
さらに、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、前記単位容量セルは、平面視、矩形状であり、各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、前記単位容量セル配置手段は、複数の上記矩形状単位容量セルを示す矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する半導体集積回路素子の設計システムとすると良い。
【0016】
本発明の半導体集積回路素子の設計システムでは、単位容量セルブロックを矩形状単位容量セルブロックとしている。また、単位容量セル配置手段は、矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する。従って、配置すれば隣接する矩形状単位容量セルでは、第1電極同士が互いに接続し、また第2電極同士が互いに接続する。しかも、格子状に配置するので、単位容量セル配置手段での配置処理が容易である。従って、簡易な設計システムとすることができる。
なお、鏡像の関係とは、具体的には、矩形の対向する2つの辺を重ねるようにして折り曲げたとき、第1電極の引き出し位置同士、及び第2電極の引き出し位置同士が重なる関係である。従って、矩形の右辺と左辺が左右対称、上辺と下辺が上下対称となる。
【0017】
さらに、請求項6に記載の解決手段は、コンピュータを、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させるためのプログラムである。
【0018】
本発明のプログラムによれば、コンピュータを上記の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させることができ、半導体集積回路素子を容易に設計できる。
【0019】
さらに請求項7に記載の解決手段は、コンピュータを請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【0020】
本発明の記録媒体によれば、コンピュータを上記の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させることができるプログラムを提供することが容易になる。
【0021】
さらに請求項8に記載の解決手段は、コンピュータにて実行される半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置ステップと、アナログ信号回路ブロックを含むすべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置ステップと、第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、少なくとも上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置ステップと、上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定するアナログ配線配置ステップと、上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとの1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置ステップと、を備える半導体集積回路素子の設計方法である。
【0022】
本発明の半導体集積回路素子の設計方法はコンピュータにて実行され、入出力ブロックの配置を決定し、アナログ信号回路ブロック含むすべての機能ブロックの配置を決定する。さらに、単位容量セルブロックを少なくとも入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に配置する。また、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定する。さらに、第1電源配線から延びる第1ビア導体及び第2電源配線から延びる第2ビア導体の配置を決定する。つまり、この設計方法によれば、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックを含む機能ブロックとを配置し、さらに入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に複数の単位容量セルブロックを配置するので、この半導体集積回路素子、特に入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数の単位容量セルで構成されるデカップリングコンデンサの配置場所を容易に確保できる。また、ビア導体配置ステップで第1ビア導体及び第2ビア導体の配置を決定するので、複数の単位容量セルが、したがってデカップリングコンデンサが、第1電源配線及び第2電源配線に接続するように容易に設計することができる。かくして、デカップリングコンデンサを有する半導体集積回路素子を容易に設計することができる。また、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙に単位容量セルブロックによるデカップリングコンデンサを配置するので、設計された半導体集積回路素子では、特にアナログ信号回路ブロックの安定動作を図ることができる。また、単位容量セルブロックを用いるので、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間隙などの形状に適合するデカップリングコンデンサを容易に構成することができる。
【0023】
さらに請求項9に記載の解決手段は、コンピュータにて実行される半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置ステップと、すべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置ステップと、第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの間隙または上記機能ブロック同士の間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置ステップと、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの配線及び上記機能ブロック同士の配線の配置を決定する配線配置ステップと、上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとも1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置ステップと、を備える半導体集積回路素子の設計方法である。
【0024】
本発明の半導体集積回路素子の設計方法はコンピュータにて実行され、入出力ブロックの配置を決定し、すべての機能ブロックの配置を決定する。さらに、単位容量セルブロックを入出力ブロックと機能ブロックとの間隙又は機能ブロック同士の間隙に配置する。また、入出力ブロックと機能ブロックとの配線の配置を決定する。さらに、第1電源配線から延びる第1ビア導体及び第2電源配線から延びる第2ビア導体の配置を決定する。つまりこの設計方法によれば、入出力ブロックと機能ブロックとを配置し、さらに入出力ブロックと機能ブロックとの間隙や機能ブロック同士の間隙に複数の単位容量セルブロックを配置するので、この半導体集積回路素子に複数の単位容量セルで構成されるデカップリングコンデンサの配置場所を容易に確保できる。また、ビア導体配置ステップで第1ビア導体及び第2ビア導体の配置を決定するので、複数の単位容量セルが、したがってデカップリングコンデンサが、第1電源配線及び第2電源配線に接続するように容易に設計することができる。かくして、デカップリングコンデンサを有する半導体集積回路素子を容易に設計することができる。また、単位容量セルブロックを用いるので、入出力ブロックと機能ブロックとの間隙などの形状に適合するデカップリングコンデンサを容易に構成することができる。
【0025】
なお、上記請求項8または請求項9に記載のコンピュータにて実行される半導体集積回路素子の設計方法であって、前記機能ブロック配置ステップは、前記機能ブロックを仮配置する仮配置ステップと、前記複数の単位容量セルブロックを配置する容量挿入領域を抽出する抽出ステップと、上記容量挿入領域に上記単位容量セルブロックを配置した場合に得られる合成静電容量を算出する合成容量算出ステップと、上記合成容量値を所定の要求容量値と比較し、上記合成容量値が上記要求容量値よりも小さいときに上記仮配置ステップに戻り、上記合成容量値が上記要求容量値以上のときに上記仮配置の位置を上記機能ブロックの配置に決定する比較ステップと、を含み、前記単位容量配置ステップは、上記容量挿入領域に前記単位容量セルブロックを配置する半導体集積回路素子の設計方法とするのが好ましい。
【0026】
本発明の半導体集積回路素子の設計方法はコンピュータにて実行され、機能ブロック配置ステップにおいて、機能ブロックを仮配置し、容量挿入領域を抽出し、この容量挿入領域で得られる合成容量値を算出し、合成容量値を要求容量値と比較して、合成容量値が要求容量値に満たないときは仮配置を再び行い、合成容量値が要求容量値以上の場合に仮決定されていた機能ブロックの配置を決定する。さらに、容量挿入領域に単位容量セルブロックを配置する。つまり、この設計方法によれば、要求容量値以上の合成容量値が確保できる容量挿入領域となるように機能ブロックを配置でき、このような容量挿入領域に単位容量セルブロックが配置することができる。
このため、要求される要求容量値以上の合成容量値を持つデカップリングコンデンサが配置された半導体集積回路素子を、容易に設計することができる。
【0027】
さらに、上記のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計方法であって、前記単位容量セルは、MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成する半導体集積回路素子の設計方法とするのが好ましい。
【0028】
この半導体集積回路素子の設計方法によれば、単位容量セルはMOSトランジスタの構造を利用して単位キャパシタを構成する。誘電体層を堆積等で形成する場合に比して、MOSトランジスタでは、誘電体層としてのゲート酸化膜をごく薄く(1〜10nm程度に)することができる。このため、ドレイン、ソース及びバックゲートを短絡すると、これらとゲートとの間で、静電容量の大きな単位キャパシタを構成することができる。しかも、MOSトランジスタは、確立された設計技術や製造技術で実現できるので、設計システムでの利用が容易であるから、半導体集積回路素子の設計が容易になる。
【0029】
さらに上記のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計方法であって、前記単位容量セルは、平面視、矩形状であり、各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、前記単位容量配置ステップは、複数の上記矩形状単位容量セルを示す矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する半導体集積回路素子の設計方法とするのが好ましい。
【0030】
この半導体集積回路素子の設計方法では、単位容量セルを矩形状単位容量セルとしている。また、単位容量セル配置ステップで、矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する。従って、この設計方法によれば、矩形状単位容量セルでは格子状に隣接して配置すれば、第1電極同士が互いに接続させ、また第2電極同士が互いに接続させることができる。しかも、格子状に配置するので、単位容量セルブロックの配置処理が容易である。従って、容易に半導体集積回路素子を設計することができる。
【0031】
さらに、基板に形成され、この基板の平面方向に区画された入出力ブロック及び複数の機能ブロックを有する半導体集積回路素子であって、上記入出力ブロック及び機能ブロックに属さない空き領域において、第1電源電位とされる第1電極と、誘電体層と、この誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を上記平面方向に隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを、複数個互いに隣接して配置し、隣接する各単位容量セルの各第1電極同士を電気的に接続し、各第2電極同士を電気的に接続してなる半導体集積回路素子とするのが好ましい。
【0032】
本発明の半導体集積回路素子では、空き領域に複数の単位容量セルを互いに隣接して配置してなる。この単位容量セルは、隣り合う単位容量セル間で、第1電極同士を電気的に接続でき、第2電極同士を電気的に接続できるから、いずれかの単位容量セルの第1電極について第1電源電位に接続すれば、隣接する単位容量セルすべての第1電極を第1電源電位とすることができる。同様に、いずれかの単位容量セルの第2電極について第2電源電位に接続すれば、隣接する単位容量セルすべての第2電極を第2電源電位とすることができる。従って、第1,第2電源電位との接続位置の選択が容易である。しかも、空き領域の形状に応じて複数の単位容量セルを配置することができるから、容易に熟練を要することなく設計できるので、コストを削減でき、安価な半導体集積回路素子とすることができる。また、空き領域の形状に適合するように単位容量セルの配置を調整できるから、空き領域全体を有効に利用して大きな静電容量のデカップリングコンデンサをもつ素子とすることができる。
【0033】
また、上記半導体集積回路素子であって、前記複数の単位容量セルよりも前記基板の厚さ方向表面側には、前記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線と、前記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線とが形成され、前記複数の単位容量セルのうち、各第1電極は、上記第1電源配線から延びる少なくとも1つの第1ビア導体によって上記第1電源電位とされ、各第2電極は、上記第2電源配線から延びる少なくとも1つの第2ビア導体によって上記第2電源電位とされてなる半導体集積回路素子とするのが好ましい。
【0034】
本発明の半導体集積回路素子では、第1電源配線及び第2電源配線が、複数の単位容量セルよりも素子の厚さ方向表面側に形成されている。つまり、第1,第2電源配線に影響を与えることなく単位容量セルを配置することができる。しかも、第1,第2電源配線から延びる第1,第2ビア導体によって、第1,第2電極を第1,第2電源電位とするので、単位容量セルで構成されるコンデンサを低抵抗で第1,第2電源配線に接続することができ、特性良好な半導体集積回路素子とすることができる。
【0035】
また、上記いずれかに記載の半導体集積回路素子であって、前記単位容量セルは、MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成してなる半導体集積回路素子とするのが好ましい。
【0036】
本発明の半導体集積回路素子では、単位容量セルとしてMOSトランジスタの構造を利用して単位キャパシタを構成してなる。誘電体層を堆積等で形成する場合に比して、MOSトランジスタでは、誘電体層としての酸化膜をごく薄く(1〜10nm程度に)することができる。このため、ドレイン、ソース及びバックゲートを短絡すると、これらとゲートとの間で、静電容量の大きな単位キャパシタを構成することができる。しかも、MOSトランジスタは、形成容易である。このため、安価な半導体集積回路素子とすることができる。
【0037】
さらに、上記のいずれか一項に記載の半導体集積回路素子であって、前記単位容量セルは、平面視、矩形状であり、各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、前記空き領域において、複数の上記矩形状単位容量セルを格子状に互いに隣接して配置してなる半導体集積回路素子とするのが好ましい。
【0038】
本発明の半導体集積回路素子では、単位容量セルを矩形状単位容量セルとし、これを格子状に配置しているので、特に配置の設計が容易であり、安価な半導体集積回路とすることができる。
【0039】
さらに上記のいずれか一項に記載の半導体集積回路素子であって、前記複数の単位容量セルは、前記空き領域のうち、少なくともアナログ信号回路ブロックと隣り合う領域に形成され、前記第1電源配線及び第2電源配線は、前記入出力ブロックから前記アナログ信号回路ブロックに電源電位を供給する配線である半導体集積回路素子とするのが好ましい。
【0040】
アナログ信号を処理するアナログ信号回路ブロックにおいては、特に、ノイズによる誤動作や波形の歪み等が問題となる。そこで、このアナログ信号回路ブロックに電力供給する電源電位について、デカップリングコンデンサをアナログ信号回路ブロックのできるだけ近くに設置して、ノイズの除去を図ることが望まれる。
本発明の半導体集積回路素子では、アナログ信号回路ブロックの隣に、アナログ信号回路ブロックに電源電位を供給する第1,第2電源配線に接続するデカップリングコンデンサとなる複数の単位容量セルが配置されているので、効率よくノイズの除去を図ることができる。
【0041】
さらに、上記半導体集積回路素子であって、前記複数の単位容量セルは、前記空き領域のうち、少なくとも前記アナログ信号回路ブロックと入出力ブロックとに挟まれた領域に形成されてなる半導体集積回路素子とするのが好ましい。
【0042】
アナログ信号回路ブロックは、ノイズによる誤動作や波形の歪み等が問題となるので、配線の引き回しを短くするため、入出力ブロックの近くに配置されることが多い。また、アナログ信号回路ブロックのできるだけ近くに、デカップリングコンデンサを設置して、ノイズの除去を図ることが望まれる。
本発明の半導体集積回路素子では、アナログ信号回路ブロックと入出力ブロックとの間にデカップリングコンデンサとなる複数の単位容量セルが配置されているので、特に効率よくノイズの除去を図ることができる。
【0043】
【発明の実施の形態】
(実施形態)
本発明の実施の形態を、図2〜図15を参照しつつ説明する。図2は、ICチップ100を設計するための設計システムの構成図である。図3は、ICチップ100の設計手順を示すフローチャートである。また、図4〜図15は、設計の各段階に対応した、ICチップ100及び単位容量セルブロック10の構造について説明する説明図である。本実施形態では、ICチップ100の設計システム及び設計方法について、図2の構成図、図3のフローチャート、及びフローチャートの各ステップに対応する図4〜図15の説明図とを用いて説明する。
【0044】
まず、図2に示す設計システムSYSの構成について説明する。この設計システムSYSは、CPU2を中心にバス8を介して、メモり3、磁気ディスク装置4、表示装置(以下CRTともいう)5、キーボードやマウスなど入力装置6、及びCD−ROMドライブなどの外部記憶媒体駆動装置7を有するコンピュータ1をプログラムに従って機能させることで、実現されている。外部記憶媒体駆動装置7には、CD−ROMや磁気媒体等の外部記憶媒体9が着脱可能に設置される。
【0045】
図3に示す設計処理フローを実行するプログラムは、コンピュータ1内のメモリ3や磁気ディスク装置4に記録されているほか、CD−ROMや磁気媒体などの外部記憶媒体9に記録されている場合には、外部記憶媒体駆動装置7を介してメモり3や磁気ディスク装置4に一旦記録され、あるいは直接CPU2に転送されて実行される。また、メモリ3や磁気ディスク装置4、外部記憶媒体9には、図2の下方に示すような各種のデータファイルD1〜D7も記録されており、上述のプログラムの処理に従い、CPU2からの指令により必要に応じて参照される。そして、プログラムの実行により、生成されたICチップ100のレイアウトパターンデータは、データファイルD10として、磁気ディスク装置4等に記録され、ICチップ100の製造に利用される。
【0046】
以下、図3に示すフローチャートに従って具体的に説明する。まず、ステップS1では、ICチップ100となる素子領域の周縁部に入出力ブロック110を配置する。この際、データファイルD1に記録されている入出力ブロックのデータを用いる。入出力ブロック110は、図4に示すように、ICチップ100の周縁に形成され、このICチップ100を搭載する基板等とのワイヤボンディング接続のためのコンタクトパッドとなる入出力端子部111を含んでいる。なお、後述するように、この入出力端子部111には、アナログ信号回路ブロック120,130と外部とを接続するためのアナログ入出力端子部111ANを含んでいる。
【0047】
さらに、ステップS2において、各機能ブロックを配置する。具体的には、図4に示すように、A/DコンバータやD/Aコンバータ、その他アナログ信号処理回路などが形成されるアナログ信号回路ブロック120,130や、DRAMやSRAMなどのメモリが形成されるメモリブロック140,141、CPUが形成されるCPUコア150などの機能ブロックを、入出力ブロック110に囲まれた領域内に配置する。この際にも、データファイルD1に記録されている機能ブロックのデータを用いる。なお、この配置は、後述するように決定ではなく、仮の配置となっている。
【0048】
次いで、ステップS3において、図5に示すように、入出力ブロック110と、アナログ信号回路ブロック120,130あるいは他の機能ブロック(メモリブロック140,141やCPUコア150)との間隙など、入出力ブロック110や機能ブロック120等に占められていない空き領域115(図4参照)から、ハッチングして示す容量挿入領域160,161,162,163を抽出する。
【0049】
次いで、ステップS4において、容量挿入領域160等の面積などから、これらに単位容量セル10aを並べたと仮定したときに、得られるコンデンサの合成容量値Ciをそれぞれ算出する。
ステップS5では、各合成容量値Ciを、それぞれアナログ信号回路ブロック120,130や機能ブロック140,141の機能等に応じて決められる要求容量値Ctと比較する。要求容量値Ctの値は、データファイルD2に記録されている。ここで、合成容量値Ciが要求容量値Ctよりも小さい場合には、ステップS2に戻る。つまり、アナログ信号回路ブロック120等の機能ブロックを再度配置し(ステップS2)、容量挿入領域を抽出し(ステップS3)、合成容量値Ciを算出する(ステップS4)。このようにすることで、合成容量値Ciが要求容量値Ct以上となるように各機能ブロックを配置する。合成容量値Ciが要求容量値Ct以上となった場合には、ステップS6に進む。これにより、アナログ信号回路ブロック120等の機能ブロックの配置が決定されたことになる。
その後、ステップS6では、データファイルD3に記録されている単位容量セルブロックのデータを用いて、この容量挿入領域160等へ平面視矩形状の単位容量セルブロック10を敷き詰めるようにして配置する。
【0050】
単位容量セルブロック10に実際に形成、配置される単位容量セル10aの構造を、図6〜図9に示す。図6は単位容量セル10aを表面側から見た平面図であり、図7は図6におけるA−A’断面の断面図である。また、図8は図6におけるB−B’断面の断面図である。さらに、図9は単位容量セル10aの構造を模式的に示した図である。
【0051】
この単位容量セル10aは、図6に示すように、ICチップ100の平面方向に矩形状(例えば20μm角程度)に拡がる形状を有している。この単位容量セル10aは、MOSトランジスタ(MOSFET)の構造を利用して単位キャパシタを形成したものである。即ち、図7,図8に示すように、P-にドープしたシリコンの基板11に、N-にドープしたウェル12が形成されている。さらに、このウェル12の表面近傍には、MOSFETにおけるソース及びドレインに対応しP+にドープしたP+拡散領域13(本実施形態では単位容量セル10a毎に4個所)、及びN+にドープしたN+拡散領域14(本実施形態では単位容量セル10a毎に2個所)が形成されている。また、ウェル12のうちP+拡散領域13に挟まれたチャネル領域(第1電極)12aの上には、SiO2からなる酸化膜15のうち、CMOSのプロセスで決められたごく薄い厚さを有するゲート酸化膜15aを備え、その上には、ポリシリコン層16のうちゲート部(第2電極)16aを備える。さらに、ウェル12の表面上に形成された酸化膜17を貫通して、アルミニウムからなりこの酸化膜17上に位置し第1電源電位(電源電位)VDに接続されるVDメタル層21のうち、図6中左右上下方向中央に位置し上下方向に延びする接続部21aとP+拡散領域13及びN+拡散領域14とが、それぞれビア導体18で接続されている。また、ゲート部16aは、ポリシリコン層16のうち引き出し部16bにおいて、酸化膜17を貫通するビア導体19により、アルミニウムからなり酸化膜17上に位置し第2電源電位(接地電位)VSに接続されるVSメタル層22に接続している。このポリシリコン層16の引き出し部16bは、図6中、上下方向に延び、ゲート部16aを左右方向に引き出している。
【0052】
このようにして、図6〜図8に示すように、ゲート部16aとチャネル領域12aでゲート酸化膜15aを挟むことにより、コンデンサUCを形成する。
つまり、単位容量セル10aは、模式的に表して、図9に示すように、MOSFETにおいて、ソース、ドレイン、及びバックゲートの三者を短絡し、これらとゲートとの間にゲート酸化膜15aを誘電体層とした3ヶのコンデンサUCを並列に形成した構造となっている。従って、電源電位VDと接地電位VSとの間には、VDメタル層21及びVSメタル層22を介して、コンデンサ(デカップリングコンデンサ)が挿入された状態となる。
この単位容量セル10aでは、誘電体層として極薄いゲート酸化膜15aを用いているため、静電容量を大きく確保できる利点がある。また、MOFSFETの製造手法は、既に確立された技術であるため、他の手法でコンデンサを形成するよりも、容易にかつ高い歩留まりで製造できる。また、ICチップ100の他の部分のMOSFETの製造などと同時に形成できるので、単位容量セル10aを別途形成することによる、製造上の負荷が少なく、安価にできる。
なお、VDメタル層21は、接続部21aのほか、図6において、単位容量セル10aの上辺及び下辺においてこの接続部21aから左右に延びる引き出し部21bを備える。
また、図7,図8においては、VDメタル層21やVSメタル層22上に酸化膜23やVD配線171やVS配線172を形成した状態を示すが、これらについては後述する。
【0053】
図6に示すように、矩形状の単位容量セル10aでは、その上辺10cと下辺10dとにおいて、VDメタル層21は、接続部21a及び引き出し部21bによって辺全体にわたって配置されている。また、上辺10cと下辺10dとにおいて、各辺の左端部及び右端部にポリシリコン層16の引き出し部16bが引き出されている。さらに、その左辺10eと右辺10fとにおいて、VDメタル層21は、引き出し部21bによって各辺の上端部および下端部に引き出されている。また、左辺10eと右辺10fとにおいて、各辺の中央部にVSメタル層22が、また、その全体にポリシリコン層16の引き出し部16bが配置されている。つまり、チャネル領域12aは、VDメタル層21によって電気的に4辺に引き出されている。また、ゲート部16aは、ポリシリコン層16の引き出し部16b及びVSメタル層22によって電気的に4辺に引き出されている。
【0054】
しかも、VDメタル層21、ポリシリコン層16の引き出し部16b及びVSメタル層22について見ると、上辺10cと下辺10dとで上下対称の関係となる形状に、また、左辺10eと右辺10fとで左右対称の関係となる形状にされている。つまり、上辺10cと下辺10d、左右辺10eと右左辺10fとで、チャネル領域12aから引き出したVDメタル層21、及びはゲート部16aから引き出したVSメタル層22あるいはポリシリコン層16の引き出し部16bが鏡像の関係となっている。
【0055】
このため、図6に示す単位容量セル10aが各々隣り合うように格子状に配置すると、図10に示すように、VDメタル層21同士が接続され、また、ポリシリコン層16の引き出し部16b同士が接続されて、多数の単位容量セル10aが並列に接続された状態とすることができ、大きな合成容量を持つコンデンサを形成することができる。しかも、このような構造の単位容量セル10aを用いれば、隣接して並ぶ多数の単位容量セル10aのうち、少なくとも1つにおいて、VDメタル層21を電源電位VDに接続すれば、すべての単位容量セル10aを電源電位VDに接続することができる。また同様に、少なくとも1つの単位容量セル10aにおいて、VSメタル層22を接地電位VSに接続すれば、すべての単位容量セル10aを接地電位VSに接続することができる。
前述したように、容量挿入領域160等へ、このような構造の単位容量セル10aに対応する単位容量セルブロック10を、格子状に敷き詰めるようにして配置する。これにより、容量挿入領域160等には、それぞれ大きな合成容量値Ciを持つコンデンサがそれぞれ配置されたことになる。
【0056】
次いで、ステップS7において、図11に示すように、データファイルD4に記録されている配線ルール及びデータファイルD5に記録されている回路接続データを基に、入出力ブロック110のアナログ入出力端子部111ANとアナログ信号回路ブロック120,130との間に形成するアナログ配線170の配置を決定する。アナログ信号を扱う配線は、その線路長や特性インピーダンスなどによって生じる信号波形の歪みなどがその後の処理に大きく影響するため、最適な配線となるように注意深く配線の位置や寸法が決定するのが好ましいからである。その中には、アナログ信号回路ブロック120,130に電力を供給するためのVD配線(電源配線)171及びVS配線(接地配線)172も含まれている。なお、必要に応じて、アナログ配線170を設計者が手作業で配線し、あるいは、自動配線の後の手作業による修正を行うこともできる。
【0057】
次いで、ステップS8において、図12に示すように、データファイルD6に記録されているビア配置ルールに基づき、ICチップ100の厚さ方向に見て、VDメタル層21とVD配線171とが重なった部分に、多数のVDビア導体173を配置する。また、VSメタル層22とVS配線172とが重なった部分に、多数のVSビア導体174を配置する。
具体的には図7,図8に示すようにして、実際の単位容量セル10aとこの上方に形成したVD配線171及びVS配線172とを接続する。さらに具体的には、酸化膜17及びVDメタル層21及びVSメタル層22上に酸化膜23を形成し、さらにその上に形成したVD配線171及びVS配線172と、酸化膜23を貫通するVDビア導体173及びVSビア導体174によってそれぞれ接続する。
【0058】
かくして、VD配線171やVS配線172を、その厚さ方向下方に位置する単位容量セル10aに拘わらず、配置することができるから、その配置が容易になる。その上、VDメタル層21とVD配線171,VS配線172とVSメタル層22とをVDビア導体173及びVSビア導体174で接続するだけで足りるので、接続が容易である。しかも、アナログ信号回路ブロック120,130の近くで、さらには、アナログ信号回路ブロック120,130と入出力ブロック110との間で、アナログ配線1707のうちのVD配線171とVS配線172との間にデカップリングコンデンサを挿入することができるので、ノイズの影響などを除去し、アナログ信号回路ブロック120,130の特性をより良好とすることができる。また既に説明したように、VDメタル層21、あるいはVSメタル層22やポリシリコン層16は、隣り合う単位容量セル10a同士で相互に接続しているので、隣り合うすべての単位容量セル10aについて、VDメタル層21を電源電位に、また、VSメタル層22及びポリシリコン層16を接地電位にすることができる。
【0059】
その後、ステップS9において、図13に示すように、入出力ブロック110やアナログ信号回路ブロック120,130などの機能ブロック、容量挿入領域160,161,162,163などに占められていない、ハッチングで示す領域に、NAND回路やNOR回路、インバータ、フリップフロップなどの論理回路などをユニットとしたユニットセル180を多数配置する。ユニットセル180のデータはデータファイルD7に記録されている。
その後、ステップS10において、データファイルD4に記録されている配線ルール及びデータファイルD5に記録されている回路接続データを基に、配線190を配置する。具体的には、図14に示すように、ユニットセル180同士間や入出力ブロック110(具体的には入出力端子部111)とユニットセル180との間、入出力ブロック110とメモリブロック140,141やCPUコア150との間などの入出力ブロック110と他の機能ブロックとの間、アナログ信号回路ブロック120,130とメモリブロック140,141やCPUコア150との間など機能ブロック同士間、その他を接続する配線190を配置する。
【0060】
この配線190には、各部におけるデジタル処理のための電力(電源電位及び接地電位)を供給するための電源配線191及び接地配線192を含んでいる。そこで、電源配線191及び接地配線192の配置後、ステップS11において、前述した容量挿入領域160における単位容量セル10aと同じく、データファイルD6に記録されているビア配置ルールに基づき、メモリブロック140,141やCPUコア150に隣接する容量挿入領域161,162,163に配置された単位容量セル10aとの接続のためのビア導体を配置する。これにより、単位容量セル10aのVDメタル層21やVSメタル層22を、ビア導体によって電源配線191あるいは接地配線192に接続し、デカップリングコンデンサを両者間に挿入することができる。
【0061】
かくして、ICチップ100における入出力ブロックや機能ブロック、ユニットセル、各配線等のほか、コンデンサの配置設計をすることができたこととなる。そこで、完成したICチップ100のレイアウトパターンデータをデータファイルD10に記録して設計を完了する。従って、この配置、具体的には、レイアウトパターンデータに基づき、公知の手法でICチップ100を製造することで、容量挿入領域160等に多数の単位容量セル10aを備えたICチップ100を製造することができる。
なお、本実施形態では、空き領域115に容量挿入領域160の他に容量挿入領域161,162,163を確保して、ここに単位容量セルブロック10(単位容量セル10a)を配置した。しかし、容量挿入領域160のみとし、容量挿入領域161,162,163を確保しないようにすることもできる。その場合には、上述のステップS11は不要であることはいうまでもない。
【0062】
かくして、本実施形態の設計システムSYSによれば、アナログ信号回路ブロック120,130に隣接して、具体的には、アナログ信号回路ブロック120,130と入出力ブロック110との間の容量挿入領域160等に、多数の単位容量セル10aからなり合成容量値Ciを持つデカップリングコンデンサを確保したICチップ100を、容易にかつ設計者の熟練に依存せずに自動で設計することができる。このため、ICチップ100は安定動作可能あるいは特性良好となる。
また、本実施形態の設計方法によれば、容量挿入領域160等に、多数の単位容量セル10aからなり合成容量値Ciを持つデカップリングコンデンサを確保したICチップ100を、容易にかつ設計者の熟練に依存せずに設計することができる。
さらに、本実施形態のICチップ100は、容量挿入領域160に多数の単位容量セル10aからなり合成容量値Ciを持つデカップリングコンデンサを確保しており、安定動作可能、特性良好となる。また容易に設計できるので、安価なICチップとなし得る。
【0063】
(変形形態1)
次いで、変形形態1について、図15,図16を参照して説明する。本変形形態1は、上記実施形態と同様な単位容量セル10aを用いる。但し、実施形態では、単位容量セルブロック10を容量挿入領域160等に配置した後に、入出力ブロック110とアナログ信号回路ブロック120,130との間にアナログ配線170を配置し、さらにVDビア導体173,VSビア導体174を配置し、その後にユニットセル180を配置した。これに対し、本変形形態1では、単位容量セルブロックを容量挿入領域に配置した後、先にユニットセルを配置する点で異なる。従って、同様な部分については、簡略化あるいは省略し、異なる部分を中心に説明する。
【0064】
本変形形態1では、前記実施形態と同様に、ステップS1で入出力ブロック110を配置し、ステップS2でアナログ信号回路ブロック120などの機能ブロックを配置する。その後、ステップS3において、入出力ブロック110とアナログ信号回路ブロック120,130との間隙などの空き領域115のうちから容量挿入領域160等を抽出し、ステップS4で合成容量値Ciを算出する。ステップS5で合成容量値Ciを要求容量値Ctと比較し、Ci<CtのときはステップS2に戻り、各機能ブロック120等を再配置する。Ci≧Ctのときは、ステップS6に進み、容量挿入領域160等に単位容量セルブロック10を敷き詰めるようにして格子状に配置する。なお、これらのステップにおいて、データファイルD1〜D3を用いる。
【0065】
その後、本変形形態1では、ステップS24において、図16に示すように、入出力ブロック110やアナログ信号回路ブロック120,130などの機能ブロック、容量挿入領域160,161,162,163などに占められていない領域に、データファイルD7を用いて、ユニットセル280を配置する。
【0066】
次いで、ステップS25において、前述の実施形態と同様(図11参照)に、データファイルD4の配線ルール及びデータファイルD5の回路接続データを基に、入出力ブロック110とアナログ信号回路ブロック120,130との間にアナログ配線170を配置する。具体的には、入出力ブロック110のアナログ入出力端子部111ANとアナログ信号回路ブロック120,130との間に形成するアナログ配線170の配置を決定する。このアナログ配線170には、アナログ信号回路ブロック120,130に電力を供給するためのVD配線(電源配線)171及びVS配線(接地配線)172も含まれていることも同様である。
【0067】
さらに、ステップS26において、前述の実施形態と同様(図12参照)、データファイルD6のビア配置ルールに基づき、ICチップ2100の厚さ方向に見て、VDメタル層21とVD配線171とが重なった部分に、多数のVDビア導体173を、また、VSメタル層22とVS配線172とが重なった部分に、多数のVSビア導体174を配置する。これにより、容量挿入領域160に配置した単位容量セルブロック10(単位容量セル10a)をVD配線171及びVS配線172と接続することができる。
【0068】
その後、ステップS27において、前述の実施形態と同様(図14参照)、データファイルD4の配線ルール及びデータファイルD5の回路接続データを基づき、ユニットセル280同士間や入出力ブロック110とユニットセル280との間、入出力ブロック110とメモリブロック140,141やCPUコア150などの機能ブロックとの間、機能ブロック同士間などを接続する配線190を配置する。
【0069】
この配線190には、電源配線191及び接地配線192を含んでいる。そこで、ステップS11において、前述の実施形態と同様、データファイルD6のビア配置ルールに基づき、電源配線191及び接地配線192と容量挿入領域161,162,163に配置された単位容量セル10aとの接続のためのビア導体を配置する。これにより、単位容量セル10aのVDメタル層21やVSメタル層22を、ビア導体によって電源配線191あるいは接地配線192に接続し、デカップリングコンデンサを両者間に挿入することができる。
【0070】
かくして、本変形形態1においても、ICチップ200における入出力ブロックや機能ブロック、ユニットセル、各配線等のほか、コンデンサの配置設計をすることができたこととなり、完成したICチップ200のレイアウトパターンデータをデータファイルD10に記録して設計を完了する。従って、この配置に基づき、公知の手法でICチップ200を製造することで、容量挿入領域160等に多数の単位容量セル10aを備えたICチップ200を製造することができる。
このように、本変形形態1の設計システムによっても、デカップリングコンデンサを確保したICチップ200を、容易にかつ設計者の熟練に依存せずに自動で設計することができる。
また、本変形形態1の設計方法によれば、デカップリングコンデンサを確保したICチップ200を、容易にかつ設計者の熟練に依存せずに設計することができる。
さらに、本変形形態1のICチップ200には、デカップリングコンデンサが形成されており、安定動作可能、特性良好となる。また容易に設計できるので、安価なICチップとなし得る。
【0071】
(変形形態2)
次いで、変形形態2について、図17のフローチャートを参照して説明する。本変形形態2も、前記実施形態及び変形形態1と同様な単位容量セル10aを用いる。但し、実施形態及び変形形態1では、単位容量セルブロックを容量挿入領域に配置した後、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間の配線を他の機能ブロックやユニットセルとの配線に先立って行った。これに対し、本変形形態2では、入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間の配線を含めて、機能ブロックやユニットセルとの配線を行う点で異なる。従って、同様な部分については、簡略化あるいは省略し、異なる部分を中心に説明する。
【0072】
本変形形態2では、前記実施形態と同様に、ステップS1で入出力ブロック110を配置し、ステップS2で各機能ブロックを配置する。その後、ステップS3において、入出力ブロック110とアナログ信号回路ブロック120,130との間隙など入出力ブロックと機能ブロックとの間や機能ブロック同士の間の空き領域115のうちから容量挿入領域を抽出し、ステップS4で合成容量値Ciを算出する。ステップS5で合成容量値Ciを要求容量値Ctと比較し、Ci<CtのときはステップS2に戻り、各機能ブロック120等を再配置する。Ci≧Ctのときは、ステップS6に進み、容量挿入領域160等に単位容量セルブロック10を敷き詰めるようにして格子状に配置する。なお、これらのステップにおいて、データファイルD1〜D3を用いる。
さらに、前記変形形態1と同様に、ステップS24において、入出力ブロック110やアナログ信号回路ブロック120,130などの機能ブロック、容量挿入領域160,161,162,163などに占められていない領域に、データファイルD7を用いて、ユニットセル280を配置する(図16参照)。
【0073】
その後、ステップS35において、データファイルD4の配線ルール及びデータファイルD5の回路接続データを基に、ユニットセル280同士間や入出力ブロック110とユニットセル280との間、入出力ブロック110とメモリブロック140,141やCPUコア150などの入出力ブロック110と他の機能ブロックとの間、アナログ信号回路ブロック120,130とメモリブロック140,141やCPUコア150との間など機能ブロック同士間、その他を接続する配線190を配置する(図14参照)。この中には、入出力ブロック110(具体的には、アナログ入出力端子部111AN)とアナログ信号回路ブロック120,130とを結ぶアナログ配線170も含まれる。
【0074】
上記ステップS35で配置したこの配線190には、各部へ電力(電源電位及び接地電位)を供給するための電源配線191及び接地配線192を含んでいる。また、アナログ配線170にはVD配線171及びVS配線172を含んでいる。そこで、電源配線191及び接地配線192、VD配線171及びVS配線172の配置後、ステップS36において、データファイルD6のビア配置ルールに基づき、前述した容量挿入領域160,161,162,163における単位容量セル10aとの接続のためのビア導体を配置する。これにより、ビア導体によって単位容量セル10aのVDメタル層21を電源配線191あるいはVD配線171に接続し、VSメタル層22を接地配線192あるいはVS配線172に接続し、デカップリングコンデンサを両者間に挿入することができる。
【0075】
かくして、本変形形態2においても、ICチップ200における入出力ブロックや機能ブロック、ユニットセル、各配線等のほか、コンデンサの配置設計をすることができたこととなり、完成したICチップ200のレイアウトパターンデータをデータファイルD10に記録して設計を完了する。従って、この配置に基づき、公知の手法でICチップ200を製造することで、容量挿入領域160等に多数の単位容量セル10aを備えたICチップ200を製造することができる。
このように、本変形形態2の設計システムによっても、デカップリングコンデンサを確保したICチップ200を、容易にかつ設計者の熟練に依存せずに自動で設計することができる。
また、本変形形態2の設計方法によれば、デカップリングコンデンサを確保したICチップ200を、容易にかつ設計者の熟練に依存せずに設計することができる。
さらに、本変形形態2のICチップ200には、デカップリングコンデンサが形成されており、安定動作可能、特性良好となる。また容易に設計できるので、安価なICチップとなし得る。
【0076】
以上において、本発明を実施形態及び変形形態1,2に即して説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、上記した実施形態等では、MOSFETのゲート酸化膜15aを誘電体としてを利用した単位容量セル10aを用いた(図6〜図10参照)が、単位容量セルとして、その他の形態のコンデンサを用いることもできる。例えば、アルミニウムなどの金属やポリシリコンからなるベタ状の下層の上に、SiO2酸化膜を形成し、さらにこのSiO2酸化膜上に金属やポリシリコンからなるベタ状の上層を形成した形状の単位容量セルを用い、これを並べるようにしても良い。
但し、MOSFETはICチップの設計や生産において、既に確立された技術であり、容易に設計できる上、そのゲート酸化膜15aの厚さも極めて薄く制御することができるので、静電容量を大きくしやすい。また、実施形態等に示した単位容量セル10aならば、他のMOSFET等を形成するのと同時に形成することも可能であるなど、製造上も有利である。
【0077】
また、上記した実施形態等では、単位容量セルブロック10(単位容量セル10a)として平面視、正方形状のものを用いた。しかし、長方形状とすることもできる。また、隣接する単位容量セルとの接続を考慮すれば、三角形状や六角形状、あるいは複数の形状を組み合わせるなども、適宜採用することができる。
また、上記した実施形態等では、単位容量セル10aにNチャネルMOSFETの形態を利用したが、PチャネルMOSFETを、あるいは両者を同時に用いることもできる。
また上記実施形態等では、機能ブロックにアナログ信号回路ブロック120,130のほかメモリブロック140,141を含む、アナ・デジ混在の半導体集積回路を例として示したが、アナログ信号回路ブロックからなるアナログLSI及びその設計に適用することもできる。あるいは、デジタル回路のみからなるデジタルLSI及びその設計に適用することもできる。
【0078】
(付記1)
入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置手段と、
アナログ信号回路ブロックを含むすべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置手段と、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、少なくとも上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置手段と、
上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定するアナログ配線配置手段と、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくともの1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置手段と、
を備える半導体集積回路素子の設計システム。
(付記2)
半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、
入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置手段と、
すべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置手段と、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの間隙または上記機能ブロック同士の間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置手段と、
上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの配線及び上記機能ブロック同士の配線の配置を決定する配線配置手段と、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとも1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置手段と、
を備える半導体集積回路素子の設計システム。
(付記3)
付記1または付記2に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、
前記機能ブロック配置手段は、
前記機能ブロックを仮配置する仮配置手段と、
前記複数の単位容量セルブロックを配置する容量挿入領域を抽出する抽出手段と、
上記容量挿入領域に上記単位容量セルブロックを配置した場合に得られる合成容量値を算出する合成容量算出手段と、
上記合成容量値を所定の要求容量値と比較し、上記合成容量値が上記要求容量値よりも小さいときに上記仮配置手段に戻り、上記合成容量値が上記要求容量値以上のときに上記仮配置の位置を上記機能ブロックの配置に決定する比較手段と、を含み、
前記単位容量セル配置手段は、上記容量挿入領域に前記単位容量セルブロックを配置する
半導体集積回路素子の設計システム。
(付記4)
付記1〜付記3のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、
前記単位容量セルは、
MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成する
半導体集積回路素子の設計システム。
(付記5)
付記1〜付記4のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、
前記単位容量セルは、
平面視、矩形状であり、
各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、
前記単位容量セル配置手段は、複数の上記矩形状単位容量セルを示す矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する
半導体集積回路素子の設計システム。
(付記6)
コンピュータを、付記1〜付記5のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させるためのプログラム。
(付記7)
コンピュータを付記1〜付記5のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
(付記8)
半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、
入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置ステップと、
アナログ信号回路ブロックを含むすべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置ステップと、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、少なくとも上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置ステップと、
上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定するアナログ配線配置ステップと、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとの1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置ステップと、
を備える半導体集積回路素子の設計方法。
(付記9)
半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、
入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置ステップと、
すべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置ステップと、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの間隙または上記機能ブロック同士の間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置ステップと、
上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの配線及び上記機能ブロック同士の配線の配置を決定する配線配置ステップと、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとも1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置ステップと、
を備える半導体集積回路素子の設計方法。
(付記10)
付記8または付記9に記載の半導体集積回路素子の設計方法であって、
前記機能ブロック配置ステップは、
前記機能ブロックを仮配置する仮配置ステップと、
前記複数の単位容量セルブロックを配置する容量挿入領域を抽出する抽出ステップと、
上記容量挿入領域に上記単位容量セルブロックを配置した場合に得られる合成静電容量を算出する合成容量算出ステップと、
上記合成容量値を所定の要求容量値と比較し、上記合成容量値が上記要求容量値よりも小さいときに上記仮配置ステップに戻り、上記合成容量値が上記要求容量値以上のときに上記仮配置の位置を上記機能ブロックの配置に決定する比較ステップと、を含み、
前記単位容量配置ステップは、上記容量挿入領域に前記単位容量セルブロックを配置する
半導体集積回路素子の設計方法。
(付記11)
付記8〜付記10のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計方法であって、
前記単位容量セルは、
MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成する
半導体集積回路素子の設計方法。
(付記12)
付記8〜付記11のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計方法であって、
前記単位容量セルは、
平面視、矩形状であり、
各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、
前記単位容量配置ステップは、複数の上記矩形状単位容量セルを示す矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する
半導体集積回路素子の設計方法。
(付記13)
基板に形成され、この基板の平面方向に区画された入出力ブロック及び複数の機能ブロックを有する半導体集積回路素子であって、
上記入出力ブロック及び機能ブロックに属さない空き領域において、
第1電源電位とされる第1電極と、誘電体層と、この誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を上記平面方向に隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを、複数個互いに隣接して配置し、隣接する各単位容量セルの各第1電極同士を電気的に接続し、各第2電極同士を電気的に接続してなる
半導体集積回路素子。
(付記14)
付記13に記載の半導体集積回路素子であって、
前記複数の単位容量セルよりも前記基板の厚さ方向表面側には、
前記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線と、
前記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線とが形成され、
前記複数の単位容量セルのうち、
各第1電極は、上記第1電源配線から延びる少なくとも1つの第1ビア導体によって上記第1電源電位とされ、
各第2電極は、上記第2電源配線から延びる少なくとも1つの第2ビア導体によって上記第2電源電位とされてなる
半導体集積回路素子。
(付記15)
付記13または付記14に記載の半導体集積回路素子であって、
前記単位容量セルは、
MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成してなる
半導体集積回路素子。
(付記16)
付記13〜付記15のいずれか一項に記載の半導体集積回路素子であって、
前記単位容量セルは、
平面視、矩形状であり、
各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、
前記空き領域において、複数の上記矩形状単位容量セルを格子状に互いに隣接して配置してなる
半導体集積回路素子。
(付記17)
付記143〜付記16のいずれか一項に記載の半導体集積回路素子であって、
前記複数の単位容量セルは、前記空き領域のうち、少なくともアナログ信号回路ブロックと隣り合う領域に形成され、
前記第1電源配線及び第2電源配線は、前記入出力ブロックから前記アナログ信号回路ブロックに電源電位を供給する配線である
半導体集積回路素子。
(付記18)
付記17に記載の半導体集積回路素子であって、
前記複数の単位容量セルは、前記空き領域のうち、少なくとも前記アナログ信号回路ブロックと入出力ブロックとに挟まれた領域に形成されてなる
半導体集積回路素子。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来のICチップの設計手順を示すフローチャートである。
【図2】 実施形態等にかかるICチップの設計システムの構成図である。
【図3】 実施形態にかかるICチップの設計手順を示すフローチャートである。
【図4】 ICチップに入出力ブロック、アナログ信号回路ブロック、メモリブロック、CPUコアその他の機能ブロックを配置した状態を示す説明図である。
【図5】 ICチップのうち機能ブロックの配置されていない空き領域に、単位容量セルブロックを多数互いに隣接して配置した状態を示す説明図である。
【図6】 単位容量セルの平面構造を示す説明図である。
【図7】 単位容量セルの図6におけるA−A’断面の構造を示す説明図である。
【図8】 単位容量セルの図6におけるB−B’断面の構造を示す説明図である。
【図9】 単位容量セルの回路構成を模式的に示す説明図である。
【図10】 複数の単位容量セルを互いに隣接して格子状に配置した状態を示す説明図である。
【図11】 ICチップのうち入出力ブロックとアナログ信号回路ブロックとの間に配線を形成した状態を示す説明図である。
【図12】 VD配線及びVS配線と単位容量セルとの間にビア導体を配置した状態を示す説明図である。
【図13】 ICチップのうち機能ブロック及び単位容量セルブロックの配置されていない空き領域に、ユニットセルを配置した状態を示す説明図である。
【図14】 ICチップのうち、入出力ブロックとメモリブロック、CPUコアその他の機能ブロックとの間、アナログ信号回路ブロックとCPUコアやメモリブロックとの間など機能ブロック同士、機能ブロックとユニットセルとの間等に配線を形成した状態を示す説明図である。
【図15】 変形形態1に係るICチップの設計手順を示すフローチャートである。
【図16】 ICチップのうち機能ブロック及び単位容量セルブロックの配置されていない空き領域に、ユニットセルを配置した状態を示す説明図である。
【図17】 変形形態2に係るICチップの設計手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
100,200 ICチップ(半導体集積回路素子)
110 入出力ブロック
111 入出力端子部
111AN アナログ入出力端子部
115 空き領域
120,130 アナログ信号回路ブロック
140,141 メモリブロック
150 CPUコア
160,161,162,163 容量挿入領域
SYS 設計システム
10 単位容量セルブロック(矩形状単位容量セルブロック)
10a 単位容量セル(矩形状単位容量セル)
12a チャネル領域(第1電極)
13 P+拡散領域(ドレイン,ソース)
14 N+拡散領域
15 酸化膜
15a ゲート酸化膜(誘電体層)
16 ポリシリコン層
16a ゲート部(第2電極)
170 アナログ配線
171 VD配線(第1電源配線)
172 VS配線(第2電源配線)
173 VDビア導体(第1ビア導体)
174 VSビア導体(第2ビア導体)
180,280 ユニットセル
190 配線
191 電源配線
192 接地配線
Claims (10)
- 入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置手段と、
アナログ信号回路ブロックを含むすべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置手段と、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、少なくとも上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置手段と、
上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定するアナログ配線配置手段と、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくともの1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置手段と、
を備える半導体集積回路素子の設計システム。 - 入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置手段と、
すべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置手段と、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの間隙または上記機能ブロック同士の間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置手段と、
上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの配線及び上記機能ブロック同士の配線の配置を決定する配線配置手段と、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとも1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置手段と、
を備える半導体集積回路素子の設計システム。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、
前記機能ブロック配置手段は、
前記機能ブロックを仮配置する仮配置手段と、
前記複数の単位容量セルブロックを配置する容量挿入領域を抽出する抽出手段と、
上記容量挿入領域に上記単位容量セルブロックを配置した場合に得られる合成容量値を算出する合成容量算出手段と、
上記合成容量値を所定の要求容量値と比較し、上記合成容量値が上記要求容量値よりも小さいときに上記仮配置手段に戻り、上記合成容量値が上記要求容量値以上のときに上記仮配置の位置を上記機能ブロックの配置に決定する比較手段と、を含み、
前記単位容量セル配置手段は、上記容量挿入領域に前記単位容量セルブロックを配置する
半導体集積回路素子の設計システム。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、
前記単位容量セルは、
MOSFET構造を有し、そのドレイン、ソース及びバックゲートを短絡し、これらとゲートとの間で前記単位キャパシタを構成する
半導体集積回路素子の設計システム。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムであって、
前記単位容量セルは、
平面視、矩形状であり、
各辺の端部まで前記第1電極と前記第2電極とを各々電気的に引き出し、かつ、対向する辺同士では、上記第1電極と第2電極との引き出し位置を鏡像の関係としてなる矩形状単位容量セルであり、
前記単位容量セル配置手段は、複数の上記矩形状単位容量セルを示す矩形状単位容量セルブロックを格子状に互いに隣接して配置する
半導体集積回路素子の設計システム。 - コンピュータを、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させるためのプログラム。
- コンピュータを請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子の設計システムにおける各手段として機能させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- コンピュータにて実行される半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、
入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置ステップと、
アナログ信号回路ブロックを含むすべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置ステップと、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、少なくとも上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置ステップと、
上記入出力ブロックと上記アナログ信号回路ブロックとの配線の配置を決定するアナログ配線配置ステップと、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとの1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置ステップと、
を備える半導体集積回路素子の設計方法。 - コンピュータにて実行される半導体集積回路素子の設計方法であって、素子領域内において、
入出力ブロックの配置を決定する入出力ブロック配置ステップと、
すべての機能ブロックの配置を決定する機能ブロック配置ステップと、
第1電源電位とされる第1電極と誘電体層とこの誘電体層を介して上記第1電極に対向し第2電源電位とされる第2電極とからなる単位キャパシタを含む単位容量セルであって、この単位容量セル同士を隣接して配置したときに、隣り合う上記単位容量セル間で、上記第1電極同士を電気的に接続でき、上記第2電極同士を電気的に接続できる接続配線パターンを有する単位容量セルを示す単位容量セルブロックを、上記素子領域内の上記入出力ブロック及び上記機能ブロックに属さない空き領域のうち、上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの間隙または上記機能ブロック同士の間隙に、複数互いに隣接して配置する単位容量セル配置ステップと、
上記入出力ブロックと上記機能ブロックとの配線及び上記機能ブロック同士の配線の配置を決定する配線配置ステップと、
上記配線のうち、上記第1電源電位とされる少なくとも1本の第1電源配線から延びて上記第1電極と電気的に接続する少なくとも1つの第1ビア導体、及び、上記配線のうち、上記第2電源電位とされる少なくとも1本の第2電源配線から延びて上記第2電極と電気的に接続する少なくとも1つの第2ビア導体の配置を決定するビア導体配置ステップと、
を備える半導体集積回路素子の設計方法。 - 請求項8または請求項9に記載のコンピュータにて実行される半導体集積回路素子の設計方法であって、
前記機能ブロック配置ステップは、
前記機能ブロックを仮配置する仮配置ステップと、
前記複数の単位容量セルブロックを配置する容量挿入領域を抽出する抽出ステップと、
上記容量挿入領域に上記単位容量セルブロックを配置した場合に得られる合成静電容量を算出する合成容量算出ステップと、
上記合成容量値を所定の要求容量値と比較し、上記合成容量値が上記要求容量値よりも小さいときに上記仮配置ステップに戻り、上記合成容量値が上記要求容量値以上のときに上記仮配置の位置を上記機能ブロックの配置に決定する比較ステップと、を含み、
前記単位容量配置ステップは、上記容量挿入領域に前記単位容量セルブロックを配置する
半導体集積回路素子の設計方法。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP2002057530A JP4112244B2 (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 半導体集積回路素子の設計システム、プログラム、記録媒体、及び、半導体集積回路素子の設計方法 |
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