JP4083318B2 - 閉鎖装置 - Google Patents

閉鎖装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4083318B2
JP4083318B2 JP28431698A JP28431698A JP4083318B2 JP 4083318 B2 JP4083318 B2 JP 4083318B2 JP 28431698 A JP28431698 A JP 28431698A JP 28431698 A JP28431698 A JP 28431698A JP 4083318 B2 JP4083318 B2 JP 4083318B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piston
cylinder
opening
cylinder unit
closure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP28431698A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11241776A (ja
Inventor
トーマス ブレカ
Original Assignee
バット ホールディング アーゲー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by バット ホールディング アーゲー filed Critical バット ホールディング アーゲー
Publication of JPH11241776A publication Critical patent/JPH11241776A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4083318B2 publication Critical patent/JP4083318B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0218Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with only one sealing face
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/188Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、タンク又は導管の開口の閉鎖装置において、該開口の形成された壁に押圧されるように該開口の平面と実質的に垂直に該開口へ向かって及び該開口から離れるように移動可能であって、且つ該開口から間隔を置いた位置において該開口の平面と実質的に平行に変位可能な該開口の閉鎖板と、該閉鎖板を該開口の平面と平行に変位させ、且つシリンダ孔と該孔内で変位可能な少なくとも一つのピストンとを備えたハウジングを有するピストン−シリンダユニットとを含むものに関する。
【0002】
【従来の技術】
上記タイプの閉鎖装置は良く知られたものである。通常、それらはスライド装置と呼ばれている。かかる装置の作動は複数の異なる動作を含んでいる。スライド板はその平面と実質的に平行にその開口位置又は閉鎖位置に至るように移動させられる。その開口位置において、該閉鎖板は閉鎖する該開口の側方に位置している。その閉鎖位置において、該閉鎖板は該開口を覆っている。該開口を密閉するためには、該閉鎖板は該開口の密封端に押圧される。上記の閉鎖装置は米国特許第4,470,576号、第3,368,792号、第4,560,141号;ドイツ特許第3,209,217号、第3,643,069号、第2,528,043号、第3,224,387号、及び第2,551,429号に開示されている。従来装置の共通の特徴は、それらが全て、該閉鎖板をその閉鎖位置から密封位置へ移動させるために高価な機械的要素を必要とすることである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、従来装置に比べて前記の作動を実質的に簡略化した閉鎖装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的及び以下で明らかになる他の目的を達成するために、タンク又は導管の開口の閉鎖装置において、該開口の形成された壁に押圧されるように該開口の平面と実質的に垂直に該開口へ向かって及び該開口から離れるように移動可能であって、該開口から間隔を置いた位置で該開口の平面と実質的に平行に変位可能である該開口の閉鎖板と、該閉鎖板を該開口の平面と平行に変位させ、シリンダ孔と該シリンダ孔内で変位可能な少なくとも一つのピストンとを備えたハウジングを有する第1ピストン−シリンダユニットと、該閉鎖板を該開口の平面と垂直に該開口へ向かって及び該開口から離れるように移動させ、且つシリンダ孔と該シリンダ孔内で変位可能な少なくとも一つのピストンとを有し、且つ該閉鎖板に接続されて該閉鎖板を該開口の形成された該壁に向かって及び該壁から離れるように移動させる第2ピストン−シリンダユニットと、該第1及び第2ピストン−シリンダユニットの各シリンダ孔内で各ピストンを変位させるために第1及び第2ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔に圧力媒体を導く導管手段であって、該導管手段の一部が、該圧力媒体を、第1ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔と、第2ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔との間で連通させている導管手段とを含むことを特徴とする。
【0005】
本発明は、該第2ピストン−シリンダユニットと該導管手段とを設けたことによって、単純な空気圧シーケンス制御を用いることにより、該閉鎖板をその平面内で変位させること及び該閉鎖板を該開口へ移動させて該開口を密閉することを達成することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
添付図面を参照して、好適な実施例に関する後述の詳細な説明を読むことにより、本発明の特徴及び目的がより明らかになり、本発明自体が最も良く理解される。
【0007】
図1には、タンクの壁1(詳細には示されていない)、本発明による閉鎖装置3を用いて密閉可能な開口2が概略的に示されている。該閉鎖装置3は、ネジ等の適切な手段によって該壁1に固定されるハウジング4を有している。該ハウジング4は、上孔部7とこれより直径の大きい下孔部6との2段のシリンダ孔8を備える第1ピストン−シリンダユニット5を含んでいる。「上」及び「下」の用語は該図面上での各部の位置に対応して使用する。ピストン9は直径のより大きい孔部6内において変位する。該ピストン9の両側にはそれぞれ、異なる直径を有する2つのピストンロッド10と11とが設けられている。該ピストンロッド10,11の直径は、ピストン9の上面F1がその下面F2より小さいように、これらF1:F2の比を約3:4又は0.75に等しくするように選択されている。第1ピストン−シリンダユニット5は、明白なので特に示さない従来の密封体を有する。該密封体は、ピストンロッド10,11の案内手段の中又は上と共に、ピストン9上に設けられる。同じものが以下に詳述する第2ピストン−シリンダユニット12にも採用されている。ピストンロッド11は、ピストン9の各ストローク時のピストン9の各位置においてハウジング4内に残っている。ピストンロッド10はハウジング4から下方へ突出して、その下端に接する第2ピストン−シリンダユニット12を移動させる。第2ピストン−シリンダユニット12は、異なる直径を有し且つ内部でピストン16,17がそれぞれ変位する2つのシリンダ孔14,15を備えたハウジング13を有している。2つのピストン16,17は、孔14と15とを分けている中間壁19を貫通して延びる共通のピストンロッド18によって連結されている。ハウジング13から突出するピストンロッド18の一端には、環状の密封面を設けられた閉鎖板20が配設されている。ピストン16と17はそれぞれ異なるピストン作用面F3とF4を有しており、F3:F4の比は約1:2又は0.5である。
【0008】
ピストン−シリンダユニット5と12は共に、圧力媒体導管21を通して送られる圧力媒体(圧縮空気)の作用を受ける。圧力媒体導管21はシリンダ孔8の孔部6にまで延びて、その中へピストン作用面F1の上で開口している。ピストン9とピストンロッド10は、ハウジング13全体を貫通して延び且つ作用面F3の位置でシリンダ孔14の中へ開口する長孔23によって貫通されている。枝導管24は圧力媒体導管21に接続されている。枝導管24はシリンダ孔8の孔部6の下部へ開口している。孔部6は、ピストンロッド10に形成された第2の長孔26を経由して、第2ピストン−シリンダユニット12のシリンダ孔15に連通している。シリンダ孔15内において、第2の長孔26はピストン作用面F4の側に開口している。バルブ25のスプールの両方の位置が図1に示されている。図1に示された位置、すなわち該閉鎖装置の開口位置において、枝導管24を通じて流れる圧力媒体はピストン9の面F2及びピストン17の面F4に作用する。全ての枝導管及び全ての孔の内部の圧力は同じに維持され、閉鎖装置の諸要素は図面に示された位置を占める。
【0009】
図1に示されたように、ピストン9,16,17は同一圧力を受けている。前述したピストン面F1とF2及びF3とF4の比に従って、ピストン9,16,17は図1に示された位置で保持される。
【0010】
スプールバルブ25の位置が変化したとき、導管21内で圧力が維持されている間、枝導管24は大気中へ排気している。面F1とF2とに作用する圧力が等しくなるまで、面F2に作用する圧力は減少する。その結果、面F2に作用するより大きな圧力が面F1に作用するのに従ってピストン9は下方へ移動し、閉鎖装置は図2に示された位置を占める。このとき、第2ピストン−シリンダユニット12のピストン16と17は図1と同じ位置を占めている。ピストン9が下方へ移動するとき、その下の体積が減少する。ピストン−シリンダユニット12の孔14と15の圧力差がピストン9の下方への移動により生じて、閉鎖板20は図1と同じ位置に維持される。ピストン9がその下端の位置に達したとき、図2に示すように、面F4に作用する孔15内の圧力が枝導管24を排気した結果として減少し、ピストン16は、導管21内の圧力に従って左方に移動して、閉鎖板20を開口2が密封されている図3に示された位置に変位させる。開口2が密封されるとき、枝導管24は排気される。
【0011】
開口2を開口することが必要なとき、スプールバルブ25は図1に示された位置にされる。圧力媒体(空気)は、枝導管24を通じて流れ、前記のピストン面の比に従って、ピストン17を閉鎖板20と共に右方へ移動させ、またピストン9を上方へ移動させて、図1に示された最初の位置に移動させる。
【0012】
上記の構造では、ピストン9と17の面F2とF4がそれぞれ圧力媒体によって作用される圧力を択一的に受けるように構成されており、且つ、それらに作用する一定の反作用力は、ピストンが圧力媒体の作用を択一的に受けたとき、一方で閉鎖板20をその平面又は開口2の平面と平行に変位させ、他方で閉鎖板20をその平面又は開口2の平面と垂直に変位又は上昇させることが適時に順次に続くように選択されている。それによって、望ましい空気圧シーケンス制御が非常に小額の費用で且つ単純な2位置スプールバルブを用いて達成される。
【0013】
図1乃至3に示された実施形態では、ピストン9,16の圧力受容面F1,F3はそれぞれ一定の空気圧を受けている。基本的に、これらの面に圧力を加えるためにはヘリカルスプリング等のスプリングを使用することが可能であり、該スプリングはそれらの作動範囲内でできるかぎり均一に一定なスプリングとして形成することができる。
【0014】
既に上述したように、図1乃至3に示された実施形態では、ハウジング4はタンクの壁1に固定されている。
【0015】
図4には、ピストン9のピストンロッド10がその一端を壁1から突出したブラケット27に固定させた本発明による閉鎖装置の実施形態が示されている。この実施形態では、唯一のハウジング28が設けられており、その内部にピストン−シリンダユニット5と12の両方が配設され、また2つのシリンダ孔の軸が互いに垂直に延びている。それ以外については、閉鎖装置の作動回路の配置は図1乃至3に示された実施形態のものと実質的に同じであり、その作動は図1乃至3に示された装置のものと類似する。図4に示された装置の諸要素は図1乃至3に示された装置の諸要素に対応する同じ符号で示されている。
【0016】
両実施形態において、閉鎖装置は概略的に示されている。実際の実施形態は、閉鎖板の大きさに応じて、互いに平行に連結されたより多くのピストン−シリンダユニットを含むことが可能である。
【0017】
本発明は好適な実施形態に対応して示され記載されたが、それらの様々な変形例が当業者において明白であり、従って、本発明は前記開示した実施形態やその詳細に限定されるものではなく、それらから逸脱したものも請求の範囲の趣旨及び範囲内で可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態のタンク又は導管の閉鎖装置の開口位置における垂直な長手方向の横断面を概略的に示した図。
【図2】本発明の第1実施形態のタンク又は導管の閉鎖装置の閉鎖位置における垂直な長手方向の横断面を概略的に示した図。
【図3】本発明の第1実施形態のタンク又は導管の閉鎖装置の密封位置における垂直な長手方向の横断面を概略的に示した図。
【図4】本発明の第2実施形態のタンク又は導管の閉鎖装置の開口位置における垂直な長手方向の横断面を概略的に示した図。
【符号の説明】
1・・壁、 2・・開口、 3・・閉鎖装置、 4・・ハウジング、 5・・第1ピストン−シリンダユニット、 8・・シリンダ孔、 9・・ピストン、10,11・・ピストンロッド、 12・・第2ピストン−シリンダユニット、13・・ハウジング、 14,15・・シリンダ孔、 16,17・・ピストン、 18・・ピストンロッド、 19・・中間壁、 20・・閉鎖板、 21・・導管、 23,26・・長孔、 24・・枝導管、 25・・バルブ、 F1,F2,F3,F4・・ピストン作用面

Claims (15)

  1. タンク又は導管の開口の閉鎖装置において、
    該開口の形成された壁に押圧されるように該開口の平面と実質的に垂直に該開口へ向かって及び該開口から離れるように移動可能であって、該開口から間隔を置いた位置で該開口の平面と実質的に平行に変位可能である該開口の閉鎖板と、
    該閉鎖板を該開口の平面と平行に変位させ、シリンダ孔と該シリンダ孔内で変位可能な少なくとも一つのピストンとを備えたハウジングを有する第1ピストン−シリンダユニットと、
    該閉鎖板を該開口の平面と垂直に該開口へ向かって及び該開口から離れるように移動させ、且つシリンダ孔と該シリンダ孔内で変位可能な少なくとも一つのピストンとを有し、且つ該閉鎖板に接続されて該閉鎖板を該開口の形成された該壁に向かって及び該壁から離れるように移動させる第2ピストン−シリンダユニットと、
    第1及び第2ピストン−シリンダユニットの各シリンダ孔内で各ピストンを変位させるために第1及び第2ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔に圧力媒体を導く導管手段であって、該導管手段の一部が、該圧力媒体を、第1ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔と、第2ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔との間で連通させている導管手段とを含むことを特徴とする閉鎖装置。
  2. 更に、前記第1ピストン−シリンダユニットのピストン及び第2ピストン−シリンダユニットのピストンの各一側に実質上一定の圧力を作用させる加圧手段とを含むことを特徴とする請求項1記載の閉鎖装置。
  3. 前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の一方及び前記第2ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の一方が、一定圧力を有する圧力媒体の作用を受けることを特徴とする請求項1記載の閉鎖装置。
  4. 前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の他方及び前記第2ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の他方が、可変な圧力媒体の作用を受けることを特徴とする請求項3記載の閉鎖装置。
  5. 前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の圧力受容面の大きさが異なることを特徴とする請求項4記載の閉鎖装置。
  6. 前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンの一側の圧力受容面が反対側の圧力受容面よりも小さく、前記第2ピストン−シリンダユニットのピストンの一側の圧力受容面が反対側の圧力受容面より小さいことを特徴とする請求項5記載の閉鎖装置。
  7. 前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンの両側に直径の異なるピストンロッドが設けられ、該ピストンの両側の圧力受容面の比が0.75に等しいことを特徴とする請求項1記載の閉鎖装置。
  8. 前記第2ピストン−シリンダユニットは、2つのシリンダ孔と、該各シリンダ孔内で変位可能であって直径の異なる2つのピストンとを有し、該2つのピストンは、該2つのシリンダ孔を分ける中間壁を貫通して延びる1つのピストンロッドによって連結されていることを特徴とする請求項1記載の閉鎖装置。
  9. 前記2つのピストンの直径の比が0.5に等しいことを特徴とする請求項8記載の閉鎖装置。
  10. 前記第2ピストン−シリンダユニットは、中間壁によって分けられる2つのシリンダ孔と、該中間壁を貫通して延びる1つのピストンロッドによって連結され、該各シリンダ孔内で変位可能な2つのピストンとを有しており、該2つのピストンは直径が異なり、それらの直径の比は0.5に等しいことを特徴とする請求項7記載の閉鎖装置。
  11. 前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンは、その両側に直径の異なるピストンロッドを有しており、前記第2ピストン−シリンダユニットは、中間壁によって分けられる2つのシリンダ孔と、該中間壁を貫通して延びる1つのピストンロッドによって連結され、該各シリンダ孔内で変位可能な2つのピストンとを有しており、該2つのピストンは異なる直径を有し、それらの直径の比の値は第1ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の直径の比の値よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の閉鎖装置。
  12. 前記第1ピストン−シリンダユニットの両側に設けられた前記ピストンロッドの一つに、前記第1ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔を前記第2ピストン−シリンダユニットの2つのシリンダ孔に連通させる2つの長孔が設けられていることを特徴とする請求項10記載の閉鎖装置。
  13. 前記第1及び第2ピストン−シリンダユニットが共通のハウジング内に配置され、前記第1及び第2ピストン−シリンダユニットのシリンダ孔の軸が互いに垂直に延び、前記第1ピストン−シリンダユニットのピストンの両側に設けられた2つのピストンロッドの一つが固定的に保持されていることを特徴とする請求項1記載の閉鎖装置。
  14. 前記閉鎖板を前記開口の平面と平行に変位させることと、前記閉鎖板を前記開口の平面と垂直に前記開口へ向かって及び離れるように移動させることとが、順次に適時に達成されるように、前記第1及び第2ピストン−シリンダユニットのピストンの両側の圧力受容面の大きさ並びにそれらに作用する圧力が設定されることを特徴とする請求項5記載の閉鎖装置。
  15. 前記導管手段は、前記閉鎖板を前記開口の平面と平行に変位させることと、前記閉鎖板を前記開口の平面と垂直に前記開口へ向かって及び離れるように移動させることとが、順次に適時に達成されるように、前記第1及び第2ピストン−シリンダユニットのピストンに可変な圧力媒体を択一的に作用させる2位置スプールバルブを含むことを特徴とする請求項14記載の閉鎖装置。
JP28431698A 1997-10-20 1998-10-06 閉鎖装置 Expired - Lifetime JP4083318B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19746241A DE19746241C2 (de) 1997-10-20 1997-10-20 Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung
DE197462413 1997-10-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11241776A JPH11241776A (ja) 1999-09-07
JP4083318B2 true JP4083318B2 (ja) 2008-04-30

Family

ID=7846024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28431698A Expired - Lifetime JP4083318B2 (ja) 1997-10-20 1998-10-06 閉鎖装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6056266A (ja)
JP (1) JP4083318B2 (ja)
DE (1) DE19746241C2 (ja)

Families Citing this family (88)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH692821A5 (de) * 1998-02-04 2002-11-15 Unaxis Trading Ag Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen.
JP3388435B2 (ja) * 1999-12-28 2003-03-24 株式会社ブイテックス ゲートバルブ
US6629682B2 (en) 2001-01-11 2003-10-07 Vat Holding Ag Vacuum valve
US6471181B2 (en) 2001-01-11 2002-10-29 Vat Holding Ag Suspension of a valve plate of a vacuum valve
US6431518B1 (en) 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
US6416037B1 (en) 2001-01-11 2002-07-09 Vat Holding Ag Vacuum pipe
WO2004010035A1 (en) * 2002-07-19 2004-01-29 Woong-Ki Park Vacuum gate valve
DE10255230A1 (de) * 2002-11-26 2004-06-09 Uhde High Pressure Technologies Gmbh Hochdruckvorrichtung und -verfahren zum hydraulisch-pneumatischen Krafthub für Reinraumanwendungen
DE10255231B4 (de) * 2002-11-26 2006-02-02 Uhde High Pressure Technologies Gmbh Hochdruckvorrichtung zum Verschließen eines Druckbehälters im Reinraum
US6899316B2 (en) * 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
US6916009B2 (en) * 2003-07-14 2005-07-12 Vat Holding Ag Load-lock device for introducing substrates into a vacuum chamber
US20060124886A1 (en) * 2004-07-08 2006-06-15 Brenes Arthur J Gate valve
US7494107B2 (en) * 2005-03-30 2009-02-24 Supercritical Systems, Inc. Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels
US7828267B2 (en) * 2005-07-29 2010-11-09 Kitz Sct Corporation Slide valve
JP4979429B2 (ja) * 2006-03-31 2012-07-18 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
KR101474786B1 (ko) * 2006-05-05 2014-12-22 배트 홀딩 아게 진공밸브 구동장치
KR20070113122A (ko) 2006-05-24 2007-11-28 배트 홀딩 아게 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치
DE102007030006B4 (de) * 2006-07-19 2009-12-17 Vat Holding Ag Vakuumventil
WO2008144670A1 (en) 2007-05-18 2008-11-27 Brooks Automation, Inc. Load lock fast pump vent
US10541157B2 (en) 2007-05-18 2020-01-21 Brooks Automation, Inc. Load lock fast pump vent
JP5324827B2 (ja) * 2007-06-08 2013-10-23 ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト 脚部要素を有する真空ゲートバルブ
US8083207B1 (en) * 2007-11-13 2011-12-27 Lam Research Corporation Apparatus for gate valve movement in a minimum-space wet process environment
DE102007059039A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-18 Vat Holding Ag Vakuumventil
EP2146122A1 (de) * 2008-07-18 2010-01-20 VAT Holding AG Vakuumventil und Verschlussteller für ein Vakuumventil
DE102008049353A1 (de) * 2008-09-29 2010-04-08 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008051349B3 (de) * 2008-10-15 2009-11-12 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008061315B4 (de) * 2008-12-11 2012-11-15 Vat Holding Ag Aufhängung einer Ventilplatte an einer Ventilstange
EP2224153A1 (de) 2009-02-25 2010-09-01 VAT Holding AG Vakuumdoppelschieberventil
EP2287501A1 (de) 2009-08-19 2011-02-23 VAT Holding AG Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs
EP2315236B1 (de) * 2009-10-22 2014-05-14 VAT Holding AG Klappen-Transferventil
KR101762984B1 (ko) 2010-01-29 2017-07-28 배트 홀딩 아게 개구부를 폐쇄하기 위한 도어
TW201128096A (en) * 2010-02-01 2011-08-16 Hermes Epitek Corp Gate valve
EP2355132B1 (de) * 2010-02-04 2014-05-21 VAT Holding AG Klappen-Transferventil mit schwenkbarem Ventilverschlussbalken
CN101956861B (zh) * 2010-05-06 2012-02-29 东莞宏威数码机械有限公司 密封腔体阀板驱动机构
EP2420709A1 (de) 2010-08-16 2012-02-22 VAT Holding AG Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung
JP5690220B2 (ja) * 2011-06-03 2015-03-25 株式会社アルバック スライド弁
CH704728A2 (de) 2011-03-18 2012-09-28 Vat Holding Ag Vakuumventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung eines Verschlussglieds.
EP2551565A1 (de) 2011-07-28 2013-01-30 VAT Holding AG Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung
EP2551564A1 (de) 2011-07-28 2013-01-30 VAT Holding AG Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs
KR101357104B1 (ko) * 2012-10-24 2014-02-12 주식회사 에이엠지 챔버용 게이트밸브 구동장치
EP2728226B1 (de) * 2012-10-31 2015-03-25 VAT Holding AG Vakuumventil
EP2749798B1 (de) 2012-12-27 2016-03-02 VAT Holding AG Vakuumschieberventil
EP2781813A1 (de) 2013-03-21 2014-09-24 VAT Holding AG Vakuumventil
EP2913573A1 (de) 2014-02-26 2015-09-02 VAT Holding AG Vakuumventil
TWI656293B (zh) * 2014-04-25 2019-04-11 瑞士商Vat控股股份有限公司
JP6584829B2 (ja) * 2014-07-04 2019-10-02 バット ホールディング アーゲー バルブ
EP2985497B1 (de) 2014-08-11 2017-10-11 VAT Holding AG Verschlusselement für ein Vakuumventil mit abgepresster, aufvulkanisierter Dichtung
JP6679594B2 (ja) 2014-12-19 2020-04-15 バット ホールディング アーゲー 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア
US9470319B2 (en) 2015-01-26 2016-10-18 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Gate valve with linkage structure
SG11201706945XA (en) 2015-03-09 2017-09-28 Vat Holding Ag Vacuum valve
JP6778206B2 (ja) 2015-03-27 2020-10-28 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
DE102015106916A1 (de) * 2015-05-04 2016-11-10 M. Braun Inertgas-Systeme Gmbh Transferventil
EP3106728A1 (de) 2015-06-16 2016-12-21 VAT Holding AG Vakuumventil mit linearer führungseinheit und ventilsystem mit ebensolchem ventil und antrieb
KR20170029676A (ko) 2015-09-07 2017-03-16 주식회사 엠앤이 차폐 디스크 유동 억제 장치 및 이를 포함하는 진공 게이트 밸브
EP3150322A1 (de) 2015-10-02 2017-04-05 VAT Holding AG Verschlusselement für eine vakuumdichtung mit einer reibrührschweissverbindung
TWI705212B (zh) 2016-01-19 2020-09-21 瑞士商Vat控股股份有限公司 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
EP3211281A1 (de) 2016-02-24 2017-08-30 VAT Holding AG Vakuumventil zum schliessen eines fliesswegs mit zweiteiligem ventilteller
EP3239567A1 (de) 2016-04-27 2017-11-01 VAT Holding AG Torventil mit kurvenführung
EP3258149A1 (de) 2016-06-14 2017-12-20 VAT Holding AG Vakuumventil zur regelung eines flusses und zur unterbrechung eines fliessweges
TWI740981B (zh) 2016-08-22 2021-10-01 瑞士商Vat控股股份有限公司 真空閥
EP3318787A1 (de) 2016-11-03 2018-05-09 VAT Holding AG Vakuumventilsystem zum geregelten betrieb eines vakuumprozesses
EP3348885B1 (de) 2017-01-16 2019-12-11 VAT Holding AG Dichtung eines vakuumventils und diesbezügliches herstellungsverfahren
EP3372881A1 (de) 2017-03-07 2018-09-12 VAT Holding AG Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil
EP3372883B1 (de) 2017-03-09 2019-12-11 VAT Holding AG Vakuumventil mit optischem sensor
EP3392541A1 (de) 2017-04-19 2018-10-24 VAT Holding AG Vakuumventil mit kraftsensor
EP3421853A1 (de) 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit akustischem sensor
EP3421850A1 (de) 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit positionssensor
EP3421852A1 (de) 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit inertialsensor
EP3421849A1 (de) 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit temperatursensor
EP3421851A1 (de) * 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit drucksensor
EP3450809A1 (de) 2017-08-31 2019-03-06 VAT Holding AG Verstellvorrichtung mit spannzangenkupplung für den vakuumbereich
EP3477173A1 (de) 2017-10-30 2019-05-01 VAT Holding AG Erweiterte vakuumprozesssteuerung
WO2019212226A1 (ko) * 2018-04-30 2019-11-07 티에스케이 주식회사 스팀트랩
DE102019001115A1 (de) 2019-02-15 2020-08-20 Vat Holding Ag Torventil mit Kulissenführung
DE102019129344A1 (de) * 2019-10-30 2021-05-06 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102020001179A1 (de) 2020-02-24 2021-08-26 Vat Holding Ag Vakuumventil zur Bereitstellung eines symmetrischen Fluidflusses
US11415230B2 (en) * 2020-03-31 2022-08-16 Applied Material, Inc. Slit valve pneumatic control
TWI730808B (zh) * 2020-06-11 2021-06-11 新萊應材科技有限公司 二向移動之閥件驅動裝置
CN112268141A (zh) * 2020-10-23 2021-01-26 中国科学院上海高等研究院 用于真空封合之密封碟盘
DE102021000787A1 (de) 2021-02-17 2022-08-18 Vat Holding Ag Ventil mit Funkanordnung
DE102021002577A1 (de) 2021-05-18 2022-11-24 Vat Holding Ag Hochfrequenz-Erdungsvorrichtung und Vakuumventil mit Hochfrequenz-Erdungsvorrichtung
TWI792640B (zh) * 2021-10-28 2023-02-11 日揚科技股份有限公司 使用時序控制啟閉之真空閥門
DE102021129884A1 (de) * 2021-11-16 2023-05-17 Vat Holding Ag Ventilplatte
JP2023075684A (ja) * 2021-11-19 2023-05-31 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ及び駆動方法。
DE102021005995A1 (de) 2021-12-02 2023-06-07 Vat Holding Ag Pendelventil mit Kalibriervorrichtung
WO2024062088A1 (de) 2022-09-23 2024-03-28 Vat Holding Ag Verschlussanordnung für ein vakuumventil
DE202022002427U1 (de) 2022-11-10 2023-03-07 Vat Holding Ag Klappentransferventil mit Antriebsstange
KR102574233B1 (ko) * 2023-03-14 2023-09-04 주식회사 에스알티 U motion 게이트밸브

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH420759A (de) * 1965-03-03 1966-09-15 Schertler Siegfried Absperrschieber, insbesondere für Gas- und Vakuumleitungen
DE2551429B2 (de) * 1975-11-15 1978-03-02 Vat Ag Fuer Vakuum-Apparate-Technik, Haag (Schweiz) Aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Vakuumverschluß
DE2904248A1 (de) * 1979-02-05 1980-08-07 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Absperrschieber
DE3209217C2 (de) * 1982-03-13 1985-10-03 Siegfried Haag Schertler Schiebeventil
DE3224387A1 (de) * 1982-06-30 1984-01-12 Schertler, Siegfried, 9469 Haag Vakuumschieberventil
JPS62151672A (ja) * 1985-12-24 1987-07-06 Japan Atom Energy Res Inst 超高真空弁
DE3643069A1 (de) * 1986-12-17 1988-07-07 Schertler Siegfried Ing Schiebeventil
JP2655576B2 (ja) * 1992-09-30 1997-09-24 信越半導体株式会社 単結晶引上装置におけるアイソレーションバルブ

Also Published As

Publication number Publication date
US6056266A (en) 2000-05-02
DE19746241C2 (de) 2000-05-31
JPH11241776A (ja) 1999-09-07
DE19746241A1 (de) 1999-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4083318B2 (ja) 閉鎖装置
US8672293B2 (en) Vacuum valve
US6431518B1 (en) Vacuum valve
US3149537A (en) Fluid control mechanism
US20040206925A1 (en) Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
US4526086A (en) Piston-cylinder assembly
US2369505A (en) Remote-control valve
US5649424A (en) Two-stage pressure cylinder
JPH03121714A (ja) 液圧装置及び液圧回路と救命器具
US5152568A (en) Extendible gripper
US3905635A (en) Material grasping clamp assembly
DK166693B1 (da) Arreterbar stempel-cylinderenhed
US2941430A (en) Hydraulically operated connector crimping tool
US1807231A (en) Elevator door operating mechanism
US3485430A (en) Stock feeder
US6283011B1 (en) Cylinder with an elastic device for returning a working piston unit to a neutral position
US5615595A (en) Tandem cylinder control
EP2052161B1 (en) Pneumatic actuator
EP0428406B1 (en) Reciprocating actuator
JPS51144875A (en) Brake actuater
JPS5939202Y2 (ja) 空油圧変換増圧器
US937384A (en) Fluid-pressure motor.
US2785282A (en) Control mechanism for welding apparatus
CN212455707U (zh) 二向移动的阀件驱动装置
HU188772B (en) Device for positioning the actuating piston of double-acing working cylinder

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20010323

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050916

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070403

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070522

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20070810

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20070815

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070921

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080129

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080213

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term