TWI792640B - 使用時序控制啟閉之真空閥門 - Google Patents

Abstract

一種使用時序控制啟閉之真空閥門，包含密封板、縱向驅動缸以及橫向驅動缸。在閉合操作時，第一流體係先推動縱向驅動缸之第一活塞桿由第二位置上升至第一位置，藉以允許第一流體推動橫向驅動缸之第二活塞桿移向閥口，並使得密封板閉合閥口。在開啟操作時，第二流體係先推動橫向驅動缸之第二活塞桿朝著遠離閥口之方向移動，再使得縱向驅動缸之第一活塞桿由第一位置下降至第二位置。藉此，本發明不需使用止逆閥，且不須採用面積壓力比之控制方式，且縱向驅動缸之剛性強度不受第一活塞桿之升降而影響，故運作較穩定。

Description

使用時序控制啟閉之真空閥門

本發明是有關於一種真空閥門，特別是有關於一種使用時序控制啟閉之真空閥門。

真空閥門通常應用於真空製程室中，用以選擇性閉合或開啟真空製程室之閥口，以便進行抽真空製程。然而，傳統真空閥門須增設止逆閥做氣源分配，才能控制縱向及橫向的作動，且其係採用面積壓力比之控制方式，因此，傳統真空閥門不僅結構設計較複雜、零件較多及成本較高，而且其作動較為複雜且相對較不穩定。此外，傳統的真空閥門係向外伸展驅動缸之活塞桿並使密封板貼住閥口，藉以獲得所需之閉合效果，然而傳統真空閥門之整體剛性強度會隨著驅動缸之活塞桿向外伸展而逐漸降至最低值。由此可見，傳統技術仍有待改善。

有鑑於此，本發明之一目的就是在提供一種使用時序控制啟閉之真空閥門，以解決傳統技術之問題。

為達前述目的，本發明提出一種使用時序控制啟閉之真空閥門包含一密封板、至少一縱向驅動缸及至少一橫向驅動缸。密封板係用以往復地移動至一閉合位置或一開啟位置，以閉合或開啟一閥口。該縱向驅動缸係包含一第一缸體、一第一活塞板及一第一活塞桿，該第一活塞板係固接於該第一活塞桿之一中央段上，且該第一活塞板係可移動式設於該第一缸體中，藉以在該第一缸體中分別形成一第一閉合用進氣室及一第一開啟用進氣室位於該第一活塞板之兩側。該橫向驅動缸係設於該縱向驅動缸之該第一活塞桿上，該橫向驅動缸包含一第二缸體、一第二活塞板及一第二活塞桿，該第二活塞板係連接於該第二活塞桿之一中央段上，該第二活塞桿之頂端係連接於該密封板之內側，且該第二活塞板係可移動式設於該第二缸體中，藉以在該第二缸體中分別形成一第二閉合用進氣室及一第二開啟用進氣室位於該第二活塞板之兩側，其中當一第一流體被供應至該縱向驅動缸之該第一閉合用進氣室時，該第一流體係推動該第一活塞板上升直至該第一活塞桿之底端上升至一第一位置，使得該第一閉合用進氣室經由一閉合用進氣管件連通該第二閉合用進氣室以及該第一開啟用進氣室經由一開啟用進氣管件連通該第二開啟用進氣室，藉以令該第一流體經由該第一閉合用進氣室進入該第二閉合用進氣室中並經由推動該第二活塞板使得該密封板移動至該閉合位置，其中當一第二流體被供應至該縱向驅動缸之該第一開啟用進氣室時，該第二流體係先經由該第一開啟用進氣室供應至該第二開啟用進氣室中並推動該第二活塞板使得該密封板朝著遠離該閉合位置之方向移動，再推動該第一活塞板下降直至該第一活塞桿之該底端下降至一第二位置，以便使得該密封板移動至該開啟位置。

其中，在該第一活塞桿上升及下降的過程中，該縱向驅動缸之第一缸體之頂端及底端係同時恆保持密合式套接該第一活塞桿。

其中，該第一流體及該第二流體係對應地循序供應至該第一閉合用進氣室及該第一開啟用進氣室，藉以使得該密封板對應地閉合及開啟該閥口。

其中，當該第一流體被供應至該第一閉合用進氣室中時，該第二流體係停止被供應至該第一開啟用進氣室中，且當該第二流體被供應至該第一開啟用進氣室中時，該第一流體係停止被供應至該第一閉合用進氣室中。

其中，該閉合用進氣管件之一進氣口係設於該縱向驅動缸之該第一活塞桿之該底端上之一第三位置，該開啟用進氣管件之一進氣口係設於該縱向驅動缸之該第一活塞桿之該中央段上之一第四位置。

其中當該第一活塞桿之該底端上升至該第一位置時，該閉合用進氣管件之該進氣口係位於該第一閉合用進氣室中，該開啟用進氣管件之該進氣口係位於該第一開啟用進氣室中。

其中，該縱向驅動缸之數量為複數個，且該閉合用進氣管件之一進氣口及該開啟用進氣管件之一進氣口係分別設於該些縱向驅動缸中之兩者之該第一活塞桿上。

其中，更包含一第一極限開關及一第二極限開關設於該第一位置及該第二位置上，其中當該密封板移動至該閉合位置時，位於該第一位置之該第一極限開關係被觸發，且當該密封板移動至該開啟位置時，位於該第二位置之該第二極限開關係被觸發。

其中，更包含一第一流體供應管件及一第二流體供應管件分別連通該第一縱向驅動缸之該第一閉合用進氣室及該第一開啟用進氣室，藉以經由 該第一流體供應管件直接供應該第一流體進入該第一閉合用進氣室中或者是經由該第二流體供應管件直接供應該第二流體進入該第一開啟用進氣室中。

其中，該第一缸體之頂端及底端分別具有一第一開口及一第二開口，該第一活塞桿之該頂端係穿過該第一開口以連接該橫向驅動缸之該第二缸體，該第一活塞桿係穿過該第二開口使得該第一活塞桿之該底端上升至該第一位置或使得該第一活塞桿之該底端下降至該第二位置。

其中，該密封板之輪廓為不規則形狀或規則形狀。

其中，該密封板之輪廓為矩形、圓形、圓弧形或橢圓形。

其中，該第一流體係手動式或自動式地被供應至該第一閉合用進氣室中以及/或者該第二流體係手動式或自動式地被供應至該第一開啟用進氣室中。

其中，該密封板係藉由各自獨立之進氣系統及排氣系統往復地移動至該閉合位置或該開啟位置。

承上所述，本發明係以時序方式控制真空閥門之開啟或閉合動作，藉由獨立供應第一流體即可使得密封板閉合閥口且藉由獨立供應第二流體即可使得密封板開啟閥口，無須採用止逆閥等較複雜之控制方式。而且，本發明係以時序方式控制真空閥門之開啟或閉合，不須採用面積壓力比之控制方式，因此本發明之運作遠比傳統技術更穩定。此外，本發明之縱向驅動缸之第一缸體之頂端及底端係同時恆保持密合式套接第一活塞桿，亦即，第一活塞桿與第一缸體之環接處有兩處，且其距離不會因為第一活塞桿之升降高度而產生變化，故本發明之真空閥門之剛性強度遠優於傳統技術。

茲為使鈞審對本發明的技術特徵及所能達到的技術功效有更進一步的瞭解與認識，謹佐以較佳的實施例及配合詳細的說明如後。

10:閥座

11:結構體

12:中空內部

14:閥口

15:密封板

20:縱向驅動缸

21:第一閉合用進氣室

22:第一缸體

23:第一開啟用進氣室

24:第一活塞板

26:第一活塞桿

27:第一開口

28:第二開口

40:橫向驅動缸

41:第二閉合用進氣室

42:第二缸體

43:第二開啟用進氣室

44:第二活塞板

46:第二活塞桿

47:第三開口

50:閉合用進氣管件

51a:進氣口

51b:出氣口

52:開啟用進氣管件

53a:進氣口

53b:出氣口

60:第一極限開關

62:第二極限開關

64:撥板

70:第一流體供應管件

72:第二流體供應管件

100:真空閥門

A:閉合位置

B:開啟位置

C:第一位置

D:第二位置

E:第三位置

F:第四位置

圖1為本發明之真空閥門之立體外觀圖，其中密封板位於閉合位置。

圖2為本發明之真空閥門之立體外觀圖，其中密封板位於開啟位置。

圖3為本發明之真空閥門之剖面圖，其中密封板位於閉合位置。

圖4為本發明之真空閥門之剖面圖，其中密封板位於開啟位置。

圖5為本發明之真空閥門之橫向驅動缸之剖面圖，其中密封板位於閉合位置。

圖6為本發明之真空閥門之橫向驅動缸之剖面圖，其中密封板位於開啟位置。

圖7為本發明之真空閥門之剖面圖，其中密封板執行閉合動作。

圖8為本發明之真空閥門之剖面圖，其中密封板執行開啟動作。

為利瞭解本創作之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本創作配合圖式，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本創作實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本創作於實際實 施上的權利範圍。此外，為使便於理解，下述實施例中的相同元件係以相同的符號標示來說明。

另外，在全篇說明書與申請專利範圍所使用的用詞，除有特別註明外，通常具有每個用詞使用在此領域中、在此揭露的內容中與特殊內容中的平常意義。某些用以描述本創作的用詞將於下或在此說明書的別處討論，以提供本領域技術人員在有關本創作的描述上額外的引導。

關於本文中如使用“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等，並非特別指稱次序或順位的意思，亦非用以限定本創作，其僅僅是為了區別以相同技術用語描述的組件或操作而已。

其次，在本文中如使用用詞“包含”、“包括”、“具有”、“含有”等，其均為開放性的用語，即意指包含但不限於。

本發明係使用時序控制真空閥門之開啟或閉合。本發明所適用之真空閥門不限於閘閥，也可例如為角閥、鐘擺閥或各種型態之閥結構。請參閱圖1至圖8，本發明之使用時序控制啟閉之真空閥門100，包含密封板15、至少一縱向驅動缸20及至少一橫向驅動缸40。其中，密封板15、縱向驅動缸20及橫向驅動缸40分別設於閥座10上，閥座10例如為具有中空內部12，且閥座10可例如與具有閥口14之結構體11呈剛性連接，例如用螺栓鎖緊於其上。上述之結構體11例如為閥體、真空腔室或連接結構等，且為了簡化圖示，因此圖示僅繪示出結構體11之部分結構。此外，本發明之密封板15之輪廓可為不規則形狀或為矩形(如長方形或方形)、圓形、圓弧形或橢圓形等規則形狀。本發明雖以如圖1至圖8所示之矩形密封板為例，但不以此為限。本發明之真空閥門100係利用密封 板15往復地移動至閉合位置A或開啟位置B，藉由密封板15閉合或開啟結構體11之閥口14，以控制真空閥門100之結構體11之閥口14之兩側是否連通。

本發明之真空閥門100之縱向驅動缸20設於閥座10上，且例如設於閥座10之中空內部12中。其中，縱向驅動缸20包含第一缸體22、第一活塞板24及第一活塞桿26，第一活塞板24係固接於第一活塞桿26之中央段而非頂端或尾端等端部上，且第一活塞板24係可移動式設於第一缸體22中，藉以在第一缸體22中分別形成第一閉合用進氣室21及第一開啟用進氣室23位於第一活塞板24之兩側。其中，縱向驅動缸20之第一缸體22之頂端及底端係例如分別以密封環或密封墊等密封元件氣密式密合第一活塞桿26，且第一活塞板24係例如以密封環或密封墊等密封元件氣密式密合第一缸體22，藉此可在第一活塞板24之兩側與第一缸體22之間分別構成可改變容積之第一閉合用進氣室21及第一開啟用進氣室23。

本發明之真空閥門100之橫向驅動缸40設於縱向驅動缸20之第一活塞桿26上。橫向驅動缸40包含第二缸體42、第二活塞板44及第二活塞桿46，第二活塞板44係連接於第二活塞桿46上，例如中央段上，第二活塞桿46之頂端係連接於密封板15之內側，且第二活塞板44係可移動式設於第二缸體42中，藉以在第二缸體42中分別形成第二閉合用進氣室41及第二開啟用進氣室43位於第二活塞板44之兩側。橫向驅動缸40之第二缸體42之頂端例如具有第三開口47，藉以供第二活塞桿46穿過上述之開口並連接密封板15。第二缸體42之頂端係例如以密封環或密封墊等密封元件氣密式密合第二活塞桿46，且第二活塞板44係例如以密封環或密封墊等密封元件氣密式密合第二缸體42，藉此可在第二活塞板44之兩側與第二缸體42之間分別構成可改變容積之第二閉合用進氣室41及第 二開啟用進氣室43。上述之密封元件雖以密封環或密封墊為例，但非用以限定本發明，且其結構及裝設方式為具有通常知識者所熟知，故不另贅述。本發明所採用之橫向驅動缸40之數量可為一個或複數個，其中圖示中雖以三個鄰接之橫向驅動缸40舉例，但不以此為限。此外，第二缸體42可例如為具有圓柱狀內槽，且其外部形狀可例如為圓柱狀或如圖所示之方柱形。

如圖1至圖8所示，在本發明之真空閥門100之閉合動作中，當第一流體，例如氣體或液體，被供應至縱向驅動缸20之第一閉合用進氣室21時，如圖7之藍色路徑所示，第一流體可推動第一活塞板24上升直到第一活塞桿26之底端上升至一第一位置C，藉此可使得縱向驅動缸20之第一閉合用進氣室21經由閉合用進氣管件50連通橫向驅動缸40之第二閉合用進氣室41以及使得縱向驅動缸20之第一開啟用進氣室23經由開啟用進氣管件52連通橫向驅動缸40之第二開啟用進氣室43，藉以令第一流體經由第一閉合用進氣室21進入第二閉合用進氣室41中並經由推動橫向驅動缸40之第二活塞板44使得密封板15移動至閉合位置A，亦即本發明藉由直接供應第一流體即可使得密封板15閉合結構體11之閥口14。所以，本發明可省略傳統技術常用之止逆閥等構件，故操作上更簡單。而且，本發明係以時序方式控制真空閥門之開啟或閉合，不須採用面積壓力比之控制方式，因此本發明之運作遠比傳統技術更穩定。同理，當本發明之真空閥門100進行閉合動作時，原先在第二開啟用進氣室43中之第二流體就會經由開啟用進氣管件52及第一開啟用進氣室23而從第二流體供應管件72排出，如圖7之紅色路徑所示。

如圖1至圖8所示，在本發明之真空閥門100之開啟動作中，當第二流體，例如氣體或液體，被供應至縱向驅動缸20之第一開啟用進氣室23時， 如圖8之淺藍色路徑所示，第二流體係先經由開啟用進氣管件52連通橫向驅動缸40之第二開啟用進氣室43中並推動第二活塞板44，使得密封板15朝著遠離閉合位置A之方向移動，再推動第一活塞板24下降直至第一活塞桿26之底端下降至一第二位置D，以便使得密封板15移動至開啟位置B，亦即本發明藉由直接供應第二流體即可使得密封板15開啟結構體11之閥口14。同理，當本發明之真空閥門100進行開啟動作時，原先在第二閉合用進氣室41中之第一流體就會經由閉合用進氣管件50及第一閉合用進氣室21而從第一流體供應管件70排出，如圖8之黃色路徑所示。由此可知，在本發明之真空閥門中，縱向驅動缸20及橫向驅動缸40之作用係利用各自獨立的流體源(氣源)傳送，縱向驅動缸20及橫向驅動缸40的進氣及排氣皆以各自獨立的方式進行。亦即，密封板15係藉由上述各自獨立的進氣系統及排氣系統往復地移動至閉合位置A或開啟位置B，縱向驅動缸20及橫向驅動缸40的行進方式為控制第一流體及第二流體之供應順序，亦即做完一個動作後才能再做下一動作，故本發明之作動比較確實。而且，本發明可採用手動控制或自動控制方式供應第一流體及第二流體，藉以手動式或自動式執行啟閉動作。

此外，在本發明之真空閥門100中，縱向驅動缸20之第一缸體22之頂端及底端可例如分別具有第一開口27及第二開口28，藉此第一活塞桿26之頂端可穿過第一開口27以連接橫向驅動缸40之第二缸體42，且第一活塞桿26係穿過第二開口28使得第一活塞桿26之底端可上升至第一位置C或使得第一活塞桿26之底端可下降至第二位置D。

如圖3所示，本發明更具有閉合用進氣管件50及開啟用進氣管件52設於縱向驅動缸20之第一活塞桿26上。為了清楚繪示及說明，本發明之真空 閥門100係以具有兩個縱向驅動缸20為例，且閉合用進氣管件50設於其中一個縱向驅動缸20之第一活塞桿26上，開啟用進氣管件52則設於另一個縱向驅動缸20之第一活塞桿26上。其中，閉合用進氣管件50之一進氣口51a係設於縱向驅動缸20之第一活塞桿26之底端上之一第三位置E，閉合用進氣管件50之一出氣口51b則是連通於橫向驅動缸40之第二閉合用進氣室41。其中，開啟用進氣管件52之一進氣口53a係設於縱向驅動缸20之第一活塞桿26之中央段上之第四位置F，開啟用進氣管件52之一出氣口53b則是連通於橫向驅動缸40之第二開啟用進氣室43。惟，值得注意的是，本發明不限於上述舉例，在本發明中，縱向驅動缸20之數量可為一個或複數個，其中閉合用進氣管件50及開啟用進氣管件52也可例如設於同一根第一活塞桿26上。

依據本發明之真空閥門100之縱向驅動缸20，在第一活塞桿26升高高度以及降低高度的過程中，縱向驅動缸20之第一缸體22之頂端及底端係同時恆保持密合式套接第一活塞桿26。換言之，第一活塞桿26與第一缸體22之重疊區域不會因為第一活塞桿26之升降高度而產生變化，故可維持整體之剛性不變。反觀，在傳統技術中，驅動缸之活塞桿與缸體之環接處通常僅有一處，故整體之剛性會隨著活塞桿之向外移動而減少。由此可知，本發明之真空閥門100之剛性強度遠優於傳統技術。其中，第一活塞桿26較佳為圓柱狀，閉合用進氣管件50位於第一活塞桿26中且閉合用進氣管件50之進氣口51a係暴露於圓柱狀之第一活塞桿26之第三位置E之側壁上。因此，當第一活塞桿26持續上升直至進氣口51a位於第一閉合用進氣室21中時(見圖7)，第一流體即可經由第一閉合用進氣室21進入閉合用進氣管件50中，且進一步經由閉合用進氣管件50進入橫向驅動缸40之第二閉合用進氣室41中，藉以將密封板15推向閉合位置A，以便閉合閥 口14(見圖5)。而開啟用進氣管件52也是位於第一活塞桿26中，且開啟用進氣管件52之進氣口53a係暴露於圓柱狀之第一活塞桿26之第四位置F之側壁上。因此，當開啟用進氣管件52之進氣口53a位於第一開啟用進氣室23中時，第二流體即可經由第一開啟用進氣室23進入開啟用進氣管件52中，且進一步經由開啟用進氣管件52進入橫向驅動缸40之第二開啟用進氣室43中，藉以將密封板15推離閉合位置A，以便開啟閥口14。

由此可知，在本發明之真空閥門100中，第一流體及第二流體係對應地循序經由第一流體供應管件70及第二流體供應管件72供應至第一閉合用進氣室21及第一開啟用進氣室23，藉以使得密封板15對應地閉合及開啟結構體11之閥口14。而且，當第一流體被供應至第一閉合用進氣室21中時，第二流體係停止被供應至第一開啟用進氣室23中，且當第二流體被供應至第一開啟用進氣室23中時，第一流體係停止被供應至第一閉合用進氣室21中。

此外，本發明之真空閥門100可更包含一第一極限開關60及一第二極限開關62設於第一位置C及第二位置D上，其中第一活塞桿26之底端可例如設有撥板64，藉此當密封板15移動至閉合位置A時，撥板64可觸發位於第一位置C之第一極限開關60。同理，當密封板15移動至開啟位置B時，撥板64可觸發位於第二位置D之第二極限開關62。換言之，本發明之真空閥門100還可包含控制裝置(未繪示)，其可接收第一極限開關60及第二極限開關62被觸發後所產生之訊號，藉以產生對應地控制指令以開啟或關閉第一流體及第二流體之供應。由於本發明所屬技術領域中具有通常知識者，依據本發明之揭示內容應當可清楚上述之控制裝置如何藉由第一極限開關60及第二極限開關62控制第一流體及第二流體之供應，因此不再贅述於此。此外，本發明所採用之縱向驅動缸20及橫向 驅動缸40雖以氣壓缸等流體驅動缸為例，然而其亦可改以伺服馬達或推拉式電磁鐵等方式傳動，其中較佳為推拉式電磁鐵，可藉此節省成本且可提供較為簡單且實用之作動。

綜上所述，本發明係以時序方式控制真空閥門之開啟或閉合動作，藉由獨立供應第一流體即可使得密封板閉合閥口且藉由獨立供應第二流體即可使得密封板開啟閥口，無須採用止逆閥等較複雜之控制方式。而且，本發明係以時序方式控制真空閥門之開啟或閉合，不須採用面積壓力比之控制方式，因此本發明之運作遠比傳統技術更穩定。此外，本發明之縱向驅動缸之第一缸體之頂端及底端係同時恆保持密合式套接第一活塞桿，亦即，第一活塞桿與第一缸體之環接處有兩處，且其距離不會因為第一活塞桿之升降高度而產生變化，故本發明之真空閥門之剛性強度遠優於傳統技術。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應包含於後附之申請專利範圍中。

10:閥座

12:中空內部

15:密封板

20:縱向驅動缸

21:第一閉合用進氣室

22:第一缸體

23:第一開啟用進氣室

24:第一活塞板

26:第一活塞桿

27:第一開口

28:第二開口

40:橫向驅動缸

50:閉合用進氣管件

51a:進氣口

52:開啟用進氣管件

53a:進氣口

60:第一極限開關

62:第二極限開關

64:撥板

70:第一流體供應管件

72:第二流體供應管件

100:真空閥門

C:第一位置

D:第二位置

E:第三位置

F:第四位置

Claims (11)

1. 一種使用時序控制啟閉之真空閥門，包含：一密封板，用以往復地移動至一閉合位置或一開啟位置，以閉合或開啟一閥口；複數個縱向驅動缸，該些縱向驅動缸各包含一第一缸體、一第一活塞板及一第一活塞桿，該第一活塞板係固接於該第一活塞桿之一中央段上，且該第一活塞板係可移動式設於該第一缸體中，藉以在該第一缸體中分別形成一第一閉合用進氣室及一第一開啟用進氣室位於該第一活塞板之兩側；以及至少一橫向驅動缸，設於該些縱向驅動缸之該第一活塞桿上，該橫向驅動缸包含一第二缸體、一第二活塞板及一第二活塞桿，該第二活塞板係連接於該第二活塞桿之一中央段上，該第二活塞桿之頂端係連接於該密封板之內側，且該第二活塞板係可移動式設於該第二缸體中，藉以在該第二缸體中分別形成一第二閉合用進氣室及一第二開啟用進氣室位於該第二活塞板之兩側，其中當一第一流體被供應至該些縱向驅動缸之該第一閉合用進氣室時，該第一流體係先推動該第一活塞板上升直至該第一活塞桿之底端上升至一第一位置，始使得該第一閉合用進氣室經由一閉合用進氣管件連通該第二閉合用進氣室，藉以令該第一流體經由該第一閉合用進氣室從該閉合用進氣管件進入該第二閉合用進氣室中並經由推動該第二活塞板使得該密封板移動至該閉合位置， 其中當一第二流體被供應至該些縱向驅動缸之該第一開啟用進氣室時，該第二流體係經由該第一開啟用進氣室先從一開啟用進氣管件供應至該第二開啟用進氣室中並推動該第二活塞板使得該密封板朝著遠離該閉合位置之方向移動，始使得該第二流體經由該第一開啟用進氣室推動該第一活塞板下降直至該第一活塞桿之該底端下降至一第二位置，以便使得該密封板移動至該開啟位置，其中該閉合用進氣管件之一進氣口係設於該些縱向驅動缸中之一者之該第一活塞桿之該底端之一第三位置上，該開啟用進氣管件之一進氣口係設於該些縱向驅動缸中之另一者之該第一活塞桿之一中央段之一第四位置上，其中該開啟用進氣管件之該進氣口係位於該第一開啟用進氣室中，當該第一活塞桿之該底端上升至該第一位置時，該閉合用進氣管件之該進氣口係位於該第一閉合用進氣室中。
2. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中在該第一活塞桿上升及下降的過程中，該些縱向驅動缸之第一缸體之頂端及底端係同時恆保持密合式套接該第一活塞桿。
3. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中該第一流體及該第二流體係對應地循序供應至該第一閉合用進氣室及該第一開啟用進氣室，藉以使得該密封板對應地閉合及開啟該閥口。
4. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中當該第一流體被供應至該第一閉合用進氣室中時，該第二流體係停止被供應至該第一 開啟用進氣室中，且當該第二流體被供應至該第一開啟用進氣室中時，該第一流體係停止被供應至該第一閉合用進氣室中。
5. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，更包含一第一極限開關及一第二極限開關設於該第一位置及該第二位置上，其中當該密封板移動至該閉合位置時，位於該第一位置之該第一極限開關係被觸發，且當該密封板移動至該開啟位置時，位於該第二位置之該第二極限開關係被觸發。
6. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，更包含一第一流體供應管件及一第二流體供應管件分別連通該些縱向驅動缸之該第一閉合用進氣室及該第一開啟用進氣室，藉以經由該第一流體供應管件直接供應該第一流體進入該第一閉合用進氣室中或者是經由該第二流體供應管件直接供應該第二流體進入該第一開啟用進氣室中。
7. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中該第一缸體之頂端及底端分別具有一第一開口及一第二開口，該第一活塞桿之該頂端係穿過該第一開口以連接該橫向驅動缸之該第二缸體，該第一活塞桿係穿過該第二開口使得該第一活塞桿之該底端上升至該第一位置或使得該第一活塞桿之該底端下降至該第二位置。
8. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中該密封板之輪廓為不規則形狀或規則形狀。
9. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中該密封板之輪廓為矩形、圓形、圓弧形或橢圓形。
10. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中該第一流體係手動式或自動式地被供應至該第一閉合用進氣室中以及/或者該第二流體係手動式或自動式地被供應至該第一開啟用進氣室中。
11. 如請求項1所述之使用時序控制啟閉之真空閥門，其中該密封板係藉由各自獨立之進氣系統及排氣系統往復地移動至該閉合位置或該開啟位置。

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