JP4079457B2 - インジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法 - Google Patents
インジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4079457B2 JP4079457B2 JP08597394A JP8597394A JP4079457B2 JP 4079457 B2 JP4079457 B2 JP 4079457B2 JP 08597394 A JP08597394 A JP 08597394A JP 8597394 A JP8597394 A JP 8597394A JP 4079457 B2 JP4079457 B2 JP 4079457B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- resistance
- value
- indium
- ito film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明はインジウム−スズ酸化物膜(以下、ITOと略す)の成膜方法に関するものであり、特にタッチパネルの透明電極として用いられるITO膜の高抵抗で均一性に優れた成膜方法に関する。
【従来の技術】
【0002】
ITO膜は透明導電膜であり、ガラス基板上に成膜したITOガラスは、例えば、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、面発熱体、タッチパネルの電極等に広く使用されている。この様に広い分野で使用されると、使用目的によってITO膜の抵抗値は種々のものが要求される。すなわち、フラットパネルディスプレイ用のITO膜では低抵抗のものが要求されるが、タッチパネル用のITO膜では逆に高抵抗の膜が要求される。抵抗値をコントロールする方法の中で最も普通に行われる方法は膜厚を変えることであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
前記のように膜厚を変化させて抵抗値をコントロールすると、当然可視光透過率が変化する。
シート抵抗=比抵抗/膜厚
高抵抗ITOを得ようとする場合は膜厚を薄くする必要があるが、通常の製法で成膜すると、200〜3000Ω/□のシート抵抗の膜を得るためには10Å〜100Åの膜厚にする必要があるが、この場合は膜厚を均一にコントロールするのは難しく、面内の抵抗値の均一性は悪くなる傾向にある。また、可視光透過率を所定の値にしようとすると、膜厚が決定され、その膜厚で所定の抵抗値の膜とするためには比抵抗をコントロールすることが必要であった。
【0004】
ITO膜が導電性を発現するメカニズムは、酸化インジウム結晶中の微量の酸素欠陥と、In−O結晶格子にSnが置換して生じる電子がキャリアとなり、それが、電界中で移動することによる。従って、比抵抗(ρ)はキャリア密度(n)と移動度(μ)によって決定され、次式が成り立つ。
ρ=6.24×1018/(n×μ) ・・・・・(1)
ここで、ρ:Ωcm,n:cm-3,μ:cm2 /V・sec である。
【0005】
ITO膜の場合、通常300Å以上の膜厚では100Ω/□以下のシート抵抗の膜となり、キャリア密度として1020〜1021、移動度として20〜50、比抵抗は1×10-4〜3×10-4の値をとる。先に述べたタッチパネル用のITO膜の抵抗値は200〜3000Ω/□程度のものが要求され、この場合、膜厚を考慮すると、均一性に優れた膜を得るためには比抵抗値は5×10-4以上が必要とされるが、この範囲での比抵抗のコントロールは困難であった。
【0006】
また、最近開発されて市場の伸びが期待されるペン入力タッチパネル用導電膜は、位置の認識精度が高くなくてはならないことから、抵抗値の均一性優れた膜であることが要求される。
抵抗値の均一性を評価する方法として、リニアリティ試験がある。これの方法は透明導電膜の向かい合った2辺に銀ペースト等で低抵抗の電極を作成し、両端の電極間の長さをL、印加電圧をVとする。透明導電膜の任意の点について、マイナス側の電極からの距離をl、マイナス側の電極とその点の電位差をvとすると、(l/L─v/V)×100の値をリニアリティ(%)と定義する。リニアリティ値は位置と電位のずれを定義する量であり、文字や図形を認識する目的で製作されるタッチパネルでは、通常、リニアリティ値が±2%以内の透明導電膜が要求される。
【0007】
本発明は、前述の実情からみてなされたもので、シート抵抗値が200〜3000Ω/□であって、かつ、リニアリティ値が±2%以内の均一性に優れたITO膜を成膜する方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者らはITO膜を高抵抗化する方法について鋭意検討した結果、酸素を含有する雰囲気中でITO膜を200℃以上の温度にて加熱処理することで、高抵抗の均一性に優れたITO膜が得られることを見出し、本発明を完成した。
【0009】
本発明は、インジウム−スズ酸化物膜を、酸素を含有する雰囲気中で200℃以上の温度にて加熱処理することを特徴とするインジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法である。
【0010】
以下、本発明を詳細に説明する。
比抵抗をコントロールする方法は二通りあって、一つは(1)式のキャリア密度をコントロールする方法と、もう一つは移動度をコントロールする方法である。キャリア密度をコントロールする方法としては酸素欠陥量を変化させる方法と、スズドープ量を変化する方法がある。酸素欠陥量は、雰囲気、温度によって変化し、次式に示すような可逆的な反応が起こる。
In2 O3-X +X/2 O2 →In2 O3 (2)
In2 O3 −X/2 O2 →In2 O3-X (3)
【0011】
この反応は高温で酸素を含む雰囲気では酸素欠陥量(X)が減少し、キャリア密度が減少するために高抵抗化するが(2)、逆に高温、還元雰囲気又は非酸化性雰囲気ではIn2 O3 中の酸素が引き抜かれ、酸素欠陥(X)を生じ(3)、キャリア密度の増加により、低抵抗化する。
【0012】
SnをIn2 O3 にドープするとInに置換したSn一個から一つのキャリア(e- ) が生成するので、Snドープ量を変えることでキャリア密度をコントロールすることが可能である。通常、Inに対して3重量%位まではドープ量が増えるにつれ、nも増加するが、それ以上増やしてもほぼ一定の値となる。
【0013】
移動度(μ)はキャリア(電子又は正孔)の動き易さに対応しており、主として、ITO結晶性に依存する量である。
即ち、結晶性が良好であって、不純物が少なければキャリアの移動度は高い値となるが、結晶性が悪く、結晶欠陥、転位、結晶粒界が多いとキャリアがトラップされてしまうために低い値となる。また、不純物はキャリアの移動を阻害する大きな要因であり、通常微量の添加で移動度に大きな影響を与える。
【0014】
高抵抗のITO膜を得るために種々検討したところ、200〜3000Ω/□、リニアリティ値±2%以内の均一性の良好なITO膜を得る方法として、酸素欠陥量をコントロールする方法を見出した。即ち、均一性を良くするには100Å以上の膜厚が必要であり、通常一般に行われている成膜法でITO膜を成膜すると150Ω/□以下の膜となり、高抵抗の膜は得られない。即ち、この膜は酸素欠陥量(X)が大きい膜であるので、Xを小さくすることによりキャリア密度を下げ、その結果高抵抗化する方法である。
【0015】
通常のITOの成膜条件は、低抵抗の膜が得られる条件が採用され、その場合のSnドープ量は2〜10重量%である。この膜のSnドープによって生成されるキャリア密度は約2×1020個/cm3 と見積もられ、移動度を30cm2 /Vs、比抵抗 2.5×10-4Ωcmと仮定すると、総キャリア密度は 8.3×1020個/cm3 と計算される。即ち、酸素欠陥によるキャリア密度は約6×1020個/cm3 となりSnによるキャリアの3倍存在する。
【0016】
従って、理論上酸素欠陥量をコントロールすることにより、キャリア密度は2×1020〜8×1020個/cm3 まで変化させることが可能で、比抵抗は2.5×10-4〜1.0×10-3Ωcmの範囲でコントロールできることになる。これは、初期抵抗の4倍の抵抗値まで高抵抗化できるということであり、Snドープ量をコントロールすることによる抵抗変化に比べ広範囲である。
【0017】
更に、高抵抗を目的としてSnドープ量を少なくすれば、Snドープによるキャリア密度を、0.8×1020個/cm3 迄小さくすることが出来、この場合、酸素欠陥量を本方法での処理によってコントロールすることで、初期抵抗の10倍程度迄高抵抗化することが可能である。
【0018】
酸素欠陥量をコントロールする方法として、空気中での加熱処理条件について検討した結果、酸素欠陥量を減少する要因は、加熱温度と、処理時間であり、温度が高いほど、時間が長いほど高抵抗化する傾向を示し、500℃で30分の加熱処理によって、抵抗値はほぼ飽和した。即ち、この条件で処理すれば酸素欠陥量は0になる(X=0)と考えられた。
【0019】
そこで、処理時間を30分間の一定条件で加熱温度と抵抗値の関係を求めたところ、200℃までは、抵抗上昇が殆どなく、200℃〜350℃の範囲でほぼ直線的に抵抗値は増加し、350℃では初期値の2〜3倍の値となり、それ以上の温度では抵抗増加率は緩やかになり、500℃で一定値となる。この時の抵抗値は初期値の3〜4倍の値である。
従って、所定の抵抗値を得るためには、この関係を用いて、所定の初期抵抗値と、それに合った加熱処理条件を適宜選択すればよいことになる。
【0020】
ITO膜を成膜する方法としては、一般に知られている方法を採用することができ、例えば、スパッター法、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相成膜法(CVD法)、パイロゾル法等で成膜した後、酸素を含有する雰囲気中で200℃以上の温度で一定時間加熱処理することで、均一性に優れた高抵抗ITO膜を得ることができる。特に、成膜直後の抵抗値が50Ω/□以上の膜ではタッチパネル用ITO膜として最適な、シート抵抗値200〜3000Ω/□、リニアリティ値±2%以内の均一性に優れた高抵抗ITO膜を得ることができる。
【0021】
また、ITO成膜条件が200℃以上の場合、本発明を応用して、成膜直後に成膜室内に酸素含有ガスを導入することにより、容易に高抵抗ITO膜とすることができ、実用上メリットの多い方法である。
【0022】
本方法によって得られる膜のシート抵抗は、変動係数(標準偏差/平均値)10%以内であり、リニアリティ値±2%以内の均一性に優れた膜が得られる。
【0023】
通常の方法で得られるITO膜は、200〜3000Ω/□の抵抗の膜を得るためには、極端に膜厚を薄くしなければならず、このため均一性の悪い膜しか得られなかった。
【0024】
本発明はITO膜を酸素の含有する雰囲気下で200℃以上の温度で加熱処理する方法であり、簡単に均一性の良好な高抵抗の膜を得ることができる。
【0025】
【実施例】
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。
実施例1
Inに対して8重量%Snを含有するIn2 O3 焼結体をターゲットとして用い、スパッター成膜を行った。
スパッター条件は、RFスパッター装置を用い、ガラス基板上に成膜した。ガラス基板は厚さ1mmで30cm角のソーダライムガラス上に800ÅのSiO2 膜がコートされたものを用いた。RF出力200W,圧力0.5Pa、ガス組成はAr:O2 =98:2、基板温度=300℃、成膜時間4分で行った。
得られたITO膜の膜厚は200Å、シート抵抗は140Ω/□であった。この膜を熱風循環式の乾燥機にて空気中で、330℃×30分加熱処理を行ったところ、シート抵抗400Ω/□、面内ばらつき±20Ω/□、リニアリティ値±0.9%以内の良好な膜を得た。
【0026】
実施例2
実施例1と全く同じ条件でITO成膜した後、成膜室内に空気を導入し大気圧とし、300℃の温度で1時間保持して取り出した。この膜は、シート抵抗380Ω/□、面内ばらつき±25Ω/□、リニアリティ値±1.2%以内の良好な膜であった。
【0027】
実施例3
Inに対して1重量%Snを含有するIn2 O3 焼結体をターゲットとして用い、スパッター成膜を行った。
スパッター条件は、RFスパッター装置を用い、ガラス基板上に成膜した。ガラス基板は厚さ1mmで30cm角のソーダライムガラス上に800ÅのSiO2 膜がコートされたものを用いた。RF出力200W,圧力0.5Pa、ガス組成はAr:O2 =98:2、基板温度=300℃、成膜時間3分で行い、空気を導入して冷却した。
得られたITO膜の膜厚は150Å、シート抵抗は1350Ω/□、面内ばらつき±68Ω/□、リニアリティ値±1.0%以内の良好な膜を得た。
【0028】
なお、上記において、成膜後窒素雰囲気下で冷却した場合、得られたITO膜の膜厚は150Å、シート抵抗は620Ω/□、面内ばらつき±25Ω/□、リニアリティ値は±0.9%以内であった。
【0029】
実施例4
超音波霧化による常圧CVD法(パイロゾル成膜法)によりITO膜を成膜するに際し、インジウム原料としてInCl3 のメチルアルコール溶液を用いた。濃度は0.15mol/lで、ドープ用錫原料として、SnCl4 をInに対して5重量%添加した溶液を調製した。基板には厚さ1mmで30cm角のソーダライムガラス上に1000ÅのSiO2 膜がコートされたものを用いた。パイロゾル成膜装置に基板をセットし450℃に加熱し、超音波により2ml/min霧化させ基板に導入して2分間成膜したのち、窒素雰囲気下で冷却した。
得られたITO膜は、膜厚220Å、シート抵抗150Ω/□、比抵抗3.3×10-4Ωcmであった。この膜を熱風循環式の乾燥機にて空気中で、400℃×30分加熱処理を行ったところ、シート抵抗460Ω/□、面内ばらつき±30Ω/□、リニアリティ値±1.3%以内の良好な膜であった。
【0030】
実施例5
実施例4においてSnを15重量%添加した溶液を調製し、実施例4と同様の条件で成膜を行った。成膜終了後450℃×30分空気中で加熱処理を行ったところ、膜厚235Å、シート抵抗510Ω/□、比抵抗1.2×10-3ΩcmのITO膜が得られた。シート抵抗の均一性は±30Ω/□、リニアリティ値±1.2%以内であった。
【0031】
実施例6
実施例4においてSnを0.5重量%添加した溶液を調製し、成膜時間を1.5分とした以外は実施例4と同様の条件で成膜を行ったのち、空気を導入しながら冷却を行った。
得られたITO膜は、膜厚160Å、シート抵抗1550Ω/□、比抵抗2.48×10-3Ωcm、シート抵抗の均一性は±109Ω/□、リニアリティ値±1.1%以内であった。
【0032】
なお、上記において、成膜後窒素雰囲気下で冷却した場合、得られたITO膜の膜厚は160Å、シート抵抗820Ω/□、比抵抗1.31×10-3Ωcm、シート抵抗の均一性は±41Ω/□、リニアリティ値±1.0%以内であった。
【0033】
実施例7
実施例6と同様の条件で成膜を行ったのち、N2 /O2 =1:1の雰囲気下で冷却を行った。
得られたITO膜は、膜厚160Å、シート抵抗2200Ω/□、比抵抗3.52×10-3Ωcm、シート抵抗の均一性は±176Ω/□、リニアリティ値±1.5%以内であった。
【0034】
実施例8
実施例6においてSnを15重量%添加した溶液を調製し、実施例6と同様の条件で成膜を行ったのち、空気を導入しながら冷却を行った。
得られたITO膜は、膜厚150Å、シート抵抗1750Ω/□、比抵抗2.62×10-3Ωcm、シート抵抗の均一性は±105Ω/□、リニアリティ値±1.4%以内であった。
【0035】
なお、上記において、成膜後窒素雰囲気下で冷却した場合、得られたITO膜は、膜厚150Å、シート抵抗920Ω/□、比抵抗1.38×10-3Ωcm、シート抵抗の均一性は±46Ω/□、リニアリティ値±1.0%以内であった。
【0036】
実施例9
実施例8と同様の条件で成膜を行ったのち、N2 /O2 =1:1の雰囲気下で冷却を行った。
得られたITO膜は、膜厚150Å、シート抵抗2400Ω/□、比抵抗3.6×10-3Ωcm、シート抵抗の均一性は±180Ω/□、リニアリティ値±1.4%以内であった。
【0037】
【発明の効果】
本発明によれば、酸素の含有する雰囲気下で、200℃以上の温度で加熱処理をすることで均一性に優れた高抵抗化したITO膜を得ることができる。特に初期のシート抵抗が50Ω/□以上のITO膜においては、タッチパネル用途に最適な200〜3000Ω/□のシート抵抗、リニアリティ値±2%以内のITO膜を得ることが可能である。また、本処理を成膜直後に連続して行うことで、作業の簡略化ができるため、実用的にも優れた方法である。
Claims (2)
- インジウム−スズ酸化物膜を、酸素を含有する雰囲気中で200℃以上の温度にて加熱処理して製造する、シート抵抗値が200Ω/□〜3000Ω/□、電極間の距離が30cmのときのリニアリティ値が±2%以内、膜厚が100〜235Åであるインジウム−スズ酸化物膜の成膜方法。
- インジウム−スズ酸化物膜の成膜に引き続いて、酸素を含有する雰囲気中で200℃以上の温度にて加熱処理することを特徴とする請求項1に記載のインジウム−スズ酸化物膜の成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08597394A JP4079457B2 (ja) | 1993-12-14 | 1994-03-31 | インジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5-342476 | 1993-12-14 | ||
JP34247693 | 1993-12-14 | ||
JP08597394A JP4079457B2 (ja) | 1993-12-14 | 1994-03-31 | インジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07224383A JPH07224383A (ja) | 1995-08-22 |
JP4079457B2 true JP4079457B2 (ja) | 2008-04-23 |
Family
ID=26426985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08597394A Expired - Fee Related JP4079457B2 (ja) | 1993-12-14 | 1994-03-31 | インジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4079457B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100434528B1 (ko) * | 1997-11-28 | 2004-09-08 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계방출표시소자의양극판제조방법 |
US6329044B1 (en) | 1998-06-25 | 2001-12-11 | Asahi Glass Company Ltd. | Transparent conductive film and method of making the film |
JP2003027223A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-29 | Nikko Materials Co Ltd | 高抵抗膜形成用ito焼結体スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
CN101980986B (zh) | 2007-11-02 | 2016-04-27 | 北美Agc平板玻璃公司 | 用于薄膜光伏应用的透明导电氧化物涂层及其生产方法 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP08597394A patent/JP4079457B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07224383A (ja) | 1995-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101622714B (zh) | 薄膜晶体管及其制造方法 | |
Takata et al. | The stability of aluminium-doped ZnO transparent electrodes fabricated by sputtering | |
KR100649838B1 (ko) | 투명한 전도성 적층물 및 이의 제조방법 | |
GB2094355A (en) | Sputtered indium-tin oxide coating | |
JP2010251604A (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP3366046B2 (ja) | 非晶質透明導電膜 | |
KR101449258B1 (ko) | 산화물 기반의 고 유연성 투명전극 | |
JP4358251B2 (ja) | 高抵抗化スズドープ酸化インジウム膜の成膜方法 | |
JP4079457B2 (ja) | インジウム−スズ酸化物膜の高抵抗化方法 | |
JPH02276630A (ja) | 透明導電性積層体およびその製造方法 | |
KR20080054318A (ko) | 정전용량식 고저항 터치패널의 투명전도막 및 그 제조방법 | |
JP3589428B2 (ja) | 高抵抗化酸化インジウム膜 | |
JP2017193755A (ja) | 透明導電膜の製造方法、及び透明導電膜 | |
JP3355610B2 (ja) | スズドープ酸化インジウム膜の高抵抗化方法 | |
JP3634394B2 (ja) | 高抵抗化酸化インジウム膜 | |
JP4255655B2 (ja) | 高抵抗化スズドープ酸化インジウム膜の成膜方法 | |
JPH07224374A (ja) | スズドープ酸化インジウム膜の高抵抗化方法 | |
JP3780100B2 (ja) | 加工性に優れた透明導電膜 | |
JPH01283369A (ja) | Ito透明導電膜形成用スパッタリングターゲット | |
JPS647445B2 (ja) | ||
JP2005181670A (ja) | 極薄ito膜の製造方法 | |
JPH05171437A (ja) | 透明導電膜の形成方法 | |
JPH06157036A (ja) | スズドープ酸化インジウム膜の高比抵抗化方法 | |
JPS63243261A (ja) | 低抵抗透明導電膜の製造方法 | |
JPH0336703A (ja) | 薄膜抵抗体及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040506 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070713 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080205 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110215 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120215 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120215 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130215 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130215 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140215 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |