JP4068784B2 - インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4068784B2 JP4068784B2 JP2000079008A JP2000079008A JP4068784B2 JP 4068784 B2 JP4068784 B2 JP 4068784B2 JP 2000079008 A JP2000079008 A JP 2000079008A JP 2000079008 A JP2000079008 A JP 2000079008A JP 4068784 B2 JP4068784 B2 JP 4068784B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- ink jet
- recording head
- film
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 87
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 13
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000079008A JP4068784B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000079008A JP4068784B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007280890A Division JP4117504B2 (ja) | 2007-10-29 | 2007-10-29 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001260357A JP2001260357A (ja) | 2001-09-25 |
| JP2001260357A5 JP2001260357A5 (enExample) | 2004-11-11 |
| JP4068784B2 true JP4068784B2 (ja) | 2008-03-26 |
Family
ID=18596327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000079008A Expired - Fee Related JP4068784B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4068784B2 (enExample) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4259158B2 (ja) | 2003-03-26 | 2009-04-30 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタ |
| JP4868118B2 (ja) | 2005-10-24 | 2012-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP4848919B2 (ja) * | 2005-11-07 | 2011-12-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP4844717B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2011-12-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP2007261216A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
| JP2009196163A (ja) | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 圧電素子基板、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び、圧電素子基板の製造方法 |
| JP5768393B2 (ja) * | 2011-02-10 | 2015-08-26 | 株式会社リコー | インクジェットヘッド及び画像形成装置 |
| JP2014175577A (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波トランデューサー及び超音波デバイス |
| JP6233164B2 (ja) | 2014-04-15 | 2017-11-22 | 株式会社デンソー | 圧電素子、及び、光走査装置 |
| JP6460514B2 (ja) * | 2014-09-04 | 2019-01-30 | ローム株式会社 | 圧電素子利用装置の製造方法 |
| JP6410027B2 (ja) * | 2014-09-04 | 2018-10-24 | ローム株式会社 | 圧電素子利用装置の製造方法 |
-
2000
- 2000-03-21 JP JP2000079008A patent/JP4068784B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001260357A (ja) | 2001-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4117504B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3725390B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3661775B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドの製造方法 | |
| JP4068784B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP2000246888A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3555653B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3738804B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3543933B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3610810B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3610811B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP2000263785A (ja) | アクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3695507B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2000141644A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3750709B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2000246898A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3567970B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 | |
| JP3611016B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3531553B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 | |
| JP3769415B2 (ja) | アクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP2000006395A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP2002187271A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3485014B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3633811B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP2000052550A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3539220B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041019 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041027 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041217 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050406 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071029 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20071129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110118 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110118 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120118 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |