JP4068575B2 - 配線基板の製造方法ならびに半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
実施の形態1におけるテープキャリア基板の製造方法について、図1−1および図1−2を参照して説明する。図1−1(a1)〜(f1)、図1−2(g1)〜(k1)はテープキャリア基板の製造工程を示し、半導体素子搭載部の平面図である。図1−1(a2)〜(f2)、図1−2(g2)〜(k2)は各々、上記各平面図における図1−1(d1)のA−A断面に対応する位置で示した拡大断面図である。
実施の形態2におけるテープキャリア基板の製造方法について、図2を参照して説明する。本実施の形態の製造方法の初期段階では、実施の形態1の図1−1(a1)〜(i1)までと同様の工程を行う。従って重複する工程の説明を省略し、図2には、図1−1(i1)に相当する工程以降を、図2(i1)〜(n1)として図示する。図2(i2)〜(n2)は各々、図2(i1)〜(n1)における図1−1(d1)のA−A断面に対応する位置で示した拡大断面図である。
実施の形態3におけるテープキャリア基板の構造とその製造方法について、図7〜図11を参照して説明する。本実施の形態において用いるテープキャリア基板を、図7に示す。このテープキャリア基板では、複数本の導体配線5のうち、フィルム基材1の短辺方向に配列されたものが、直角に屈曲した平行部5aを有する。平行部5aは、フィルム基材1の長辺方向に配列された導体配線5と平行である。短辺方向に配列された導体配線5では、平行部5aに突起電極8が配置される。この構造により、以下に説明する問題を回避することができる。
実施の形態4における半導体装置およびその製造方法について、図12を参照して説明する。本実施の形態において用いるテープキャリア基板は、図12(a)には一例として実施の形態1により製造したものを示したが、上述の実施の形態に基づいて製造したいずれのテープキャリア基板を用いてもよい。
実施の形態5における画像表示パネルを、図13および14に示す。この画像表示パネルは、本発明のテープキャリア基板を用いた電子回路装置の一例である。すなわち、上述のいずれかの実施の形態により製造されたテープキャリア基板に半導体素子を実装して半導体装置を作製し、その半導体装置を組み込んで構成されている。
2 下地金属層
3 第1フォトレジスト層
3a、6a、9a 開口部
4、7、10、18、19 露光マスク
5 導体配線
5a 平行部
6 第2フォトレジスト層
7a、10a、18a、18b 光透過領域
8 突起電極
9 第3フォトレジスト層
11、11a、11b 上皮層
12、16 テープキャリア基板
13 半導体素子
14、14a、14b 電極パッド
15 封止樹脂
17 ソルダーレジスト
20 画像表示パネル
21a、21b パネル基板
22 パネル電極
23、26 異方性導電膜
24 プリント基板
25 電極
Claims (11)
- フィルム基材と、前記フィルム基材上に整列して設けられた複数本の導体配線と、前記複数本の導体配線上に形成された突起電極とを備えた配線基板の製造方法において、
前記フィルム基材の表面に形成された下地金属層上に第1フォトレジスト層を設け、前記第1フォトレジスト層の前記複数の導体配線に対応する部分に開口部を形成し、
前記第1フォトレジスト層の開口部を通してめっきを施すことにより、前記下地金属層に前記複数の導体配線を付設し、
前記第1フォトレジスト層および前記複数の導体配線を覆って第2フォトレジスト層を設け、
前記第2フォトレジスト層に、前記複数の導体配線を横切るように長孔状パターンの開口部を形成して、前記長孔状パターン中に前記導体配線の一部を露出させ、
前記第2フォトレジスト層の長孔状パターンを通して、前記導体配線の露出した面にめっきを施すことにより前記突起電極を形成することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記突起電極を形成する工程の後、前記第2フォトレジスト層および前記第1フォトレジスト層を除去し、前記複数の導体配線間の前記下地金属層をエッチングすることにより、前記複数の導体配線を電気的に分離する請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記突起電極の上面に、前記突起電極用金属よりも低硬度の金属からなる上皮層を設ける請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記第2フォトレジスト層の長孔状パターンを通して前記突起電極の上面にめっきを施すことにより、前記上皮層を形成する請求項3に記載の配線基板の製造方法。
- 前記突起電極を形成する工程の後、前記第2フォトレジスト層を除去して前記第1フォトレジスト層上に第3フォトレジスト層を形成し、前記第3フォトレジスト層に開口部を形成し、前記第3フォトレジスト層の開口部を通して前記突起電極の上面にめっきを施すことにより、前記上皮層を形成する請求項3に記載の配線基板の製造方法。
- 前記上皮層を、前記突起電極の平面形状より小さく形成する請求項5に記載の配線基板の製造方法。
- 前記上皮層を、前記突起電極の上面で複数個の分割された形状に形成する請求項5に記載の配線基板の製造方法。
- 前記複数本の導体配線を各々、長手方向において互いに平行である平行部を有するパターンに形成し、前記突起電極を前記平行部に配置する請求項1〜7のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法により配線基板を作製し、
前記配線基板上に半導体素子を載置し、前記半導体素子の電極パッドと前記突起電極とを接続することにより、前記突起電極を介して前記半導体素子の電極パッドと前記導体配線とを接続する半導体装置の製造方法。 - 前記導体配線上の前記突起電極が形成された領域を封止樹脂で覆った後、前記配線基板上に前記半導体素子を載置し、前記半導体素子の電極パッドと前記導体配線とを、その間に介在する前記封止樹脂を排除して接続する請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体素子の電極パッドと前記突起電極とを接続する際に、両者を互いに当接させ押圧しながら、当接部に超音波を印加する請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
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