JP4015119B2

JP4015119B2 - 静電モータ

Info

Publication number: JP4015119B2
Application number: JP2004015976A
Authority: JP
Inventors: 俊一尾高; 功仮屋
Original assignee: FANUC Corp
Current assignee: FANUC Corp
Priority date: 2004-01-23
Filing date: 2004-01-23
Publication date: 2007-11-28
Anticipated expiration: 2024-01-23
Also published as: EP1557939A3; JP2005210850A; US7230364B2; US20050162038A1; EP1557939A2

Description

本発明は、静電気力を駆動源とする静電モータに関する。

固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極を有し、該固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極にそれぞれ多相交流電源を接続して、移動子用フィルム型電極を固定子用フィルム型電極に対して相対移動させるようにした静電モータはマイクロマシン等の駆動源として開発されている（例えば、特許文献１等参照）。
従来の電磁力を利用する電機モータにおいては、磁気コイルや永久磁石等の磁力を発生させる部材を必要とし、小型に形成することが難しい。しかし、静電モータは、磁気コイルや永久磁石等の質量の大きい要素を必要としないことから、超小型のモータを形成することができマイクロマシンの駆動源等に利用される。
図１９は、直動型の静電モータの概要説明図である。固定子用フィルム型電極１には、絶縁体４中に銅箔等の導電性の帯状薄膜又は細いワイヤ等で形成された各相の電極部３が埋め込まれている。同様に移動子用フィルム型電極２においても絶縁体４中に同様な電極部３が埋め込まれている。固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２にそれぞれの各相端子には、多相交流電源の各相出力が接続され固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２にそれぞれ進行波電界を発生させて、その進行波電界によって移動子用フィルム型電極２を固定子用フィルム型電極１に対して直動させる。大きな力を発生させるために固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の組みを複数組み積層して直動型静電モータを構成する。

又、回転型静電モータの場合では、図２０の概要説明図で示すように、固定子用フィルム型電極１には、絶縁体４中に導電性の帯状薄膜又は細いワイヤ等で形成された各相の電極部３が放射状に配列されて埋め込まれている。同様に、移動子用フィルム型電極２にも絶縁体４中に各相電極部３が放射状に配列されて埋め込まれている。この回転型静電モータは、各相電極部３が放射状に配置されている点が、図１９で示した直動型静電モータと異なるのみで、他は直動型静電モータと同一の構成であり、対応する各要素に対して同一符号を付している。この回転型静電モータも、固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２にそれぞれ多相交流電源を接続しそれぞれ進行波電界を発生させて、その進行波電界によって移動子を固定子に対して回転運動させるものである。

この回転型静電モータの場合にも、大きな力を発生させるために、固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２を１組とし複数組みを積層し、固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２はそれぞれ互いに連結して、大きな力を発生させるように構成されている。

図２１は、固定子用及び移動子用のフィルム型電極１，２を形成するフィルム型電極１（又は２）の説明図である。図２１（ａ）は、これらフィルム型電極１（２）の一方の面（表面）を正面から見た図であり、図２１（ｂ）他方の面（裏面）を正面から見た図で、電極部と該電極部に通電する通電路のパターンを表示している。電極部及び通電路を実線で表しているものは見た側にあるものを示し、破線は見た側とは反対側に配設されていることを示している。

又、図２１（ｃ）は、図２１（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。固定子用及び移動子用のフィルム型電極１（又は２）には、絶縁体４中に導電性の帯状薄膜を又は細いワイヤ等で形成された各相の電極部３が埋め込まれている。図２１では３相の交流電源で駆動されるフィルム型電極１（又は２）の例を示しており、３相交流電源の第１、第２、第３の各相出力にそれぞれ接続されるスルーホールメッキが施されたスルーホール導電部６ａ，６ｂ，６ｃを備えている。第１の相の出力に接続されるスルーホール導電部６ａには通電路５ａを介して第１の相の各電極部３ａ，３ａ…が接続され、同様に、第２の相の出力に接続されるスルーホール導電部６ｂには通電路５ｂを介して第２の相の電極部３ｂ，３ｂ…が接続され、第３の相の出力に接続されるスルーホール導電部６ｃには通電路５ｃを介して各駆動用電極部３ｃ，３ｃ…が接続されている。なお、第２の相の通電路５ｂは、他の相の通電路５ａ、５ｃと交差し接触することを防ぐため他の相の通電路５ａ，５ｃ、電極部３ａ〜３ｃが設けられた側とは反対側（裏面）に配置されており、スルーホール導電部７を介して第２の相の電極部３ｂ，３ｂと接続されている。

図２１（ｃ）に示すＡ−Ａ’断面図に示されるように、ベースフレーム４ａを構成する２つの絶縁体のフィルムが背中合わせに接着されており、ベースフィルム４ａの一方には接着された導電体に対してエッチング処理等で通電路５ｂを形成する通電路パターンが設けられている。又、ベースフィルム４ａの他方には、電極部３ａ，３ｂ，３ｃ及び通電路５ａ，５ｃを形成する導電体のパターンがエッチング等で形成されている。そして、その外側をカバーフィルム４ｂで覆って絶縁層を形成している。すなわち、フィルム型電極１（又は２）は、カバーフィルム４ｂの層、通電路５ｂと接着剤の層、一方のベースフィルム４ａの層、接着剤の層、他方のベースフィルム４ａの層、電極部３ａ，３ｂ，３ｃ及び通電路５ａ，５ｃと接着剤の層、カバーフィルム４ｂの層で形成されている。

固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２を駆動する多相交流電源（図に示す例では３相の交流電源）の各相出力を各スルーホール導電部６ａ，６ｂ，６ｃに接続して、それぞれ進行波電界を発生させて、その進行波電界によって移動子用フィルム型電極２を固定子用フィルム型電極１に対して移動させる。

図２２〜図２７は、この固定子用フィルム型電極１又は移動子用フィルム型電極２の組み立て工程と積層工程の説明図である。

まず、図２２に示すように、各相の電極部３ａ〜３ｃと交流電源とを接続するベースフィルム４ａにスルーホールを設け、該スルーホールをメッキして導電部６ａ’〜６ｃ’，７を形成し、電極部３（３ａ〜３ｃ）及び通電路５ａ〜５ｃを形成する銅箔等の導電体による帯状薄膜のパターンをエッチング等によって形成する。次にカバーフィルム４ｂ，４ｂを電極部３等が設けられたベースフィルム４ａの両面に接着剤で接着して固定子用及び移動子用のフィルム型電極１，２を作成する。なお、カバーフィルム４ｂ，４ｂには、電源接続用のスルーホール導電部６ａ，６ｂ，６ｃに対向してそれぞれスルーホール導電部６ａ”，６ｂ”，６ｃ”が設けられている。

次に、図２３、図２４に示すように、固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２のスルーホール導電部６ａ〜６ｃ（６ａ’〜６ｃ’と６ａ”，６ｂ”，６ｃ”で形成される導電部）とスペーサ部材１０に設けられたスルーホール１０ａ，１０ｂ，１０ｃの位置を合わせ、スペーサ部材１０を固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２の端部に配設し（図２４、図２５参照）、固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の電極部３が平行に配設されている有効駆動面が対向するように配置する（図２６）。これによって、１組の固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２で形成される静電モータが形成される。

さらに、これら固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の組みを複数組み積層する場合には、図２７（ａ）に示すように、固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の組みの位置合わせをして順次積層し（図２７では１単位の静電モータを形成する固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の組みが２組の例を示している）、電源接続用のスルーホール導電部６ａ〜６ｃにそれぞれ通電ピン１１（１１ａ〜１１ｃ）を挿通する。固定子用フィルム型電極１の挿通ピン１１（１１ａ〜１１ｃ）に、固定子用の交流電源を接続し、移動子用フィルム型電極２の挿通ピン１１（１１ａ〜１１ｃ）に、移動子用の交流電源を接続することによって、固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２の各相の電極部３ａ〜３ｃには、通電ピン１１，スルーホール導電部６ａ〜６ｃの導電部、通電路５ａ〜５ｃ、さらには通電用のスルーホール導電部７を電力が供給される。

図２７（ｂ）は、通電ピン１１に変えて、導電ゴムや導電性の金属バネで形成された接続部品１２で積層する固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の電極部３へ通電させるものであり、スペーサ部材１０のスルーホール導電部１０ａ，１０ｂ，１０ｃにこの接続部品を挿入し、その先端で固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２のスルーホール導電部６ａ〜６ｃに当接又は嵌合させて導電部と接続するようにしたものである。

こうして固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２の組みが複数積層され、各固定子用フィルム型電極１は固定子筐体に固定し、各移動子用フィルム型電極２は移動し筐体に固定する。これより、１単位の静電モータが複数単位積層されて多単位で構成される静電モータが得られる。

特開平６−７８５６６号公報

上述した従来の従来の静電モータにおいては、固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２及びスペーサ部材１０を所定位置に配置し、この固定子用フィルム型電極１、移動子用フィルム型電極２、スペーサ部材１０の組みを複数積層して配置し、通電ピン１１又は接続部品１２で各固定子用フィルム型電極１、各移動子用フィルム型電極２をそれぞれ電気的に連結し、各固定子用フィルム型電極１及び各移動子用フィルム型電極２をそれぞれの筐体に固定している。

しかし、固定子用及び移動子用のフィルム型電極１，２は、前述したように、主にベースフィルム４ａとカバーフィルム４ｂで形成されているものであるから、非常に薄い（数十μｍ程度の厚さ）ものであることから、このフィルム型電極１（２）に僅かな力が作用してもその位置、姿勢が変化し、固定子用及び移動子用のフィルム型電極１（２）及びスペーサ部材１０を整列して一挙に組み立てることは非常に困難であった。

そこで、本発明の目的は、この従来、問題であった組み立て上の上述した問題を解決し、組み立てが容易な静電モータを提供することにある。

本発明は、電極部と、ベースフィルムと、カバーフィルムとを有する固定子用及び移動子用フィルム型電極を微小間隔で積層した静電モータであって、前記微小間隔を形成するための段差が前記各フィルム型電極に形成されていることを特徴とするものである。この段差は、ベースフィルムにスペーサ部材を接着して形成し、ベースフィルムと前記スペーサ部材とを前記カバーフィルムで覆って形成されている。そして、スペーサ部材は厚み方向の通電機能を備える。さらにスペーサ部材は厚み方向の通電機能に加えて厚み方向以外の通電路パターンを備えるものとする。

また、前記段差をベースフィルムに段差をもたせて一体的に成形することによって形成することも、又は、カバーフィルムに段差をもたせて一体的に成形することによって形成することもできる。または、各フィルム型電極間に前記微小間隔を形成するためのスペーサ部材を前記各フィルム型電極に接着して形成する。この場合、スペーサ部材は厚み方向の通電機能をさらには、厚み方向の通電機能に加えて厚み方向以外の通電路パターンを備えるようにする。

また、ベースフィルムに前記段差を形成するためのスペーサ部材をリベットまたはネジにて固定し、前記ベースフィルムと前記スペーサ部材とを前記カバーフィルムで覆うようにしてもよい。若しくは、前記フィルム型電極にスペーサ部材をリベットまたはネジにて固定し、前記段差を形成してもよい。そして、こうして製造された固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極を前記段差によって微小間隔をもって対向配置して形成された１単位の静電モータを、複数組み積層して積層型の静電モータを得る。

本発明では、固定子用、移動子用フィルム型電極の一部に段差をもって肉厚部が形成されるから、フィルム型電極に僅かな力が作用してもその位置、姿勢が変化せず、又、組み立てるときに整列させる部材が少なく組み立てが容易となる。

図１〜図４は、本発明の第１の実施形態における静電モータの組み立て工程の説明図である。なお、本発明の静電モータも従来と同様に図１９、図２０に示すような直動型静電モータや回転型静電モータを構成するものであるが、この実施形態として、直動型の静電モータの例を説明する。また、図１９〜図２７で示した従来例の要素と対応する要素には同一符号を付している。
ベースフィルム４ａに電極部３ａ〜３ｃ、該電極部３ａ〜３ｃに接続される通電路５ａ〜５ｃのパターンを形成するまでは従来の静電モータの製造方法と同一である。すなわち、ベースフィルム４ａに接着された銅箔等の導電体で構成される帯状薄膜から電極部３ａ〜３ｃ及び通電路５ａ〜５ｃを形成するパターンをエッチング等によって形成する。スルーホールを設けてメッキして導電部スルーホール導電部７を形成しベースフィルム４ａの一方の面に設けられた通電路５ｂと他方の面に形成されている電極部３ｂとを電気的に接続する。この第１の実施形態では、電極部３ａ〜３ｃを設けた側に第１、第３の電極部３ａ、３ｃに通電するための通電路５ａ、５ｃを設け、ベースフィルム４ａの反対側の面に第２の電極部３ｂに通電するための通電路５ｂを設けている。

こうして形成された電極部３ａ〜３ｃ、通電路５ａ〜５ｃを備えるベースフィルム４ａに対して、段差を形成するためのスペーサ部材１０を、ベースフィルム４ａの端部に接着する。このスペーサ部材１０は絶縁材料で形成されるもので、ベースフィルム４ａと同一材料で形成してもよいものである。そして、ベースフィルム４ａにスペーサ部材１０が接着された状態でスペーサ部材１０及びベースフィルム４ａに穴（スルーホール導電部６ａ〜６ｃを形成する穴）の加工を行う。次にこの穴をメッキしてスルーホール導電部６ａ’〜６ｃ’及びスルーホール導電部７を形成し、該スルーホール導電部とベースフィルムの４ａの通電路５ａ〜５ｃが電気的に接続される。なお、スペーサ部材１０をベースフィルム４ａに接着する代わりに、スペーサ部材１０をベースフィルム４ａにリベット又はネジで固定するようにしてもよい。

その後、図２に示すように、ベースフィルム４ａとスペーサ部材１０が一体化したものの両面に対してスルーホール導電部６ａ''〜６ｃ''が加工されたカバーフィルム４ｂ，４ｂを接着してスルーホール導電部６ａ〜６ｃとし、固定子用又は移動子用のフィルム型電極１，２をスペーサ部材１０による段差を持ったものとして一体的に形成する。

図３は、こうして製造された固定子用又は移動子用のフィルム型電極１，２の断面図である。この図２，図３に示されるように、固定子用又は移動子用のフィルム型電極１，２は、スペーサ部材１０と一体的に形成されるので、スペーサ部材の剛性によって、フィルム型電極１（２）の取扱が容易となる。
そこで、図４に示すように、固定子用フィルム型電極１の駆動用電極部面に対向させて移動子用フィルム型電極２の駆動用電極部面を対向させて、この固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の組を複数組み、固定子用及び移動子用フィルム型電極１，２のそれぞれのスルーホール導電部６ａ〜６ｃが同一線上になるように配置して、該スルーホールに通電ピン１１を挿入することによって、各固定子用フィルム型電極１の各電極部、移動子用フィルム型電極２の各電極部に通電できるようにする。又、図２７（ｂ）に示した従来例と同様に、導電ゴムや導電性の金属バネで形成された接続部品１２をスペーサ部材１０のスルーホール導電部に挿入は、その先端で固定子用フィルム型電極１及び移動子用フィルム型電極２のスルーホール導電部６ａ〜６ｃに当接又は嵌合させて導電部と接続するようにしてもよいものである。
その後、各固定子用フィルム型電極１を固定子用筐体に固定し、各移動子用フィルム型電極２を移動子用筐体に固定することによって静電モータを得る。

なお、上述した実施形態では、スペーサ部材１０をベースフィルム４ａに接着等により固定し、その外側をカバーフィルム４ｂで覆って形成したが、段差のないフィルム型電極を形成した後にスペーサ部材をこのフィルム型電極に接着又はリベットやネジで固定し、段差のあるフィルム型電極を形成するようにしてもよい。

図５〜図８は、本発明の第２の実施形態における静電モータの製造工程の説明図である。この第２の実施形態は、第１の実施形態と比較して、ベースフィルム４ａ’の電極部３ａ〜３ｃを形成した側と反対側の面の端部を肉厚として一体的に段差を形成し、この突出した部分をスペーサ部材１０’とするものである。
図５に示されるように、ベースフィルム４ａ’は、一端部が段差をもって突出して成形されており、電極部３ａ〜３ｃを設ける側は、段差のない平面部とし、かつこの突出したスペーサ部材１０’を形成する部分に各電極部３ａ、３ｂに通電するための通電路５ａ、５ｂを設けている。この第２実施形態では、電極部３ａ〜３ｃを設けた平面側に第１の電極部３ａに通電するための通電路５ａを設け、反対面に第２の電極部３ｂに通電する通電路５ｂを設けて、スルーホール導電部７によって反対面に配置された第２の電極部３ｂに電気的に接続するように構成している。又、第３の電極部３ｃへの通電路５ｃは、電極部３ａ〜３ｃを設けた平面側に設けられている。なお、この段差を持ったベースフィルム４ａ’は、押し出し成形、射出成形等で成形することができる。

スルーホールを形成し、該スルーホールをメッキして導電部６ａ〜６ｃ，７を形成し、その後、図６に示すようにスルーホール導電部６ａ''〜６ｃ''を有するカバーフィルム４ｂが段差を持ったベースフィルム４ａ’の両面に接着され、固定子用又は移動子用のフィルム型電極１，２が形成される。図７は、このフィルム型電極の断面図である。

こうして作成された固定子用フィルム型電極１の駆動用電極部面に対向させて、移動子用フィルム型電極２の駆動用電極部面を対向させ、この固定子用フィルム型電極１と移動子用フィルム型電極２の組を複数組み、固定子用及び移動子用フィルム型電極１，２のそれぞれのスルーホール導電部６ａ〜６ｃ（６ａ’〜６ｃ’，６ａ''〜６''ｃ）が同一線上になるように配置して、図８に示すようにスルーホールに通電ピン１１を挿入することによって、各固定子用フィルムの各電極部、各移動子用フィルム型電極２の各電極部に通電できるようにする。また、従来例の図２７（ｂ）に示すように、導電ゴムや導電性の金属バネで形成された接続部品１２で各フィルム型電極１（２）間を接続するようにしてもよいことはもちろんである。
その後、各固定子用フィルム型電極１を固定子用筐体に固定し、各移動子用フィルム型電極２を移動子用筐体に固定することによって静電モータをうる。

図９〜図１２は、本発明の第３の実施形態における静電モータの製造工程の説明図である。この第３の実施形態と第１の実施形態との相違点は、スペーサ部材１０''が一方のカバーフィルムに一体的に設けられている点であり、他は第１の実施形態と同一である。
電極部３ａ〜３ｃ，通電路５ａ〜５ｃ及びスルーホールが設けられ、各スルーホールにはメッキが施されて導電部６ａ〜６ｃ、７が形成されたベースフィルム４ａに対して、一方の面には、段差のないカバーフィルム４ｂを接着し、他方の面には、スペーサ部材１０''を形成する段差を備えたカバーフィルム４ｂ’を接着し、図１０に示すような固定子用及び移動子用フィルム型電極１，２を得る。図１１はこのフィルム型電極１，２の断面図である。なお、カバーフィルム４ｂ，４ｂ’に設けるスルーホールは、ベースフィルム４ａに接着した後若しくは接着する前に加工する。

こうして作成された固定子用フィルム型電極１の駆動用電極部面に対向させて、移動子用フィルム型電極２の駆動用電極部面を対向させ、第１、第２の実施形態と同様にスルーホールに通電ピン１１を挿入することによって、又は、導電ゴムや導電性の金属バネで形成された接続部品１２によって、各固定子用フィルムの各電極部、各移動子用フィルム型電極２の各電極部に通電できるようにする。その後、各固定子用フィルム型電極１を固定子用筐体に固定し、各移動子用フィルム型電極２を移動子用筐体に固定することによって静電モータを得る（図１２参照）。

図１３〜図１６は本発明の第４の実施形態における静電モータの組み立て説明図である。
この第４の実施形態では、図１３に示すように、ベースフィルム４ａ''には、各相の電極部への通電路の内、第１の電極部３ａへの通電路５ａしか形成されていない。図１に示される第１の実施形態におけるベースフィルム４ａと比較し、第２、第３の電極部３ｂ、３ｃへの通電路５ｂ，５ｃが設けられていない。この第４の実施形態では、ベースフィルム４ａ''には、各相の電極部３ａ，３ｂ，３ｃ、と第１の相の電極部３ａに通電する電通路５ａ、スペーサ部材１５に設けられる第２、第３の相の電通路５ｂ，５ｃとの接続のためのスルーホール導電部７，７と第２，第３の相の電源に接続されるスルーホール導電部６ｂ，６ｃとを接続する電通路が設けられている。このベースフィルム４ａ’の上面及び下面にカバーフィルム４ｂ，４ｂを接着し、固定子用、移動子用フィルム型電極１（２）を形成する。
一方、スペーサ部材１５は、電通路５ｂ，５ｃを形成するベースフィルム１５ａとカバーフィルム１５ｂ、１５ｂ’で構成されている。ベースフィルム１５ａには、一方の面に、第２の電極部３ｂに接続される通電路５ｂが、他方の面には、第３の電極部３ｃに接続される通電路５ｃが、エッチング等で設けられている。そして、このスペーサ部材１５のベースフィルム１５ａの下面にカバーフィルム１５ｂ’を接着し、図１５、図１６に示すように、このスペーサ部材１５のベースフィルム４ａ’と下面側に接着しされたカバーフィルム１５ｂ’からなるスペーサ部材１５の一部を形成する部材をフィルム型電極１，２に接着し、その後、ドリル等でスルーホール導電部６ａ〜６ｃ、７の穴加工を行い、さらにするスルーホールメッキを行い導電部を形成した後、スペーサ部材１５の最外面にカバーフィルム１５ｂを接着し又は塗布して、スペーサ部材を備えたフィルム型電極を得る。以後は第１〜第３の実施形態と同様に、固定子用フィルム型電極１の駆動用電極部面に対向させて、移動子用フィルム型電極２の駆動用電極部面を対向させ、第１、第２の実施形態と同様にスルーホールに通電ピン１１または、通電ゴムや導電部材の金属のバネ等の接続部品１２で、各固定子用フィルムの各電極部、各移動子用フィルム型電極２の各電極部に通電できるようにする。その後、各固定子用フィルム型電極１を固定子用筐体に固定し、各移動子用フィルム型電極２を移動子用筐体に固定することによって静電モータを得る。

上述した第４の実施形態において、ベースフィルム４ａ’にはすでにカバーフィルム４ｂが接着されているから、スペーサ部材１５のベースフィルム１５ａの下面に接着するカバーフィルム１５ｂ’を必ずしも設ける必要はない。図１７は、このスペーサ部材１５のベースフィルム１５ａの下面に接着されるカバーフィルム１５ｂ’を省略してスペーサ部材１５’付きフィルム型電極１，２を作成する状態を示したものである。このカバーフィルム１５ｂ’を省略する点以外は第４の実施形態と同一の作成手順で製作される。

図１８は本発明の第５の実施形態における静電モータのスペーサ部材付き固定子用、移動子用フィルム型電極１（２）の説明図である。この第５の実施形態と前述した第４の実施形態との差異は、ベースフィルム４ａ側に２つの相の通電路が設けられ、スペーサ部材１５''のベースフィルム１５ａ’には１つの相の通電路が設けられる点である。図に示す例では、スペーサ部材１５''のベースフィルム１５ａ’に第３の相の電極部３ｃへの通電路５ｃが設けられ、フィルム型電極本体のベースフィルム４ａ'''に、第１の相の電極部３ａへの通電路５ａが一方の面（表面）に第２の相の電極部３ｂへの通電路５ｂが他方の面に設けられている例を示している。この第５の実施形態における静電モータの組み立ては、第４の実施形態と同様でである。また、この第５の実施形態においても、スペーサ部材１５のベースフィルム１５ａの下面（フィルム型電極本体に接着される側）に接着されるカバーフィルム１５ｂ’は設けずに絶縁をベースフィルム４ａのカバーフィルム４ｂで代用するようにしてもよい。

上述した第４、第５の実施形態においては、図１と図１３とを比較して明らかのように、通電路５ｃが各相の電極部３が平行に設けられている面（有効駆動面）に配置されないことから、各相の電極部３を長くすることができ、有効駆動面を第１〜第３の実施形態よりも大きくとることができ効率的である。

本発明の第１の実施形態における静電モータの組み立ての説明図である。同第１の実施形態において、フィルム型電極本体にスペーサ部材を接着しカバーフィルムを接着し、スペーサ部材付きフィルム型電極の単体を形成したときの図である。同第１の実施形態におけるフィルム型電極の単体の断面図である。同第１の実施形態における固定子用、移動子用フィルム型電極を複数積層し、各フィルム型電極への通電を説明する説明図である。本発明の第２の実施形態における静電モータの組み立ての説明図である。同第２の実施形態において、スペーサ部材を有するフィルム型電極の単体の斜視図である。同第２の実施形態におけるフィルム型電極の単体の断面図である。同第２の実施形態における固定子用、移動子用フィルム型電極を複数積層し、各フィルム型電極への通電を説明する説明図である。本発明の第３の実施形態における静電モータの組み立ての説明図である。同第３の実施形態において、スペーサ部材を有するフィルム型電極の単体の斜視図である。同第３の実施形態におけるフィルム型電極の単体の断面図である。同第３の実施形態における固定子用、移動子用フィルム型電極を複数積層し、各フィルム型電極への通電を説明する説明図である。本発明の第４の実施形態におけるベースフィルムに設けられた電極部、通電路等の説明図である。同第４の実施形態におけるフィルム型電極の分解説明図である。同第４の実施形態におけるフィルム型電極にスペーサ部材を接着するときの説明図である。同第４の実施形態においてフィルム型電極にスペーサ部材を接着したときの状態を示す図である。同第４の実施形態の変形でスペーサ部材の下部のカバーフィルムを省略したときの説明図である。本発明の第５の実施形態におけるフィルム型電極の分解説明図である。直動型静電モータの概略説明図である。回転型静電モータの概略説明図である。従来の静電モータにおける固定子用、移動子用フィルム型電極の説明図である。従来の静電モータにおけるフィルム型電極の組み立て説明図である。従来の静電モータにおけるフィルム型電極にスペーサ部材を配置した状態の説明図である。同図２３に対応する側面図である。従来の静電モータにおける固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極及びスペーサ部材を配置した説明図である。従来の静電モータにおける固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極とを対向た状態を示す側面図である。従来の静電モータにおける固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極の組みを複数積層し各電極部への電機的接続の説明図である。

符号の説明

１固定子用フィルム型電極
２移動子用フィルム型電極
３電極部
４絶縁体
３ａ，３ｂ，３ｃ第１，第２，第３の相の電極部
４ａベースフィルム
４ｂカバーフィルム
５ａ，５ｂ，５ｃ第１，第２，第３の相の通電路
６ａ，６ｂ，６ｃ第１，第２，第３の相の電源接続用スルーホール導電部
７スルーホール導電部
１０スペーサ部材
１１通電ピン
１２接続部品

Claims

電極部と、ベースフィルムと、カバーフィルムとを有する固定子用及び移動子用フィルム型電極を微小間隔で積層した静電モータであって、前記微小間隔を形成するための段差が前記各フィルム型電極に形成されていることを特徴とする静電モータ。
前記段差は、前記ベースフィルムにスペーサ部材を接着して形成し、前記ベースフィルムと前記スペーサ部材とを前記カバーフィルムで覆って形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電モータ。
前記スペーサ部材は厚み方向の通電機能を有することを特徴とする請求項２に記載の静電モータ。
前記スペーサ部材は厚み方向の通電機能に加えて厚み方向以外の通電路パターンを有することを特徴とする請求項２に記載の静電モータ。
電極部と、ベースフィルムと、カバーフィルムとを有する固定子用及び移動子用フィルム型電極を微小間隔で積層した静電モータであって、前記微小間隔を形成するための段差が、前記ベースフィルムに段差をもたせて一体的に成形されていることを特徴とする静電モータ。
電極部と、ベースフィルムと、カバーフィルムとを有する固定子用及び移動子用フィルム型電極を微小間隔で積層した静電モータであって、前記微小間隔を形成するための段差が、前記カバーフィルムに段差をもたせて一体的に成形されていることを特徴とする静電モータ。
各フィルム型電極間に前記微小間隔を形成するためのスペーサ部材を前記各フィルム型電極に接着して前記段差が形成されている請求項１に記載の静電モータ。
前記スペーサ部材は厚み方向の通電機能を有することを特徴とする請求項７に記載の静電モータ。
前記スペーサ部材は厚み方向の通電機能に加えて厚み方向以外の通電路パターンを有することを特徴とする請求項７に記載の静電モータ。
前記電極部が設けられた前記ベースフィルムに前記段差を形成するためのスペーサ部材がリベットまたはネジにて固定され、前記ベースフィルムと前記スペーサ部材とが前記カバーフィルムで覆われていることを特徴とする請求項１に記載の静電モータ。
前記フィルム型電極にスペーサ部材をリベットまたはネジにて固定し、前記段差が形成されている請求項１に記載の静電モータ。
前記請求項１乃至１１の内いずれか１項に記載された固定子用フィルム型電極と移動子用フィルム型電極を前記段差によって微小間隔をもって対向配置して形成された１単位の静電モータを、複数組み積層して形成された静電モータ。