JP2000334381A - ファン装置及びその使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動電圧が低電圧でも確実に駆動することが
できると共に、加工工数や部品点数が増えることを防止
することができるファン装置及びその使用方法を提供す
る。 【解決手段】 薄層化した複数枚の圧電素子３１〜３５
を積層して形成した一対の圧電素子積層体１４，１５
と、一対の圧電素子積層体１４，１５の間にその基端部
１７ａが挾まれその先端部１７ｂは拘束されず振動可能
に設けられた弾性金属板１７と、一対の圧電素子積層体
の外部電極３７，３８に交流電圧を印加することができ
る交流電源２１とを備え、圧電素子積層体の各圧電素子
間の内部電極３２ａ，３３ａ，３４ａ，３５ａを、圧電
素子積層体の両側面に設けられると共に圧電素子積層体
の上下面の各々の外部電極３７，３８に別々に接続され
た側面電極４１，４２に交互に接続し、弾性金属板を側
面電極と接触しないように切り欠き１７ｃ，１７ｄを形
成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、各種電子
機器内で部分的に配置されているＬＳＩ（大規模集積回
路）やＣＰＵ（マイクロコンピューターの中央処理装
置）などの局所的な発熱源を冷却するため等に用いる、
ファン装置及びその使用方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、パーソナルコンピューター等の
電子機器等の内部で、部分的に配置されているＬＳＩや
ＣＰＵなどは、局所的な発熱源となっている。このよう
な局所的な発熱源を冷却する装置としては、今までは特
になかったが、例えば、図８に示すような圧電バイモル
フ５３を用いたファン装置５２が考えられる。

【０００３】同図に示すように、圧電バイモルフ５３
は、例えばＰＺＴと呼ばれる圧電セラミック素子からな
る、板状の上側圧電体５４と下側圧電体５６を、弾性金
属板５８の上下面に接着したものである。このようなフ
ァン装置５２の圧電バイモルフ５３は、図９に示すよう
に直流電源が接続されたときは、上側圧電体５４が伸び
ると共に下側圧電体５６が縮むような性質を有してい
る。

【０００４】このため、直流電源の代りに図８のように
交流電源を用いて、その上側圧電体５４と下側圧電体５
６の電極に交流電圧を印加することにより、上側圧電体
５４が伸びるときは下側圧電体５６が縮み、上側圧電体
５４が縮むときは下側圧電体５６が伸びることによっ
て、交流電圧の＋，−極の変化に応じて圧電バイモルフ
５３が全体として正逆方向に交互に屈曲運動を行うよう
になっている。

【０００５】このため、圧電バイモルフ５３の一端を固
定支持部６１により固定して、上側圧電体５４と下側圧
電体５６の電極に交流電圧を印加することによりその共
振周波数の正弦波を加えると、弾性金属板５８の先端部
がうちわ（団扇）状に振動することになる。そして、こ
の圧電バイモルフ５３の弾性金属板５８の先端部にプラ
スチックフイルムなどの振動板６０を接合させると、弾
性金属板５８の先端部の振動が共振により大きく拡大さ
れて、圧電バイモルフ５３を何かを扇ぐためのファン装
置５２として用いることができる。

【０００６】このような圧電バイモルフ５３を用いたフ
ァン装置５２を用いた場合は、電磁障害がなく、発熱源
の近接位置に配置して局所的な発熱源を個別に冷却する
ことができると共に、小型、低消費電力、かつ構造が簡
単である等の利点を持っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の圧電バイモルフ５３を用いたファン装置５２におい
ては、低電圧の場合はファン装置を確実に駆動すること
ができないという大きな問題を有している。すなわち圧
電セラミック素子は容量性の素子であるため、低消費電
流ではあるが、高電圧を供給しないとファン装置を確実
に駆動することができない。

【０００８】具体的には、従来の圧電バイモルフ５３の
圧電セラミック圧電体５４，５６には、通常厚さ０．１
〜０．２ｍｍ位の板状の圧電セラミック素子が使用され
ていた。この場合の圧電バイモルフ５３の駆動電圧は、
５０〜１００Ｖｐｐ位となり、確実に駆動するために必
要な駆動電圧が著しく高くなると共に、そのための駆動
回路が大型化するという問題があった。

【０００９】他方、従来の圧電アクチュエータとして、
特開平２−２４６３８６号公報に提示されたものがある
が、この従来の圧電アクチュエータは、外層の２つの圧
電板に切欠きを形成し、この切欠き部分において中間層
の圧電板を金属片で挾み込むことによって、中間層の圧
電板の電極を引き出すように構成されているため、加工
工数や部品点数が増えてコストアップを招くという問題
があった。

【００１０】そこで本発明は、このような問題を解決す
るために、駆動電圧が低電圧でも確実に駆動することが
できると共に、加工工数や部品点数が増えることを防止
することができる、ファン装置及びその使用方法を提供
することを課題とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明によるファン装置及びその使用方法は、
次のような構成としたものである。

【００１２】（１） 薄層化した複数枚の圧電素子を積
層して形成した一対の圧電素子積層体と、前記一対の圧
電素子積層体の間にその基端部が挾まれその先端部は拘
束されず振動可能に設けられた弾性金属板と、前記一対
の圧電素子積層体の外部電極に交流電圧を印加すること
ができる交流電源とを備え、前記圧電素子積層体の各圧
電素子間の内部電極を、圧電素子積層体の両側面に設け
られると共に圧電素子積層体の上下面の各々の外部電極
に別々に接続された側面電極に交互に接続し、前記弾性
金属板を前記側面電極と接触しないように形成したファ
ン装置。

【００１３】（２） 薄層化した複数枚の圧電素子を積
層して形成した一対の圧電素子積層体と、前記一対の圧
電素子積層体の間にその基端部が挾まれその先端部は拘
束されず振動可能に設けられた弾性金属板と、前記一対
の圧電素子積層体の外部電極に交流電圧を印加すること
ができる交流電源とを備え、前記圧電素子積層体の各圧
電素子間の内部電極を、圧電素子積層体の両側面に設け
られると共に圧電素子積層体の上下面の各々の外部電極
に別々に接続された側面電極に交互に接続し、前記弾性
金属板を前記側面電極と接触しないように形成したファ
ン装置を用いて、前記圧電素子積層体の外部電極に前記
交流電源からの交流電圧を印加することにより、前記弾
性金属板の先端部が振動するようにしたファン装置の使
用方法。

【００１４】このような構成のファン装置及びその使用
方法によれば、圧電素子積層体の外部電極に交流電源か
らの交流電圧を印加することにより、弾性金属板の先端
部が振動するため、圧電バイモルフをいわゆるファン装
置として用いることができる。また、複数枚の圧電素子
を薄層化して、その複数枚の圧電素子を積層化したこと
により、その駆動電圧が低電圧でもファン装置を確実に
駆動できるようにすることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面に基づいて具体的に説明する。図１ないし図５
は、本発明によるファン装置及びその使用方法の第１の
実施の形態について説明するために参照する図である。

【００１６】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る
ファン装置１２を示す図である。同図に示すファン装置
１２は、一対の圧電セラミック積層体１４，１５（圧電
素子積層体）を有しており、この一対の圧電セラミック
積層体１４，１５間には弾性金属板１７の基端部１７ａ
が、挾まれて接着して設けられている。この弾性金属板
１７には、りん青銅やアルミニウム等の材料を用いるこ
とができる。

【００１７】そして、弾性金属板１７の先端部１７ｂ
は、拘束されない自由端となっていて振動可能となって
いる。また、弾性金属板１７の先端部１７ｂには、プラ
スチックフイルムなどの振動板１９が設けられている。

【００１８】圧電セラミック積層体１４，１５及び弾性
金属板１７の基端部１７ａには、交流電源２１を有する
回路が接続されている。すなわち、交流電源２１の一方
の端子は弾性金属板１７の基端部１７ａに接続されてお
り、交流電源２１の他方の端子は分岐して、圧電セラミ
ック積層体１４，１５の上，下面の外部電極に接続され
ている。

【００１９】図２に示すように、圧電セラミック積層体
１４，１５は、薄層化した５枚の圧電セラミック３１，
３２，３３，３４及び３５を、積層化した構造となって
いる。このように薄層化した５枚の圧電セラミックを積
層化することにより、ファン装置１２の駆動電圧を低電
圧化することができる。この圧電セラミックには、ＰＺ
Ｔと呼ばれる圧電セラミック素子を用いることができ
る。

【００２０】このような、圧電セラミック積層体１４，
１５の製造工程について、以下に説明する。図３に示す
ように、まず、厚さ４０μｍに薄層化した５枚の圧電セ
ラミック３１，３２，３３，３４及び３５（セラミック
グリーンシート）を用意し、同図（ａ）に示すように、
圧電セラミック３２の上面に、その図中右端部を一定の
幅で除いて、内部電極３２ａを印刷により形成する。ま
た、圧電セラミック３３の上面に、その図中左端部を一
定の幅で除いて、内部電極３３ａを印刷により形成す
る。

【００２１】また、圧電セラミック３４の上面には、圧
電セラミック３２と同様に、その図中右端部を一定の幅
で除いて、内部電極３４ａを印刷により形成する。さら
に、圧電セラミック３５の上面には、圧電セラミック３
３と同様に、その図中左端部を一定の幅で除いて、内部
電極３５ａを印刷により形成する。

【００２２】次に、これらの圧電セラミック３１，３
２，３３，３４及び３５は、図３（ｂ）に示すように積
層化される。この積層化は、互いに揃えて積層して配置
された各圧電セラミック３１，３２，３３，３４及び３
５を、加熱炉内で加熱して焼結処理することにより行わ
れ、一体となった積層体を形成することができる。

【００２３】次に、図２及び図３（ｃ）に示すように、
上記積層体の上面に、その図中左端部を一定の幅で除い
て、上面外部電極３７を形成すると共に、図２に示すよ
うに、上記積層体の下面に、その図中右端部を一定の幅
で除いて、下面外部電極３８を形成する。

【００２４】次に、図２及び図３（ｄ）に示すように、
上記積層体の図中右側面に、外部電極３７と内部電極３
３ａ，３５ａに導通する側面電極４１を形成すると共
に、図２に示すように、上記積層体の図中左側面に、外
部電極３８と内部電極３２ａ，３４ａに導通する側面電
極４２を形成する。

【００２５】このように、互いに導通する上面外部電極
３７、内部電極３３ａ，３５ａ及び側面電極４１の第１
グループと、互いに導通する下面外部電極３８、内部電
極３２ａ，３４ａ及び側面電極４２の第２グループと
は、互いに導通しないようになっている。このため、上
面外部電極３７，内部電極３２ａ，３３ａ，３４ａ，３
５ａ，下面外部電極３８が、交互に＋，−極となること
ができるようになっている。

【００２６】このように、各内部電極３２ａ，３３ａ，
３４ａ，３５ａは、側面電極４１，４２により並列接続
され、このことにより、各圧電セラミック間の内部電極
を取り出すために、前記公報に提示された圧電アクチュ
エータのような、特別な構造や部材等を施す必要がなく
なる。このようにして、圧電セラミック積層体１４，１
５を簡単な構造で安価に製造することができる。

【００２７】図４に示すように、圧電セラミック積層体
１４，１５間に挟まれる弾性金属板１７には、圧電セラ
ミック積層体１４，１５のそれぞれの側面電極４１，４
２と接触しないように、切り欠き１７ｃ，１７ｄが形成
されている。これにより、圧電セラミック積層体１４の
上面外部電極３７や圧電セラミック積層体１５の下面外
部電極３８が、側面電極４１，４２を介して弾性金属板
１７と短絡（導通）することを防止することができる。

【００２８】このことにより、上述したように、圧電セ
ラミック積層体１４，１５の上面外部電極３７，内部電
極３２ａ，３３ａ，３４ａ，３５ａ，下面外部電極３８
が、交互に＋，−極となることが阻害されないようにす
ることができる。このため、圧電セラミック積層体１
４，１５及びこれらの間に挾まれた弾性金属板１７を、
図９に示す従来の圧電バイモルフ５３と同様に取り扱う
ことができる。

【００２９】このように構成したファン装置１２は、図
５に示すように、圧電セラミック積層体１４の基端部の
上面に接触するよう配置された固定具４４と、圧電セラ
ミック積層体１５の基端部の下面に接触するよう配置さ
れた固定具４５とにより挾まれて、それらの固定具４
４，４５の両端部を、ネジ孔４６にネジ結合するボルト
等のネジ部材４７によりネジ止めすることにより、固定
されるようになっている。固定具４４，４５には、アル
ミニウム等の金属材料を用いることができる。

【００３０】そして、固定具４４，４５及びネジ部材４
７は導電性を有していて、交流電源２１の一方の端子が
ネジ部材４７に接続することにより、交流電源２１の一
方の端子は圧電セラミック積層体１４の上面外部電極３
７と、圧電セラミック積層体１５の下面外部電極３８に
同時に導通することができるようになっている。

【００３１】そして、交流電源２１の他方の端子は、弾
性金属板１７の基端部１７ａから突出するよう一体的に
形成された導通部１７ｅに、ハンダ付け等によって接続
することにより弾性金属板１７に導通している。また、
固定具４４，４５は、側面電極４１，４２と接触しない
位置で圧電セラミック積層体１４，１５に接触すること
により、固定具４４，４５を介して圧電セラミック積層
体１４の上面外部電極３７と弾性金属板１７が導通しな
いように、又、圧電セラミック積層体１５の下面外部電
極３８と弾性金属板１７が導通しないようになってい
る。

【００３２】次に、このようなファン装置１２の動作
（使用方法）について説明する。図５において、交流電
源２１の一方の端子から交流電圧が供給されると、ネジ
部材４７及び固定具４４，４５を介して、圧電セラミッ
ク積層体１４の上面外部電極３７、及び圧電セラミック
積層体１５の下面外部電極３８に、交流電圧が供給され
る。そして、交流電源２１の一方の端子と交互にその他
方の端子から交流電圧が供給されると、導通部１７ｅを
介して弾性金属板１７に交流電圧が供給される。

【００３３】このように交流電源２１を用いて、圧電セ
ラミック積層体１４，１５及び弾性金属板１７に交流電
圧を交互に供給（印加）することにより、圧電セラミッ
ク積層体１４が伸びるときは圧電セラミック積層体１５
が縮み、圧電セラミック積層体１４が縮むときは圧電セ
ラミック積層体１５が伸びる。

【００３４】このことにより、交流電源２１から供給さ
れる交流電圧の＋，−極の変化に応じて、圧電セラミッ
ク積層体１４，１５が一体となって正逆方向に交互に屈
曲運動を行う。このため、それらの間に挾まれた弾性金
属板１７も屈曲運動を行うので、その先端部１７ｂに設
けられた振動板１９が振動して、ファン装置１２は何か
を扇ぐようなファン動作を行うことができる。

【００３５】そして、このようなファン装置１２によれ
ば、複数枚の圧電セラミックを薄層化して、その複数枚
の圧電セラミックを積層化したことにより、その駆動電
圧が低電圧でもファン装置１２を確実に駆動できるよう
にすることができる。このため、駆動回路の小型化が実
現でき、ファン装置の軽量化にも繋がる。

【００３６】また、圧電セラミック積層体１４，１５間
に挟まれる弾性金属板１７には、圧電セラミック積層体
１４，１５のそれぞれの側面電極４１，４２と接触しな
いように、切り欠き１７ｃ，１７ｄが形成されているた
め、圧電セラミック積層体１４の上面外部電極３７や圧
電セラミック積層体１５の下面外部電極３８が、側面電
極４１，４２を介して弾性金属板１７と短絡することを
防止することができる。

【００３７】また、各内部電極３２ａ，３３ａ，３４ａ
及び３５ａは、側面電極４１，４２により並列接続さ
れ、このことにより、各圧電セラミック間の内部電極を
取り出すための、他の特別な構造や部材等は必要がなく
なるので、圧電セラミック積層体１４，１５を簡単な構
造で安価に製造することができる。

【００３８】また、圧電セラミック積層体１４，１５を
挟む固定具４４，４５をネジ部材４７によりネジ止めす
ることにより、交流電源２１へのリード線をネジ部材４
７と固定具４４との間のネジ止め部から引き出すことが
できるので、圧電セラミック積層体１４の上面外部電極
３７と圧電セラミック積層体１５の下面外部電極３８か
ら直接ハンダ付けによりリード線を引き出す必要がなく
なり、製造工程を容易化することができる。

【００３９】また、薄層化された圧電セラミックにその
電極のハンダ付けにより熱が加わることは、その性能に
悪影響を及ぼすおそれがあるが、上記のようにネジ部材
４７と固定具４４との間のネジ止め部からリード線を引
き出すことができるため、このような問題も解決するこ
とができる。

【００４０】図６は、本発明の第２の実施の形態に係る
ファン装置に用いられる弾性金属板５０を示すものであ
る。この弾性金属板５０は、その基端部５０ａが、図４
に示す前記第１の実施の形態に係る弾性金属板１７の切
り欠き１７ｃ，１７ｄ間の間隔Ｗと同じ幅Ｗとなるよう
に、両側部に段部５０ｂ，５０ｃを形成したものであ
る。この第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態
に係る弾性金属板１７より少ない加工工数で済むと共
に、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができ
る。

【００４１】図７は、本発明の第３の実施の形態に係る
ファン装置に用いられる弾性金属板５１を示すものであ
る。この弾性金属板５１は、その全体の幅が、図７に示
す前記第２の実施の形態に係る弾性金属板５０の基端部
５０ａの幅Ｗと同じ幅Ｗとなるように形成したものであ
る。この第３の実施の形態によれば、第２の実施の形態
に係る弾性金属板５０より少ない加工工数で済むと共
に、前記第１，第２の実施の形態と同様の効果を得るこ
とができる。

【００４２】なお、前記実施の形態においては、圧電セ
ラミック積層体１４，１５の各々が５枚の圧電セラミッ
ク３１，３２，３３，３４及び３５を積層して形成した
場合について説明したが、圧電セラミック積層体を形成
する圧電セラミックの枚数は、奇数であればよく、３枚
でも、或は７枚以上であってもよい。

【００４３】また、圧電セラミック積層体１４，１５間
に挾まれる弾性金属板は、側面電極４１，４２との接触
を避けることができれば、前記第１，第２，第３の実施
の形態に係る弾性金属板１７，５０，５１のように、切
り欠き１７ｃ，１７ｄ、段部５０ｂ，５０ｃ或は幅Ｗを
狭くすることだけに限定する必要はなく、半円形や三角
形の凹部等、他のどのような形状を用いてもよい。

【００４４】また、前記実施の形態においては、圧電セ
ラミック積層体１４の上面外部電極３７と圧電セラミッ
ク積層体１５の下面外部電極３８の他に、弾性金属板１
７の導通部１７ｅにも交流電源２１からの交流電圧が供
給される場合について説明したが、交流電源２１の一方
の端子を圧電セラミック積層体１４の上面外部電極３７
に接続し、他方の端子を圧電セラミック積層体１５の下
面外部電極３８に接続して、弾性金属板１７には交流電
圧が供給されないようにしてもよい。

【００４５】また、ファン装置１２が扇いで冷却する部
品はＬＳＩやＣＰＵに限定されずそれ以外のものでも勿
論よく、またファン装置１２が取り付けられる装置とし
ても電子機器に限定されずそれ以外のものでもよい。

【００４６】以上、本発明の実施の形態について具体的
に述べてきたが、本発明は上記の実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の技術的思想に基づいて、その
他にも各種の変更が可能となる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のファン装
置及びその使用方法によれば、圧電素子積層体の外部電
極に交流電源からの交流電圧を印加することにより、弾
性金属板の先端部が振動するため、圧電バイモルフをい
わゆるファン装置として用いることができる。

【００４８】また、複数枚の圧電素子を薄層化して、そ
の複数枚の圧電素子を積層化したことにより、その駆動
電圧が低電圧でもファン装置を確実に駆動できるように
することができる。このため、駆動回路の小型化が実現
でき、圧電バイモルフファン装置の軽量化にも繋がる。

【００４９】また、弾性金属板を側面電極と接触しない
ように側面電極部分を避けて形成したことにより、圧電
セラミック積層体の弾性金属板と反対側の上面外部電極
や下面外部電極が、側面電極を介して弾性金属板と短絡
することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るファン装置１
２を示す斜視図である。

【図２】図１における圧電セラミック積層体１４，１５
の断面図である。

【図３】図１における圧電セラミック積層体１４，１５
の製造方法を説明するための各工程を示す斜視図であ
る。

【図４】ファン装置１２の分解斜視図である。

【図５】ファン装置１２の固定状態を示す斜視図であ
る。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係るファン装置の
弾性金属板５０を示す斜視図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態に係るファン装置の
弾性金属板５１を示す斜視図である。

【図８】従来のファン装置５２を示す側面図である。

【図９】図８の圧電バイモルフ５０の動作を説明する側
面図である。

【符号の説明】

１２…ファン装置、１４，１５…圧電セラミック積層
体、１７…弾性金属板、１７ａ…基端部、１７ｂ…先端
部、１７ｃ，１７ｄ…切り欠き、１７ｅ…導通部、１９
…振動板、２１…交流電源、３１，３２，３３，３４，
３５…圧電セラミック、３２ａ，３３ａ，３４ａ，３５
ａ…内部電極、３７…上面外部電極、３８…下面外部電
極、４１，４２…側面電極、４４，４５…固定具、４６
…ネジ孔、４７…ネジ部材、５０，５１…弾性金属板、
５０ａ…基端部、５０ｂ，５０ｃ…段部、５２…ファン
装置、５３…圧電バイモルフ、５４…上側圧電体、５６
…下側圧電体、５８…弾性金属板、６０…振動板、６１
…固定支持部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄層化した複数枚の圧電素子を積層して
   形成した一対の圧電素子積層体と、 前記一対の圧電素子積層体の間にその基端部が挾まれそ
   の先端部は拘束されず振動可能に設けられた弾性金属板
   と、 前記一対の圧電素子積層体の外部電極に交流電圧を印加
   することができる交流電源とを備え、 前記圧電素子積層体の各圧電素子間の内部電極を、圧電
   素子積層体の両側面に設けられると共に圧電素子積層体
   の上下面の各々の外部電極に別々に接続された側面電極
   に交互に接続し、 前記弾性金属板を前記側面電極と接触しないように形成
   したことを特徴とするファン装置。
2. 【請求項２】 前記複数枚の圧電素子は奇数枚の圧電素
   子であることを特徴とする請求項１に記載のファン装
   置。
3. 【請求項３】 前記弾性金属板は前記側面電極を避けて
   切欠きを形成したことを特徴とする請求項１に記載のフ
   ァン装置。
4. 【請求項４】 前記弾性金属板は前記側面電極を避けて
   幅を狭く形成したことを特徴とする請求項１に記載のフ
   ァン装置。
5. 【請求項５】 前記弾性金属板を間に挾んだ前記一対の
   圧電素子積層体の上下面を挾んで固定する固定具が、前
   記側面電極部分から離隔した位置で前記一対の圧電素子
   積層体の上下面を挾むようにしたことを特徴とする請求
   項１に記載のファン装置。
6. 【請求項６】 前記交流電源が前記圧電素子積層体の外
   部電極に印加する交流電圧を前記固定具を介して印加す
   るようにしたことを特徴とする請求項５に記載のファン
   装置。
7. 【請求項７】 薄層化した複数枚の圧電素子を積層して
   形成した一対の圧電素子積層体と、 前記一対の圧電素子積層体の間にその基端部が挾まれそ
   の先端部は拘束されず振動可能に設けられた弾性金属板
   と、 前記一対の圧電素子積層体の外部電極に交流電圧を印加
   することができる交流電源とを備え、 前記圧電素子積層体の各圧電素子間の内部電極を、圧電
   素子積層体の両側面に設けられると共に圧電素子積層体
   の上下面の各々の外部電極に別々に接続された側面電極
   に交互に接続し、 前記弾性金属板を前記側面電極と接触しないように形成
   したファン装置を用いて、 前記圧電素子積層体の外部電極に前記交流電源からの交
   流電圧を印加することにより、 前記弾性金属板の先端部が振動するようにしたことを特
   徴とするファン装置の使用方法。