JP4008453B2

JP4008453B2 - 静電モータ用電極の製造方法、静電モータ用電極及び静電モータ

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Publication number: JP4008453B2
Application number: JP2005115817A
Authority: JP
Inventors: 俊一尾高; 功仮屋
Original assignee: FANUC Corp
Current assignee: FANUC Corp
Priority date: 2005-04-13
Filing date: 2005-04-13
Publication date: 2007-11-14
Anticipated expiration: 2025-04-13
Also published as: JP2006296128A; US20060232161A1; EP1713170A2

Description

本発明は、対向配置された固定子と移動子との間で静電力を発生する静電モータ用電極の製造方法、静電モータ用電極及び静電モータに関するものである。

一般に、対向配置されたフィルム状の固定子と移動子との間で静電力を発生する静電モータ用電極は、フォトリソグラフィ技術により形成されている。フォトリソグラフィ技術では、銅箔４１などの導電性材料で被覆された基材４０に、感光性樹脂であるフォトレジストを塗布し、所定の電極パターンに形成されたマスクを介して光を照射し、露光部分のフォトレジストを硬化させ、露光されない部分をエッチングにより除去することで、電極４２を形成する（図１０（ａ），（ｂ））。電極４２には、カバーレイフィルム４３が貼り合わされ、個々の電極４２が絶縁保護される（図１０（ｃ），（ｄ））。

このようにして形成された電極を有する静電モータの一例として、特許文献１に開示されているものがある。特許文献１の静電モータは、複数の帯状電極を具備する固定子と、固定子上に接触した状態で載置される帯状電極を有しない移動子とを備え、帯状電極に印加する電圧を切り換えることにより、移動子を浮上させながら直線移動させるものである。帯状電極は、エポキシ基板上にエッチングにより等間隔に複数形成されている。

また、フォトリソグラフィ技術により導体を形成する他の従来例の一例として、プリントコイルの製造方法がある（例えば、特許文献２）。

特公平６−９１７５４号公報（第３−４頁）特開昭６０−１６１６０５号公報（第２頁）

フォトリソグラフィ技術により形成された導体には、エッチングが等方的に進行するため、根元側のサイドエッジに溝状のアンダーカットが形成されるという性質がある。多くの場合、フォトリソグラフィ技術で形成された導体は、回路体として利用されるものであり、電気信号等を導通することができれば十分であるから、これまでアンダーカットそのものが注目されることは皆無であった。

しかし、フォトリソグラフィ技術で形成された導体を静電モータ用の電極として利用する場合に、電極４２の根元側のサイドエッジ４１ａに図１１に示すようなアンダーカット４１ｂが形成されると、電極４２の上面と側面との交差するコーナ部４１ｃが鋭角形状になり、尖ったコーナ部４１ｃに電界集中が生じ、それによって固定子と移動子間で絶縁破壊が生じるということが判明した。

絶縁破壊が生じると、電極近傍の絶縁体が放電により劣化すると共に、静電モータの駆動電圧が制約され、モータ出力が駆動電圧の２乗に比例するという静電モータの有利な性質が生かされず、モータ出力を高めることができないという問題がある。

本発明は、上記した点に鑑み、電極のサイドエッジに電界が集中することを防止ないしは抑制し、絶縁破壊の生じる限界電圧を高くすることができ、高出力で長寿命を得ることができる静電モータ用電極の製造方法、静電モータ用電極及び静電モータを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１記載の静電モータ用電極の製造方法は、対向配置された固定子と移動子との間で静電力を発生する静電モータ用電極の製造方法において、前記固定子及び前記移動子の少なくとも一方の基材に、導電性物質をパターニングしてコア電極を形成した後、該コア電極にサイドエッジが丸くなるようにして導電性物質を付着させることを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の静電モータ用電極の製造方法において、電解めっき、無電解めっき、静電塗装又はスクリーン印刷の中から選択されるいずれか一つの方法により、前記コア電極に前記導電性物質を付着させることを特徴とする。

また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の静電モータ用電極の製造方法において、前記コア電極を、非エッチング手段を用いてパターニングすることを特徴とする。

また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の静電モータ用電極の製造方法において、予め導電膜で被覆された前記基材を用い、前記導電膜にレーザ光を照射することにより、前記コア電極をパターニングすることを特徴とする。

また、請求項５記載の発明は、請求項３記載の静電モータ用電極の製造方法において、前記コア電極を、導電性インクを用いたスクリーン印刷又はインクジェット印刷でパターニングすることを特徴とする。

また、請求項６記載の静電モータ用電極は、対向配置された固定子と移動子との間で静電力を発生する静電モータ用電極において、前記固定子及び前記移動子の少なくとも一方の基材にコア電極がパターニングされ、該コア電極に、サイドエッジが丸くなるようにして導電性物質からなる付着層が形成されたことを特徴とする。

また、請求項７記載の発明は、請求項６記載の静電モータ電極において、前記付着層が、電解めっき、無電解めっき、静電塗装又はスクリーン印刷の中から選択されるいずれか一つの方法により形成されたことを特徴とする。

また、請求項８記載の発明は、請求項６又は７記載の静電モータ用電極において、前記コア電極が、非エッチング手段を用いてパターニングされたことを特徴とする。

また、請求項９記載の静電モータは、対向配置される固定子と移動子とを備え、該固定子及び該移動子の少なくとも何れか一方は、複数の電極を等間隔に有し、該電極に電圧が印加されることで前記固定子及び前記移動子の間に静電力が発生し、該静電力により前記移動子が前記固定子に対して相対的に移動する静電モータにおいて、前記電極が、請求項６〜８の何れか１項に記載の電極であることを特徴とする。

以上の如く、請求項１又は６記載の発明によれば、コア電極のサイドエッジに導電性物質を付着させ、サイドエッジを丸くすることで、サイドエッジが太鼓状に盛り上がり、電極のサイドエッジに電界が部分的に集中することが回避されるとともに、電極外面の表面積を大きくすることができる。したがって、電極に印加する駆動電圧を大きくしても、絶縁破壊が生じることが防止され、モータ出力を大きくすることができる。また、電極に隣接する絶縁体部分の劣化が防止され、長寿命で信頼性の高い静電モータ用電極を提供することができる。

また、請求項２又は７記載の発明によれば、導電性物質をコア電極に等方的に、又は均一に付着させることができる。また、複雑形状の電極に対する付着性も良く、生産性良く製造することができる。

また、請求項３又は８記載の発明によれば、コア電極が化学的にエッチングされることなく形成されるため、コア電極のサイドエッジにアンダーカットが形成されることが防止される。したがって、請求項１記載の発明との相乗効果により、絶縁破壊限界電圧の高い静電モータ用電極を製造することができる。なお、非エッジング手段として、例えば、スクリーン印刷、インクジェット印刷、光を当てることで銀を析出する光化学反応、レーザ加工等の手段を採ることが可能であり、このような手段を採ることで、サイドエッジに付着させる導電性物質を少なくでき、材料費を低減することができる。また、廃液処理を不要とすることができ、限られた資源を有効利用することができる。

また、請求項４記載の発明によれば、自動化されたレーザ装置を用いることで、コア電極のパターニングを短時間で効率よく行うことができる。例えば、基材には無機材料としてのセラミックスなどが用いられ、導電性の皮膜には気化しやすく、酸化燃焼しやすい銅又は亜鉛等の卑金属が用いられる。

また、請求項５記載の発明によれば、電極を厚くすることなく、有効表面積の大きい電極を容易に製造することができる。また、所定の電極パターンにしたがって、厚みの薄いコア電極を精度良く形成することができる。

また、請求項９記載の発明によれば、コア電極のサイドエッジに導電性物質を付着させ、サイドエッジが丸くなるように電極を形成することで、サイドエッジが太鼓状に盛り上がり、電極の表面積を大きくすることができるとともに、電極のサイドエッジに電界が部分的に集中し、絶縁破壊が生じることが防止される。したがって、電極に印加する駆動電圧を大きくして、静電モータの出力を高めることができるとともに、電極に隣接する絶縁体部分の劣化が防止され、長寿命で信頼性の高い静電モータを提供することができる。

以下に本発明の実施の形態の具体例を図面を用いて詳細に説明する。
図１〜図３は、本発明に係る静電モータ用電極の製造方法の第１の実施形態を示す説明図である。

図１に示すように、本実施形態の静電モータ用電極の製造方法は、絶縁性を有するフィルム状の基材１０に、所定パターンで複数のコア電極１３を形成するパターニング工程と、コア電極１３に導電性を有する付着層１５を付着させる工程とを含んでいる。

本発明は静電モータの型、すなわち直動型か回転型かを制限するものではないが、本実施形態の図示しない静電モータは、固定子に対して移動子が相対的に直線移動する直動型静電モータを対象にしている。固定子５及び移動子は、それぞれ矩形状をなし、ポリイミド樹脂又はエポキシ樹脂等の絶縁性樹脂からなる基材１０と、各基材１０に形成された複数の帯状電極１２と、複数の帯状電極１２を絶縁するカバーレイフィルム（絶縁体）１８とを備えている。帯状電極１２は、コア電極１３と、コア電極１３に電解めっきされる付着層１５とからなっている。

各帯状電極１２は静電モータの型に制限されず、直動型でも回転型でも帯状又は直線状であるが、複数の帯状電極１２の配置は、静電モータの型によって異なり、静電モータが直動型の場合は並列に配置され、静電モータが回転型の場合は放射状に配置される。カバーレイフィルム１８は、接着層２０と絶縁層１９からなり、接着層１９を下向きにして帯状電極１２を有する基材１０に一体的に貼り合わされる。カバーレイフィルム１８によって、隣接する帯状電極１２同士が絶縁されるとともに、各帯状電極１２が外部から絶縁され、放電及びショートが防止され、上下の固定子５及び移動子間で静電力が発生するようになっている。ここで、固定子５と移動子は、帯状電極１２が交差して配置されていることを除けば、略同様の構成となっているため、本明細書では固定子５側の帯状電極１２の製造方法について説明することとする。

静電モータ用電極の製造方法について、図面に基づいて詳細に説明する。固定子５の基材１０には、例えば、厚み１７μｍ程度の圧延銅箔や電解銅箔、スパッタやめっきで生成された銅箔が形成されたものが好適に用いられる。図１（ａ）に示すように、銅箔からなるコア電極１３は、フォトリソグラフィ技術によって基材１０にパターニングされる。フォトリソグラフィ技術は、半導体製造プロセスやＦＰＣ（Flexible Printed circuit）製造プロセスで配線導体を基材に形成する技術である。この技術により、帯状電極１２の核となるコア電極１３が所定のパターンで基材１０上に形成される。コア電極１３のサイドエッジ１３ａには、従来例の図１１に示す電極４２と同様の溝状のアンダーカット１３ｂが存する。

図１（ｂ），図２は、図１（ａ）と同様に、コア電極１３の長手方向に直交する方向に沿って切断した横断面図であり、電解めっきによってコア電極１３に付着層１５が形成された状態が示されている。付着層１５は、導電性を有する金属を構成材料にすることができ、例えばコア電極１３と同じ材料である銅を適用することができる。この付着層１５は、コア電極１３のサイドエッジ１３ａを含む外面全体を覆うようにして等方的に付着している。このため、サイドエッジ１３ａのアンダーカット１３ｂは、滑らかに丸くなっている付着層１５によって完全に覆われる。両側のアンダーカット１３ｂに付着した付着層１５は、太鼓状に盛り上がっており、コア電極１３の長手方向に直交する方向にオーバーハング状に突出している。突出部分の付着層１５の丸みの曲率半径Ｒは、例えば帯状電極１３の厚みｔの１／２程度の寸法に形成されている（図２）。丸みの曲率半径Ｒを、この程度の寸法に形成することで、静電力の電界集中係数が最小になり、絶縁破壊限界電圧が高くなって、絶縁破壊が生じ難くなることが、解析及び実験等により明らかになっている。ここで、絶縁破壊限界電圧とは、絶縁破壊を生じる上限の電圧をいうものとする。

図３は、コア電極１３に電解めっきを施す工程を示したものである。電解めっき法は、コア電極１３に付着される金属イオンを含む電解液中に直流電流を流し、金属を付着（析出）させるものである。本実施形態では、付着層１５としてのめっき材には、銅が用いられるため、陽極では銅板が使用され、陰極にはコア電極１３が形成された基材１０が使用される。図３（ａ），（ｂ）に示されるめっき用の導通路１６は、めっき後に、ドリルによる孔開け加工、レーザ加工によって孔１６ａを開けることにより断線される。また、基材１０に形成された銅箔が薄い場合には、導通路１６をめっき用レジストで予めマスクしておき、後工程のソフトエッチで導通路１６を除去することも可能である。

なお、コア電極１３には、無電解めっきを施すことも可能である。無電解めっき法は、金属イオンと還元剤とを含むめっき液を用い、被めっき材に還元した金属イオンを析出させるものである。この方法では、金属イオンの回り込み性が良いためスルーホールや溝等を有する基材１０の孔内面や溝内面にもめっきを行うことが可能となる。また、めっき用の導通路が不要になり、めっき後に導通路を断線したりする必要がなくなり、作業性が向上する。

図１（ｃ）は、付着層１５を有する帯状電極１２が、絶縁体としてのカバーレイフィルム１８によって絶縁された状態が示されている。カバーレイフィルム１８の絶縁層１９は、例えばエポキシ樹脂からなり、加熱されつつ真空プレスされることで帯状電極１２に一体化される。帯状電極１２に接する空気は絶縁層ではあるが、このようにカバーレイフィルム１８で周囲が絶縁されることで、より高い駆動電圧を印加することができ、駆動電圧の２乗に比例してモータ出力を高めることが可能となる。

次に、図４に基づいて、コア電極に付着層を施す方法の変形例を説明する。図４（ａ）には、フォトリソグラフィ技術によりパターニングされたコア電極１３に、静電塗装により付着層１５Ａを選択的に形成するものが示されている。塗装材２１には、高抵抗率のバインダー中に導電性粒子２１ａとしての銀やカーボンを含む材料が用いられる。静電塗装後は、図４（ｂ）に示すように、加熱によりバインダーを除去すると共に、銀粒子の金属化やカーボンの集中化によって導通性を確保する。この方法も、電解めっきと同様に、付着層１５Ａが形成された後に、図示しない導通路を断線する。

また、次に、図５に基づいて、コア電極に付着層を施す方法の他の変形例を説明する。この方法は、スクリーン印刷によって、コア電極１３に付着層１５Ｂを形成するものである。スクリーン印刷では、図５（ａ）に示す所定の印刷パターンに形成されたスクリーン版２３を用いて行い、このスクリーン版２３と基材１０とを位置合わせし、図５（ｂ）に示すように、導電性粒子を含むはんだペースト２４を、スキージ２５を動かしながらスクリーン版２３の孔２３ａから落として塗布し、所定温度に加熱して溶融したはんだペースト２４をリフローして固化させる。はんだペースト２４をリフローすることで、付着層１５Ｂが滑らかに丸くなり、帯状電極１２の両側が太鼓状に盛り上がり、電界集中を回避することができる。

次に、図６に基づいて、帯状電極を絶縁体で覆う方法の変形例を示す。この方法は、帯状電極１２を液体状態の絶縁体１８Ａで覆う点が、帯状電極１２をカバーレイフィルム１８で覆う場合と比べて相違している。この変形例の方法によると、図６（ａ）に示すように、帯状電極１２の両側でオーバーハングする付着層１５の下側に絶縁体１８Ａが回り込むようになり、帯状電極１２と絶縁体１８Ａとの間にボイドが残らなくなる。液状の絶縁体１８Ａは、例えば、真空脱気しながら型の中で加熱されることで、ボイドが残留することなく、平坦な状態で固化する（図６（ｂ））。

次に、図７に基づいて、静電モータ用電極の製造方法の第２の実施形態について説明する。この実施形態は、レーザ加工にて基材１０Ａに複数のコア電極１３Ａをパターニングする点が、第１の実施形態のフォトリソグラフィ技術によりパターニングする場合と相違している。コア電極１３Ａ形成後に、コア電極１３Ａにめっきその他の手段により付着層を形成して帯状電極を形成する工程は、第１の実施形態と同様である。また、帯状電極形成後に、帯状電極を絶縁体で絶縁保護する点も第１の実施形態と同様である。

この方法は、基材１０Ａとしてスパッタ又は無電解めっきで薄く銅箔が形成されたものを用い、銅箔にレーザ装置２７からのレーザ光２８を照射し、レーザ光２８の熱により除去加工をして、コア電極１３Ａをパターニングする。この方法では、熱加工によりコア電極１３Ａのパターニングを行うため、基材１０Ａには無機材料としてのセラミックスなどが用いられる。セラミックスとしては、耐熱衝撃性に優れるアルミナ系（Al₂O₃）、ジルコニア系（ZrO₂）、窒化珪素系（Si₃N₄）セラミックスが好適する。基材１０Ａに形成される導体材料には、酸化燃焼して除去されやすい銅や亜鉛等の卑金属が適用される。なお、光化学反応によって導体を析出させる銀鏡反応等で、コア電極をパターニングする場合は、通常の基板１０Ａを用いることができる。

この第２の実施形態によれば、コア電極１３Ａが非エッチング手段により形成されるため、コア電極１３Ａのサイドエッジにアンダーカットが形成されない。したがって、無垢のコア電極１３Ａをそのまま帯状電極として使用することも可能である。また、コア電極１３Ａのパターニング後の廃液処理も不要となる。第１の実施形態と同様に、コア電極の外面に付着層を形成すると、帯状電極の両側が滑らかに丸くなると共に、電極の表面積が増し、駆動電圧をより高くすることができ、静電モータの出力を向上することができる。

次に、図８に基づいて、静電モータ用電極の製造方法の第３の実施形態について説明する。この実施形態は、インクジェット印刷によって基材１０Ｂに複数のコア電極１３Ｂを形成する点が、第１の実施形態と相違している。コア電極１３Ｂ形成後に、コア電極１３Ｂにめっきその他の手段により付着層を形成し帯状電極を形成する工程は、第１の実施形態と同様である。また、帯状電極形成後に、帯状電極を絶縁体で絶縁保護する点も第１の実施形態と同様である。

この方法では、導電性インク３１としてナノ導電性粒子を含むインクが用いられる。ナノ導電性粒子には、銀やカーボンが用いられる。ノズル３０からインク３１を吹き付けることによってコア電極１３Ｂをパターニングした後は、コア電極１３Ｂを加熱してバインダーを除去して、ナノ導電性粒子を金属化又は集中化する。なお、インクジェット印刷では、導電性インク３１に代えて、無電解めっきの核となる触媒材料を印刷し、無電解めっきにてコア電極を形成することも可能である。

この第３の実施形態も、第２の実施形態と同様にして、コア電極１３Ｂが非エッチング手段により形成されるため、コア電極１３Ｂのサイドエッジにアンダーカットが形成されず、無垢のコア電極１３Ｂをそのまま帯状電極として使用することも可能である。また、帯状電極形成後に、帯状電極を絶縁体で絶縁保護する点も第１の実施形態と同様である。

次に、図９に基づいて、静電モータ用電極の製造方法の第４の実施形態について説明する。この実施形態は、スクリーン印刷によって基材１０Ｃに複数のコア電極１３Ｃを形成する点が、第１の実施形態と相違している。コア電極１３Ｃ形成後に、コア電極１３Ｃにめっきその他の手段により付着層を形成し帯状電極を形成する工程は、第１の実施形態と同様である。

この方法では、分散材に銀や銅やカーボン等の導電性粒子を含む導電性インク３５が用いられ、スクリーン版３３にインク３５をのせ、へら状のスキージ３４でインク３５を摺動し、レジストのない部分からインク３５を落とすことで、基材１０Ｃに印刷を行う。コア電極１３Ｃをパターニングした後は、乾燥などにより分散材を除去し、導電性粒子の金属化又は集中化を行い、導電性を得る。この方法では、簡易に、比較的精度良くコア電極１３Ｃを印刷することができる。

この第４の実施形態も、第２，３の実施形態と同様にして、コア電極１３Ｃが非エッチング手段により形成されるため、コア電極１３Ｃのサイドエッジにアンダーカットが形成されず、無垢のコア電極をそのまま帯状電極として使用することも可能である。また、帯状電極形成後に、帯状電極を絶縁体で絶縁保護する点も第１の実施形態と同様である。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、第１〜４の実施形態では、対向配置される固定子５及び移動子の両方に帯状電極１２を有する静電モータを対象にして説明しているが、固定子５及び移動子の何れか一方に帯状電極１２を有する静電モータにも適用することが可能である。

本発明に係る静電モータ用電極の製造方法の第１の実施形態を示す説明図であり、（ａ）は基材にコア電極がパターニングされた断面図、（ｂ）はコア電極に電解めっき（付着層）が施された断面図、（ｃ）は電極にカバーレイフィルム（絶縁体）が張り合わされた断面図である。図１（ｂ）の電極の拡大断面図である。図１（ａ）のコア電極に電解めっきを施す工程を示し、（ａ）は基材に電極がパターニングされた平面図、（ｂ）は電極に電解めっきを施した平面図、（ｃ）は電極と導通路を破断した平面図ある。コア電極に付着層を施す方法の変形例であり、（ａ）はコア電極に静電塗装を施した断面図、（ｂ）は静電塗装の後、加熱により導電性金属を溶融し、その後に固化させた状態の断面図である。コア電極に付着層を施す方法の他の変形例であり、（ａ）はパターニングされたコア電極を有する基材にスクリーン版を重ねた状態を示す斜視図、（ｂ）は導電性インクを塗布している状態を示す断面図、（ｃ）はコア電極に導電性インクが付着した状態を示す断面図である。帯状電極を絶縁体で覆う変形例であり、（ａ）は液状の絶縁体を付着させた状態の断面図、（ｂ）は固化した絶縁体を平坦に仕上げた状態の断面図である。本発明に係る静電モータ用電極の製造方法の第２の実施形態を示す斜視図である。本発明に係る静電モータ用電極の製造方法の第３の実施形態を示す斜視図である。本発明に係る静電モータ用電極の製造方法の第４の実施形態を示す断面図である。従来の静電モータ用電極の製造方法の一例の工程及び静電モータ用電極を示し、（ａ）は導電膜付き基材を示す断面図、（ｂ）は電極がパターニングされた断面図、（ｃ）は電極にカバーレイフィルムを張り合わす状態の断面図、（ｄ）は電極にカバーレイフィルムが張り合わされた状態の断面図である。図１０（ｂ）の電極のサイドエッジにアンダーカットが形成された拡大断面図である。

符号の説明

５固定子
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ基材
１２，１２Ａ，１２Ｂ帯状電極（電極）
１３，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃコア電極
１３ａサイドエッジ
１３ｂアンダーカット
１５，１５Ａ，１５Ｂ附着層
１８，１８Ａカバーレイフィルム（絶縁体）
２１塗装材
２３，３５スクリーン版
２４，３４スキージ
２４はんだペースト
２７レーザ装置
２８レーザ光
３０ノズル
３１，３５導電性インク
Ｒ曲率半径

Claims

対向配置された固定子と移動子との間で静電力を発生する静電モータ用電極の製造方法において、
前記固定子及び前記移動子の少なくとも一方の基材に、導電性物質をパターニングしてコア電極を形成した後、該コア電極にサイドエッジが丸くなるようにして導電性物質を付着させることを特徴とする静電モータ用電極の製造方法。
電解めっき、無電解めっき、静電塗装又はスクリーン印刷の中から選択されるいずれか一つの方法により、前記コア電極に前記導電性物質を付着させることを特徴とする請求項１に記載の静電モータ用電極の製造方法。
前記コア電極を、非エッチング手段を用いてパターニングすることを特徴とする請求項１又は２記載の静電モータ用電極の製造方法。
予め導電膜で被覆された前記基材を用い、該導電膜にレーザ光を照射することにより、前記コア電極をパターニングすることを特徴とする請求項３記載の静電モータ用電極の製造方法。
前記コア電極を、導電性インクを用いたスクリーン印刷又はインクジェット印刷でパターニングすることを特徴とする請求項３記載の静電モータ用電極の製造方法。
対向配置された固定子と移動子との間で静電力を発生する静電モータ用電極において、
前記固定子及び前記移動子の少なくとも一方の基材にコア電極がパターニングされ、該コア電極に、サイドエッジが丸くなるようにして導電性物質からなる付着層が形成されたことを特徴とする静電モータ用電極。
前記付着層が、電解めっき、無電解めっき、静電塗装又はスクリーン印刷の中から選択されるいずれか一つの方法により形成されたことを特徴とする請求項６記載の静電モータ用電極。
前記コア電極が、非エッチング手段を用いてパターニングされたことを特徴とする請求項６又は７記載の静電モータ用電極。
対向配置される固定子と移動子とを備え、該固定子及び該移動子の少なくとも何れか一方は複数の電極を等間隔に有し、該電極に電圧が印加されることで前記固定子及び前記移動子の間に静電力が発生し、該静電力により前記移動子が前記固定子に対して相対的に移動する静電モータにおいて、
前記電極が、請求項６〜８の何れか１項に記載の電極であることを特徴とする静電モータ。