JP4003734B2 - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Description
ここで、Qは、必要電荷量、Cgは、ゲート容量、Nは、画素数、t.txは、転送に要する時間である。
本実施の形態における固体撮像装置は、後述するように、単位画素であるセンサセルがマトリクス状に配列されて構成されたセンサセルアレイを有している。各センサセルは、入射光に応じて発生させた光発生電荷を蓄積し、蓄積した光発生電荷に基づくレベルの画素信号を出力する。センサセルをマトリクス状に配列することで1画面の画像信号が得られる。
更に、図4を参照して、センサセル3の断面構造を詳細に説明する。なお、図4中、N,Pの添え字の−,+はその数によって不純物濃度のより薄い部分(添え字−−−)からより濃い部分(添え字+++)の状態を示している。
また、図3における有効画素領域10Bにおける各センサセルの構造は、図4に示すものであるが、図3における非有効画素領域10C、すなわちオプティカルブラック領域は、遮光層47に形成された遮光膜56は、フォトダイオード形成領域(PD)も覆うように、非有効画素領域10Cの全面に亘って形成されている。そして、非有効画素領域10Cにおけるセンサセル3の出力信号が、黒色判定に用いられる。
次に、図5を参照して本実施の形態に係る固体撮像装置全体の回路構成について説明する。
図6は図5中の各センサセルの具体的な回路構成を示している。図6(A)はセンサセルの等価回路を示し、図6(B)はセンサセルと各信号線との接続を示している。
各センサセル3は、光電変換を行うフォトダイオードPDと、光信号を検出して読み出すための変調トランジスタTM並びに光発生電荷の転送を制御する転送トランジスタTTとを含む。フォトダイオードPDは入射光に応じた電荷(光発生電荷)を生じさせ、生じた電荷を蓄積ウェル4(図6では接続点PDWに相当)内に蓄積する。転送トランジスタTTは、蓄積期間において蓄積ウェル4に蓄積された光発生電荷を、転送期間において変調トランジスタTMの閾値変調用の変調用ウェル5(図6では接続点MTWに相当)内のキャリアポケット10に転送させて保持させる。
図7は本実施の形態における各駆動期間を説明するためのタイミングチャートである。なお、図7はノーマルモード時の駆動シーケンスを示している。図7において、L1 ,L2 ,…は、センサセルアレイ62の各ラインに対応している。
まず、転送期間について述べる。図7は、1フレームにおける各期間のタイミングを示す。転送期間は、少なくとも2つの転送期間、すなわち転送期間1及び転送期間2を含む。図3に示す撮像面10Aは、有効画素領域10Bを含む領域と非有効画素領域10Cのみの領域とを、2次元のマトリクス領域の1つの軸方向、例えば垂直方向(図3)において分割した場合に、図3に示すように、有効画素領域10Bを含む領域Bと、非有効画素領域10Cのみの2つの領域A及びCとに領域が分けられる。領域Bは、非有効画素領域10Cのセンサセルも含む。
転送期間2では、転送駆動走査回路68からゲート信号を領域A及びC内の各転送トランジスタTTの転送ゲート13に一斉に供給することによって、領域A及びC内の全センサセルの画素信号が蓄積ウェル4から変調用ウェル5に一括転送される。従って、撮像面10A内の複数のセンサセルの画素信号が、全画素一括して転送されるのではなく、2回に分けて転送される。
このように、有効画素領域10B内の全センサセルの画素信号は一括して転送されるので、いわゆる電子シャッタ機能は維持され、オプティカルブラック領域を含む領域のセンサセルの画素信号は、別のタイミングで一括転送されるので、転送に要する必要電流量が減少する。
本実施の形態においては、読み出し期間(ブランキング期間)は、S(シグナル)変調期間、クリア期間及びN(ノイズ)変調期間によって構成される。セル3同士のばらつきや、各種ノイズの除去のために、同一セルから信号成分とノイズ成分とを読み出して比較する。S変調期間には、変調用ウェル5に蓄積された光発生電荷に基づく画素信号を読み出すS変調動作が行われる。クリア期間には、ノイズ成分を読み出すために、変調用ウェル5に残留する光発生電荷を残留電荷排出経路RCを介して排出するクリア動作が行われる。N変調期間には、変調用ウェル5からノイズ成分を読み出すために、クリア後の画素信号を読み出すN変調動作を行う。
本実施の形態においては、ブランキング期間においても、蓄積ウェル4に対しては蓄積動作(並行蓄積動作)を行うようになっている。即ち、ブランキング期間のS変調期間、クリア期間及びN変調期間は、夫々、蓄積の点から言えば、S変調時の並行蓄積期間Ss、クリア時の並行蓄積期間Sc及びN変調時の並行蓄積期間Snとなる。
本実施の形態においては、例えば図7に示すように、1フレーム期間は、後述する転送期間及びPDクリア期間の後に、単独蓄積期間Sa(ライン出力期間と同一期間)と並行蓄積期間Ss,Sc,Sn(ブランキング期間と同一期間)とが巡回的に繰り返されて構成される。センサセルアレイ62の全てのセル3は、単独蓄積期間Sa及び並行蓄積期間Ss,Sc,Snの動作を巡回的に繰り返し、並行蓄積期間Ss,Sc,Snのうち図7のパルス形状で示す期間だけ、ライン毎にブランキング期間に設定されて読み出し動作が行われる。単独蓄積期間Saとブランキング期間とは、1フレーム期間において、ライン数分だけ繰り返えされる。
次に、図8を参照して単独蓄積期間Sa、転送期間、S変調期間(並行蓄積期間Ss)、クリア期間(並行蓄積期間Sc)、N変調期間(並行蓄積期間Sn)及びPDクリア期間における動作について、ポテンシャルの関係に基づいて説明する。図8は各期間におけるポテンシャルの関係を正孔のポテンシャルが高くなる向きを正側にとって示す説明図である。図8(A)は単独蓄積時の状態を示し、図8(B)は転送時の状態を示し、図8(C)はS変調又はN変調(S/N変調)時の状態を示し、図8(D)はクリア時の状態を示し、図8(E)は高速シャッターモードにおける蓄積ウェル4のクリア(PDクリア)時の状態を示している。図8の左側の欄は読み出しセルの状態を示し、右側の欄は非読み出しセルの状態を示している。なお、図8は梨地模様によって電荷によるポテンシャルの変化を示している。また、上述したように、各セルが読み出しセル又は非読み出しセルのいずれになるかは、図7のパルスによって示される。
転送ゲート13に0Vを印加しており、転送経路RTの電位障壁は充分に低くなる。これにより、上述した単独蓄積期間Sa及び後述する並行蓄積期間Sa,Sc,Snにおいて蓄積ウェル4内に蓄積された電荷は、転送経路RTを介して変調用ウェル5内に流れ込む。なお、ドレイン電圧を比較的高い電圧に設定することで、ポテンシャルの傾斜を大きくして、電荷の転送を容易にしている。
次に、ノーマルモード、高速シャッターモード及び低速シャッターモードの各モードに
ついて動作シーケンスを説明する。
図10はノーマルモード時の駆動シーケンスを示すタイミングチャートである。
図11は図10と同一の手法によって駆動シーケンスを示すタイミングチャートである。
図11(A)は高速シャッターモード時の駆動シーケンスを示している。
高速シャッターモードは例えば蓄積期間を短縮するためのものである。なお、従来例においては、ブランキングの終了後に第1のウェルの残留電荷を排出するようになっていることから、本実施の形態における高速シャッターモード等を実施することはできない。
ところで、連続撮影時において、PDクリア期間を、ブランキング期間とは独立に、フレーム期間の任意のタイミングに設定することが考えられる。ところが、そうすると、読み出し動作の途中でPDクリア動作が生じることになる。この場合には、ライン出力回路(図5の信号出力回路69に相当)以降の回路において、画像信号に遅延が生じる。この画像信号の出力タイミングのずれを修正するために、ライン出力回路及び図示しない信号処理回路等の動作を停止させる等の処理が必要となり、回路が複雑化してしまう。
PDクリア期間がブランキング期間に同期して発生していることから、連続撮影モードにおいても、PDクリア期間の有無に拘わらず、連続した画像信号を得ることができる。これにより、PDクリア動作が生じた場合でも、ライン出力回路及び信号処理回路等の動作を停止させる必要はなく、回路構成を簡単化することができる。
低速シャッターモードは例えば蓄積期間を1フレーム期間よりも長くするためのものである。例えば、フォトダイオードPDに入射される光が暗い場合には、各セルの変調用ウェル5に流れ込む電荷の量が減少して、各セルから読み出した画素信号に基づく画像は、全体が暗くなってしまう。このような場合に、低速シャッターモードを採用する。低速シャッターモードにおいては、PDクリア期間を複数フレーム期間に1回挿入すると共に、転送期間を複数フレームに1回挿入する。
図11(B)の例では、PDクリア期間は2フレーム期間に1回挿入されており、このPDクリア期間の終了から1.5フレーム期間後のフレーム先頭タイミングで転送期間が設定されている。従って、この場合の蓄積期間は1.5フレーム期間となる。これにより、ノーマルモード時よりも約1.5倍の明るさの画像を得ることができる。なお、図11(B)の場合には、各セルからの読み出しは2フレーム期間に1回だけ行われることになり、フレームレートはノーマルモードの1/2となる。
なお、低速シャッターモードにおいても、読み出しは転送期間後の約1フレーム期間に行われる。従来、読み出しを行うことによって蓄積されている光発生電荷も排出されてしまうことから、読み出しを行った次の1フレーム期間は、画像信号に寄与しないクリア動作を伴うダミー読み出しを行うことはできなかった。これに対し、本実施の形態においては、光発生電荷の蓄積と同時に読み出し動作が可能であることから、読み出しを行った次の1フレーム期間においても、クリア動作を伴うダミー読み出しが可能である。これにより、読み出しを行う論理回路等の構成が容易となるという利点がある。
転送期間2では、転送駆動走査回路68からゲート信号を領域A'及びC'内の各転送トランジスタTTの転送ゲート13に一斉に供給することによって、領域A'及びC'内の全センサセルの画素信号が蓄積ウェル4から変調用ウェル5に一括転送される。従って、撮像面10A内の複数のセンサセルの画素信号が、全画素一括して転送されるのではなく、2回に分けて転送される。
Claims (7)
- 入射光に応じて光発生電荷を生成する複数の画素をマトリクス状に配列し、撮像に用いられる有効画素領域と、該有効画素領域とは別に設けられる非有効画素領域とを有する固体撮像装置において、
各画素は、前記光発生電荷を蓄積する蓄積ウェルと、変調トランジスタと、前記蓄積ウェルに蓄積された前記光発生電荷を前記変調トランジスタに転送する転送制御素子とを有し、
前記蓄積ウェルに蓄積された前記光発生電荷を前記変調トランジスタに前記転送制御素子によって転送する場合に、前記有効画素領域内の前記光発生電荷と、前記有効画素領域内の前記光発生電荷を含まない前記光発生電荷とを、少なくとも2回以上に分けて転送を行うようにしたことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記転送は、2次元である前記マトリクス領域の一つの軸方向に少なくとも2つに分割された領域について行われ、
1つの領域は、前記有効画素領域を含む第1の領域であり、他の領域は、前記有効画素領域を含まない第2の領域であることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の領域内の前記光発生電荷は、一括転送されることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の領域内の前記光発生電荷は、一括転送されることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の領域は、オプティカルブラック領域を含むことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記第1の領域は、オプティカルブラック領域を含み、該オプティカルブラック領域の前記光発生電荷の信号に基づいて黒レベルを決定することを特徴とする請求項2から請求項5のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 入射光に応じて光発生電荷を生成する複数の画素をマトリクス状に配列し、撮像に用いられる有効画素領域と、該有効画素領域とは別に設けられる非有効画素領域とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、
各画素には、前記光発生電荷を蓄積する蓄積ウェルと、変調トランジスタと、前記蓄積ウェルに蓄積された前記光発生電荷を前記変調トランジスタに転送する転送制御素子とを設け、
前記蓄積ウェルに蓄積された前記光発生電荷を前記変調トランジスタに前記転送制御素子によって転送する場合に、
前記有効画素領域内の前記光発生電荷を転送する工程と、
前記有効画素領域内の前記光発生電荷を含まない前記光発生電荷を転送する工程を有することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
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