JP3998790B2 - マスク準備装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パターニング露光に用いられる大型のマスクの準備装置に関するもので、特にプラズマディスプレイパネル用の基板のパターニングを行うために用いられる大型のマスクの準備装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
例えば、ＡＣ型のＰＤＰは、例えば、図７に示すような構造をしており、２枚の対向するガラス基板７１０、７２０にそれぞれ規則的に配列した一対の、バス電極である金属電極７５０と透明電極７４０からなる複合電極とアドレス７８０を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。
尚、図７はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板７１０）、背面板（ガラス基板７２０）とを実際より離して示してある。
また、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図７に示すものは、ガラス基板７２０の一面に下地層７６７を設けその上に誘電体層７６５を設けた構造となっているが、下地層７６７、誘電体層７６５は必ずしも必要としない。
【０００３】
そして、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）は、ＡＣ型の場合、例えば、図６に示すようにして、背面板、前面板をそれぞれ別個の工程で作製し、両者を用いてＰＤＰをアセンブリして作製していた。以下、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製工程を簡単に説明する。
先ず、背面板の作製工程を説明する。
はじめに、ガラス基板を用意し（Ｓ６１１）、ガラス基板に厚膜印刷法により陰極用（電極配線用）ペーストを所定パターンで印刷し、これを乾燥、焼成し、電極配線を形成する。（Ｓ６１２）
次いで、このガラス基板の電極配線形成側上に障壁（バリアリブとも言う）を、印刷法ないしサンドブラスト法により形成する。（Ｓ６１３）
印刷法の場合、ガラス基板に厚膜印刷法により障壁（バリアリブ）形成用ペーストを所定のパターンに印刷し、これを乾燥する。障壁の層厚は厚く（例えば１６０〜２００μｍの厚さ）１回の厚膜印刷ではこの膜厚が得られないため、障壁形成用ペーストの印刷および乾燥は複数回行う。所定の膜厚が得られた後、ペーストの焼成がなされる。
サンドブラスト法の場合は、障壁形成材料をガラス基板上に塗布し、更にこの上に所定のレジストパターンを形成した後、研磨砂を吹きかけレジストパターンに対応した形状に障壁形成材料を加工して、これを焼成して障壁を形成する。
更に、障壁が形成された基板に厚膜印刷法により蛍光体用ペースト（例えば、酸化インジウム含有の螢光体用ペースト）を所定パターンに印刷し、次いでその乾燥及び焼成を行い（Ｓ６１４）、背面板を形成する。（Ｓ６１５）
【０００４】
次に、前面板の作製工程を説明する。
先ず、ガラス基板を用意し（Ｓ６２１）、ガラス基板に例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）の蒸着層をパターニングする。（Ｓ６２１）
パターニングは通常のフォトリソ工程（リゾグラフィー技術）により行う。
次いで、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ（クロム、銅、クロム）の３層を蒸着やスパッタリングにより成膜し（Ｓ６２２）、同様にフォトリソ工程（リゾグラフィー技術）によりパターニングして、あるいは電極配線用ペーストを所定パターンで印刷して、パターニングされたＩＴＯ膜とともに、放電用の電極配線を形成する。（Ｓ６２３）
次いで、ペースト状にした低融点ガラスのベタ印刷により、透明誘電体層を形成して（Ｓ６２４）、前面板が得られる。（Ｓ６２５）
【０００５】
このように、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製においては、フォトリソ工程（リソグラフィ技術を伴う工程）が多くあり、これらの工程においては、基板保持台に基板を保持し、マスクと密着させずに、マスクと基板間に隙間をもたせ、マスクを介して平行な露光光を基板に照射することにより、基板へのパターン露光を行うプロキシミティー露光装置を用いて、基板のパターニングを行う場合が多かった。尚、この場合、露光は、基板、マスクに自重によるたわみができるだけ発生しないように、基板、マスクとも面を略鉛直方向に立てた状態で行われていた。
しかし、ＰＤＰ用の基板は、対角で１ｍを超えるような大型のものが多く、これを露光するマスク（基板）も対角で１ｍを超えるような大型となるため、マスクの洗浄、検査、修正の処理における扱いが難しく、露光に適用できるマスクの準備をうまく行うことができなかった。
処理毎に、マスク洗浄部、あるいは検査修正部に、台車にてマスクを運び、人手や簡単な道具による洗浄処理、人手による検査修正を処理を行っていた。
場合によっては、マスクを１枚づつ人手により、マスク洗浄部や検査修正部に運び各作業を行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製においては、フォトリソ工程（リソグラフィ技術を伴う工程）が多くあり、これに用いられる大型のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできるマスクの準備方法が求められていた。
本発明は、ＰＤＰの大型化、量産化がますます求められる中、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできるマスク準備装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のマスク準備装置は、大型のエマルジョンマスクからなる露光用マスクの準備装置であって、マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備え、マスク搬送台車とマスク洗浄部、およびマスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、所定の角度θ１が９０°〜７５°の範囲であることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、マスク搬送台車におけるマスクの移動は、マスクの端部を挾み、回転するガイドロールにより行われるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、マスク洗浄部は、粘着ロールの位置は固定し、マスクを自動で動かしてマスク面を洗浄するものであることを特徴とするものである。
また、上記において、マスクの搬送は回転ロールにより搬送されるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、マスク洗浄部は、粘着ロールを自動で動かしてマスク面を洗浄するものであることを特徴とするものである。
また、上記における粘着ロールは、表面部が、天然ゴム、ウレタンゴム、シリコーンの１つない複数により成ることを特徴とするものである。
【０００８】
また、上記において、検査修正部は、マスクの修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、マスクの一辺を下側に水平方向に沿わせ、マスク面を斜めないし垂直にした状態でマスクを載せて置くマスク載置台と、マスクの修正面側を観察するために、マスク載置台上に保持されて、マスクのマスク面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交してマスク面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、マスク載置台を保持して且つマスク載置台の高さを変える載置台制御部とを備えたもので、前記マスク載置台は、マスクの下側の一辺を水平方向に沿わせてマスクを移動させる水平移動部を設けたものであることを特徴とするものであり、該水平移動部は、マスクの一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロ（回転するガイドロール等）ないしロール上に載せて移動させるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、顕微鏡をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸をマスク載置台上に設けていることを特徴とするものである。
また、上記において、マスク載置台は、マスクの修正面側でない裏面全体に拡散板を介して検査光を照射するものであることを特徴とするものである。
また、上記において、顕微鏡と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台を備えていることを特徴とするものである。
また、上記において、顕微鏡のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンターを備えていることを特徴とするものである。
また、上記において、マスクの顕微鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
尚、ここでは、マスクの正規のパターン形状よりも凹んだ形状のものを凹欠陥と言い、正規のパターン形状より出っ張った凸状の形状のものあるいは正規のパタ−ン以外の余分の絵柄や汚れを凸欠陥と言う。通常、これらの欠陥は透過光で検査された場合、欠陥部が白ないし黒に見えるので白欠陥ないし黒欠陥とも言われる。
【００１０】
【作用】
本発明のマスク準備装置は、このような構成にすることにより、ＰＤＰの大型化、量産化がますます求められる中、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできるマスク準備装置の提供を可能としている。
具体的には、マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備え、マスク搬送台車とマスク洗浄部、およびマスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものであることにより、これを達成している。
即ち、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へとマスク保持姿勢を変えることができ、且つ、マスク面を傾斜させた状態でマスクを移動させて、取り入れ、取り出しができる、マスク搬送台車を用いていることにより、マスク搬送台車をマスク洗浄部に移動し、マスク面をマスク洗浄部のマスクを移動させる平面に合わせて、保管庫からマスク洗浄部へのマスクの移動を行うことができ、人手による移動の場合におけるマスクの落下事故等を防止できるものとしている。
そして、マスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、且つ、ガラス移動面を略同一平面上に設けて、両者間で直接マスクの受け渡しができるようにしていることにより、両者の間で、マスクの落下事故の発生は無く、作業性の良いものとしている。
マスク搬送台車とマスク洗浄部、マスク洗浄部とマスク検査修正部とを連結させてて使用でき、あたかも一つの搬送装置において、マスクを準備する構成となり、装置全体の設置面積を小さくできる。
【００１１】
また、マスク洗浄部とマスク検査修正部におけるマスクの搬送面の傾き（該所定角θ１に相当）を９０°〜７５°の範囲にしておくことにより、装置自体からの発塵物のマスクへの付着を抑えることができ、且つ、作業者の作業性の面で好まい。
尚、通常、該所定の角θ１が８０°である場合が、発塵物のマスクへの付着の点から最も好ましいとされている。
また、このように、搬送面の傾き（所定角θ１に相当）を、鉛直方向に近い角度にしておくことにより、マスクの自重によるたわみの影響をうけることなく、洗浄、検査修正ができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明のマスク準備装置の実施の形態の１例を挙げて説明する。
図１は本発明のマスク準備装置の実施の形態の１例の全体構成を示す概略図であり、図２（ａ）はマスク保管庫の断面図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ２位置からみた保管庫の断面図で、図３（ａ）はマスク搬送台車の概略図で、図３（ｂ）は（図３（ａ）のＢ１からみた図で、図３（ｃ）は（下側の）コロ部の状態を拡大して示した図で、図４（ａ）はマスク洗浄部の概略図で、図４（ｂ）は図４（ａ）Ｃ１−Ｃ２からみた断面図で、図４（ｃ）は図４（ａ）のＣ３−Ｃ４における断面図で、図５（ａ）はマスク検査修正部の正面図で、図５（ｂ）は図５（ａ）のＤ１−Ｄ２における断面図である。
図１〜図５中、１００はマスク準備装置、１１０はマスク保管庫、１１５はローラ、１１６はガイド、１１７は扉、１１９はフィルター、１２０はマスク搬送台車、１２１は回転軸、１２２は運搬用ハンドル、１２３は車輪、１２３Ａは台車ストッパー、１２４はマスク留め、１２５はガイドロール、１２５Ａはガイドロール固定部、１２７は回転ストッパー、１２８は位置決めピン、１３０はマスク洗浄部、１３１は洗浄部、１３１Ａは粘着ロール、１３１Ｂは回転ロール、１３３回転ロール、１３４は回転ロール駆動部、１３５はコロ（ガイドロール）、１４０はマスク検査修正部、１４１は顕微鏡、１４１Ａは腕置き台、１４２はＹ方向移動台、１４３はＹ方向レール、１４３Ａは配線収納部、１４４はＸ方向レール、１４４Ａは配線収納部、１４５はコロ（ガイドロール）、１４６はリフター、１４７はカウンター、１４８は検査光（バックライト）、１４９はマスク載置台、１８０はマスクである。
図１に示すマスク準備装置１００は、ＰＤＰ用の基板をパターニングする際に用いられる露光用マスクを準備するための装置で、対角１ｍを超える大型のエマルジョンマスクからなる露光用マスクの準備装置で、マスクの保管、マスク洗浄、マスク検査、修正を、ほぼ一体となった、効率的な一貫ラインにて行うことができる。
そして、マスクを鉛直にして保管するマスク保管庫１１０と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面を鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと、そのマスク保持姿勢を変えることができ、且つ、マスク面を傾斜させた状態でマスクを移動させて、取り入れ、取り出しができる、マスク搬送台車１２０と、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロール（図４（ｃ）の１３１Ａ）により、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部１３０と、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部１４０とを備えている。
マスク搬送台車１２０とマスク洗浄部１３０、およびマスク洗浄部１３０とマスク検査修正部１４０とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものである。
【００１３】
マスク搬送台車１２０は、通常、マスク保管庫１１０から、マスク面をほぼ鉛直の状態にしてマスク１８０を受け取り、これをマスク洗浄部１１０のマスク処理におけるマスク面の角度θ１やマスク検査修正部のマスク処理におけるマスク面の角度θ１に合わせた状態にして、これをマスク洗浄部１３０へと引き渡す。
マスク洗浄部１３０は、処理後、マスク面の角度θ１をそのままにした状態で、マスク１８０をマスク検査修正部１４０へと順に引き渡す。
マスク洗浄部１３０はマスク洗浄、マスク検査修正部１４０はマスク検査修正を行うが、各作業をマスク面が鉛直方向から若干傾いた、マスク面の傾きがθ１の状態で、行えるようにしており、且つ、各部におけるマスク１８０の受け渡しを、各部が接近した状態にして、回転ロールないしコロ（回転するガイドロール）を介して行うことができるため、作業性も良く、マスク受け渡しによるマスクの落下事故の発生を防止できる。
通常、マスク１８０は、マスク保管庫１１０から、マスク搬送台車１２０へ送られ、マスク搬送台車１２０にて、マスク面を、略所定の角θ１に傾斜させた状態で、マスク搬送台車１２０から、順に、マスク洗浄部１３０、マスク検査修正部１４０へと順に送られるが、マスク検査修正部１４０にて、再度洗浄処理が必要と判断された場合には、再度マスク洗浄部１３０へマスク１８０を戻し、更に、マスク洗浄後、マスク検査修正部１４０へマスク１８０を渡し、再度検査修正を行うこともできる。マスク洗浄部１３０とマスク検査修正部１４０間を交互にマスク１８０を行き来させて、洗浄処理、検査修正処理を交互に繰り返すこともできる。
また、必要に応じ、マスク搬送台車１２０とマスク洗浄部１３０間でも、相互にマスク１８０の受け渡しができる。
【００１４】
図２に示すマスク保管庫１１０は、扉１１７を開けた状態で、ローラ１１５を転がして、図１に示すように、マスク搬送台車１２０との間で、マスク１８０の出し入れを行うもので、上部にはガイド１１６が設けられており、ガイド１１６とローラ１１５の凹部によりマスク１８０は垂直に保持される。
【００１５】
マスク搬送台車１２０は、図３に示すように、ガイドロール固定部１２５Ａに固定された、回転するガイドロール１２５により、保持され、且つ、マスク出し入れの際のマスク１８０の移動動作を行うものである。
上下のガイドロール固定部１２５を一平面内で支持しながら、回転軸１２１を中心として、ガイドロール固定部１２５Ａを回転させることにより、ガイドロール固定部１２５Ａに固定された上下のガイドロール１２５の位置を変化させ、ガイドロール１２５に保持されるマスク１８０の面角度を変えるもので、図３（ｂ）に示すように、マスク面の位置（角度θ１）は位置決めピン１２８により固定されて決められる。
図３に示すマスク搬送台車１２０においては、位置決めピンは、マスク面が垂直の場合と、面角度がθ１の場合にのみ嵌まるようにして固定されるが、必要に応じ面角度を所定の範囲内で自由に固定できる構造としても良い。
θ１としては、洗浄した際のコミの再度の付着を防止するという点からは、９０°〜７５°の範囲が好ましく、特に８０°が好ましい。
尚、ガイドロール固定部１２５Ａは、図３（ａ）に示すように、複数個設けられており、マスクのサイズに応じて、上側のガイドロール１２５の固定する位置を変えることができるようになっている。
【００１６】
マスク洗浄部１３０は、図４に示すように、マスクを回転ロール１３３にて搬送させながら、洗浄部１３１中に送り込み、図４（ｃ）に示すように、粘着ロール１３１Ａにより、その面を洗浄するものである。
回転ロール駆動部１３４にて、各回転ロール１３３が回転するようになっており、マスク１８０は自動で動かされてマスク面が洗浄される。
図４（ｃ）に示すように、粘着ロール１３１Ａを自動で回転させながら、マスク１８０の面を洗浄する。
粘着ロール１３１Ｂはマスクの裏面（ガラス面）側を回転しながら洗浄する。
図４（ｃ）においては、粘着ロール３種の粘着力の大きい順に示すと、１３１Ｃ、１３１Ａ、１３１Ｂの順になっており、マスクに接する１３１Ａ、１３１Ｂは表面のゴミ等が、洗浄中にマスクに転写せぬよう、より強い粘着力を持つ粘着ロール１３１Ｃに移行させる。
粘着ロール１３１Ａ、１３１Ｂ、１３１Ｃの材質としては、天然ゴム、ウレタンゴム、シリコーンの１つない複数により成るものが好ましい。
【００１７】
マスク検査修正部１４０は、図５に示すように、マスク１８０の修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光（バックライト）１４８を照射し、且つ、マスク１８０の一辺を下側に水平方向に沿わせ、マスク面を斜めないし垂直にした状態でマスクを載せて置くマスク載置台１４９と、マスクの修正面側を観察するために、マスク載置台１４９上に保持されて、マスク面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交してマスク面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡１４１と、マスク載置台を保持して且つマスク載置台の高さを変えるリフター（載置台制御部）１４６とを備えている。
マスク載置台１４９は、マスク１８０の下側の一辺を水平方向に沿わせてマスクを移動させるコロ（ガイドロール）１４５を設けたものである。
尚、図５には図示していないが、図４に示す洗浄部１３０と同じように、マスクを搬送させるための回転ロールが備えられている。
顕微鏡１４１をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸（Ｘ方向レール１４４、Ｙ方向レール１４３）をマスク載置台１４９上に設けている。
顕微鏡１４１と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台１４１Ａを備えている。
マスク載置台１４９は、マスクの修正面側でない裏面全体に接し、裏面全体に拡散板を介して検査光を照射する。
また、顕微鏡１４１のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンター１４７を備えている。
また、必要に応じ、マスク１８０の顕微鏡像を観察するモニターを備えても良い。
マスク検査修正部１４０は、このような構造をしており、作業者の姿勢に無理がなく、検査、修正作業ができるものとしている。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＰＤＰの大型化、量産化がますます求められる中、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできる、マスク準備装置の提供を可能とした。
ＰＤＰ用の基板と同様に、ＬＣＤ用の基板のフォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備にも本発明のマスク準備装置は適用でき、ＰＤＰやＬＣＤの量産に対応できるものとしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマスク準備装置の実施の形態の１例の示す概略構成図
【図２】マスク保管庫の概略図
【図３】マスク搬送台車の概略図
【図４】マスク洗浄部の概略図
【図５】マスク検査修正部の概略図
【図６】ＰＤＰ用基板の作製方法を説明するための工程図
【図７】ＰＤＰを説明するための斜視図
【符号の説明】
１００ マスク準備装置
１１０ マスク保管庫
１１５ ローラ
１１６ ガイド
１１７ 扉
１１９ フィルター
１２０ マスク搬送台車
１２１ 回転軸
１２２ 運搬用ハンドル
１２３ 車輪
１２３Ａ 台車ストッパー
１２４ マスク留め
１２５ ガイドロール
１２５Ａ ガイドロール固定部
１２７ 回転ストッパー
１２８ 位置決めピン
１３０ マスク洗浄部
１３１ 洗浄部
１３１Ａ 粘着ロール
１３１Ｂ 回転ロール
１３３ 回転ロール
１３４ 回転ロール駆動部
１３５ コロ（ガイドロール）
１４０ マスク検査修正部
１４１ 顕微鏡
１４１Ａ 腕置き台
１４２ Ｙ方向移動台
１４３ Ｙ方向レール
１４３Ａ 配線収納部
１４４ Ｘ方向レール
１４４Ａ 配線収納部
１４５ コロ（ガイドロール）
１４６ リフター（マスク載置台制御部）
１４７ カウンター
１４８ 検査光（バックライト）
１４８ マスク載置台
１８０ マスク
【発明の属する技術分野】
本発明は、パターニング露光に用いられる大型のマスクの準備装置に関するもので、特にプラズマディスプレイパネル用の基板のパターニングを行うために用いられる大型のマスクの準備装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
例えば、ＡＣ型のＰＤＰは、例えば、図７に示すような構造をしており、２枚の対向するガラス基板７１０、７２０にそれぞれ規則的に配列した一対の、バス電極である金属電極７５０と透明電極７４０からなる複合電極とアドレス７８０を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。
尚、図７はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板７１０）、背面板（ガラス基板７２０）とを実際より離して示してある。
また、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図７に示すものは、ガラス基板７２０の一面に下地層７６７を設けその上に誘電体層７６５を設けた構造となっているが、下地層７６７、誘電体層７６５は必ずしも必要としない。
【０００３】
そして、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）は、ＡＣ型の場合、例えば、図６に示すようにして、背面板、前面板をそれぞれ別個の工程で作製し、両者を用いてＰＤＰをアセンブリして作製していた。以下、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製工程を簡単に説明する。
先ず、背面板の作製工程を説明する。
はじめに、ガラス基板を用意し（Ｓ６１１）、ガラス基板に厚膜印刷法により陰極用（電極配線用）ペーストを所定パターンで印刷し、これを乾燥、焼成し、電極配線を形成する。（Ｓ６１２）
次いで、このガラス基板の電極配線形成側上に障壁（バリアリブとも言う）を、印刷法ないしサンドブラスト法により形成する。（Ｓ６１３）
印刷法の場合、ガラス基板に厚膜印刷法により障壁（バリアリブ）形成用ペーストを所定のパターンに印刷し、これを乾燥する。障壁の層厚は厚く（例えば１６０〜２００μｍの厚さ）１回の厚膜印刷ではこの膜厚が得られないため、障壁形成用ペーストの印刷および乾燥は複数回行う。所定の膜厚が得られた後、ペーストの焼成がなされる。
サンドブラスト法の場合は、障壁形成材料をガラス基板上に塗布し、更にこの上に所定のレジストパターンを形成した後、研磨砂を吹きかけレジストパターンに対応した形状に障壁形成材料を加工して、これを焼成して障壁を形成する。
更に、障壁が形成された基板に厚膜印刷法により蛍光体用ペースト（例えば、酸化インジウム含有の螢光体用ペースト）を所定パターンに印刷し、次いでその乾燥及び焼成を行い（Ｓ６１４）、背面板を形成する。（Ｓ６１５）
【０００４】
次に、前面板の作製工程を説明する。
先ず、ガラス基板を用意し（Ｓ６２１）、ガラス基板に例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）の蒸着層をパターニングする。（Ｓ６２１）
パターニングは通常のフォトリソ工程（リゾグラフィー技術）により行う。
次いで、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ（クロム、銅、クロム）の３層を蒸着やスパッタリングにより成膜し（Ｓ６２２）、同様にフォトリソ工程（リゾグラフィー技術）によりパターニングして、あるいは電極配線用ペーストを所定パターンで印刷して、パターニングされたＩＴＯ膜とともに、放電用の電極配線を形成する。（Ｓ６２３）
次いで、ペースト状にした低融点ガラスのベタ印刷により、透明誘電体層を形成して（Ｓ６２４）、前面板が得られる。（Ｓ６２５）
【０００５】
このように、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製においては、フォトリソ工程（リソグラフィ技術を伴う工程）が多くあり、これらの工程においては、基板保持台に基板を保持し、マスクと密着させずに、マスクと基板間に隙間をもたせ、マスクを介して平行な露光光を基板に照射することにより、基板へのパターン露光を行うプロキシミティー露光装置を用いて、基板のパターニングを行う場合が多かった。尚、この場合、露光は、基板、マスクに自重によるたわみができるだけ発生しないように、基板、マスクとも面を略鉛直方向に立てた状態で行われていた。
しかし、ＰＤＰ用の基板は、対角で１ｍを超えるような大型のものが多く、これを露光するマスク（基板）も対角で１ｍを超えるような大型となるため、マスクの洗浄、検査、修正の処理における扱いが難しく、露光に適用できるマスクの準備をうまく行うことができなかった。
処理毎に、マスク洗浄部、あるいは検査修正部に、台車にてマスクを運び、人手や簡単な道具による洗浄処理、人手による検査修正を処理を行っていた。
場合によっては、マスクを１枚づつ人手により、マスク洗浄部や検査修正部に運び各作業を行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製においては、フォトリソ工程（リソグラフィ技術を伴う工程）が多くあり、これに用いられる大型のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできるマスクの準備方法が求められていた。
本発明は、ＰＤＰの大型化、量産化がますます求められる中、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできるマスク準備装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のマスク準備装置は、大型のエマルジョンマスクからなる露光用マスクの準備装置であって、マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備え、マスク搬送台車とマスク洗浄部、およびマスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、所定の角度θ１が９０°〜７５°の範囲であることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、マスク搬送台車におけるマスクの移動は、マスクの端部を挾み、回転するガイドロールにより行われるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、マスク洗浄部は、粘着ロールの位置は固定し、マスクを自動で動かしてマスク面を洗浄するものであることを特徴とするものである。
また、上記において、マスクの搬送は回転ロールにより搬送されるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、マスク洗浄部は、粘着ロールを自動で動かしてマスク面を洗浄するものであることを特徴とするものである。
また、上記における粘着ロールは、表面部が、天然ゴム、ウレタンゴム、シリコーンの１つない複数により成ることを特徴とするものである。
【０００８】
また、上記において、検査修正部は、マスクの修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、マスクの一辺を下側に水平方向に沿わせ、マスク面を斜めないし垂直にした状態でマスクを載せて置くマスク載置台と、マスクの修正面側を観察するために、マスク載置台上に保持されて、マスクのマスク面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交してマスク面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、マスク載置台を保持して且つマスク載置台の高さを変える載置台制御部とを備えたもので、前記マスク載置台は、マスクの下側の一辺を水平方向に沿わせてマスクを移動させる水平移動部を設けたものであることを特徴とするものであり、該水平移動部は、マスクの一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロ（回転するガイドロール等）ないしロール上に載せて移動させるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、顕微鏡をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸をマスク載置台上に設けていることを特徴とするものである。
また、上記において、マスク載置台は、マスクの修正面側でない裏面全体に拡散板を介して検査光を照射するものであることを特徴とするものである。
また、上記において、顕微鏡と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台を備えていることを特徴とするものである。
また、上記において、顕微鏡のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンターを備えていることを特徴とするものである。
また、上記において、マスクの顕微鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
尚、ここでは、マスクの正規のパターン形状よりも凹んだ形状のものを凹欠陥と言い、正規のパターン形状より出っ張った凸状の形状のものあるいは正規のパタ−ン以外の余分の絵柄や汚れを凸欠陥と言う。通常、これらの欠陥は透過光で検査された場合、欠陥部が白ないし黒に見えるので白欠陥ないし黒欠陥とも言われる。
【００１０】
【作用】
本発明のマスク準備装置は、このような構成にすることにより、ＰＤＰの大型化、量産化がますます求められる中、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできるマスク準備装置の提供を可能としている。
具体的には、マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備え、マスク搬送台車とマスク洗浄部、およびマスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものであることにより、これを達成している。
即ち、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へとマスク保持姿勢を変えることができ、且つ、マスク面を傾斜させた状態でマスクを移動させて、取り入れ、取り出しができる、マスク搬送台車を用いていることにより、マスク搬送台車をマスク洗浄部に移動し、マスク面をマスク洗浄部のマスクを移動させる平面に合わせて、保管庫からマスク洗浄部へのマスクの移動を行うことができ、人手による移動の場合におけるマスクの落下事故等を防止できるものとしている。
そして、マスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、且つ、ガラス移動面を略同一平面上に設けて、両者間で直接マスクの受け渡しができるようにしていることにより、両者の間で、マスクの落下事故の発生は無く、作業性の良いものとしている。
マスク搬送台車とマスク洗浄部、マスク洗浄部とマスク検査修正部とを連結させてて使用でき、あたかも一つの搬送装置において、マスクを準備する構成となり、装置全体の設置面積を小さくできる。
【００１１】
また、マスク洗浄部とマスク検査修正部におけるマスクの搬送面の傾き（該所定角θ１に相当）を９０°〜７５°の範囲にしておくことにより、装置自体からの発塵物のマスクへの付着を抑えることができ、且つ、作業者の作業性の面で好まい。
尚、通常、該所定の角θ１が８０°である場合が、発塵物のマスクへの付着の点から最も好ましいとされている。
また、このように、搬送面の傾き（所定角θ１に相当）を、鉛直方向に近い角度にしておくことにより、マスクの自重によるたわみの影響をうけることなく、洗浄、検査修正ができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明のマスク準備装置の実施の形態の１例を挙げて説明する。
図１は本発明のマスク準備装置の実施の形態の１例の全体構成を示す概略図であり、図２（ａ）はマスク保管庫の断面図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ２位置からみた保管庫の断面図で、図３（ａ）はマスク搬送台車の概略図で、図３（ｂ）は（図３（ａ）のＢ１からみた図で、図３（ｃ）は（下側の）コロ部の状態を拡大して示した図で、図４（ａ）はマスク洗浄部の概略図で、図４（ｂ）は図４（ａ）Ｃ１−Ｃ２からみた断面図で、図４（ｃ）は図４（ａ）のＣ３−Ｃ４における断面図で、図５（ａ）はマスク検査修正部の正面図で、図５（ｂ）は図５（ａ）のＤ１−Ｄ２における断面図である。
図１〜図５中、１００はマスク準備装置、１１０はマスク保管庫、１１５はローラ、１１６はガイド、１１７は扉、１１９はフィルター、１２０はマスク搬送台車、１２１は回転軸、１２２は運搬用ハンドル、１２３は車輪、１２３Ａは台車ストッパー、１２４はマスク留め、１２５はガイドロール、１２５Ａはガイドロール固定部、１２７は回転ストッパー、１２８は位置決めピン、１３０はマスク洗浄部、１３１は洗浄部、１３１Ａは粘着ロール、１３１Ｂは回転ロール、１３３回転ロール、１３４は回転ロール駆動部、１３５はコロ（ガイドロール）、１４０はマスク検査修正部、１４１は顕微鏡、１４１Ａは腕置き台、１４２はＹ方向移動台、１４３はＹ方向レール、１４３Ａは配線収納部、１４４はＸ方向レール、１４４Ａは配線収納部、１４５はコロ（ガイドロール）、１４６はリフター、１４７はカウンター、１４８は検査光（バックライト）、１４９はマスク載置台、１８０はマスクである。
図１に示すマスク準備装置１００は、ＰＤＰ用の基板をパターニングする際に用いられる露光用マスクを準備するための装置で、対角１ｍを超える大型のエマルジョンマスクからなる露光用マスクの準備装置で、マスクの保管、マスク洗浄、マスク検査、修正を、ほぼ一体となった、効率的な一貫ラインにて行うことができる。
そして、マスクを鉛直にして保管するマスク保管庫１１０と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面を鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと、そのマスク保持姿勢を変えることができ、且つ、マスク面を傾斜させた状態でマスクを移動させて、取り入れ、取り出しができる、マスク搬送台車１２０と、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロール（図４（ｃ）の１３１Ａ）により、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部１３０と、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部１４０とを備えている。
マスク搬送台車１２０とマスク洗浄部１３０、およびマスク洗浄部１３０とマスク検査修正部１４０とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものである。
【００１３】
マスク搬送台車１２０は、通常、マスク保管庫１１０から、マスク面をほぼ鉛直の状態にしてマスク１８０を受け取り、これをマスク洗浄部１１０のマスク処理におけるマスク面の角度θ１やマスク検査修正部のマスク処理におけるマスク面の角度θ１に合わせた状態にして、これをマスク洗浄部１３０へと引き渡す。
マスク洗浄部１３０は、処理後、マスク面の角度θ１をそのままにした状態で、マスク１８０をマスク検査修正部１４０へと順に引き渡す。
マスク洗浄部１３０はマスク洗浄、マスク検査修正部１４０はマスク検査修正を行うが、各作業をマスク面が鉛直方向から若干傾いた、マスク面の傾きがθ１の状態で、行えるようにしており、且つ、各部におけるマスク１８０の受け渡しを、各部が接近した状態にして、回転ロールないしコロ（回転するガイドロール）を介して行うことができるため、作業性も良く、マスク受け渡しによるマスクの落下事故の発生を防止できる。
通常、マスク１８０は、マスク保管庫１１０から、マスク搬送台車１２０へ送られ、マスク搬送台車１２０にて、マスク面を、略所定の角θ１に傾斜させた状態で、マスク搬送台車１２０から、順に、マスク洗浄部１３０、マスク検査修正部１４０へと順に送られるが、マスク検査修正部１４０にて、再度洗浄処理が必要と判断された場合には、再度マスク洗浄部１３０へマスク１８０を戻し、更に、マスク洗浄後、マスク検査修正部１４０へマスク１８０を渡し、再度検査修正を行うこともできる。マスク洗浄部１３０とマスク検査修正部１４０間を交互にマスク１８０を行き来させて、洗浄処理、検査修正処理を交互に繰り返すこともできる。
また、必要に応じ、マスク搬送台車１２０とマスク洗浄部１３０間でも、相互にマスク１８０の受け渡しができる。
【００１４】
図２に示すマスク保管庫１１０は、扉１１７を開けた状態で、ローラ１１５を転がして、図１に示すように、マスク搬送台車１２０との間で、マスク１８０の出し入れを行うもので、上部にはガイド１１６が設けられており、ガイド１１６とローラ１１５の凹部によりマスク１８０は垂直に保持される。
【００１５】
マスク搬送台車１２０は、図３に示すように、ガイドロール固定部１２５Ａに固定された、回転するガイドロール１２５により、保持され、且つ、マスク出し入れの際のマスク１８０の移動動作を行うものである。
上下のガイドロール固定部１２５を一平面内で支持しながら、回転軸１２１を中心として、ガイドロール固定部１２５Ａを回転させることにより、ガイドロール固定部１２５Ａに固定された上下のガイドロール１２５の位置を変化させ、ガイドロール１２５に保持されるマスク１８０の面角度を変えるもので、図３（ｂ）に示すように、マスク面の位置（角度θ１）は位置決めピン１２８により固定されて決められる。
図３に示すマスク搬送台車１２０においては、位置決めピンは、マスク面が垂直の場合と、面角度がθ１の場合にのみ嵌まるようにして固定されるが、必要に応じ面角度を所定の範囲内で自由に固定できる構造としても良い。
θ１としては、洗浄した際のコミの再度の付着を防止するという点からは、９０°〜７５°の範囲が好ましく、特に８０°が好ましい。
尚、ガイドロール固定部１２５Ａは、図３（ａ）に示すように、複数個設けられており、マスクのサイズに応じて、上側のガイドロール１２５の固定する位置を変えることができるようになっている。
【００１６】
マスク洗浄部１３０は、図４に示すように、マスクを回転ロール１３３にて搬送させながら、洗浄部１３１中に送り込み、図４（ｃ）に示すように、粘着ロール１３１Ａにより、その面を洗浄するものである。
回転ロール駆動部１３４にて、各回転ロール１３３が回転するようになっており、マスク１８０は自動で動かされてマスク面が洗浄される。
図４（ｃ）に示すように、粘着ロール１３１Ａを自動で回転させながら、マスク１８０の面を洗浄する。
粘着ロール１３１Ｂはマスクの裏面（ガラス面）側を回転しながら洗浄する。
図４（ｃ）においては、粘着ロール３種の粘着力の大きい順に示すと、１３１Ｃ、１３１Ａ、１３１Ｂの順になっており、マスクに接する１３１Ａ、１３１Ｂは表面のゴミ等が、洗浄中にマスクに転写せぬよう、より強い粘着力を持つ粘着ロール１３１Ｃに移行させる。
粘着ロール１３１Ａ、１３１Ｂ、１３１Ｃの材質としては、天然ゴム、ウレタンゴム、シリコーンの１つない複数により成るものが好ましい。
【００１７】
マスク検査修正部１４０は、図５に示すように、マスク１８０の修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光（バックライト）１４８を照射し、且つ、マスク１８０の一辺を下側に水平方向に沿わせ、マスク面を斜めないし垂直にした状態でマスクを載せて置くマスク載置台１４９と、マスクの修正面側を観察するために、マスク載置台１４９上に保持されて、マスク面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交してマスク面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡１４１と、マスク載置台を保持して且つマスク載置台の高さを変えるリフター（載置台制御部）１４６とを備えている。
マスク載置台１４９は、マスク１８０の下側の一辺を水平方向に沿わせてマスクを移動させるコロ（ガイドロール）１４５を設けたものである。
尚、図５には図示していないが、図４に示す洗浄部１３０と同じように、マスクを搬送させるための回転ロールが備えられている。
顕微鏡１４１をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸（Ｘ方向レール１４４、Ｙ方向レール１４３）をマスク載置台１４９上に設けている。
顕微鏡１４１と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台１４１Ａを備えている。
マスク載置台１４９は、マスクの修正面側でない裏面全体に接し、裏面全体に拡散板を介して検査光を照射する。
また、顕微鏡１４１のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンター１４７を備えている。
また、必要に応じ、マスク１８０の顕微鏡像を観察するモニターを備えても良い。
マスク検査修正部１４０は、このような構造をしており、作業者の姿勢に無理がなく、検査、修正作業ができるものとしている。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＰＤＰの大型化、量産化がますます求められる中、ＰＤＰ用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできる、マスク準備装置の提供を可能とした。
ＰＤＰ用の基板と同様に、ＬＣＤ用の基板のフォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備にも本発明のマスク準備装置は適用でき、ＰＤＰやＬＣＤの量産に対応できるものとしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマスク準備装置の実施の形態の１例の示す概略構成図
【図２】マスク保管庫の概略図
【図３】マスク搬送台車の概略図
【図４】マスク洗浄部の概略図
【図５】マスク検査修正部の概略図
【図６】ＰＤＰ用基板の作製方法を説明するための工程図
【図７】ＰＤＰを説明するための斜視図
【符号の説明】
１００ マスク準備装置
１１０ マスク保管庫
１１５ ローラ
１１６ ガイド
１１７ 扉
１１９ フィルター
１２０ マスク搬送台車
１２１ 回転軸
１２２ 運搬用ハンドル
１２３ 車輪
１２３Ａ 台車ストッパー
１２４ マスク留め
１２５ ガイドロール
１２５Ａ ガイドロール固定部
１２７ 回転ストッパー
１２８ 位置決めピン
１３０ マスク洗浄部
１３１ 洗浄部
１３１Ａ 粘着ロール
１３１Ｂ 回転ロール
１３３ 回転ロール
１３４ 回転ロール駆動部
１３５ コロ（ガイドロール）
１４０ マスク検査修正部
１４１ 顕微鏡
１４１Ａ 腕置き台
１４２ Ｙ方向移動台
１４３ Ｙ方向レール
１４３Ａ 配線収納部
１４４ Ｘ方向レール
１４４Ａ 配線収納部
１４５ コロ（ガイドロール）
１４６ リフター（マスク載置台制御部）
１４７ カウンター
１４８ 検査光（バックライト）
１４８ マスク載置台
１８０ マスク
Claims (14)
- 大型のエマルジョンマスクからなる露光用マスクの準備装置であって、マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ１をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ１に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備え、マスク搬送台車とマスク洗浄部、およびマスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を所定の角度θ１に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項１において、所定の角度θ１が９０°〜７５°の範囲であることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項１ないし２において、マスク搬送台車におけるマスクの移動は、マスクの端部を挾み、回転するガイドロールにより行われるものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項１ないし３において、マスク洗浄部は、粘着ロールの位置は固定し、マスクを自動で動かしてマスク面を洗浄するものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項４において、マスクの搬送は回転ロールにより搬送されるものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項１ないし２において、マスク洗浄部は、粘着ロールを自動で動かしてマスク面を洗浄するものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項４なしい６における粘着ロールは、表面部が、天然ゴム、ウレタンゴム、シリコーンの１つないし複数により成ることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項１ないし７において、検査修正部は、マスクの修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、マスクの一辺を下側に水平方向に沿わせ、マスク面を斜めないし垂直にした状態でマスクを載せて置くマスク載置台と、マスクの修正面側を観察するために、マスク載置台上に保持されて、マスクのマスク面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交してマスク面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、マスク載置台を保持して且つマスク載置台の高さを変える載置台制御部とを備えたもので、前記マスク載置台は、マスクの下側の一辺を水平方向に沿わせてマスクを移動させる水平移動部を設けたものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項８における水平移動部は、マスクの一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロないしロール上に載せて移動させるものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項８ないし９において、顕微鏡をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸をマスク載置台上に設けていることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項８ないし１０において、マスク載置台は、マスクの修正面側でない裏面全体に拡散板を介して検査光を照射するものであることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項８ないし１１において、顕微鏡と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台を備えていることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項８ないし１２において、顕微鏡のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンターを備えていることを特徴とするマスク準備装置。
- 請求項８ないし１３において、マスクの顕微鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とするマスク準備装置。
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